JPH0868554A - ダウンフロー式クリーンルーム - Google Patents
ダウンフロー式クリーンルームInfo
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- JPH0868554A JPH0868554A JP6205229A JP20522994A JPH0868554A JP H0868554 A JPH0868554 A JP H0868554A JP 6205229 A JP6205229 A JP 6205229A JP 20522994 A JP20522994 A JP 20522994A JP H0868554 A JPH0868554 A JP H0868554A
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Abstract
フロー式クリーンルームに関し、部分的にフィルタを設
けるだけで、区画室の全域に清浄空気を層流状態で下降
させることを目的とする。 【構成】 天井スラブ面と、天井スラブ面の下方に該天
井スラブ面との間に上部チャンバを形成するように配置
され、複数のフィルタと複数の盲板を交互に配置してな
る上部天井と、上部天井の下方に該上部天井との間に下
部チャンバを形成するように配置され、全面に亘って複
数の空気供給孔が形成された下部天井とを有している。
Description
れるダウンフロー式クリーンルームに関する。
うクリーンルームは、室内空気に対して高度の清浄度が
要求される。
装置には、HEPA(High Efficiency Particulate Ai
rfilter)フィルタやULPAフィルタ等の捕集フィルタ
や化学吸着を利用したケミカルフィルタ等の吸着フィル
タが用いられ、塵埃を多く含んだ空気が清浄される。
ー式クリーンルームとして、例えば、図7に示すものが
知られている。図において、符号101は建屋で、この
建屋101の上部一杯に天井チャンバ102が設けら
れ、この天井チャンバ102の下面全体にフィルタとし
てHEPAフィルタ103が敷設されるとともに、多数
の吸入孔104Aを有する床104が敷設されている。
従って、建屋101の内部は、HEPAフィルタ103
と床104とにより上記天井チャンバ102,室10
5,床下チャンバ106とに分割されている。
置され、この送風機107の一端には第1循環ダクト1
08の一端が接続され、第1循環ダクト108の他端は
天井チャンバ102内に開口している。また、送風機1
07の他端には第2循環ダクト109の一端が接続さ
れ、第2循環ダクト109の他端は床下チャンバ106
内に開口している。なお、送風機107の前後のいずれ
かにはクリーンルーム内の温度調節をするものとして、
ヒーティングコイル,クーリングコイル等の温度調整器
が取り付けられている(図示しない)。
ルタ103から清浄空気110が床104に向って層流
状態で下降している。
ンフロー式クリーンルームにあっては、室105内で
は、清浄空気110を層流状態で全域に降下させるため
には、HEPAフィルタ103を全面に亘って敷設する
必要があり、HEPAフィルタ103の敷設面積が広く
なり、コストアップを招くことになる。
ルームが、実開平2−111411号公報に示すように
知られている(図8に図示)。図示のように、このコン
ベンショナル式クリーンルーム200は、建屋201を
有し、この建屋201の天井板202に所定の間隔で複
数のフィルタチャンバ203が配置されている。コンベ
ンショナル式クリーンルーム200では、フィルタチャ
ンバ203が天井板202の全面に亘って敷設されてい
ないので、敷設面積が少なく、ダウンフロー式クリーン
ルームのコスト高という短所を補うものではあるが、フ
ィルタチャンバ203のフィルタ部分203Aが天井板
202の下面に突き出しているので、フィルタ部分20
3Aの側方に渦流204が発生して停滞し、渦流204
が循環気流とならないので、塵埃が速かに排出されない
という欠点がある。
なされたもので、その目的は、部分的にフィルタを設け
るだけで、室の全域に清浄空気を層流状態で下降させる
ことができるダウンフロー式クリーンルームを提供する
ことである。
天井スラブ面の下方に配置された上部天井チャンバと、
