JPH0659738U - クリーンエアシステム用風量調整板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 製作が非常に簡単で、通風部の各種状況に応
じ所要の風量分布パターンを自由に得ることができ、清
浄空間を作るクリーンエアシステムに非常に有効な風量
調整板を提供することにある。 【構成】 目の細かい網状体２０に紫外線硬化樹脂２１
を塗布して該網状体２０の孔を閉塞し、且つその塗布樹
脂層を露光・現像により部分的に除去することで、所要
の風量分布パターンに合わせて開口率を部分的に大小変
化させた風量調整板８を特徴とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、主に電子機器・精密機器・薬品・食品等の諸産業や研究所などにお けるクリーンルーム・クリーンベンチ・エアシャワー室等の清浄空間を作るクリ ーンエアシステムに利用される風量調整板に関する。

【０００２】

【従来の技術】

例えば、半導体製造工場等では、高い製品歩留まりの達成のために、作業空間 に浮遊する塵埃を出来るだけ少なくするクリーンルームの使用が一般化されてい る。このクリーンルームは、室内全体を無塵化するもので、天井面に取付けた高 性能フィルタ（ＨＥＰＡ）から床面に向かって一様な速度で清浄な気流を供給す る垂直層流型（ダウンフロー方式）と、側壁面に取付けた高性能フィルタから対 向壁面に向かって一様な速度で清浄な気流を供給する水平層流型（クロスフロー 方式）とがある。

【０００３】 また、そうしたクリーンルーム内で局所的に更に高い空気清浄環境を得る手段 として、クリーンベンチ（無塵作業台空間）が使用されている。これも基本的に はクリーンルームと同様で、上部の高性能フィルタ（ＨＥＰＡ）から一様な速度 で清浄な気流を供給する垂直層流型（ダウンフロー方式）が一般的で、しかもこ のクリーンベンチでは前面部に外気と遮断して外部塵埃の巻き込みを防止するエ アカーテンを設けているものが多い。

【０００４】 このようなクリーンルームやクリーンベンチ等のクリーンエアシステムでは、 清浄空間の高い空気清浄度を維持するために、高性能フィルタを用い浮遊塵埃を 出来るだけ除去した清浄な空気を供給することが必要であると共に、その気流の 乱れ（乱流や渦流）の発生を少なくすること、即ち前述の垂直層流や水平層流と 言った如く気流を層流状態にすることが必要である。

【０００５】 つまり、高性能フィルタを通して供給される清浄空気流に部分的に風速（単位 時間当たりの風量）の差があると、乱流や渦流を発生し易く、これに伴い清浄空 間内部にて均一な風量の層流が得られず、デッドエリアが生じて浮遊塵埃その他 の物質の迅速な流出除去が出来ないと共に、内部の装置類に付着している塵埃を 巻き上げて、清浄空間の清浄度の低下を来す。

【０００６】 そこで、一般的には、高性能フィルタの下流側の通風部である吹出し面等に、 多数の通気孔を穿設した有孔板（パンチングメタル）や金網或いはメッシュ等の 風量調整板を設置し、この風量調整板を通して清浄空気を清浄空間に出来るだけ 均一な風量分布で吹き出して層流を得るようにしている。

【０００７】 しかしながら、有孔板や金網或いはメッシュ等の風量調整板は、全面に亘り均 一な開口率を持つものがほとんどで、こうした風量調整板を設置しても、整流板 的な役目をなすだけで、清浄空間への均一な吹出し風量分布が得られない場合が 多い。例えば、高性能フィルタは送風機からの偏流により部分的に吹出し風量が 異なると共に、その高性能フィルタの周囲枠材の付近に大きなデットスペースが 発生する。また、高性能フィルタは偏平箱状枠内に濾布が波形状（ジグザグ状） に折り曲げて収納されているので、その濾布の山谷によって吹出し風量にバラツ キがある。こうした要因から従来の有孔板や金網或いはメッシュ等の風量調整板 を一枚設置しても、清浄空間への吹出し風量を均一化するなど所要の風量分布パ ターンを得ることができない。

