JPH06304429A - Ｈｅｐａフィルタユニットおよびその配置方法 - Google Patents
Ｈｅｐａフィルタユニットおよびその配置方法Info
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- JPH06304429A JPH06304429A JP9783293A JP9783293A JPH06304429A JP H06304429 A JPH06304429 A JP H06304429A JP 9783293 A JP9783293 A JP 9783293A JP 9783293 A JP9783293 A JP 9783293A JP H06304429 A JPH06304429 A JP H06304429A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、クリーンルームの天井に配置され
るＨＥＰＡフィルタユニットおよびその配置方法に関
し、処理風量を増大することなく充分な塵埃の遮断効果
を得ることを目的とする。 【構成】 濾材を波状に折曲してＨＥＰＡフィルタを形
成してなるＨＥＰＡフィルタユニットにおいて、前記濾
材の両側の波形状を、内側の濾材の波形状より大きく
し、濾材の両側に大波部を形成して構成する。また、Ｈ
ＥＰＡフィルタユニットを、大波部が相互に隣接しない
ように複数隣接配置して構成する。さらに、ＨＥＰＡフ
ィルタユニットを、同一の波形状が形成されるＨＥＰＡ
フィルタを囲んで複数配置して構成する。
るＨＥＰＡフィルタユニットおよびその配置方法に関
し、処理風量を増大することなく充分な塵埃の遮断効果
を得ることを目的とする。 【構成】 濾材を波状に折曲してＨＥＰＡフィルタを形
成してなるＨＥＰＡフィルタユニットにおいて、前記濾
材の両側の波形状を、内側の濾材の波形状より大きく
し、濾材の両側に大波部を形成して構成する。また、Ｈ
ＥＰＡフィルタユニットを、大波部が相互に隣接しない
ように複数隣接配置して構成する。さらに、ＨＥＰＡフ
ィルタユニットを、同一の波形状が形成されるＨＥＰＡ
フィルタを囲んで複数配置して構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームの天井
に配置されるＨＥＰＡフィルタユニットおよびその配置
方法に関する。
に配置されるＨＥＰＡフィルタユニットおよびその配置
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、天井にＨＥＰＡフィルタ（High E
fficiency Particulate Airfilter ）を敷設したクリー
ンルームとしては、例えば、実開昭６３−９５０３６号
公報，特開平２−１０３３２８号公報等に開示されるも
のが知られている。
fficiency Particulate Airfilter ）を敷設したクリー
ンルームとしては、例えば、実開昭６３−９５０３６号
公報，特開平２−１０３３２８号公報等に開示されるも
のが知られている。
【０００３】そして、従来、全面層流型クリーンルーム
においては、ＨＥＰＡフィルタからの吹き出し風速は、
塵埃の遮断を目的とする場合には、０．４５ｍ／ｓが推
奨されている（例えば、ASHRAE 1982 APPLICATION HAND
BOOK）。
においては、ＨＥＰＡフィルタからの吹き出し風速は、
塵埃の遮断を目的とする場合には、０．４５ｍ／ｓが推
奨されている（例えば、ASHRAE 1982 APPLICATION HAND
BOOK）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに、ＨＥＰＡフィルタからの吹き出し風速を、０．４
５ｍ／ｓにして運転する場合には、処理風量が増大し、
イニシャルコストおよびランニングコストが増大すると
いう問題があった。
うに、ＨＥＰＡフィルタからの吹き出し風速を、０．４
５ｍ／ｓにして運転する場合には、処理風量が増大し、
イニシャルコストおよびランニングコストが増大すると
