JPH0351515A - 静圧気体軸受 - Google Patents
静圧気体軸受Info
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- JPH0351515A JPH0351515A JP1184824A JP18482489A JPH0351515A JP H0351515 A JPH0351515 A JP H0351515A JP 1184824 A JP1184824 A JP 1184824A JP 18482489 A JP18482489 A JP 18482489A JP H0351515 A JPH0351515 A JP H0351515A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
- F16C32/0618—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings via porous material
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
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- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
- F16C32/0622—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings via nozzles, restrictors
Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、回転および／または往復運動をする軸を支持
する静圧気体軸受に関するものである。
する静圧気体軸受に関するものである。
［従来の技術］
現在、この種の静圧気体軸受は、摩擦抵抗が少なく高精
度でクリーンてあるなどの特徴を生かし、精密機器など
に広く採用されている。この静圧気体軸受は、絞りの形
式により次のように分類される。
度でクリーンてあるなどの特徴を生かし、精密機器など
に広く採用されている。この静圧気体軸受は、絞りの形
式により次のように分類される。
（１） 自戒絞り
第３図に自戒絞りの断面を示す。軸受部材２０に設けら
れた自戒絞りは、給気孔４と軸受隙間１４とで作られる
仮想的な円筒面で絞りの役目を果させるものである。
れた自戒絞りは、給気孔４と軸受隙間１４とで作られる
仮想的な円筒面で絞りの役目を果させるものである。
（２）オリフィス絞り
第４図にオリフィス絞りの断面を示す。軸受部材２０に
設けられたオリフィス絞りは、オリフィス２１の抵抗に
より絞りの働きをさせるものである。
設けられたオリフィス絞りは、オリフィス２１の抵抗に
より絞りの働きをさせるものである。
（３）表面絞り
第５図に表面絞りの断面を示す。軸受部材２０に設けら
れた表面絞りは、軸受面に給気孔とつながるきわめて浅
い溝２２を設けたもので、その溝２２の抵抗が絞りとな
るものである。
れた表面絞りは、軸受面に給気孔とつながるきわめて浅
い溝２２を設けたもので、その溝２２の抵抗が絞りとな
るものである。
（４）多孔質絞り
第６図に多孔質絞りの断面を示す。軸受部材２０に設け
られた多孔質絞りは、軸受面に通気性を持つ多孔質材料
２を用いるものでこめ多孔買材料の抵抗が絞りの役目を
する。
られた多孔質絞りは、軸受面に通気性を持つ多孔質材料
２を用いるものでこめ多孔買材料の抵抗が絞りの役目を
する。
（５）その他
第７図に示すような毛細管２３の抵抗が絞りの役目をす
る毛細管絞り、あるいは第８図に示すようなスロット２
４の抵抗が絞りの役目をするスロット絞りなどがある。
る毛細管絞り、あるいは第８図に示すようなスロット２
４の抵抗が絞りの役目をするスロット絞りなどがある。
これら各種の絞り形式の中で、多孔質絞りは剛性が高い
が軸受隙間を大きくして行くと（５μｍ以上）その能力
は急激に低下する。一方、その他の絞りは剛性は多孔質
絞りほどではないが、軸受隙間を多孔質絞りより大きく
とっても安定しているという特徴がある。
が軸受隙間を大きくして行くと（５μｍ以上）その能力