【０００８】 そこで、その対策として、例えば、特開昭６０−１４４５４４号公報に示され ている如く、段階的に内径が小さくなる通気孔を穿設した風量調整板を設置した り、特開昭６１−２１３５４１号公報に示されている如く、互いに開口率が大小 異なる２種類のメッシュ状風量調整板を並列的に設置したり、特開昭６３−１７ ６９４３号公報に示されている如く、開口率を大小変化させた有孔板を２枚直列 的に設置したり、特開昭６３−２５１７４１号公報に示されている如く抵抗板を 設置したりして、高性能フィルタから清浄空間に吹出す風量を均一化するなど所 要の風量分布パターンに調整している。

【０００９】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、前述の如く部分的に内径が大小各種異なる通気孔を穿設した風量調 整板は、その孔開け作業に非常に手間がかかり製作難でコスト高を招く。また、 開口率が異なる２種類のメッシュ或いは有孔板を設置したり抵抗板を設置するこ とは、設置枚数が増えてコスト高を招く上に設置スペースを多く取り、且つ微妙 な風量調整ができないなどの問題があった。

【００１０】 本考案は前記事情に鑑みなされ、その目的とするところは、製作が非常に簡単 で、且つ通風部に複数枚設置しなくとも、通風部の各種状況に応じ所要の風量分 布パターンを自由に得ることができて、クリーンルーム・クリーンベンチ・エア シャワー室等の清浄空間を作るクリーンエアシステムに非常に有効で且つ安価で 経済的な風量調整板を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段と作用】

第１の考案のクリーンエアシステム用風量調整板は、前記目的を達成するため に、目の細かい網状体に樹脂を塗布して部分的に該網状体の孔を閉塞することで 、所要の風量分布パターンに合わせて部分的に開口率を大小変化させたことを特 徴とする。

【００１２】 こうした構成の風量調整板であれば、面倒な孔開け加工が不要で、且つ複数枚 併用する必要もなく、製作並びに通風部への設置が楽で、コストの低減が図れる ようになると共に、各種通風部の状況に応じ所要の最適風量分布パターンが得ら れ、高性能フィルタからの清浄空気のクリーンルームやクリーンベンチへの吹出 し風量分布を均一化したり、局部的にエアカーテンを作ったり、高性能フィルタ への送風機からの空気偏流を補正したりするのに大いに役立つようになる。

【００１３】 第２の考案のクリーンエアシステム用風量調整板は、前記目的を達成するため に、目の細かい網状体に紫外線硬化樹脂を塗布して該網状体の孔を閉塞し、且つ その塗布樹脂層を露光・現像により部分的に除去することで、所要の風量分布パ ターンに合わせて開口率を部分的に大小変化させたことを特徴とする。

【００１４】 こうした構成の風量調整板であれば、前述の第１の考案のものより更に製作が 楽で、しかも各種通風部の状況に応じ所要の最適風量分布パターンが一層自由に 且つきめ細かに得られるようになる。

【００１５】

【実施例】

以下、本考案のクリーンエアシステム用風量調整板の第１の実施例を図１乃至 図３により説明する。なお、ここでは垂直層流型のクリーンベンチに適用した例 を示す。

【００１６】 まず、図３において、図中１はクリーンベンチを示す。このクリーンベンチ１ は前面を開放したボックス形状をなし、内部に作業台空間（清浄空間）２を構成 している。このクリーンベンチ１の天井部に複数個の高性能フィルタ（ＨＥＰＡ ）３が並列状態で水平に配設されていると共に、このフィルタ３より上側の天井 送風空間部４の後方に送風機５が設置されている。この送風機５から天井送風空 間４内に圧送される空気がフィルタ３を通して清浄化されながら、その下側の吹 出口６より作業台空間２に垂直気流として吹出されるようになっている。