天井スラブ面との間に上部天井チャンバを形成するよう
に配置され、複数のフィルタと複数の盲板を交互に配置
してなる上部天井と、上部天井の下方に配置された下部
天井チャンバと、上部天井との間に下部天井チャンバを
形成するように配置され、全面に亘って複数の空気供給
孔が形成された下部天井と、下部天井の下方に配置さ
れ、下部天井からの清浄空気が層流状態で下降する室
と、室から排出される清浄空気をフィルタに導いて室と
フィルタの間で清浄空気を循環させる空気調和装置とを
有していることを特徴とする。
方に配置されたダクトと、ダクトの下方に配置され、該
ダクトに接続された複数のフィルタと複数の盲板を交互
に配置してなる上部天井と、上部天井の下方に配置され
た下部天井チャンバと、上部天井との間に下部天井チャ
ンバを形成するように配置され、全面に亘って複数の空
気供給孔が形成された下部天井と、下部天井の下方に配
置され、下部天井からの清浄空気が層流状態で下降する
室と、室から排出される清浄空気をフィルタに導いて室
とフィルタの間で清浄空気を循環させる空気調和装置と
を有していることを特徴とする。
記載の発明において、上部天井と下部天井の間には、フ
ィルタに対応する上流側分割チャンバと、盲板に対応す
る下流側分割チャンバとが、開閉自在な開口面積調整手
段を有する仕切板を介して隣接して設けられていること
を特徴とする。
記載の発明において、上部天井と下部天井の間には、フ
ィルタに対応する上流側分割チャンバと、盲板に対応す
る下流側分割チャンバとが、開閉自在なシャッタ装置を
介して隣接して設けられていることを特徴とする。
3,4いずれか記載の発明において、複数のフィルタの
総合面積の上部天井に対する面積比率が小さくなるにつ
れて、複数の空気供給孔の総合面積の下部天井に対する
面積比率が小さくなることを特徴とする。
3,4,5いずれか記載の発明において、複数のフィル
タの総合面積の上部天井に対する面積比率が50%に対
して、複数の空気供給孔の総合面積の下部天井に対する
面積比率が40%であることを特徴とする。
3,4,5いずれか記載の発明において、複数のフィル
タの総合面積の上部天井に対する面積比率が25%に対
して、複数の空気供給孔の総合面積の下部天井に対する
面積比率が20%であることを特徴とする。
バからの清浄空気は、上部天井のフィルタを通って下部
天井チャンバに吹き出される。
に吹き出された清浄空気は、下部天井のフィルタに対向
する部分によって流れが遮られる。従って、清浄空気
は、下部天井チャンバの全域に亘って拡散し、下部天井
チャンバ内で減圧される。この減圧された清浄空気は、
下部天井の複数の空気供給孔を通って下部天井の下方の
室に吹き出される。
気供給孔が形成されているので、下部天井の全面を通っ
て室に流れる清浄空気は均一になり、室の全域に層流状
態で下降する。
フィルタにダクトが接続されているので、ダクトで清浄
空気がフィルタに導かれ、フィルタから下部天井チャン
バに吹き出す空気圧が高くなる。
下部天井の間には、フィルタに対応する上流側分割チャ
ンバと、盲板に対応する下流側分割チャンバとが、開閉
自在な開口面積調整手段を有する仕切板を介して隣接し
て設けられているので、開口面積調整手段の開閉量を調
整することにより、上流側分割チャンバ及び下流側分割
チャンバから下部天井を介してその下側の室へ吹き出す
清浄空気の量,速度が制御される。
載の発明と同様の作用が生じる。請求項5記載の発明に
おいて、複数のフィルタの総合面積の上部天井に対する
面積比率が小さくなるにつれて、複数の空気供給孔の総
合面積の下部天井に対する面積比率が小さくなるので、
下部天井からその下側の室へ吹き出される清浄空気の分
散率が確保され、下部天井から室に均一に清浄空気が吹
き出される。
ルタの総合面積の上部天井に対する面積比率が50%に
対して、複数の空気供給孔の総合面積の下部天井に対す
る面積比率が40%であるので、下部天井からその下側
の室へ吹き出される清浄空気の分散率が確保され、下部
天井から室に均一に清浄空気が吹き出される。
ルタの総合面積の上部天井に対する面積比率が25%に
対して、複数の空気供給孔の総合面積の下部天井に対す
る面積比率が20%であるので、下部天井からその下側
の室へ吹き出される清浄空気の分散率が確保され、下部