は急激に低下する。一方、その他の絞りは剛性は多孔質
絞りほどではないが、軸受隙間を多孔質絞りより大きく
とっても安定しているという特徴がある。
まｋ、軸受材料には加工性のため、および軸と軸受また
は移動体と案内部との接触による焼付やかじりなどの対
策のため、銅合金などが用いられてきているが、焼付や
かじりに対してはあまりその効果は期待できない。
は移動体と案内部との接触による焼付やかじりなどの対
策のため、銅合金などが用いられてきているが、焼付や
かじりに対してはあまりその効果は期待できない。
同様に多孔質部材としては銅合金、炭素系材料または超
硬合金などが用いられており、中でも炭素系多孔質材料
の耐焼付および耐かじり性については他の材料と比較す
ると近年では格段の向上がみられる。さらに最近では軸
受材としての多孔質材にセラミック材なども用いられて
いるが、炭素系材料に比較すると耐焼付および耐かじり
性については特性が若干劣る。
硬合金などが用いられており、中でも炭素系多孔質材料
の耐焼付および耐かじり性については他の材料と比較す
ると近年では格段の向上がみられる。さらに最近では軸
受材としての多孔質材にセラミック材なども用いられて
いるが、炭素系材料に比較すると耐焼付および耐かじり
性については特性が若干劣る。
多孔質材を用いた多孔質絞りでは、気体透過流量を所定
の値で均一に分布させる流量調整という作業が必要であ
る。その流量調整の方法として、多孔買表面を押しつぶ
す方法、メッキによる方法、樹脂などを塗布または含浸
させる方法などがある。特に、気体透過流量値をゼロに
し、気体の漏れを防ぐことを目止めと呼ぶ。
の値で均一に分布させる流量調整という作業が必要であ
る。その流量調整の方法として、多孔買表面を押しつぶ
す方法、メッキによる方法、樹脂などを塗布または含浸
させる方法などがある。特に、気体透過流量値をゼロに
し、気体の漏れを防ぐことを目止めと呼ぶ。
［発明が解決しようとする課題コ
以上のように、炭素系多孔貿材を使用した多孔質絞りの
軸受に対して、その他の絞り方式による軸受は耐焼付性
などの点で劣る。しかし、高速回転をする軸の軸受など
のように軸の遠心力による膨らみを考慮しなければなら
ない場合などは、多孔質絞りでは不利がある。すなわち
、回転数の低いときには当初の設定軸受隙間であるが、
回転数が上昇するにしたがって軸の遠心力により軸が変
形して膨らみ軸受隙間が小さくなるような場合には、予
め膨らみを見込んだ軸受陣間としなければならない。し
たがって、軸受隙間を広げておく必要があり、上述した
ように大きい軸受隙間では能力が低下する多孔質絞りで
は不利となる。
軸受に対して、その他の絞り方式による軸受は耐焼付性
などの点で劣る。しかし、高速回転をする軸の軸受など
のように軸の遠心力による膨らみを考慮しなければなら
ない場合などは、多孔質絞りでは不利がある。すなわち
、回転数の低いときには当初の設定軸受隙間であるが、
回転数が上昇するにしたがって軸の遠心力により軸が変
形して膨らみ軸受隙間が小さくなるような場合には、予
め膨らみを見込んだ軸受陣間としなければならない。し
たがって、軸受隙間を広げておく必要があり、上述した
ように大きい軸受隙間では能力が低下する多孔質絞りで
は不利となる。
一方、多孔質絞り以外の絞りを用いれば、軸受陣間の大
きいときには多孔質絞りよりも良い結果が得られる。し
かし、高速回転時には軸受陳間が小さくなる上、剛性が
多孔質絞りより弱いことから軸と軸受とが接触しやすく
、焼付やかじりを生じるという欠点がある。
きいときには多孔質絞りよりも良い結果が得られる。し
かし、高速回転時には軸受陳間が小さくなる上、剛性が
多孔質絞りより弱いことから軸と軸受とが接触しやすく
、焼付やかじりを生じるという欠点がある。
そこで、上記両者の絞りを並設することが考えられるが
、多孔質絞りと多孔質絞り以外の絞りとの並設において
はさまざまな問題がある。
、多孔質絞りと多孔質絞り以外の絞りとの並設において
はさまざまな問題がある。
まず多孔質絞りと他の絞りとの絞り形式や条件の違いに
よって、個々に最適給気圧があるため１系統の給気では
適切な調整ができない。
よって、個々に最適給気圧があるため１系統の給気では
適切な調整ができない。
次に、多孔質内に単に他の絞りを設けたときには、他の
