JPH03129117A - 多孔質静圧気体軸受の製造方法 - Google Patents
多孔質静圧気体軸受の製造方法Info
- Publication number
- JPH03129117A JPH03129117A JP26522189A JP26522189A JPH03129117A JP H03129117 A JPH03129117 A JP H03129117A JP 26522189 A JP26522189 A JP 26522189A JP 26522189 A JP26522189 A JP 26522189A JP H03129117 A JPH03129117 A JP H03129117A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- porous material
- solvent
- flow rate
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 230000003068 static effect Effects 0.000 title 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 23
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 23
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、軸受面に５孔質体を配しその多孔質体の通気
孔から加圧気体を軸との間の微小隙間に噴出し、気体膜
を形成して軸を支持する多孔質静圧気体軸受の製造方法
に関するものである。
孔から加圧気体を軸との間の微小隙間に噴出し、気体膜
を形成して軸を支持する多孔質静圧気体軸受の製造方法
に関するものである。
［従来の技術］
この種の軸受で所定の回転精度、負荷能力、軸受剛性等
の軸受性能を得るためには、多孔質体に所定の圧力で気
体を供給した時に軸受面における単位面積あたりに噴出
する気体の流量すなわち、気体通過流量が軸受面全面に
わたり均一であることが要求される。そのために、従来
はあらかしめ、所定の流量以下になるように軸受面に樹
脂を含浸させて孔を塞いだ後、気体通過流量を測定しな
がら、ｍ剤により適宜樹脂を除去し、噴出流量が均一に
なるように調整していた。そしてこの方法は、溶剤を適
量含ませた綿棒などで軸受面を擦り付けて、樹脂を溶か
し徐々に流量を回復させながら繰り返し調整を行なって
いた。
の軸受性能を得るためには、多孔質体に所定の圧力で気
体を供給した時に軸受面における単位面積あたりに噴出
する気体の流量すなわち、気体通過流量が軸受面全面に
わたり均一であることが要求される。そのために、従来
はあらかしめ、所定の流量以下になるように軸受面に樹
脂を含浸させて孔を塞いだ後、気体通過流量を測定しな
がら、ｍ剤により適宜樹脂を除去し、噴出流量が均一に
なるように調整していた。そしてこの方法は、溶剤を適
量含ませた綿棒などで軸受面を擦り付けて、樹脂を溶か
し徐々に流量を回復させながら繰り返し調整を行なって
いた。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、従来例では調整作業が作業者の経験や勘
に頼っているために、調整方法が試行錯誤し、作業工数
が多くかかりコスト増加の原因となっていた。さらに、
手作業に頼っているため、標準化しづらく、品質のばら
つきが大きくなり、また、自動化に不向きであった。
に頼っているために、調整方法が試行錯誤し、作業工数
が多くかかりコスト増加の原因となっていた。さらに、
手作業に頼っているため、標準化しづらく、品質のばら
つきが大きくなり、また、自動化に不向きであった。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたものであっ
て、容易に確実に多孔質材料からの気体噴出流量を均一
化できる静圧気体軸受の製造方法の提供を目的とする。
て、容易に確実に多孔質材料からの気体噴出流量を均一
化できる静圧気体軸受の製造方法の提供を目的とする。
［課題を解決するための手段および作用］本発明によれ
ば、樹脂を含浸させた軸受面に均一に穴のあいたパター
ンを介して溶剤を塗布することにより、多孔質静圧気体
軸受の気体通過流量を所定の値で均一に設定できるよう
にしたものである。
ば、樹脂を含浸させた軸受面に均一に穴のあいたパター
ンを介して溶剤を塗布することにより、多孔質静圧気体
軸受の気体通過流量を所定の値で均一に設定できるよう
にしたものである。
［実施例］
第１図（ａ）は多孔質軸受を示す断面図、第１図（ｂ）
はその外観図である。図において１はグラファイト多孔
質材、２は多孔質材１を保持、固定するハウジング、３
は給気室、４は圧縮空気の供給口である。
はその外観図である。図において１はグラファイト多孔
質材、２は多孔質材１を保持、固定するハウジング、３
は給気室、４は圧縮空気の供給口である。
研削加工などにより所定の精度に仕上げられた多孔質材
１の気体通過流量は設計値よりも大きくなるように製作
されている。そのため、これを以下の手順にしたがって
設計値に合致させる。まず、樹脂を多孔質材１の微細な
開気孔に含浸させる。そして、軸受面の表面を覆う余剰
の樹脂は溶剤で拭き取り、第２図に示すように開気孔５
内に樹脂膜６ａを形成させ、この開気孔５を塞ぐ。これ
により気体通過流量が設計値よりも小さくなる。次に第
３図に示すように、所定の開口率を有するように小孔７
ａが均一に分布したパターン７を多孔質材１の軸受面に
対して、微小な隙間を持つように対向させて配置する。
１の気体通過流量は設計値よりも大きくなるように製作
