KR950704657A - 청정실 천정에서 소용돌이를 감소시키기 위한 방법 및 장치(Method and device for reducing vortices at a cleanroom celling) - Google Patents

청정실 천정에서 소용돌이를 감소시키기 위한 방법 및 장치(Method and device for reducing vortices at a cleanroom celling)

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Abstract

청정실내의 천정 구조체는 격자형 지지 구조의 개방부에 지지된 종래의 HEPA필터가 정렬 배치되며, 상기 천정 구조체는 격자형 지지 구조체의 개방부 각각의 최하부 실내 둘레부에 인접하여 결합된 겔 트랙을 구비하고 있다. 둘레 플랜지를 구비하는 HEPA 필터는 천정 수준과 거의 같은 수준의 겔 트랙에 함침된 둘레 플랜지의 천정 모서리를 가지므로서 천정 구조체내에 현수된다. 경사진 채널이 겔 트랙의 경사진 벽을 따라 형성되어, 경사진 벽의 하향 연장부가 격자형지지 구조체 밑에 소용돌이 영역쪽으로 돌출된다. HEPA필터를 지나가는 여과된 공기는 소용돌이 영역으로부터의 미립자 오염물이 날라가기에 충분한 속도로 흐름 채널쪽으로 향해진다.

Description

청정실 천정에서 소용돌이를 감소시키기 위한 방법 및 장치(Method and device for reducing vortices at a cleanroom celling)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따라 구조된 HEPA필터 시스템을 갖춘 평탄한 광 장착 천정을 도시하는 청정실 엔클로저의 절단 사시도, 제2도는 천정 지지 격자부의 횡단부재 밑에 소용돌이 구역의 발생을 나타내는 종래기술 구조체의 단면도, 제3도는 회전 스크린과 조합된 횡단부재에 HEPA필터를 부착시킨 구조를 확대 도시하고, 제1도의 천정 횡단 부재의 평탄한 구조의 단면도, 제4도는 다른 실시예로서 상관 둘레 스크린 구조와 횡단부재의 단면도.

Claims (15)

  1. 격자형지지 구조체의 개방부에 지지된 HEPA필터가 정렬배치된, 청정실내의 천정 구조체에 있어서, 상기 천정 구조체는: 격자형 지지 구조체내의 적어도 한 개방부의 최저부 실내 둘레에 인접한 청정실 실내 천정에서의 노출 표면과 결합되는 겔 트랙과; 천정 수단과 아주 근접한 겔 트랙내에 현수된 밀봉모서리를 가지고 HEPA필터의 노출 표면에 인접하여 결합된 둘레 플랜지를 구비하는 적어도 한 개의 HEPA필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 천정 구조체.
  2. 격자형 지지 구조체의 개방부에 지지된 HEPA필터가 정렬배치된 청정실내의 천정 구조체에 있어서, 상기 천정 구조체는, 그로부터의 미립자 오염물을 제거하는 공기 스트림을 갖추고, 격자형 구조체의 각각의 개방부사이와 그리고 격자형 지지 구조체 바로 밑에 소용돌이부를 평탄하게 하기 위한 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 천정 구조체.
  3. 제2항에 있어서, 격자형 지지 구조체내의 적어도 한 개방부의 최저부 실내둘레에 인접한 청정실 실내 천정의 노출 표면과 결합하는 겔 트랙과; 천정 수준에 아주 근접한 겔 트랙내에 현수된 밀봉모서리를 갖고 HEPA필터의 노출 표면에 인접하여 결합된 둘레플랜지를 구비하는 적어도 한개의 HEPA필터를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 천정 구조체.
  4. 제2항에 있어서, 소용돌이부를 평탄하게 하는 수단은, 상기 소용돌이부쪽으로 공기의 스트림이 향해지게 하는 구조 형상으로 되고 상기 천정 구조체내에서 한정되는 채널을 포함하는 것을 특징으로 하는 천정 구조체.
  5. 제4항에 있어서, 상기 채널은, 수직선으로부터 경사진 이동 방향을 갖는 통로를 따라서 공기의 스트림이 향해지게 하는 것을 특징으로 하는 천정 구조체.
  6. 제5항에 있어서, 상기 통로의 이동 방향은 수직선에 대해서 40도 내지 60도의 범위내에 각도로 경사진 것을 특징으로 하는 천정 구조체.
  7. 제4항에 있어서, 상기 채널은 적어도 한개의 HEPA필터로부터 상기 소용돌이부쪽으로 공기의 스트림이 향해지는 구조 형상인 것을 특징으로 하는 천정 구조체.
  8. 제3항, 제4항, 제5항, 또는 제6항에 있어서, 다수개의 개방부를 한정하는 스크린은 상기 채널의 제1개방 단부와 상기 HEPA필터 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 천정 구조체.
  9. 제8항에 있어서, 상기 채널은 측벽을 구비하고, 상기 측벽은 적어도 한 개의 HEPA필터로부터 채널내로의 공기의 흐름을 용이하게 하기 위해 그안에 배치된 다수개의 개방부를 한정하는 것을 특징으로 하는 천정 구조체.
  10. 제9항에 있어서, 상기 측벽에 있는 다수개의 개방부는 측벽의 길이를 따라서 배치되는 것을 특징으로 하는 천정 구조체.
  11. 제9항에 또는 제10항에 있어서, 상기 측벽내의 개방부는, HEPA필터로부터 하향 방향으로 향하는 공기 흐름율과 비교하여 더 높은 상기 소용돌이부 쪽으로 채널내로 흐르는 공기 흐름율을 제공하는 노즐 효과가 발휘되는 구조 형상인 것을 특징으로 하는 천정 구조체.
  12. 청정실 엔클로저 위해HEPA필터를 지지하는 격자형 매트릭스를 형성한 횡단 부재 바로밑에 소용돌이 공간으로부터 미립자 물질을 제거하는 방법에 있어서, 상기 방법은; a)격자형 매트릭스에, 인접한 횡단 부재밑에 소용돌이부쪽으로 향해지고 수직선으로부터 경사진 이동 방향을 갖는 통로를 한정하는 채널을 형성하는 단계와; b)상기 소용돌이 공간쪽으로 향해져 있는 최종 공기흐름으로, 채널내로 HEPA 필터를 통하는 공기를 가압하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 물질 제거방법.
  13. 제12항에 있어서, 스크린을 통해 지나가는 공기 흐름과 비교하여 고속도의 공기 흐름이 채널내에서 발생되도록 경사진 둘레 채널을 통하는 공기 흐름율을 조정하는 단계도 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 물질제거방법.
  14. 제12항 또는 제13항에 있어서, 청정실 실내 천정의 노출 표면에 인접한 횡단 부재에 접속되는 겔 트랙지지부에 HEPA필터의 둘레 지지 플랜지를 배치하여 격자형 매트릭스의 각각의 개방부내에 적어도 한 개의 HEPA필터를 현수하는 단계도 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 물질 제거방법.
  15. 제12항 또는 제14항에 있어서, 소용돌이 공간 바로 밑에 함침된 공기 흐름율이 스크린을 통해 지나가는 공기 흐름율과 매치되도록 경사진 둘레 채널을 통하는 공기 흐름율을 조정하는 단계도 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 물질 제거방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950701840A 1992-11-06 1993-11-05 청정실 천정에서 소용돌이를 감소시키기 위한 방법 및 장치 KR0171960B1 (ko)

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