絞りへ給気される加圧気体が多孔質内部へ漏れてしまい
、多孔貿材が絞りとしての役目を果たさなくなってしま
う。第９図は、多孔質に設けた自戒絞りを示す。同図に
おいて、１は軸受ハウジング、２は多孔貿材、４は自成
絞り、５は自成絞り４への給気溝、７は自成絞り４への
給気孔、１４は軸受陳間である。給気孔７から供給され
る加圧気体は矢印のように多孔質材２に漏れ出てしまい
、絞りとして成立しない。
絞りへ給気される加圧気体が多孔質内部へ漏れてしまい
、多孔貿材が絞りとしての役目を果たさなくなってしま
う。第９図は、多孔質に設けた自戒絞りを示す。同図に
おいて、１は軸受ハウジング、２は多孔貿材、４は自成
絞り、５は自成絞り４への給気溝、７は自成絞り４への
給気孔、１４は軸受陳間である。給気孔７から供給され
る加圧気体は矢印のように多孔質材２に漏れ出てしまい
、絞りとして成立しない。
本発明は、上述の従来形における問題点に鑑み、高速回
転をする軸の遠心力による膨らみを考慮しなければなら
ない場合であっても、安定した剛性を得ることができ、
かつ軸と軸受とが接触して焼付やかじりを生じるという
ことを防止できる静圧気体軸受を提供することを目的と
する。
転をする軸の遠心力による膨らみを考慮しなければなら
ない場合であっても、安定した剛性を得ることができ、
かつ軸と軸受とが接触して焼付やかじりを生じるという
ことを防止できる静圧気体軸受を提供することを目的と
する。
［課題を解決するための手段および作用］上記の目的を
達成するため、本発明に係る静圧気体軸受は、自戒絞り
、オリフィス絞り、表面絞りなどの多孔質絞り以外の絞
りと多孔質絞りと−を同一多孔質材の中に形成し、各絞
りにおける最適な給気圧を供給できるように給気系を分
離し、さらに各絞りへの給気が多孔貿内でお互いに漏れ
ないよう多孔質材への目止めを施すことととしている。
達成するため、本発明に係る静圧気体軸受は、自戒絞り
、オリフィス絞り、表面絞りなどの多孔質絞り以外の絞
りと多孔質絞りと−を同一多孔質材の中に形成し、各絞
りにおける最適な給気圧を供給できるように給気系を分
離し、さらに各絞りへの給気が多孔貿内でお互いに漏れ
ないよう多孔質材への目止めを施すことととしている。
これにより、多孔貿絞りとその他の絞りの両方の長所が
利用できるようになった。
利用できるようになった。
［実施例］
以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。
第１図は、本発明の一実施例に係る静圧気体軸受の断面
図であり、第２図はその部分拡大図である。
図であり、第２図はその部分拡大図である。
これらの図において、１は軸受ハウジング、２は軸受と
なるところの多孔貿部材、３は多孔質絞り、４は多孔質
部材２に環状に分布され形威された多孔貿絞り以外の絞
りで本実施例では自戒絞りである。５は軸受ハウジング
１に環状に設けられた自戒絞り４への給気溝、６は同様
に設けられた多孔質絞り３への給気溝である。７は自戒
絞り４への給気孔、８はその給気口てある。９は多孔質
絞り３への給気孔、１０はその給気口である。１１は盲
栓、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄはそれぞれ多孔貿
材を目止めしている樹脂、１３は回転軸、１４は軸受隙
間である。
なるところの多孔貿部材、３は多孔質絞り、４は多孔質
部材２に環状に分布され形威された多孔貿絞り以外の絞
りで本実施例では自戒絞りである。５は軸受ハウジング
１に環状に設けられた自戒絞り４への給気溝、６は同様
に設けられた多孔質絞り３への給気溝である。７は自戒
絞り４への給気孔、８はその給気口てある。９は多孔質
絞り３への給気孔、１０はその給気口である。１１は盲
栓、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄはそれぞれ多孔貿
材を目止めしている樹脂、１３は回転軸、１４は軸受隙
間である。
多孔質部材２を用いた多孔質絞りでは、上述したように
、気体透過流量を所定の値で均一に分布させる流量調整
という作業が必要である。本実施例ては、多孔貿部材２
の軸受面に樹脂などを塗布または含浸させた後、気体透
過流量を測定しながら所定の値になるまで樹脂などを溶
剤により少量ずつ除去し、気体透過流量を均一に分布さ
せる手法をとった。また、目止めには樹脂を塗布または
含浸させており、軸受部のみ表面の樹脂を除去し、含浸
した樹脂のみで目止めを行う。第１０図は第９図の自戒
絞りに目止めを施した状態を示す断面図である。１２ａ
は軸受面の目止め、１２ｂは接合部の目止め、１２Ｃは
絞り内部の目止めである。
、気体透過流量を所定の値で均一に分布させる流量調整
という作業が必要である。本実施例ては、多孔貿部材２
の軸受面に樹脂などを塗布または含浸させた後、気体透
過流量を測定しながら所定の値になるまで樹脂などを溶
剤により少量ずつ除去し、気体透過流量を均一に分布さ
せる手法をとった。また、目止めには樹脂を塗布または
含浸させており、軸受部のみ表面の樹脂を除去し、含浸
した樹脂のみで目止めを行う。第１０図は第９図の自戒
絞りに目止めを施した状態を示す断面図である。１２ａ
は軸受面の目止め、１２ｂは接合部の目止め、１２Ｃは
絞り内部の目止めである。
軸受部の目止め１２ａは、上記手法により表面の樹脂の
み除去し、多孔質材の耐焼付性を損なうことなく内部に
含浸した樹脂により目止めしたものである。目止め１２
ｂも同様である。含漫の深さは１０μｍ程度である。自
戒絞り４内の目止め１２ｃは、例えばシリンジ（注射器
）などを用いて樹脂に圧力をかけて絞り内を通す手法な
どにより形成される。第１１図は自戒絞り部分の目止め
作業の例を示す断面図、第１２図はその部分拡大図であ
る。これらの図において、所定の圧力がかけられたシリ
ンジ１７内の樹脂１５は絞り４内を矢印のように通り、
表面に樹脂が塗布される。これにより自戒絞り４内の目
止めが可能である。
み除去し、多孔質材の耐焼付性を損なうことなく内部に
含浸した樹脂により目止めしたものである。目止め１２
ｂも同様である。含漫の深さは１０μｍ程度である。自
戒絞り４内の目止め１２ｃは、例えばシリンジ（注射器
）などを用いて樹脂に圧力をかけて絞り内を通す手法な
どにより形成される。第１１図は自戒絞り部分の目止め
作業の例を示す断面図、第１２図はその部分拡大図であ
る。これらの図において、所定の圧力がかけられたシリ
ンジ１７内の樹脂１５は絞り４内を矢印のように通り、
表面に樹脂が塗布される。これにより自戒絞り４内の目
止めが可能である。
１６は樹脂１５の漏れを防ぐためのＯリングである。
大気に開放される多孔質面は、第２図に示すように、樹
脂を塗布する目止め１２ｄを施すだけでよい。
脂を塗布する目止め１２ｄを施すだけでよい。
さらに第２図において、自戒絞り４に給気された気体の
流れを矢印Ａ、多孔質絞りへ給気された気体の流れを矢
印Ｂにて示す。これらは、不図示のポンプからそれぞれ
独立に所定の給気圧で給気されている。
流れを矢印Ａ、多孔質絞りへ給気された気体の流れを矢
印Ｂにて示す。これらは、不図示のポンプからそれぞれ
独立に所定の給気圧で給気されている。
給気口８に給気された気体は、矢印Ａのように給気孔７
を通って給気溝５へ入りそこから各自成絞り４に供給さ
れる。各自成絞り４内には目止め樹脂１２ｂ，１２ｃに
より目止めが施されているので、多孔質部材２内へ気体
が漏れることはない。各自戒絞り４の気体噴出口の周辺
には目止め１２ａが施されているので、ここから排出さ
れた気体は軸受としての機能を果たすこととなる。
を通って給気溝５へ入りそこから各自成絞り４に供給さ
れる。各自成絞り４内には目止め樹脂１２ｂ，１２ｃに
より目止めが施されているので、多孔質部材２内へ気体
が漏れることはない。各自戒絞り４の気体噴出口の周辺
には目止め１２ａが施されているので、ここから排出さ
れた気体は軸受としての機能を果たすこととなる。
一方上記の気体の流れＡとは別に、給気口１ｏに給気さ
れｋ気体は、矢印Ｂのように給気孔９を通って給気溝６
へ入り、そこから各多孔質絞り３に供給される。多孔貿
部材２内には目止め樹脂１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２
ｄにより目止めが施されているので、多孔貿絞り３に供
給された気体は自戒絞り４や外部に漏れることなく軸受
隙間２０へと排出される。これにより、軸受の機能を果
たす。
れｋ気体は、矢印Ｂのように給気孔９を通って給気溝６
へ入り、そこから各多孔質絞り３に供給される。多孔貿
部材２内には目止め樹脂１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２
ｄにより目止めが施されているので、多孔貿絞り３に供
給された気体は自戒絞り４や外部に漏れることなく軸受
隙間２０へと排出される。これにより、軸受の機能を果
たす。
なお、上記の実施例では自戒絞りと多孔質絞りとを組合
せたが、自戒絞りの代わりにオリフィス絞りや表面絞り
などのような他の絞り方式を用いてもよい。
せたが、自戒絞りの代わりにオリフィス絞りや表面絞り
などのような他の絞り方式を用いてもよい。
さらに、上記実施例において、自戒絞りと多孔貿絞りへ
の給気は両方同時に行なってもどちらか一方ずつ切換え
るなどしてもよい。
の給気は両方同時に行なってもどちらか一方ずつ切換え
るなどしてもよい。
また、上記実施例では回転軸受を採用したが、必要があ
ればスライドなど往復運動の軸受に採用してもよい。さ
らに、ラジアル軸受に採用したが、アキシャル軸受に採
用してもよい。
ればスライドなど往復運動の軸受に採用してもよい。さ
らに、ラジアル軸受に採用したが、アキシャル軸受に採
用してもよい。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、多孔質材に多孔
質絞り以外の絞りを形成することが可能であり、給気シ
２系統に分けているので、より広い範囲で軸受隙間を設
定することができ、各絞りに対し最適な給気圧を設定し
てやれば常に安定した剛性を得ることができる。また、
静圧気体軸受特有の自助振動に対しても、流量調整や各
絞りへの給気圧の調整という対処方法がとれる効果があ
る。
質絞り以外の絞りを形成することが可能であり、給気シ
２系統に分けているので、より広い範囲で軸受隙間を設
定することができ、各絞りに対し最適な給気圧を設定し
てやれば常に安定した剛性を得ることができる。また、
静圧気体軸受特有の自助振動に対しても、流量調整や各
絞りへの給気圧の調整という対処方法がとれる効果があ
る。
１
１
第１図は、本発明の一実施例に係る静圧気体ラジアル軸
受の断面図、 第２図は、第１図の軸受の多孔質部分の拡大図、 第３図は、従来の自戒絞りを示す断面図、第４図は、従
来のオリフィス絞りを示す断面図、 第５図は、従来の表面絞りを示す断面図、第６図は、従
来の多孔貿絞りを示す断面図、第７図は、従来の毛細管
絞りを示す断面図、第８図は、従来のスロット絞りを示
す断面図、第９図は、多孔貿に目止めを施していない場
合の自戒絞りを示す断面図、 第１０図は、多孔質に目止めを施した場合の自戒絞りを
示す断面図、 第１１図は、自戒絞り部分の目止め作業の例を示す断面
図、 ．，２■よ、ヶ１響。．，あ拡ヵ，アあ．。 １ ２ １：軸受ハウジング、 ２：多孔質材、 ３：多孔質絞り、 ４：自戒絞り、 ５：自戒絞りへの給気溝、 ６：多孔質絞りへの給気溝、 ７：自成絞りへの給気孔、 ８：自戒絞りへの給気口、 ９：多孔貿絞りへの給気孔、 １０；多孔質絞りへの給気口 １１：盲栓、 １２ａ：軸受面の目止め、 １ ２ｂ ：＠合部の目止め、 １２ｃ：絞り部の目止め、 １２ｄ；外面の目止め、 １３：回転軸、 １４：軸受隙間、 １５；樹脂、 １６：０リング、 １７：シリンジ、 ２０：軸受部材、 ２１：オリブイス、 ２２；表面絞りの溝、 ２３：毛細管、 ２４：スロット。
受の断面図、 第２図は、第１図の軸受の多孔質部分の拡大図、 第３図は、従来の自戒絞りを示す断面図、第４図は、従
来のオリフィス絞りを示す断面図、 第５図は、従来の表面絞りを示す断面図、第６図は、従
来の多孔貿絞りを示す断面図、第７図は、従来の毛細管
絞りを示す断面図、第８図は、従来のスロット絞りを示
す断面図、第９図は、多孔貿に目止めを施していない場
合の自戒絞りを示す断面図、 第１０図は、多孔質に目止めを施した場合の自戒絞りを
示す断面図、 第１１図は、自戒絞り部分の目止め作業の例を示す断面