いう問題があった。
【０００５】そこで、従来、イニシャルコストおよびラ
ンニングコストを抑制するため、ＨＥＰＡフィルタから
の吹き出し風速を、０．２５〜０．３５ｍ／ｓにして運
転することが行われているが、この風速では、必ずしも
充分な塵埃の遮断効果を得ることができないという問題
があった。
ンニングコストを抑制するため、ＨＥＰＡフィルタから
の吹き出し風速を、０．２５〜０．３５ｍ／ｓにして運
転することが行われているが、この風速では、必ずしも
充分な塵埃の遮断効果を得ることができないという問題
があった。
【０００６】本発明は、かかる従来の問題を解決するた
めになされたもので、処理風量を増大することなく充分
な塵埃の遮断効果を得ることができるＨＥＰＡフィルタ
ユニットおよびその配置方法を提供することを目的とす
る。
めになされたもので、処理風量を増大することなく充分
な塵埃の遮断効果を得ることができるＨＥＰＡフィルタ
ユニットおよびその配置方法を提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１のＨＥＰＡフィ
ルタユニットは、濾材を波状に折曲してＨＥＰＡフィル
タを形成してなるＨＥＰＡフィルタユニットにおいて、
前記濾材の両側の波形状を、内側の濾材の波形状より大
きくし、濾材の両側に大波部を形成してなるものであ
る。
ルタユニットは、濾材を波状に折曲してＨＥＰＡフィル
タを形成してなるＨＥＰＡフィルタユニットにおいて、
前記濾材の両側の波形状を、内側の濾材の波形状より大
きくし、濾材の両側に大波部を形成してなるものであ
る。
【０００８】請求項２のＨＥＰＡフィルタユニットの配
置方法は、請求項１記載のＨＥＰＡフィルタユニット
を、大波部が相互に隣接しないように複数隣接配置する
ものである。
置方法は、請求項１記載のＨＥＰＡフィルタユニット
を、大波部が相互に隣接しないように複数隣接配置する
ものである。
【０００９】請求項３のＨＥＰＡフィルタユニットの配
置方法は、請求項１記載のＨＥＰＡフィルタユニット
を、同一の波形状が形成されるＨＥＰＡフィルタを囲ん
で複数配置するものである。
置方法は、請求項１記載のＨＥＰＡフィルタユニット
を、同一の波形状が形成されるＨＥＰＡフィルタを囲ん
で複数配置するものである。
【００１０】
【作用】請求項１のＨＥＰＡフィルタユニットでは、濾
材の両側の波形状を、内側の濾材の波形状より大きくし
たので、濾材の両側の大波部の通過風量が大きくなり、
ＨＥＰＡフィルタの両側に高流速域が形成される。
材の両側の波形状を、内側の濾材の波形状より大きくし
たので、濾材の両側の大波部の通過風量が大きくなり、
ＨＥＰＡフィルタの両側に高流速域が形成される。
【００１１】請求項２のＨＥＰＡフィルタユニットの配
置方法では、請求項１記載のＨＥＰＡフィルタユニット
を、大波部が相互に隣接しないように複数隣接配置した
ので、各ＨＥＰＡフィルタユニットの外周に沿って高流
速域が形成される。
置方法では、請求項１記載のＨＥＰＡフィルタユニット
を、大波部が相互に隣接しないように複数隣接配置した
ので、各ＨＥＰＡフィルタユニットの外周に沿って高流
速域が形成される。
【００１２】請求項３のＨＥＰＡフィルタユニットの配
置方法では、請求項１記載のＨＥＰＡフィルタユニット
を、同一の波形状が形成される通常のＨＥＰＡフィルタ
を囲んで複数配置したので、通常のＨＥＰＡフィルタの
外側に高流速域を形成することができる。
置方法では、請求項１記載のＨＥＰＡフィルタユニット
を、同一の波形状が形成される通常のＨＥＰＡフィルタ
を囲んで複数配置したので、通常のＨＥＰＡフィルタの
外側に高流速域を形成することができる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１および図２は、本発明のＨＥＰＡフィルタユ
ニットの一実施例を示しており、図において符号１１
は、ユニット本体を示している。
する。図１および図２は、本発明のＨＥＰＡフィルタユ
ニットの一実施例を示しており、図において符号１１