【００１７】 前記天井送風空間部４内部には、送風機５から各高性能フィルタ３への気流の 偏流を少なくするための一枚の風量調整板７が該高性能フィルタ３の上面に配し て略水平に張設されている。

【００１８】 また、前記高性能フィルタ３の下側の吹出口６には、作業台空間２内に均一な 風量分布パターンの垂直層流Ａを得るために、該高性能フィルタ３の固有の風速 バラツキの補正と、各高性能フィルタ３相互の周囲枠材の真下付近の気流デット スペースの発生防止を図り、しかも作業台空間２の前面部に高速エアカーテン流 Ｂを生成するために、一枚の風量調整板８が張設されている。更にその下側に格 子状の整流板９が設置されている。

【００１９】 なお、前記クリーンベンチ１内の作業台空間２の底部（床部）には、該作業台 空間２内の垂直層流Ａをそのまま乱さず吸込むルーバーの如き格子状の整流板を 配した吸込口１０が設けられている。その吸込口１０の下側には吸込チャンバー １１が設けられ、この後部に連通して循環ダクト１２が設けられている。この循 環ダクト１２を介し空気が前記送風機５に吸引されて再び天井送風空間部４内へ 圧送されるようになっている。

【００２０】 ここで、前述した高性能フィルタ３の下流側の通風部に配する風量調整板８は 、図１及び図２に示す如く、各々ＳＵＳ金網或いはナイロンメッシュ等の目の細 かい一枚の網状体２０に樹脂２１を塗布して部分的に該網状体２０の孔を閉塞し た構成のものである。

【００２１】 つまり、その風量調整板８は、９０〜４８０メッシュの網状体２０に紫外線硬 化樹脂（ＵＶ樹脂）２１を全面に亘り塗布し、その塗布樹脂層を露光・現像処理 して部分的に除去することで、所要の風量分布パターンに合わせて部分的に開口 率を大小変化させた構成である。

【００２２】 この風量調整板８の開口率のパターンは、まず、作業台空間２内に均一な風量 分布パターンの垂直層流Ａを得るために、図１及び図２に示す如く、高性能フィ ルタ３の固有の風速バラツキの補正、即ち波形状（ジグザグ状）に折り曲げて配 する濾布３１の山部３１ａと谷部３１ｂとによって吹出し風量に大小差があるの で、その吹き出し風量の大きい山部３１ａと対向する付近８ａは開口率が小さく （単位面積当たりの塗布樹脂密度が多く）、吹き出し風量の小さい谷部３１ｂと 対向する付近８ｂは開口率が大きく（単位面積当たりの塗布樹脂密度が少なく） 設定されている。

【００２３】 また、どうしても各高性能フィルタ３の中央が周囲より吹き出し風量が大きい ので、それと対向する中央付近８ｃは開口率が小さく（単位面積当たりの塗布樹 脂密度が多く）設定されている。更に、各高性能フィルタ３相互の周囲枠材３２ （図３参照）の真下付近に気流デットスペースが発生するので、これを防止すべ く、該周囲枠材３２の真下付近８ｄは開口率が大きく（単位面積当たりの塗布樹 脂密度が少なく）設定されている。

【００２４】 その開口孔の幅（内径寸法）や孔相互間隔は０．１５mm以上で自由に大小変化 可能で、高性能フィルタ３の固有の風速バラツキに応じてきめ細かな開口率のパ ターンが設定できる。

【００２５】 また、前記一枚の風量調整板８の同一吹き出し面上で作業台空間２の前面部に 高速エアカーテン流Ｂを生成するために、その風量調整板８の前端縁部８ｅは適 当幅で左右連続的に亘り開口率が最大（樹脂２１が無い状態）に設定されている 。しかも、その高速エアカーテン流Ｂが作業台空間２内の垂直層流Ａを乱さずに 作業台空間２の内外の空気の流通を完全に遮断するように、図３に示す如く該高 速エアカーテン流Ｂから作業台空間２内方に行くに従い徐々に低速となる流速勾 配を持つべく、風量調整板８は前端縁部８ｅの最大開口率部分から徐々に開口率 が小さくなる状態に設定されている。