図、 ．，２■よ、ヶ１響。．，あ拡ヵ，アあ．。 １ ２ １：軸受ハウジング、 ２：多孔質材、 ３：多孔質絞り、 ４：自戒絞り、 ５：自戒絞りへの給気溝、 ６：多孔質絞りへの給気溝、 ７：自成絞りへの給気孔、 ８：自戒絞りへの給気口、 ９：多孔貿絞りへの給気孔、 １０；多孔質絞りへの給気口 １１：盲栓、 １２ａ：軸受面の目止め、 １ ２ｂ ：＠合部の目止め、 １２ｃ：絞り部の目止め、 １２ｄ；外面の目止め、 １３：回転軸、 １４：軸受隙間、 １５；樹脂、 １６：０リング、 １７：シリンジ、 ２０：軸受部材、 ２１：オリブイス、 ２２；表面絞りの溝、 ２３：毛細管、 ２４：スロット。
Claims (1)
- （１）多孔質絞りとなる多孔質部材を用いた軸受部材と
、 目止めを施すことにより前記軸受部材に形成された多孔
質絞り以外の絞りと、 前記多孔質絞りおよび多孔質絞り以外の絞りに対し、そ
れぞれ独立して給気する手段と を具備することを特徴とする静圧気体軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1184824A JPH0351515A (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 静圧気体軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1184824A JPH0351515A (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 静圧気体軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0351515A true JPH0351515A (ja) | 1991-03-05 |
Family
ID=16159938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1184824A Pending JPH0351515A (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 静圧気体軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0351515A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6776586B2 (en) | 2001-10-24 | 2004-08-17 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Multi-stage vacuum pump |
| JP2014185775A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-10-02 | Aerolas Gmbh | 気体軸受エレメント及び気体軸受エレメントの製造方法ならびにそのような気体軸受エレメントを備える気体軸受 |
| CN107420426A (zh) * | 2017-05-09 | 2017-12-01 | 中原工学院 | 微孔节流气体静压轴承 |
-
1989
- 1989-07-19 JP JP1184824A patent/JPH0351515A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6776586B2 (en) | 2001-10-24 | 2004-08-17 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Multi-stage vacuum pump |
| JP2014185775A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-10-02 | Aerolas Gmbh | 気体軸受エレメント及び気体軸受エレメントの製造方法ならびにそのような気体軸受エレメントを備える気体軸受 |
| CN107420426A (zh) * | 2017-05-09 | 2017-12-01 | 中原工学院 | 微孔节流气体静压轴承 |
| CN107420426B (zh) * | 2017-05-09 | 2020-05-01 | 中原工学院 | 微孔节流气体静压轴承 |
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