は、ユニット本体を示している。
【００１４】このユニット本体１１内には、濾材１３を
波状に折曲してなるＨＥＰＡフィルタ１５が収容されて
いる。この実施例では、濾材１３の両側の波形状が、内
側の濾材１３の波形状より大きくされている。
波状に折曲してなるＨＥＰＡフィルタ１５が収容されて
いる。この実施例では、濾材１３の両側の波形状が、内
側の濾材１３の波形状より大きくされている。
【００１５】すなわち、濾材１３の両側に大波部１７が
形成され、これ等の間に小波部１９が形成されている。
従って、ＨＥＰＡフィルタ１５の両側が高流速域Ａとさ
れ、この高流速域Ａの間が低速流域Ｂとされる。
形成され、これ等の間に小波部１９が形成されている。
従って、ＨＥＰＡフィルタ１５の両側が高流速域Ａとさ
れ、この高流速域Ａの間が低速流域Ｂとされる。
【００１６】すなわち、図３の（ａ），（ｂ）に示すよ
うに、小波部１９と大波部１７とを比較すると、濾材１
３自体の通風抵抗が同一で、かつ、濾材１３の内側と外
側との圧力差が同一の場合には、単位長さにおける大波
部１７の濾材１３の表面積が、小波部１９の濾材１３の
表面積より大きくなるため、大波部１７を通過する風量
が、小波部１９を通過する風量より大きくなり、この結
果、大波部１７の下方に風の流れが速い高流速域Ａが形
成され、小波部１９の下方に風の流れが比較的遅い低速
流域Ｂが形成される。
うに、小波部１９と大波部１７とを比較すると、濾材１
３自体の通風抵抗が同一で、かつ、濾材１３の内側と外
側との圧力差が同一の場合には、単位長さにおける大波
部１７の濾材１３の表面積が、小波部１９の濾材１３の
表面積より大きくなるため、大波部１７を通過する風量
が、小波部１９を通過する風量より大きくなり、この結
果、大波部１７の下方に風の流れが速い高流速域Ａが形
成され、小波部１９の下方に風の流れが比較的遅い低速
流域Ｂが形成される。
【００１７】この実施例では、高流速域Ａの風速が、例
えば、０．４５ｍ／ｓとされ、低速流域Ｂの風速が、例
えば、０．１５ｍ／ｓとされ、さらに、高流速域Ａと低
速流域Ｂとを合わせた平均風速が、３ｍ／ｓ以下になる
ように大波部１７および小波部１９の波形状が設定され
ている。
えば、０．４５ｍ／ｓとされ、低速流域Ｂの風速が、例
えば、０．１５ｍ／ｓとされ、さらに、高流速域Ａと低
速流域Ｂとを合わせた平均風速が、３ｍ／ｓ以下になる
ように大波部１７および小波部１９の波形状が設定され
ている。
【００１８】図４および図５は、上述したＨＥＰＡフィ
ルタユニットを複数使用したクリーンルームを示すもの
で、このクリーンルームでは、天井２１の下方に、天井
２１から所定間隔を置いて、多数のＨＥＰＡフィルタユ
ニット２３が配置されており、室外に設けた送風機２５
により、天井２１とＨＥＰＡフィルタユニット２３との
間の空間に循環空気が供給され、供給された循環空気
は、ＨＥＰＡフィルタユニット２３を通過することによ
り清浄度が高められ、クリーンルーム内へ吹き出されて
いる。
ルタユニットを複数使用したクリーンルームを示すもの
で、このクリーンルームでは、天井２１の下方に、天井
２１から所定間隔を置いて、多数のＨＥＰＡフィルタユ
ニット２３が配置されており、室外に設けた送風機２５
により、天井２１とＨＥＰＡフィルタユニット２３との
間の空間に循環空気が供給され、供給された循環空気
は、ＨＥＰＡフィルタユニット２３を通過することによ
り清浄度が高められ、クリーンルーム内へ吹き出されて
いる。
【００１９】そして、このクリーンルームでは、ＨＥＰ
Ａフィルタユニット２３が、その両側の大波部１７が相
互に隣接しないように隣接配置されている。すなわち、
この実施例では、各ＨＥＰＡフィルタユニット２３が正
方形形状をしており、隣接するＨＥＰＡフィルタユニッ
ト２３において、大波部１７の波方向が相互に垂直な方
向になるように配置されている。
Ａフィルタユニット２３が、その両側の大波部１７が相
互に隣接しないように隣接配置されている。すなわち、
この実施例では、各ＨＥＰＡフィルタユニット２３が正