【００２６】 前記高性能フィルタ３の上流側の通風部に配する風量調整板７は、基本的には 前述の風量調整板８と同様で、各々ＳＵＳ金網或いはナイロンメッシュ等の目の 細かい一枚の網状体に樹脂を塗布して部分的に該網状体の孔を閉塞することで、 所要の風量分布パターンに合わせて部分的に開口率を大小変化させたものである 。

【００２７】 つまり、この風量調整板７は、送風機５から各高性能フィルタ３への気流の偏 流を少なくするために、該送風機５からの距離や角度等により部分的に開口率が 大小変化させられていると共に、高性能フィルタ３の濾布３１の波形方向と直交 する方向に気流を振り分けるべく、該濾布３１の山部３１ａの稜線と直交する方 向に複数本の筋状に開口率の小さい部分を構成し、各高性能フィルタ３の濾布３ １の各部に対し気流を出来るだけ一様に通せるようになっている。

【００２８】 こうした構成の風量調整板７，８を用いたクリーンベンチ１であれば、各風量 調整板７，８の面倒な孔開け加工が不要で、且つ複数枚併用する必要もなく、製 作並びに通風部への設置が楽で、コストの低減が図れるようになると共に、各種 通風部の状況に応じ所要の最適風量分布パターンが自由に且つきめ細かに得られ る。

【００２９】 これにて、前述の如く風量調整板７により送風機５からの空気偏流を補正し、 各高性能フィルタ３に一様に気流を流せるようになると共に、その各高性能フィ ルタ３から作業台空間２内への吹出し風量分布を一枚の風量調整板８により均一 化できる。つまり、高性能フィルタ３の固有の風速バラツキや各高性能フィルタ ３相互の周囲枠材３２の真下付近の気流デットスペースの発生を風量調整板８に より最小に抑えて、作業台空間２内への吹出し風量分布を均一化し、その作業台 空間２内略全域に理想的な垂直層流Ａが得られるようになる。

【００３０】 しかも、その一枚の風量調整板８により、垂直層流Ａと同一吹出し面上にて、 作業台空間２の前面部に内外空気の流通を遮断する高速エアカーテン流Ｂが得ら れると共に、その高速エアカーテン流Ｂが流速勾配を持ち、作業台空間２内の垂 直層流Ａを乱すような悪影響を防止できるようになる。

【００３１】 こうした風量調整板７，８はクリーンルームの天井等の高性能フィルタの上流 側と下流側とにも前述と略同様に設置利用可能で、均一な層流効果を得るのに大 いに効果的となると共に、クリーンルーム内に局部的に吹出し速度勾配を持たせ た所要の気流分布を確保すると言ったことも自由にでき、更にその気流分布のみ ならず高性能フィルタの吹出し有効面積を拡張することもできるようになる。

【００３２】 図４及び図５は、エアシャワー室における吹出ノズル（パンカルーバー）に適 応した風量調整板３０を例示するもので、この風量調整板３０は、前述同様に金 網等の目の細かい一枚の網状体３１に紫外線硬化樹脂（ＵＶ樹脂）３２を塗布し 、その塗布樹脂層を露光・現像処理して部分的に除去することで、所要の風量分 布パターンに合わせて部分的に開口率を大小変化させた構成である。

【００３３】 つまり、図４に示す如く、網状体３１に樹脂３２を全面に亘り塗布し、塗布樹 脂層を露光・現像処理して部分的に除去することで、同心円的な大小複数の円環 状の吹出部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄと、それ以外の遮蔽部３０ｅを形成 した構成で、その円環状の吹出部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄは樹脂を除去 したメッシュのみの部分で、中央寄りの吹出部３０ａの開口幅が最も広く、これ から外周の吹出部３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに行くに従い順次段階的に開口幅が狭 くなるように設定されている。

【００３４】 こうした風量調整板３０をエアシャワー室における吹出ノズルに設置利用した 状態を図５に示す。従来の一点吹出構造のパンカルーバーでは、吹出し後の気流 が周囲気流を大量に巻き込んで流速減衰が大きく、無駄な送風動力を必要として いたなどの問題があったが、この風量調整板３０では中央寄りの吹出部３０ａの 開口幅が最も広く、ここからの清浄空気の吹出し風量が大で、これから外周の吹 出部３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに行くに従い順次段階的に開口幅が狭くなって吹出 し風量が小さくなると言った具合に吹出し速度勾配を持つので、周囲の誘引気流 巻込みが最小となり、中央付近の流速減衰が少なくエアシャワーの到達距離の延 伸が図れ、従来以上の除塵効果が期待できるようになる。また、この風量調整板 ３０を用いることで、従来のパンカルーバーのように凹凸がなく、吹出し面がフ ラットになるので、埃溜まりが少なく、エアシャワー室内の清浄化に有利となる 。更には従来のパンカルーバーよりも、この風量調整板３０の方が安価で設備日 の低減が図れるようになる。

【００３５】 なお、本発明は前述の実施例のみに限定されることなく、例えば前述のクリー ンベンチやクリーンルーム並びにエアシャワー室への適用以外にも、特開昭６１ −１７１５１８号公報に示されているワーククリーン搬送装置の超高性能フィル タの下流側に本考案の風量調整板を設置して、クロスコンタミの要因となる気流 の乱れを防止するようにしても良い。

【００３６】 また、紫外線硬化樹脂以外の樹脂を用いても可であり、この場合、露光・現像 処理の代わりに、予め所要の風量分布パターンに合わせて作成したパターン紙な どを網状体に載せ、その上から樹脂を塗布して、部分的に該網状体の孔を閉塞す ることで、簡単に所要の風量分布パターンに合わせて部分的に開口率を大小変化 させ得ることができる。

【００３７】

【考案の効果】

本考案のクリーンエアシステム用風量調整板は、製作が非常に簡単で、且つ通 風部に複数枚設置しなくとも、通風部の各種状況に応じ所要の風量分布パターン を自由に得ることができて、クリーンルーム・クリーンベンチ・エアシャワー室 等の清浄空間を作るクリーンエアシステムに非常に有効に適用でき、且つ安価で 経済的効果も得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のクリーンエアシステム用風量調整板の
一実施例を示す一部分の平面図。

【図２】同上実施例の風量調整板と高性能フィルタとの
配置関係を示す部分断面図。

【図３】同上実施例の風量調整板をクリーンベンチに適
用した状態の全体の概略的構成を示す断面図。

【図４】本考案のクリーンエアシステム用風量調整板を
エアシャワー室における吹出ノズルに適用した実施例を
示す正面図。

【図５】同上実施例の断面図。

【符号の説明】

３…高性能フィルタ、５…送風機、７，８…風量調整
板、２０，３１…網状体、２１，３２…樹脂（紫外線硬
化樹脂）。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンエアシステムの通風部に設置さ
   れる風量調整板であって、目の細かい網状体に樹脂を塗
   布して部分的に該網状体の孔を閉塞することで、所要の
   風量分布パターンに合わせて部分的に開口率を大小変化
   させたことを特徴とするクリーンエアーシステム用風量
   調整板。
2. 【請求項２】 クリーンエアシステムの通風部に設置さ
   れる風量調整板であって、目の細かい網状体に紫外線硬
   化樹脂を塗布して該網状体の孔を閉塞し、且つその塗布
   樹脂層を露光・現像により部分的に除去することで、所
   要の風量分布パターンに合わせて部分的に開口率を大小
   変化させたことを特徴とするクリーンエアーシステム用
   風量調整板。