JPH10300146A

JPH10300146A - クリーンルーム

Info

Publication number: JPH10300146A
Application number: JP10735597A
Authority: JP
Inventors: Seiji Uehara; 誠司上原; Yasushi Suzuki; 康司鈴木
Original assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Current assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Priority date: 1997-04-24
Filing date: 1997-04-24
Publication date: 1998-11-13

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、半導体工場，精密機械工場および
薬品工場などに設置される格子枠にフィルタを敷設する
システム天井を用いた垂直層流方式のクリーンルームに
関し、フィルタの配置枚数を従来に比べ大幅に低減し、
設備費および維持費を大幅に低減することができるクリ
ーンルームを提供することを目的とする。【解決手段】天井フレームを縦横に配置して天井部に
格子枠を形成するとともに、この格子枠にフィルタを配
置してなる垂直層流方式のクリーンルームにおいて、格
子枠に所定の配置間隔を置いてフィルタを配置し、残り
の格子枠に無孔板を配置するとともに、フィルタの下方
に凸板形状の拡散ユニットを凸面を下に向けて配置し、
この拡散ユニットに、側方および下方への清浄空気の必
要吹出量に応じて多数の小孔を形成してなることを特徴
とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場，精密
機械工場および薬品工場などに設置されるクリーンルー
ムに係わり、特に格子枠にフィルタを敷設するシステム
天井を用いた垂直層流方式のクリーンルームに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体工場，精密機械工場および
薬品工場などに設置される垂直層流方式のクリーンルー
ムとして、図２０および図２１に示すものが知られてい
る。図において、符号１ａ，１ｂは天井フレームであ
り、この天井フレーム１ａ，１ｂにより格子枠３が複数
形成されている。

【０００３】この格子枠３には、全てフィルタ５が配置
され、システム天井７が形成されている。このシステム
天井７は、クリーンルーム室内９ａの上方に配置され、
システム天井７の上方には、天井チャンバ９ｂが形成さ
れている。

【０００４】クリーンルーム室内９ａの下方には、グレ
ーチング床１１が配置され、このグレーチング床１１の
下方に床下チャンバ９ｃが形成されている。上述したク
リーンルームでは、天井チャンバ９ｂに供給される空気
１３がフィルタ５により濾過される。濾過により清浄化
された清浄空気１３ａは、システム天井７の全面から均
一にクリーンルーム室内９ａに流れ、クリーンルーム室
内９ａに滞留する汚染粒子１５とともに、グレーチング
床１１を通って床下チャンバ９ｃに流れる。

【０００５】そして、クリーンルーム室内９ａが清浄化
される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなクリーンルームでは、格子枠３の全てにフィルタ５
を配置したため、フィルタ５が多数必要になり、また、
システム天井７の全面から清浄空気１３ａをクリーンル
ーム室内９ａに供給するため、換気量が大幅に増え、大
型の換気設備が必要になり、設備費が増大するという問
題があった。

【０００７】このため、多数のフィルタ５を定期的に交
換しなくてはならず、また、設備が大型化するため、消
耗費，運転経費等の維持費が増大するという問題があっ
た。本発明は、かかる従来の問題点を解決するためにな
されたもので、フィルタの配置枚数を従来に比べ大幅に
低減し、設備費および維持費を大幅に低減することがで
きる垂直層流方式のクリーンルームを提供することを目
的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１のクリーンルー
ムは、天井フレームを縦横に配置して天井部に格子枠を
形成するとともに、この格子枠にフィルタを配置してな
る垂直層流方式のクリーンルームにおいて、前記格子枠
に所定の配置間隔を置いて前記フィルタを配置し、残り
の前記格子枠に無孔板を配置するとともに、前記フィル
タの下方に凸板形状の拡散ユニットを凸面を下に向けて
配置し、この拡散ユニットに、側方および下方への清浄
空気の必要吹出量に応じて多数の小孔を形成してなるこ
とを特徴とする。

【０００９】請求項２のクリーンルームは、請求項１記
載のクリーンルームにおいて、前記拡散ユニットの側方
および下方への清浄空気の必要吹出量に応じて、前記小
孔の形状または間隔を変えてなることを特徴とする。請
求項３のクリーンルームは、請求項１または請求項２記
載のクリーンルームにおいて、前記格子枠に前記フィル
タを千鳥配置してなることを特徴とする。