方形形状をしており、隣接するＨＥＰＡフィルタユニッ
ト２３において、大波部１７の波方向が相互に垂直な方
向になるように配置されている。
【００２０】しかして、以上のように構成されたＨＥＰ
Ａフィルタユニットでは、濾材１３の両側の波形状を、
内側の濾材１３の波形状より大きくしたので、濾材１３
の両側の大波部１７の通過風量が大きくなり、ＨＥＰＡ
フィルタ１５の両側に高流速域Ａが形成され、この高流
速域Ａにより塵埃の拡散が遮断され、一方、低速流域Ｂ
における風量が比較的少ないため、処理風量を増大する
ことなく充分な塵埃の遮断効果を得ることができる。
Ａフィルタユニットでは、濾材１３の両側の波形状を、
内側の濾材１３の波形状より大きくしたので、濾材１３
の両側の大波部１７の通過風量が大きくなり、ＨＥＰＡ
フィルタ１５の両側に高流速域Ａが形成され、この高流
速域Ａにより塵埃の拡散が遮断され、一方、低速流域Ｂ
における風量が比較的少ないため、処理風量を増大する
ことなく充分な塵埃の遮断効果を得ることができる。
【００２１】また、上述したＨＥＰＡフィルタユニット
の配置方法では、ＨＥＰＡフィルタユニット２３を、大
波部１７が相互に隣接しないように複数隣接配置したの
で、各ＨＥＰＡフィルタユニット２３の外周に沿って高
流速域Ａが形成され、この高流速域Ａにより、隣接する
ＨＥＰＡフィルタユニット２３側への塵埃の拡散が遮断
され、一方、低速流域Ｂにおける風量が比較的少ないた
め、処理風量を増大することなく充分な塵埃の遮断効果
を得ることができる。
の配置方法では、ＨＥＰＡフィルタユニット２３を、大
波部１７が相互に隣接しないように複数隣接配置したの
で、各ＨＥＰＡフィルタユニット２３の外周に沿って高
流速域Ａが形成され、この高流速域Ａにより、隣接する
ＨＥＰＡフィルタユニット２３側への塵埃の拡散が遮断
され、一方、低速流域Ｂにおける風量が比較的少ないた
め、処理風量を増大することなく充分な塵埃の遮断効果
を得ることができる。
【００２２】すなわち、例えば、図６に示すように、所
謂スペーストンネル方式により、風速が０．４５ｍ／ｓ
の高流速のＨＥＰＡフィルタユニット２７と、風速が
０．１５ｍ／ｓの低流速のＨＥＰＡフィルタユニット２
９を、交互に配置する場合には、矢符で示す図の斜め方
向の塵埃の遮断を行うことが困難になるが、この実施例
の配置方法では、各ＨＥＰＡフィルタユニット２３の外
周に沿って確実に高流速域Ａが形成されるため、充分な
塵埃の遮断効果を得ることが可能になる。
謂スペーストンネル方式により、風速が０．４５ｍ／ｓ
の高流速のＨＥＰＡフィルタユニット２７と、風速が
０．１５ｍ／ｓの低流速のＨＥＰＡフィルタユニット２
９を、交互に配置する場合には、矢符で示す図の斜め方
向の塵埃の遮断を行うことが困難になるが、この実施例
の配置方法では、各ＨＥＰＡフィルタユニット２３の外
周に沿って確実に高流速域Ａが形成されるため、充分な
塵埃の遮断効果を得ることが可能になる。
【００２３】図７は、本発明のＨＥＰＡフィルタユニッ
トの配置方法の他の実施例を示すもので、この実施例で
は、ＨＥＰＡフィルタユニット２３が、同一の波形状が
形成される通常のＨＥＰＡフィルタ３１を囲んで複数配
置されている。
トの配置方法の他の実施例を示すもので、この実施例で
は、ＨＥＰＡフィルタユニット２３が、同一の波形状が
形成される通常のＨＥＰＡフィルタ３１を囲んで複数配
置されている。
【００２４】そして、各ＨＥＰＡフィルタユニット２３
の小波部１９および大波部１７の波方向が、通常のＨＥ
ＰＡフィルタ３１に対して垂直な方向になるように配置
されている。
の小波部１９および大波部１７の波方向が、通常のＨＥ
ＰＡフィルタ３１に対して垂直な方向になるように配置
されている。
【００２５】この配置方法では、通常のＨＥＰＡフィル
タ３１の外側に高流速域Ａが形成され、この高流速域Ａ
により塵埃の拡散が遮断されるため、ＨＥＰＡフィルタ
ユニット２３の下方に装置等を配置する場合には、通常
のＨＥＰＡフィルタ３１における風量を比較的少なくす
ることができるため、処理風量を増大することなく充分
な塵埃の遮断効果を得ることができる。
タ３１の外側に高流速域Ａが形成され、この高流速域Ａ
により塵埃の拡散が遮断されるため、ＨＥＰＡフィルタ
ユニット２３の下方に装置等を配置する場合には、通常
のＨＥＰＡフィルタ３１における風量を比較的少なくす
ることができるため、処理風量を増大することなく充分
な塵埃の遮断効果を得ることができる。
【００２６】
【発明の効果】以上述べたように、請求項１のＨＥＰＡ
フィルタユニットでは、濾材の両側の波形状を、内側の
濾材の波形状より大きくしたので、濾材の両側の大波部
の通過風量が大きくなり、ＨＥＰＡフィルタの両側に高
流速域が形成され、この高流速域により塵埃の拡散が遮
断されるため、処理風量を増大することなく充分な塵埃
の遮断効果を得ることができる。
フィルタユニットでは、濾材の両側の波形状を、内側の
濾材の波形状より大きくしたので、濾材の両側の大波部
の通過風量が大きくなり、ＨＥＰＡフィルタの両側に高
流速域が形成され、この高流速域により塵埃の拡散が遮
断されるため、処理風量を増大することなく充分な塵埃
の遮断効果を得ることができる。
【００２７】また、請求項２のＨＥＰＡフィルタユニッ
トの配置方法では、請求項１記載のＨＥＰＡフィルタユ
ニットを、大波部が相互に隣接しないように複数隣接配
置したので、各ＨＥＰＡフィルタユニットの外周に沿っ
て高流速域が形成され、この高流速域により塵埃の拡散
が遮断されるため、処理風量を増大することなく充分な
塵埃の遮断効果を得ることができる。
トの配置方法では、請求項１記載のＨＥＰＡフィルタユ
ニットを、大波部が相互に隣接しないように複数隣接配
置したので、各ＨＥＰＡフィルタユニットの外周に沿っ
て高流速域が形成され、この高流速域により塵埃の拡散
が遮断されるため、処理風量を増大することなく充分な
塵埃の遮断効果を得ることができる。
【００２８】さらに、請求項３のＨＥＰＡフィルタユニ
ットの配置方法では、請求項１記載のＨＥＰＡフィルタ
ユニットを、同一の波形状が形成される通常のＨＥＰＡ
フィルタを囲んで複数配置したので、通常のＨＥＰＡフ
ィルタの外側に高流速域が形成され、この高流速域によ
り塵埃の拡散が遮断されるため、処理風量を増大するこ
となく充分な塵埃の遮断効果を得ることができるという
利点がある。
ットの配置方法では、請求項１記載のＨＥＰＡフィルタ
ユニットを、同一の波形状が形成される通常のＨＥＰＡ
フィルタを囲んで複数配置したので、通常のＨＥＰＡフ
ィルタの外側に高流速域が形成され、この高流速域によ
り塵埃の拡散が遮断されるため、処理風量を増大するこ
となく充分な塵埃の遮断効果を得ることができるという
利点がある。
【図１】本発明のＨＥＰＡフィルタユニットの一実施例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図２】図１の上面図である。
【図３】図１のＨＥＰＡフィルタユニットの大波部と小
波部とを通過する風量を示す説明図である。
波部とを通過する風量を示す説明図である。
【図４】図１のＨＥＰＡフィルタユニットを使用したク
リーンルームを示す断面図である。
リーンルームを示す断面図である。
【図５】図４のクリーンルームのＨＥＰＡフィルタユニ
ットを示す上面図である。
ットを示す上面図である。
【図６】流速の異なる通常のＨＥＰＡフィルタユニット
を交互に配置した状態を示す説明図である。
を交互に配置した状態を示す説明図である。
【図７】本発明のＨＥＰＡフィルタユニットの配置方法
の他の実施例を示す上面図である。
の他の実施例を示す上面図である。
１３ 濾材 １５ ＨＥＰＡフィルタ １７ 大波部 １９ 小波部 ２３ ＨＥＰＡフィルタユニット Ａ 高流速域 Ｂ 低速流域
Claims (3)
- 【請求項１】 濾材を波状に折曲してＨＥＰＡフィルタ
を形成してなるＨＥＰＡフィルタユニットにおいて、前
記濾材の両側の波形状を、内側の濾材の波形状より大き
くし、濾材の両側に大波部を形成してなることを特徴と
するＨＥＰＡフィルタユニット。 - 【請求項２】 請求項１記載のＨＥＰＡフィルタユニッ