されている。そのため、これを以下の手順にしたがって
設計値に合致させる。まず、樹脂を多孔質材１の微細な
開気孔に含浸させる。そして、軸受面の表面を覆う余剰
の樹脂は溶剤で拭き取り、第２図に示すように開気孔５
内に樹脂膜６ａを形成させ、この開気孔５を塞ぐ。これ
により気体通過流量が設計値よりも小さくなる。次に第
３図に示すように、所定の開口率を有するように小孔７
ａが均一に分布したパターン７を多孔質材１の軸受面に
対して、微小な隙間を持つように対向させて配置する。
さらに、多孔質材１に通気した状態で、パターン７を介
し、微量の溶剤を塗布させると、パターン７の小孔７ａ
の位置に対応して多孔質材１に含浸された樹脂が溶けて
所定の気体通過流量が得られる。ここで溶剤の塗布方法
としては霧状にして噴射する方法などがある。
し、微量の溶剤を塗布させると、パターン７の小孔７ａ
の位置に対応して多孔質材１に含浸された樹脂が溶けて
所定の気体通過流量が得られる。ここで溶剤の塗布方法
としては霧状にして噴射する方法などがある。
気体通過流量の調整原理をわかりやすく説明するために
、第４図（ａ） 、 （ｂ）に多孔質材の開気孔部をモ
デル化した断面図を示す。多孔質軸受に通気した状態に
おいて、開気孔５は樹脂膜６ｂによって塞がれており、
第４図（ａ） に示すように、樹脂［６ｂには内部より
圧力が加わっている。この状態において、パターン７を
介して通過した溶剤は、軸受面上に到達後、開気孔５の
一部に侵入し、樹脂膜６ｂを溶かす。その結果樹脂膜６
ｂは第４図（ｂ）に示すように内部圧力によって破壊さ
れ（６ｃ）、圧力気体が開気孔より流出する。
、第４図（ａ） 、 （ｂ）に多孔質材の開気孔部をモ
デル化した断面図を示す。多孔質軸受に通気した状態に
おいて、開気孔５は樹脂膜６ｂによって塞がれており、
第４図（ａ） に示すように、樹脂［６ｂには内部より
圧力が加わっている。この状態において、パターン７を
介して通過した溶剤は、軸受面上に到達後、開気孔５の
一部に侵入し、樹脂膜６ｂを溶かす。その結果樹脂膜６
ｂは第４図（ｂ）に示すように内部圧力によって破壊さ
れ（６ｃ）、圧力気体が開気孔より流出する。
したがって、軸受面にパターンの小孔７ａ（第３図）に
合わせて開気孔部が形成されることになる。以上のよう
に、パターンの開口率を加減し、溶剤の塗布面積を変化
させることで、軸受部材の気体通過流量を所定の値で均
一に設定することができる。
合わせて開気孔部が形成されることになる。以上のよう
に、パターンの開口率を加減し、溶剤の塗布面積を変化
させることで、軸受部材の気体通過流量を所定の値で均
一に設定することができる。
［発明の効果］
以上説明したように、所定の開口率を有するパターンを
介し、溶剤を塗布させることにより所定の気体通過流量
が得られる。したがって、従来のように繰り返し調整作
業を行なう手間が省は製造コストが下がる。また作業の
標準化が容易になり、品質が安定化しまた自動化ができ
るなどの効果がある。
介し、溶剤を塗布させることにより所定の気体通過流量
が得られる。したがって、従来のように繰り返し調整作
業を行なう手間が省は製造コストが下がる。また作業の
標準化が容易になり、品質が安定化しまた自動化ができ
るなどの効果がある。
第１図（ａ）および第１図（ｂ）は各々多孔質軸受の断
面図および斜視図、 第２図は樹脂を含浸した状態の多孔質材の拡大断面図、 第３図は本発明に係る溶剤塗布用パターンの外観図、 第４図（ａ）および（ｂ）は各々本発明の作用説明図で
ある。 １：多孔質材、 ５：開気孔、 ６ａ、６ｂ、６ｃ：樹脂膜、 ７：パターン、 ７ａ：小孔。 第 ２ 図 第 図 ｂ 第 図（０） 第 図（ｂ）
面図および斜視図、 第２図は樹脂を含浸した状態の多孔質材の拡大断面図、 第３図は本発明に係る溶剤塗布用パターンの外観図、 第４図（ａ）および（ｂ）は各々本発明の作用説明図で
ある。 １：多孔質材、 ５：開気孔、 ６ａ、６ｂ、６ｃ：樹脂膜、 ７：パターン、 ７ａ：小孔。 第 ２ 図 第 図 ｂ 第 図（０） 第 図（ｂ）
Claims (3)
- （１）噴出流量調整すべき多孔質材に樹脂を含浸させて
開気口を塞ぎ、該多孔質材に対し所定の開口分布を有す
るパターンを介して前記樹脂を溶かすための溶剤を塗布
することを特徴とする多孔質静圧気体軸受の製造方法。 - （２）前記樹脂を含浸させた多孔質材に対し加圧気体を
供給した状態で前記溶剤を塗布することを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の多孔質静圧気体軸受の製造方
法。 - （３）前記パターンを多孔質材の軸受面に対し所定間隔
を隔てて対向させた状態で前記溶剤を塗布することを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の多孔質静圧気体軸
受の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26522189A JP2577644B2 (ja) | 1989-10-13 | 1989-10-13 | 多孔質静圧気体軸受の製造方法 |
| US07/594,933 US5110520A (en) | 1989-10-13 | 1990-10-10 | Method for manufacturing a porous static pressure gas bearing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26522189A JP2577644B2 (ja) | 1989-10-13 | 1989-10-13 | 多孔質静圧気体軸受の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03129117A true JPH03129117A (ja) | 1991-06-03 |