【００１０】請求項４のクリーンルームは、請求項１ま
たは請求項２記載のクリーンルームにおいて、前記格子
枠に前記フィルタを斜め配置してなることを特徴とす
る。請求項５のクリーンルームは、請求項１または請求
項２記載のクリーンルームにおいて、前記格子枠に配置
する前記フィルタの周囲に前記無孔板を隣接配置してな
ることを特徴とする。

【００１１】請求項６のクリーンルームは、請求項１ま
たは請求項２記載のクリーンルームにおいて、前記格子
枠に前記フィルタを直列に隣接配置してフィルタ列を形
成するとともに、これ等フィルタ列の間の前記格子枠に
前記無孔板を配置してなることを特徴とする。請求項７
のクリーンルームは、請求項１ないし請求項６のいずれ
か１項記載のクリーンルームにおいて、前記格子枠の側
面に沿って、係止用枠を固定するとともに、前記拡散ユ
ニットの上端開口に取付枠を形成し、この取付枠を前記
係止用枠の外側からねじ止めしてなることを特徴とす
る。

【００１２】請求項８のクリーンルームは、請求項１な
いし請求項６のいずれか１項記載のクリーンルームにお
いて、前記拡散ユニットの上端開口に形成される取付枠
の先端を外向きに折り返して支持部を形成するととも
に、前記格子枠の上面に、開口端を上に向けて容器部を
形成し、この容器部に充填される液状シールに、前記フ
ィルタの突出端と前記拡散ユニットの支持部とを浸漬し
てなることを特徴とする。

【００１３】請求項９のクリーンルームは、請求項１な
いし請求項６のいずれか１項記載のクリーンルームにお
いて、前記空気拡散ユニットの上端開口に形成される取
付枠の先端を水平方向に向けて外向きに折曲して支持部
を形成するとともに、この支持部を前記フィルタの下端
に固定されるガスケットと前記格子枠の上面に固定され
るガスケットとの間に挟持してなることを特徴とする。

【００１４】（作用）請求項１のクリーンルームでは、
格子枠に所定の配置間隔を置いてフィルタが配置され、
残りの格子枠に無孔板が配置され、フィルタの下方に、
側方および下方への清浄空気の必要吹出量に応じる多数
の小孔を形成した拡散ユニットが配置される。

【００１５】そして、フィルタにより濾過された清浄空
気が、拡散ユニットの小孔を通り、渦流を発生すること
なく拡散し各方向に均一に供給され、クリーンルーム室
内が清浄化される。請求項２のクリーンルームでは、拡
散ユニットの下方および側方へ所望量の清浄空気が吹き
出すように、小孔の形状または間隔が変えられ、清浄空
気が、渦流を発生することなく拡散し各方向に均一に供
給され、クリーンルーム室内が清浄化される。

【００１６】請求項３のクリーンルームでは、格子枠に
フィルタが千鳥形状に配置され、少数枚のフィルタによ
り、清浄空気がクリーンルーム内に供給され、クリーン
ルーム内が清浄化される。請求項４のクリーンルームで
は、格子枠にフィルタが斜めに配置され、少数枚のフィ
ルタにより、清浄空気がクリーンルーム内に供給され、
クリーンルーム内が清浄化される。

【００１７】請求項５のクリーンルームでは、格子枠に
配置されるフィルタの周囲に無孔板が隣接配置され、最
小限の枚数のフィルタにより、清浄空気がクリーンルー
ム内に供給され、クリーンルーム内が清浄化される。請
求項６のクリーンルームでは、格子枠にフィルタが直列
配置され、少数枚のフィルタにより、清浄空気がクリー
ンルーム内に供給され、クリーンルーム内が清浄化され
る。

【００１８】請求項７のクリーンルームでは、格子枠の
側面に沿って係止用枠が固定され、拡散ユニットの上端
開口に取付枠が形成される。そして、この取付枠が係止
用枠に配置され、係止用枠の外側からねじ止めされ、拡
散ユニットが格子枠に取り付けられる。請求項８のクリ
ーンルームでは、拡散ユニットの上端開口に形成される
取付枠の先端が外向きに折り返され支持部が形成され、
この支持部が、液状シールが充填される格子枠の容器部
に、フィルタの突出端とともに浸漬され、拡散ユニット
が格子枠に取り付けられる。

【００１９】請求項９のクリーンルームでは、拡散ユニ
ットの上端開口に形成される取付枠の先端を水平方向に
向けて外向きに折曲して支持部が形成され、この支持部
がフィルタと格子枠との間に挟持され、拡散ユニットが
格子枠に取り付けられる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
用いて説明する。

【００２１】図１および図２は、本発明のクリーンルー
ムの第１の実施形態（請求項１ないし請求項３に対応す
る）を示しており、このクリーンルームでは、クリーン
ルーム室内２１ａの上方に、システム天井２３が配置さ
れている。そして、このシステム天井２３の上方には、
天井チャンバ２１ｂが形成されている。

【００２２】クリーンルーム室内２１ａの下方には、グ
レーチング床２５が配置され、このグレーチング床２５
の下方に、床下チャンバ２１ｃが形成されている。クリ
ーンルーム室内２１ａの側方には、天井チャンバ２１ｂ
から床下チャンバ２１ｃに延在する側壁２１ｄが形成さ
れている。側壁２１ｄには、天井チャンバ２１ｂ側およ
び床下チャンバ２１ｃ側に貫通する天井開口部２１ｅお
よび床下開口部２１ｆが形成されている。

【００２３】側壁２１ｄのクリーンルーム室内２１ａと
反対側には、設備領域２１ｇ形成され、この設備領域２
１ｇには空調機２７が配置されている。この空調機２７
の上方および下方の側壁２１ｄ側には、供給口２７ａお
よび給気口２７ｂが形成されている。供給口２７ａと天
井開口部２１ｅとは、供給ダクト２９により接続され、
給気孔２７ｂと床下開口部２１ｆとは、給気ダクト３１
により接続されている。

【００２４】また、図２に示すように、システム天井２
３には、天井フレーム３３ａ，３３ｂが縦横に配置さ
れ、この天井フレーム３３ａ，３３ｂにより、例えば、
縦１２００ｍｍ，横６００ｍｍの四角形形状の格子枠３
３が形成されている。格子枠３３には、例えば、ＨＥＰ
Ａ（High Efficiency Particulate Air）フィルタ３５
が、千鳥形状に配置され、ＨＥＰＡフィルタ３５が配置
されない残りの格子枠３３には、クリーンルーム室内２
１ａと天井チャンバ２１ｂとを遮る無孔板３７が配置さ
れている。

【００２５】すなわち、ＨＥＰＡフィルタ３５の４隅を
互いに合わせ、ＨＥＰＡフィルタ３５と無孔板３７とが
交互に配置され、格子枠３７全体の５０％にＨＥＰＡフ
ィルタ３５が配置されている。ＨＥＰＡフィルタ３５の
下方には、例えば、アルミニウム板等からなる凸板形状
の拡散ユニット３９が、凸面を下方に向けて配置されて
いる。

【００２６】この拡散ユニット３９は、図３に示すよう
に、長方形形状の下面板３９ａを備え、この下面板３９
ａの長辺側には、台形形状の斜面板３９ｂが斜めに配置
されている。下面板３９ａの短辺側には、台形形状の斜
面板３９ｃが斜めに配置されている。斜面板３９ｂおよ
び斜面板３９ｃの上端には、取付枠３９ｄが配置されて
いる。

【００２７】また、拡散ユニット３９の下面板３９ａお
よび斜面板３９ｂ，３９ｃには、全面に亘り、円形形状
の小孔３９ｅが、例えば、パンチングプレス等により、
多数形成されている。この実施形態では、図４に示すよ
うに、直径Ｄを２．０ｍｍとした小孔３９ｅが、孔間隔
Ｐを５．０ｍｍ，配置角度Ａを６０度にして複数形成さ
れている。

【００２８】このとき、各部の面積に対する小孔３９ｅ
の総面積の比率である開口率は、次式により１４％とさ
れる。開口率（％）＝９０．５×Ｄ²／Ｐ² 上述したクリーンルームでは、図１に示すように、床下
チャンバ２１ｃの空気４１が給気ダクト３１を通り、空
調機２７に流入され、供給ダクト２９から天井チャンバ
２１ｂに供給される。

【００２９】天井チャンバ２１ｂに供給された空気４１
はＨＥＰＡフィルタ３５により濾過される。濾過された
清浄空気４１ａは、拡散ユニット３９に供給され、小孔
３９ｅを通り、クリーンルーム室内２１ａに拡散し、各
方向に均一に供給される。そして、渦流を発生すること
なくクリーンルーム室内２１ａが清浄化される。

【００３０】上述したクリーンルームでは、格子枠３３
にＨＥＰＡフィルタ３５を千鳥配置し、残りの格子枠３
３に無孔板３７を配置したので、システム天井２３に配
置するＨＥＰＡフィルタ３５の枚数を従来に比べ半減す
ることができ、クリーンルーム室内２１ａを清浄化する
ための設備費および維持費を大幅に低減することができ
る。

【００３１】また、ＨＥＰＡフィルタ３５の下方に、多
数の小孔３９ｅが形成される下面板３９ａおよび斜面板
３９ｂ，３９ｃを備えた拡散ユニット３９を配置したの
で、清浄空気４１ａをクリーンルーム室内２１ａに拡散
し、各方向に均一に供給することができ、渦流を発生す
ることなくクリーンルーム室内２１ａを清浄化すること
ができる。

【００３２】すなわち、従来のクリーンルームでは、例
えば、図５および図６に示すように、拡散ユニットを用
いずに、格子枠３３にＨＥＰＡフィルタ３５と無孔板３
７とを、交互に千鳥配置しようとすると、ＨＥＰＡフィ
ルタ３５と無孔板３７との境目で渦流４１ｂが発生し、
この渦流４１ｂ中に汚染粒子４３が長時間存在し、清浄
度が低下する虞があった。

【００３３】図７は、本発明のクリーンルームの第２の
実施形態（請求項１，請求項２および請求項４）を示し
ている。本実施形態は、上述したクリーンルームの第１
の実施形態に比べて、格子枠３３へのＨＥＰＡフィルタ
３５の配置が相違している。従って、第１の実施形態と
の相違点のみを説明し、重複説明を避けるとともに、共
通部位には、同一符号を用いて説明する。

【００３４】この実施形態では、格子枠３３に、ＨＥＰ
Ａフィルタ３５が間隔を置いて斜めに配置されている。
すなわち、ＨＥＰＡフィルタ３５の対角上の２隅を互い
に合わせ斜め列を形成し、この斜め列の間に、無孔板３
７の斜め列が２列配置され、格子枠３３全体の３３％に
ＨＥＰＡフィルタ３５が配置されている。

【００３５】ＨＥＰＡフィルタ３５の下方には、拡散ユ
ニット３９が配置されている。この拡散ユニット３９の
下面板３９ａの開口率は１４％にされ、斜面板３９ｂお
よび斜面板３９ｃの開口率は１８％にされている。

【００３６】この実施形態のクリーンルームにおいて
も、第１の実施形態と略同様の効果を得ることができる
が、この実施形態では、斜面板３９ｂ，３９ｃの小孔３
９ｅの開口率を、下面板３９ａの開口率より増加させ１
８％にしたので、ＨＥＰＡフィルタ３５の配置枚数を第
１の実施形態の３分の２に低減したにもかかわらず、拡
散ユニット３９の側方へ、清浄空気４１ａを十分供給す
ることができ、クリーンルーム室内２１ａを第１の実施
形態と同一の清浄度に保持することができる。

【００３７】図８は、本発明のクリーンルームの第３の
実施形態（請求項１，請求項２および請求項５に対応す
る）を示している。本実施形態においては、格子枠３３
へのＨＥＰＡフィルタ３５の配置が、上述した第１およ
び第２の実施形態に比べて相違している。この実施形態
では、格子枠３３に、ＨＥＰＡフィルタ３５が、互いに
隣接することなく配置されている。

【００３８】すなわち、ＨＥＰＡフィルタ３５の周囲に
無孔板３７が隣接配置され、格子枠３７全体の３０％に
ＨＥＰＡフィルタ３５が配置されている。ＨＥＰＡフィ
ルタ３５の下方には、拡散ユニット３９が配置されてい
る。この拡散ユニット３９の下面板３９ａの開口率は１
４％にされ、斜面板３９ｂの開口率は２０％にされ、斜
面板３９ｃの開口率は１４％にされている。

【００３９】この実施形態のクリーンルームにおいて
も、第１および第２実施形態と略同様の効果を得ること
ができる。図９は、本発明のクリーンルームの第４の実
施形態（請求項１，請求項２および請求項６に対応す
る）を示しており、図において、符号５１は拡散ユニッ
トである。

【００４０】本実施形態は、上述したクリーンルームの
第１ないし第３の実施形態に比べて、格子枠３３へのＨ
ＥＰＡフィルタ３５の配置と、拡散ユニット５１の形状
とが相違している。この実施形態では、格子枠３３に、
ＨＥＰＡフィルタ３５が長手方向に直列配置され、この
フィルタ列が２列置きに配置され、格子枠３７全体の３
３％にＨＥＰＡフィルタ３５が配置されている。

【００４１】ＨＥＰＡフィルタ３５の下方には、拡散ユ
ニット５１が配置されている。この拡散ユニット５１
は、図１０に示すように、下部に長方形形状の下面板５
１ａを備え、この下面板５１ａの長辺側には、長方形形
状の斜面板５１ｂが斜めに配置されている。下面板５１
ａの短辺側には、台形形状の無孔側面板５１ｃが配置さ
れている。

【００４２】斜面板５１ｂおよび無孔側面板５１ｃの上
端には、取付枠５１ｄが配置されている。拡散ユニット
５１の下面板５１ａおよび斜面板５１ｂには、全面に亘
り、円形形状の小孔５１ｅが形成され、下面板５１ａの
開口率は１４％にされ、斜面板５１ｂの開口率は１８％
にされている。

【００４３】この実施形態のクリーンルームにおいて
も、第１ないし第３の実施形態と略同様の効果を得るこ
とができる。図１１は、本発明のクリーンルームの第５
の実施形態（請求項１ないし請求項７に対応する）を示
しており、格子枠３３の上面の吊下部材５３の両側に
は、開口端を上に向けて容器部３３ｃ，３３ｄが形成さ
れている。

【００４４】この容器部３３ｃ，３３ｄには、例えば、
合成樹脂からなる液状シール５５が充填されている。容
器部３３ｃの液状シール５５中には、ＨＥＰＡフィルタ
３５の突出端が浸漬されている。容器部３３ｄの液状シ
ール５５中には、無孔板３７の突出端が浸漬されてい
る。

【００４５】また、格子枠３３の内周側面に沿って、例
えば、アルミニウム板等からなる係止用枠５７が配置さ
れ、この係止用枠５７の上部と格子枠３３とがビス５９
により固定されている。拡散ユニット６１の上端開口に
は、取付枠６１ａが形成されている。そして、拡散ユニ
ット６１の取付枠６１ａと係止用枠５７とが、ビス５９
を係止用枠５７の外側から水平方向に螺合することで固
定され、拡散ユニット５９が格子枠３３に固定されてい
る。

【００４６】上述したクリーンルームでは、格子枠３３
に係止用枠５７を固定し、拡散ユニット６１に取付枠６
１ａを形成したので、係止用枠５７と取付枠６１ａとを
ビス５９により簡単に固定することができ、簡易な手段
で確実に、拡散ユニット６１を格子枠３３に固定するこ
とができる。また、ビス５９を水平方向に向けて締め付
けることで、拡散ユニット６１を格子枠３３に取り付け
る構造としたので、ビス５９の締付作業が行いやすく、
拡散ユニット６１の格子枠３３への取付作業を容易に行
うことができる。

【００４７】さらに、ビス５９を水平方向に螺合したの
で、万一、ビス５９が緩んだ際にも、拡散ユニット６１
の落下を防止することができる。図１２は、本発明のク
リーンルームの第６の実施形態（請求項１ないし請求項
６，請求項８に対応する）を示しており、この実施形態
では、第５の実施形態と同様に、格子枠３３に液状シー
ル５５が充填される容器部３３ｃ，３３ｄが形成されて
いる。

【００４８】液状シール５５中に突出端が浸漬されるＨ
ＥＰＡフィルタ３５の下方には、拡散ユニット６３が配
置されている。拡散ユニット６３の上端開口には、取付
枠６３ａが形成され、この取付枠６３ａの先端には、外
向きに折り返される支持部６３ｂが形成されている。そ
して、この支持部６３ｂの先端が液状シール５５中に浸
漬され、拡散ユニット６３が格子枠に係止されている。

【００４９】上述したクリーンルームでは、拡散ユニッ
ト６３の取付枠６３ａに、外向きに折り返される支持部
６３ｂを形成したので、ビス等を用いることなく支持部
６３ｂを容器部３３ｃに係止することができ、簡易かつ
確実に拡散ユニット６３を格子枠３３に係止することが
できる。図１３は、本発明のクリーンルームの第７の実
施形態（請求項１ないし請求項６，請求項９に対応す
る）を示しており、ＨＥＰＡフィルタ３５の下方には、
拡散ユニット６５が配置されている。

【００５０】拡散ユニット６５の上端開口には、取付枠
６５ａが形成され、この取付枠６５ａの先端には、水平
方向に向けて外向きに折曲される支持部６５ｂが形成さ
れている。そして、この支持部６５ｂが、ＨＥＰＡフィ
ルタ３５の下端に固定される、例えば、合成ゴムからな
るガスケット６７と、格子枠３３の上面に固定されるガ
スケット６７との間に挟持され、拡散ユニット６５が格
子枠３３に固定されている。

【００５１】上述したクリーンルームでは、拡散ユニッ
ト６５の取付枠６５ａに、水平方向に向けて外向きに折
曲する支持部６５ｂを形成したので、この支持部６５ｂ
を、ＨＥＰＡフィルタ３５の下端に固定したガスケット
６７と、格子枠３３の上面に固定したガスケット６７と
の間に挟持することで、簡易かつ確実に拡散ユニット６
３を格子枠３３に係止することができる。

【００５２】なお、上述した第１ないし第３の実施形態
では、拡散ユニット３９を、下面板３９ａおよび斜面板
３９ｂ，３９ｃを用いて形成した例について述べたが、
本発明はかかる実施形態に限定されるものでなく、例え
ば、図１４に示すように、横断面円弧形状の曲面板３９
ｅ，および短辺側の角を面取りした台形形状の斜面板３
９ｆを用いて形成しても良い。

【００５３】また、上述した第４の実施形態では、拡散
ユニット５１を、下面板５１ａ，斜面板５１ｂおよび無
孔側面板５１ｃを用いて形成した例について述べたが、
本発明はかかる実施形態に限定されるものでなく、例え
ば、図１５に示すように、横断面円弧形状の曲面板５１
ｅおよび短辺側の角を面取りした台形形状の無孔側面板
５１ｆを用いて形成しても良い。

【００５４】さらに、上述した第４の実施形態では、Ｈ
ＥＰＡフィルタ３５のフィルタ列を２列置きに配置した
例について述べたが、本発明はかかる実施形態に限定さ
れるものでなく、例えば、図１６に示すように、１列置
きに配置しても良い。そして、上述した第１ないし第４
の実施形態では、拡散ユニット３９に、直径Ｄを２．０
ｍｍにした小孔３９ｅ，５１ｅを、孔間隔Ｐを５．０ｍ
ｍ，配置角度Ａを６０度にして形成した例について述べ
たが、本発明はかかる実施形態に限定されるものでな
く、例えば、図１７（ａ），（ｂ）に示すように、所定
の直径Ｄの小孔を、孔間隔をＰにし、配置角度Ａを４５
度あるいは９０度にして形成しても良い。

【００５５】また、図１７（ｃ），（ｄ）に示すよう
に、一辺の長さＤの正方形形状の小孔を、孔間隔Ｐに
し、配置角度Ａを６０度あるいは９０度にして形成して
も良い。さらに、図１７（ｅ），（ｆ）に示すように、
長さＬ１，幅Ｗの長円形状の小孔を長手方向の間隔Ｌ
２，幅方向の間隔Ｓにして形成しても良い。これ等図１
７（ａ）〜（ｆ）に示した形状の開口率は、次式により
計算される。

【００５６】（ａ）開口率（％）＝１５７×Ｄ²／Ｐ² （ｂ）開口率（％）＝７８．５×Ｄ²／Ｐ² （ｃ）開口率（％）＝１００×Ｄ²／Ｐ² （ｄ）開口率（％）＝１００×Ｄ²／Ｐ² （ｅ）開口率（％）＝（２Ｗ×Ｌ１−０．４３Ｗ²）／
Ｓ×Ｌ２（ｆ）開口率（％）＝（２Ｗ×Ｌ１−０．４３Ｗ²）／
２Ｓ×Ｌ２なお、小孔の形状，間隔は、上記（ａ）〜（ｆ）に限ら
ず、開口率が計算できれば、どのように形成しても良
い。

【００５７】そして、上述した第１の実施形態では、ク
リーンルーム室内２１ａの側壁２１ｄを隔てた設備領域
２１ｇに空調機２７を配置し、この空調機２７により空
気４１を循環させた例について述べたが、本発明はかか
る実施形態に限定されるものでなく、例えば、図１８に
示すように、送風機とＨＥＰＡフィルタが一体化したフ
ァンフィルタユニット５３により空気４１を循環させて
も良い。

【００５８】また、上述した第５の実施形態では、係止
用枠５７を、液状シール５５を充填する容器部３３ｃ，
３３ｄが形成される格子枠３３に固定した例について述
べたが、本発明はかかる実施形態に限定されるものでな
く、例えば、図１９に示すように、上面にガスケット６
７が固定される格子枠３３に固定しても良い。さらに、
上述した第１ないし第７の実施形態では、格子枠３３に
ＨＥＰＡフィルタ３５，５１を配置した例について述べ
たが、本発明はかかる実施形態に限定されるものでな
く、例えば、ＵＬＰＡ（Ultra Low Penetration Air）
フィルタを配置しても良い。

【００５９】

【発明の効果】以上述べたように、請求項１のクリーン
ルームでは、格子枠に所定の配置間隔を置いてフィルタ
を配置し、残りの格子枠に無孔板を配置したので、フィ
ルタの枚数を従来に比べ大幅に低減することができ、ク
リーンルーム室内を清浄化するための設備費および維持
費を大幅に低減することができる。

【００６０】また、フィルタの下方に、多数の小孔が形
成される凸板形状の拡散ユニットを配置したので、この
拡散ユニットにより清浄空気をクリーンルーム室内に拡
散し、各方向に均一に供給することができ、渦流を発生
することなくクリーンルーム室内を清浄化することがで
きる。請求項２のクリーンルームでは、拡散ユニットの
側方および下方への清浄空気の必要吹出量に応じて、小
孔の形状または間隔を変えたので、設備予算等に応じ
て、格子枠にフィルタを様々な配置間隔で配置すること
ができる。

【００６１】請求項３のクリーンルームでは、格子枠に
フィルタを千鳥形状に配置したので少数枚のフィルタに
より、清浄空気をクリーンルーム室内に供給し、クリー
ンルーム室内を清浄化することができる。請求項４のク
リーンルームでは、格子枠にフィルタを斜めに配置した
ので、少数枚のフィルタにより、清浄空気をクリーンル
ーム室内に供給し、クリーンルーム室内を清浄化するこ
とができる。

【００６２】請求項５のクリーンルームでは、格子枠に
配置するフィルタの周囲に無孔板を隣接配置したので、
最小限の枚数のフィルタにより、清浄空気をクリーンル
ーム室内に供給し、クリーンルーム室内を清浄化するこ
とができる。請求項６のクリーンルームでは、格子枠に
フィルタを直列配置したので、少数枚のフィルタによ
り、清浄空気をクリーンルーム室内に供給し、クリーン
ルーム室内を清浄化することができる。

【００６３】請求項７のクリーンルームでは、格子枠の
側面に沿って係止用枠を固定し、拡散ユニットの上端開
口に取付枠を形成し、この取付枠を係止用枠の外側から
ねじにより固定したので、確実に拡散ユニットを天井フ
レームに取り付けることができる。請求項８のクリーン
ルームでは、拡散ユニットの上端開口に形成される取付
枠の先端を外向きに折り返して支持部を形成したので、
ねじ部材等を用いることなく支持部を格子枠の容器部の
内側に係止することができ、簡易かつ確実に拡散ユニッ
トを天井フレームに取り付けることができる。

【００６４】請求項９のクリーンルームでは、拡散ユニ
ットの上端開口に形成される取付枠の先端を水平方向に
向けて外向きに折曲して支持部を形成したので、この支
持部をフィルタの端部に固定されるガスケットと格子枠
の上面に固定されるガスケットとの間に挟持することが
でき、簡易かつ確実に拡散ユニットを格子枠に取り付け
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のクリーンルームの第１の実施形態を示
す断面図である。

【図２】図１のシステム天井の詳細を示す上面図であ
る。

【図３】図１の拡散ユニットの詳細を示す斜視図であ
る。

【図４】図１の拡散ユニットに形成する小孔の詳細を示
す説明図である。

【図５】拡散ユニットを用いずにＨＥＰＡフィルタを千
鳥配置したシステム天井を示す上面図である。

【図６】図５のシステム天井をクリーンルームに適用し
た状態を示す断面図である。

【図７】本発明のクリーンルームの第２の実施形態を示
す上面図である。

【図８】本発明のクリーンルームの第３の実施形態を示
す上面図である。

【図９】本発明のクリーンルームの第４の実施形態を示
す上面図である。

【図１０】図９の拡散ユニットの詳細を示す斜視図であ
る。

【図１１】本発明のクリーンルームの第５の実施形態を
示す断面図である。

【図１２】本発明のクリーンルームの第６の実施形態を
示す断面図である。

【図１３】本発明のクリーンルームの第７の実施形態を
示す断面図である。

【図１４】第１ないし第３の実施形態において、拡散ユ
ニットを横断面円弧形状に形成した例を示す斜視図であ
る。

【図１５】第４の実施形態において、拡散ユニットを横
断面円弧形状に形成した例を示す斜視図である。

【図１６】第４の実施形態において、フィルタ列の間に
無孔板を１列配置した例を示す上面図である。

【図１７】様々な小孔の形成状態を示す説明図である。

【図１８】ファンフィルタユニットを用いてクリーンル
ームを形成した例を示す断面図である。

【図１９】第５の実施形態において、上面にガスケット
が固定される格子枠に係止用枠を固定した例を示す断面
図である。

【図２０】従来のクリーンルームのシステム天井を示す
上面図である。

【図２１】従来のクリーンルームを示す断面図である。

【符号の説明】

３３格子枠３３ａ，３３ｂ天井フレーム３３ｃ，３３ｄ容器部３５ＨＥＰＡフィルタ（フィルタ）３７無孔板３９，５１，６１，６３，６５拡散ユニット３９ｅ，５１ｅ小孔５５液状シール５７係止用枠６１ａ，６３ａ，６５ａ取付枠６３ｂ，６５ｂ支持部６７ガスケット

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】天井フレームを縦横に配置して天井部に
格子枠を形成するとともに、この格子枠にフィルタを配
置してなる垂直層流方式のクリーンルームにおいて、前記格子枠に所定の配置間隔を置いて前記フィルタを配
置し、残りの前記格子枠に無孔板を配置するとともに、
前記フィルタの下方に凸板形状の拡散ユニットを凸面を
下に向けて配置し、この拡散ユニットに、側方および下
方への清浄空気の必要吹出量に応じて多数の小孔を形成
してなることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】請求項１記載のクリーンルームにおい
て、前記拡散ユニットの側方および下方への清浄空気の必要
吹出量に応じて、前記小孔の形状または間隔を変えてな
ることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項３】請求項１または請求項２記載のクリーン
ルームにおいて、前記格子枠に前記フィルタを千鳥配置してなることを特
徴とするクリーンルーム。
【請求項４】請求項１または請求項２記載のクリーン
ルームにおいて、前記格子枠に前記フィルタを斜め配置してなることを特
徴とするクリーンルーム。
【請求項５】請求項１または請求項２記載のクリーン
ルームにおいて、前記格子枠に配置する前記フィルタの周囲に前記無孔板
を隣接配置してなることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項６】請求項１または請求項２記載のクリーン
ルームにおいて、前記格子枠に前記フィルタを直列に隣接配置してフィル
タ列を形成するとともに、これ等フィルタ列の間の前記
格子枠に前記無孔板を配置してなることを特徴とするク
リーンルーム。
【請求項７】請求項１ないし請求項６のいずれか１項
記載のクリーンルームにおいて、前記格子枠の側面に沿って、係止用枠を固定するととも
に、前記拡散ユニットの上端開口に取付枠を形成し、こ
の取付枠を前記係止用枠の外側からねじ止めしてなるこ
とを特徴とするクリーンルーム。
【請求項８】請求項１ないし請求項６のいずれか１項
記載のクリーンルームにおいて、前記拡散ユニットの上端開口に形成される取付枠の先端
を外向きに折り返して支持部を形成するとともに、前記
格子枠の上面に、開口端を上に向けて容器部を形成し、
この容器部に充填される液状シールに、前記フィルタの
突出端と前記拡散ユニットの支持部とを浸漬してなるこ
とを特徴とするクリーンルーム。
【請求項９】請求項１ないし請求項６のいずれか１項
記載のクリーンルームにおいて、前記空気拡散ユニットの上端開口に形成される取付枠の
先端を水平方向に向けて外向きに折曲して支持部を形成
するとともに、この支持部を前記フィルタの下端に固定
されるガスケットと前記格子枠の上面に固定されるガス
ケットとの間に挟持してなることを特徴とするクリーン
ルーム。