トを、大波部が相互に隣接しないように複数隣接配置す
ることを特徴とするＨＥＰＡフィルタユニットの配置方
法。 - 【請求項３】 請求項１記載のＨＥＰＡフィルタユニッ
トを、同一の波形状が形成されるＨＥＰＡフィルタを囲
んで複数配置することを特徴とするＨＥＰＡフィルタユ
ニットの配置方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09783293A JP3279383B2 (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | Ｈｅｐａフィルタユニットの配置構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09783293A JP3279383B2 (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | Ｈｅｐａフィルタユニットの配置構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06304429A true JPH06304429A (ja) | 1994-11-01 |
| JP3279383B2 JP3279383B2 (ja) | 2002-04-30 |
Family
ID=14202697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09783293A Expired - Fee Related JP3279383B2 (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | Ｈｅｐａフィルタユニットの配置構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3279383B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1089724A (ja) * | 1996-09-10 | 1998-04-10 | Taikisha Ltd | 空調設備 |
| JP2003148777A (ja) * | 2002-11-11 | 2003-05-21 | Dai-Dan Co Ltd | 局所空気清浄装置 |
| JP2011200798A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Nitta Corp | ファンフィルタユニット |
| JP2017219219A (ja) * | 2016-06-06 | 2017-12-14 | 清水建設株式会社 | クリーンルーム用空調システム |
-
1993
- 1993-04-23 JP JP09783293A patent/JP3279383B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1089724A (ja) * | 1996-09-10 | 1998-04-10 | Taikisha Ltd | 空調設備 |
| JP2003148777A (ja) * | 2002-11-11 | 2003-05-21 | Dai-Dan Co Ltd | 局所空気清浄装置 |
| JP2011200798A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Nitta Corp | ファンフィルタユニット |
| JP2017219219A (ja) * | 2016-06-06 | 2017-12-14 | 清水建設株式会社 | クリーンルーム用空調システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3279383B2 (ja) | 2002-04-30 |
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