天井から室に均一に清浄空気が吹き出される。
明する。請求項1,5,6,7記載の発明の実施例に係
わるダウンフロー式クリーンルームを図1ないし図3に
より説明する。
最上部には天井スラブ面2が形成されている。天井スラ
ブ面2の下方に上部天井3が配置され、上部天井3はH
EPAフィルタからなるフィルタ4と盲板5を交互に複
数組配置してなる。上部天井3と該天井スラブ面2との
間に上部天井チャンバ6が形成されている。
部天井7が配置され、下部天井7の全面に亘って複数の
空気供給孔7Aが形成されている。この下部天井7と上
部天井3との間に下部天井チャンバ8が形成されてい
る。
有する床9が配設されている。床9と下部天井7の間に
室10が形成されている。さらに、床9の下方には床下
チャンバ11が形成されている。従って、建屋1の内部
は、上部天井3,下部天井7,床9により、上部天井チ
ャンバ6,下部天井チャンバ8,室10,床下チャンバ
11に分割されている。
れ、この送風機12の一端には第1循環ダクト13Aの
一端が接続され、第1循環ダクト13Aの他端は上部天
井チャンバ6内に開口している。また、送風機12の他
端には第2循環ダクト13Bの一端が接続され、第2循
環ダクト13Bの他端は床下チャンバ11内に開口して
いる。上記の送風機12,第1循環ダクト13A,第2
循環ダクト13Bにより空気調和装置14が構成されて
いる。なお、送風機12の前後のいずれかにはクリーン
ルーム内の温度調節をするものとして、ヒーティングコ
イル,クーリングコイル等の温度調整器が取り付けられ
ている(図示しない)。
10から床下チャンバ11,第2循環ダクト13Bを介
して排出される清浄空気は、上部天井チャンバ6に導か
れ、さらに、上部天井3のフィルタ4により清浄化され
た後、下部天井チャンバ8,下部天井7を介して室10
に戻る。従って、清浄空気は上部天井3のフィルタ4に
より清浄化されながら、空気調和装置14により室6と
上部天井チャンバ6の間で循環している。
気が上部天井3のフィルタ4から下部天井チャンバ8に
吹き出される際、下部天井チャンバ8では、フィルタ4
から垂直に吹き出された清浄空気は、下部天井7のフィ
ルタ4に対向する部分によって流れが遮られる。従っ
て、清浄空気は、下部天井チャンバ8の全域に亘って拡
散し、下部天井チャンバ8内で減圧される。この減圧さ
れた清浄空気は、下部天井7の複数の空気供給孔7Aを
通って下部天井7の下側の室10に吹き出される。
空気供給孔7Aが形成されているので、下部天井7の全
面を通って室10に流れる清浄空気は均一になり、ダウ
ンフローと称される下降層流Kが形成され、コンベンシ
ョナルフローを形成することなく、渦流が生じなること
はない。要するに、下降層流Kが形成され、この下降層
流Kは床9に向かう。
部天井3に対する面積比率が小さくなるにつれて、複数
の空気供給孔7Aの総合面積の下部天井7に対する面積
比率が小さく設定されている。例えば、図2に示す実験
において、複数のフィルタ4の総合面積の上部天井3に
対する面積比率が50%に対して、複数の空気供給孔7
Aの総合面積の下部天井7に対する面積比率が40%に
設定され、さらに、フィルタ吹き出し速度=0.5m/sec、
フィルタサイズ=610mm ×610mm 、下部天井チャンバ8
の垂直寸法=600mm とすれば、下部天井7の直下の風速
=0.25m/sec ±10%となる。かかる実験条件によれば、
複数の空気供給孔7Aの総合面積の下部天井7に対する
面積比率が40%に設定されていることからフィルタ4
から吹き出される清浄空気の下部天井7での抵抗が小さ
くなり、複数のフィルタ4の設置密度が比較的密である
ことと相まって下部天井7からその下側の室10へ吹き
出される清浄空気の分散率が確保され、下部天井7から
室10に均一に清浄空気が吹き出される。また、上述の
実験条件では、下部天井チャンバ8の垂直寸法=600mm
と比較的に小さくすることができ、従って、室10の高
さが確保される。
ィルタ4の総合面積の上部天井3に対する面積比率が2
5%に対して、複数の空気供給孔7Aの総合面積の下部
天井7に対する面積比率が20%に設定され、さらに、
フィルタ吹き出速度=1m/sec、フィルタサイズ=610mm
×610mm 、下部天井チャンバ8の垂直寸法=1200mmとす
れば、下部天井7の直下の風速=0.25m/sec ±10%とな
る。かかる実験条件によれば、複数のフィルタ4の設置
密度が比較的疎であっても、下部天井7からその下側の
室10へ吹き出される清浄空気の分散率が確保され、下
部天井7から室10に均一に清浄空気が吹き出される。
面に亘ってフィルタを装着する場合に比して、下部天井
7からの室10への清浄空気の下降層流Kの均一性は、
損なわれるものの、要求される室10内の清浄度がクラ
ス100以上の清浄度においては、要求される室10内
の清浄度の品質に適合する。
分的にフィルタ4を設けることにより、下部天井7から
清浄空気を室10の全域に層流状態で下降させることが
でき、上部天井3に全面的にフィルタ4を設置した場合
に比して、フィルタ4がないスペース分(盲板5の面積
分)だけコストを節約できる。
てHEPAフィルタを例に挙げて説明しているが、これ
に限定されることなく、例えば、ULPAフィルタ等の
捕集フィルタや化学吸着を利用したケミカルフィルタ等
の吸着フィルタを用いることもできる。
わるダウンフロー式クリーンルームを示す。本実施例に
おいては、請求項1記載の発明の実施例に係わるダウン
フロー式クリーンルームと同一構成部品を使用し、同一
構成部品については同一符号を付し、その説明を省略す
る。相違する構成部分についてのみ説明する。
ャンバ6内に、二点鎖線で示すダクト15が配置されて
いる。ダクト15は複数のフィルタ4に接続している。
このダクト15を用いることにより、清浄空気をフィル
タ4に導き、フィルタ4から下部天井チャンバ8に吹き
出す空気圧を高くできる。
ンバ6内に二点鎖線で示すダクト15が配置されている
が、上部天井チャンバ6がなくても、ダクト15だけを
配置することもできる。
ンフロー式クリーンルームを図5により説明する。本実
施例に係わるダウンフロー式クリーンルームは請求項1
記載の発明の実施例に係わるダウンフロー式クリーンル
ームと基本的に同じ構造であり、相違する構成部分につ
いてのみ説明する。なお、本実施例においては、請求項
1記載の発明の実施例に係わるダウンフロー式クリーン
ルームと同一構成部分については同一符号を付して説明
を省略する。
には、図面上の左側から順番に第1仕切板21,第2仕
切板22,第3仕切板23が設けられている。第1仕切
板21,第3仕切板23は開閉自在なダンパ(開口面積
調整手段)21A,23Aをそれぞれ有している。図面
上の左側壁面24と第1仕切板21の間に位置して上流
側分割チャンバ25が形成され、上流側分割チャンバ2
5はフィルタ4に対応している。第1仕切板21と第2
仕切板22の間に位置して下流側分割チャンバ26が形
成され、盲板5に対応している。上流側分割チャンバ2
5と下流側分割チャンバ26は第1仕切板21を介して
隣接している。
の間に位置して上流側分割チャンバ27が形成され、上
流側分割チャンバ27はフィルタ4に対応している。第
3仕切板23と図面上の右側壁面28の間に位置して下
流側分割チャンバ29が形成され、盲板5に対応してい
る。上流側分割チャンバ27と下流側分割チャンバ29
は第3仕切板23を介して隣接している。
が調整されることにより、上流側分割チャンバ25,2
7から、下流側分割チャンバ26,29に流れる風量が
調整され、従って、上流側分割チャンバ25,27、及
び、下流側分割チャンバ26,29から室10の部分へ
の下降層流Kの風量が調整される。例えば、上流側分割
チャンバ25,27の下方に生産設備が配置され、下流
側分割チャンバ26,29の下方に操作員が配置されて
いる場合、上流側分割チャンバ25,27の下方の下降
層流Kの風量が多くされ、生産設備から発生した塵埃の
除去がされるとともに、下流側分割チャンバ26,29
の下方の下降層流Kの風量が少なくされ、操作員から発
生した塵埃の除去がされるようになっている。
発明の実施例に係わるダウンフロー式クリーンルームの
効果に加えて、ダンパ21A,23Aの開閉度を調整す
ることにより、上流側分割チャンバ25,27、下流側
分割チャンバ26,29から下部天井7を介してその下
側の室10へ吹き出す下降層流Kの量,速度を制御で
き、従って、室10内で発生する塵埃の状況に対応でき
る。
ンフロー式クリーンルームを図6により説明する。本実
施例に係わるダウンフロー式クリーンルームは請求項3
記載の発明の実施例に係わるダウンフロー式クリーンル
ームと基本的に同じ構造であり、相違する構成部分につ
いてのみ説明する。なお、本実施例においては、請求項
3記載の発明の実施例に係わるダウンフロー式クリーン
ルームと同一構成部分については、同一構成部分につい
ては同一符号を付して説明を省略する。
には、第1シャッタ装置31,仕切板32,第2シャッ
タ装置33が設けられている。第1シャッタ装置31は
2枚の引戸31A,31Aで構成され、開閉自在となっ
ている。第2シャッタ装置33は2枚の引戸33A,3
3Aで構成され、開閉自在となっている。
31の間に位置して上流側分割チャンバ35が形成さ
れ、上流側分割チャンバ35はフィルタ4に対応してい
る。第1シャッタ装置31と仕切板32の間に位置して
下流側分割チャンバ36が形成され、盲板5に対応して
いる。上流側分割チャンバ35と下流側分割チャンバ3
6は第1シャッタ装置31を介して隣接している。
3の間に位置して上流側分割チャンバ37が形成され、
上流側分割チャンバ37はフィルタ4に対応している。
第2シャッタ装置33と図面上の右側壁面38の間に位
置して下流側分割チャンバ39が形成され、盲板5に対
応している。上流側分割チャンバ37と下流側分割チャ
ンバ39は第2シャッタ装置33を介して隣接してい
る。
式クリーンルームは請求項3記載の発明の実施例に係わ
るダウンフロー式クリーンルームと同様の作用,効果を
奏する。
明においては、上部天井に部分的にフィルタを設けるこ
とにより、下部天井から清浄空気を室の全域に層流状態
で下降させることができ、上部天井に全面的にフィルタ
を設置した場合に比して、フィルタがないスペース分だ
けコストを節約できる。
載の発明と同様な効果を奏する。また、上部天井のフィ
ルタにダクトが接続されているので、ダクトで清浄空気
をフィルタに導き、フィルタから下部天井チャンバに吹
き出す空気圧を高くできる。
下部天井の間には、フィルタに対応する上流側分割チャ
ンバと、盲板に対応する下流側分割チャンバとが、開閉
自在な開口面積調整手段を有する仕切板を介して隣接し
て設けられているので、開口面積調整手段の開閉量を調
整することにより、上流側分割チャンバ及び下流側分割
チャンバから下部天井を介してその下側の室へ吹き出す
清浄空気の量,速度を制御でき、従って、室内で発生す
る塵埃の状況に対応できる。
載の発明と同様の効果が生じる。請求項5記載の発明に
おいて、複数のフィルタの総合面積の上部天井に対する
面積比率が小さくなるにつれて、複数の空気供給孔の総
合面積の下部天井に対する面積比率が小さくなるので、
下部天井からその下側の室へ吹き出される清浄空気の分
散率を確保し、下部天井から室に均一に清浄空気を吹き
出すことができる。
ルタの総合面積の上部天井に対する面積比率が50%に
対して、複数の空気供給孔の総合面積の下部天井に対す
る面積比率が40%であるので、下部天井からその下側
の室へ吹き出される清浄空気の分散率を確保し、下部天
井から室に均一に清浄空気を吹き出すことができる。
ルタの総合面積の上部天井に対する面積比率が25%に
対して、複数の空気供給孔の総合面積の下部天井に対す
る面積比率が20%であるので、下部天井からその下側
の室へ吹き出される清浄空気の分散率を確保し、下部天
井から室に均一に清浄空気を吹き出すことができる。
ロー式クリーンルームの断面図である。
ロー式クリーンルームの要部説明図である
ロー式クリーンルームの要部説明図である
ロー式クリーンルームの断面図である。
ロー式クリーンルームの断面図である。
ロー式クリーンルームの断面図である。
断面図である。
ムの断面図である。
Claims (7)
- 【請求項1】 天井スラブ面の下方に配置された上部天
井チャンバと、 天井スラブ面との間に上部天井チャンバを形成するよう
に配置され、複数のフィルタと複数の盲板を交互に配置
してなる上部天井と、 上部天井の下方に配置された下部天井チャンバと、 上部天井との間に下部天井チャンバを形成するように配
置され、全面に亘って複数の空気供給孔が形成された下
部天井と、 下部天井の下方に配置され、下部天井からの清浄空気が
層流状態で下降する室と、 室から排出される清浄空気をフィルタに導いて室とフィ
ルタの間で清浄空気を循環させる空気調和装置とを有し
ていることを特徴とするダウンフロー式クリーンルー
ム。 - 【請求項2】 天井スラブ面の下方に配置されたダクト
と、 ダクトの下方に配置され、該ダクトに接続された複数の
フィルタと複数の盲板を交互に配置してなる上部天井
と、 上部天井の下方に配置された下部天井チャンバと、 上部天井との間に下部天井チャンバを形成するように配
置され、全面に亘って複数の空気供給孔が形成された下
部天井と、 下部天井の下方に配置され、下部天井からの清浄空気が
層流状態で下降する室と、 室から排出される清浄空気をフィルタに導いて室とフィ
ルタの間で清浄空気を循環させる空気調和装置とを有し
ていることを特徴とするダウンフロー式クリーンルー
ム。 - 【請求項3】 上部天井と下部天井の間には、フィルタ
に対応する上流側分割チャンバと、盲板に対応する下流
側分割チャンバとが、開閉自在な開口面積調整手段を有
する仕切板を介して隣接して設けられていることを特徴
とする請求項1または2記載のダウンフロー式クリーン
ルーム。 - 【請求項4】 上部天井と下部天井の間には、フィルタ
に対応する上流側分割チャンバと、盲板に対応する下流
側分割チャンバとが、開閉自在なシャッタ装置を介して
隣接して設けられていることを特徴とする請求項1また
は2記載のダウンフロー式クリーンルーム。 - 【請求項5】 複数のフィルタの総合面積の上部天井に
対する面積比率が小さくなるにつれて、複数の空気供給
孔の総合面積の下部天井に対する面積比率が小さくなる
ことを特徴とする請求項1,2,3,4いずれか記載の
ダウンフロー式クリーンルーム。 - 【請求項6】 複数のフィルタの総合面積の上部天井に
対する面積比率が50%に対して、複数の空気供給孔の
総合面積の下部天井に対する面積比率が40%であるこ
とを特徴とする請求項1,2,3,4,5いずれか記載
のダウンフロー式クリーンルーム。 - 【請求項7】 複数のフィルタの総合面積の上部天井に
対する面積比率が25%に対して、複数の空気供給孔の
総合面積の下部天井に対する面積比率が20%であるこ
とを特徴とする請求項1,2,3,4,5いずれか記載
のダウンフロー式クリーンルーム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20522994A JP3501173B2 (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | ダウンフロー式クリーンルーム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20522994A JP3501173B2 (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | ダウンフロー式クリーンルーム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0868554A true JPH0868554A (ja) | 1996-03-12 |
JP3501173B2 JP3501173B2 (ja) | 2004-03-02 |
Family
ID=16503549
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20522994A Expired - Fee Related JP3501173B2 (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | ダウンフロー式クリーンルーム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3501173B2 (ja) |
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- 1994-08-30 JP JP20522994A patent/JP3501173B2/ja not_active Expired - Fee Related
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