| JP2577644B2 JP2577644B2 (ja) | 1997-02-05 |
Family
ID=17414207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26522189A Expired - Lifetime JP2577644B2 (ja) | 1989-10-13 | 1989-10-13 | 多孔質静圧気体軸受の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2577644B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0659738U (ja) * | 1993-01-20 | 1994-08-19 | 進和テック株式会社 | クリーンエアシステム用風量調整板 |
-
1989
- 1989-10-13 JP JP26522189A patent/JP2577644B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0659738U (ja) * | 1993-01-20 | 1994-08-19 | 進和テック株式会社 | クリーンエアシステム用風量調整板 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2577644B2 (ja) | 1997-02-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4287029A (en) | Plating process | |
| US7503542B2 (en) | Removable marking device for a mold | |
| US6516517B2 (en) | Fluid bearings and vacuum chucks and methods for producing same | |
| EP0814380A3 (en) | Method for manufacturing liquid jet recording head | |
| US4744676A (en) | Gas bearing and method of making it | |
| KR100378696B1 (ko) | 얇은 오일막이 표면에 부착된 물방울을 생성하는 혼합기 | |
| US5800066A (en) | Mechanical assembly of shaft and static pressure bearing | |
| US5564063A (en) | Method for manufacture of at least one micronozzle in an aerostatic bearing | |
| JPH03129117A (ja) | 多孔質静圧気体軸受の製造方法 | |
| US6342270B1 (en) | Process for manufacturing a hydrostatic bearing of porous material | |
| EP1422193B1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Werkzeugeinsatzes zum spritzgiessen eines teils mit einstufigen Mikrostrukturen | |
| DE3934180C2 (de) | Haltevorrichtung für eine zu schleifende optische Linse | |
| TW201326596A (zh) | 靜壓氣體軸承及使用該靜壓氣體軸承之直線運動引導裝置 | |
| JPH02256915A (ja) | 静圧多孔質軸受及びその製造方法 | |
| US3763534A (en) | Fabrication process for porous metal bearings | |
| JP3417015B2 (ja) | 多孔質部材及びその製造方法 | |
| DE4316170C1 (de) | Drossel für Gasführungen und Gaslager | |
| JPS5915033B2 (ja) | ノズルソウチ オヨビ ソノセイサクホウホウ | |
| JPH1162966A (ja) | 静圧軸受及びその製造方法 | |
| JPH06262273A (ja) | 穴あけ型装置 | |
| JPH0740500Y2 (ja) | 陶磁器素体施釉用ノズル | |
| JPS6125838A (ja) | スタンプ判の加工方法 | |
| JPH0351515A (ja) | 静圧気体軸受 | |
| JPH07103236A (ja) | 静圧軸受装置 | |
| JPH02198352A (ja) | 酸素センサのセンサエレメントの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081107 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081107 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091107 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |