JPH0655426A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
- Publication number
- JPH0655426A JPH0655426A JP21506492A JP21506492A JPH0655426A JP H0655426 A JPH0655426 A JP H0655426A JP 21506492 A JP21506492 A JP 21506492A JP 21506492 A JP21506492 A JP 21506492A JP H0655426 A JPH0655426 A JP H0655426A
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- JP
- Japan
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- polishing
- glass substrate
- plate
- polished
- grindstone
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 ガラス基板１の端部を研磨する。円盤状の砥
石８が回転可能に設けられる。砥石８の外周面には研磨
加工形状の溝１０が形成される。ガラス基板１が砥石８
の外周面に端部を沿わせて接線方向に移動可能に設けら
れている。 【効果】 砥石８はガラス基板１の移動方向に対して平
行に回転するため、ガラス基板１の欠けや割れを防止
し、歩留まりの向上を図ることができる。また、ガラス
基板１の端部を複数の傾斜面に一度に面取りすることが
できるので、工数の低減を図ることができる。
石８が回転可能に設けられる。砥石８の外周面には研磨
加工形状の溝１０が形成される。ガラス基板１が砥石８
の外周面に端部を沿わせて接線方向に移動可能に設けら
れている。 【効果】 砥石８はガラス基板１の移動方向に対して平
行に回転するため、ガラス基板１の欠けや割れを防止
し、歩留まりの向上を図ることができる。また、ガラス
基板１の端部を複数の傾斜面に一度に面取りすることが
できるので、工数の低減を図ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被研磨板の端部を研磨
する研磨装置に関するものである。
する研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示パネルの製造プロセスにおいて
は、カット時に生じたバリ除去等のためにガラス基板の
端部を研磨加工することが行われる。この時の研磨は、
図５に示すように、ガラス基板４０の端部が、端面４
１、表角面４２及び裏角面４３となるように面取りされ
る。
は、カット時に生じたバリ除去等のためにガラス基板の
端部を研磨加工することが行われる。この時の研磨は、
図５に示すように、ガラス基板４０の端部が、端面４
１、表角面４２及び裏角面４３となるように面取りされ
る。
【０００３】このようなガラス基板４０の端部の研磨を
行う従来の研磨装置には、図６に示すように、研磨材と
して研磨ベルト５１を使用したものがある。この研磨ベ
ルト５１は、ダイヤ又は酸化アルミ等の硬質物質をレジ
ン等の媒体を用いて混合した研磨剤をベルトに付着させ
たものからなっている。このタイプの研磨装置にてガラ
ス基板４０の端部における例えば端面４１を研磨加工す
るときは、研磨ベルト５１をガラス基板４０の挿入方向
に対して９０度の傾斜角度とした後、モータ５２にて研
磨ベルト５１を回転させながら、ガラス基板４０を研磨
ベルト５１に接触させて研磨を行う。また、ガラス基板
４０における表角面４２及び裏角面４３の研磨加工をす
るときには、研磨ベルト５１をガラス基板４０の挿入方
向に対してそれぞれの傾斜角度となるように傾斜させた
後、同様に、ガラス基板４０を挿入し、ガラス基板４０
を研磨ベルト５１に接触させて研磨を行う。
行う従来の研磨装置には、図６に示すように、研磨材と
して研磨ベルト５１を使用したものがある。この研磨ベ
ルト５１は、ダイヤ又は酸化アルミ等の硬質物質をレジ
ン等の媒体を用いて混合した研磨剤をベルトに付着させ
たものからなっている。このタイプの研磨装置にてガラ
ス基板４０の端部における例えば端面４１を研磨加工す
るときは、研磨ベルト５１をガラス基板４０の挿入方向
に対して９０度の傾斜角度とした後、モータ５２にて研
磨ベルト５１を回転させながら、ガラス基板４０を研磨
ベルト５１に接触させて研磨を行う。また、ガラス基板
４０における表角面４２及び裏角面４３の研磨加工をす
るときには、研磨ベルト５１をガラス基板４０の挿入方
向に対してそれぞれの傾斜角度となるように傾斜させた
後、同様に、ガラス基板４０を挿入し、ガラス基板４０
を研磨ベルト５１に接触させて研磨を行う。
【０００４】一方、ガラス基板４０の端部の研磨を行う
他のタイプの研磨装置には、図７に示すように、研磨材
として円盤からなる砥石６１を有するものがある。この
タイプの研磨装置にて、ガラス基板４０の端部を研磨加
工するときは、モータ６２にて砥石６１を回転させなが
ら砥石６１の外周面にガラス基板４０の端部を接触さ
せ、ガラス基板４０を砥石６１の回転方向と垂直に移動
させることにより研磨加工するようになっている。そし
て、ガラス基板４０における各面４１・４２・４３を研
磨するときは、砥石６１とガラス基板４０との高さ関係
を変えることにより行うことができるようになってい
る。
他のタイプの研磨装置には、図７に示すように、研磨材
として円盤からなる砥石６１を有するものがある。この
タイプの研磨装置にて、ガラス基板４０の端部を研磨加
工するときは、モータ６２にて砥石６１を回転させなが
ら砥石６１の外周面にガラス基板４０の端部を接触さ
せ、ガラス基板４０を砥石６１の回転方向と垂直に移動
させることにより研磨加工するようになっている。そし
て、ガラス基板４０における各面４１・４２・４３を研
磨するときは、砥石６１とガラス基板４０との高さ関係
を変えることにより行うことができるようになってい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の研磨装置において、ガラス基板４０の端部における
それぞれの部分を面取りすべく研磨するためには、両タ
イプのいずれも、各面４１・４２・４３に対して順に研
磨加工しなければならず、一度に加工することができな
いので、工数が増加するという問題点を有している。
来の研磨装置において、ガラス基板４０の端部における
それぞれの部分を面取りすべく研磨するためには、両タ
イプのいずれも、各面４１・４２・４３に対して順に研
磨加工しなければならず、一度に加工することができな
いので、工数が増加するという問題点を有している。
【０００６】また、円盤からなる砥石６１を使用するタ
イプの研磨装置では、砥石６１の回転方向がガラス基板
４０の移動方向に対して垂直になっているため、ガラス
基板４０に欠けや割れが生じがちであるという問題点を
有している。
イプの研磨装置では、砥石６１の回転方向がガラス基板
４０の移動方向に対して垂直になっているため、ガラス
基板４０に欠けや割れが生じがちであるという問題点を
有している。
【０００７】本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされ
たものであって、その目的は、被研磨板の欠けや割れを
防止して歩留まりの向上を図ると共に、工数の低減を図
り得る研磨装置を提供することにある。
たものであって、その目的は、被研磨板の欠けや割れを
防止して歩留まりの向上を図ると共に、工数の低減を図
り得る研磨装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の研磨装置は、上
記課題を解決するために、被研磨板の端部を研磨する研
磨装置において、円盤状の研磨材が回転可能に設けら
れ、かつ、研磨材の外周面には研磨加工形状の溝が形成
される一方、被研磨板が研磨材の外周面に端部を沿わせ
て接線方向に移動可能に設けられていることを特徴とし
ている。
記課題を解決するために、被研磨板の端部を研磨する研
磨装置において、円盤状の研磨材が回転可能に設けら
れ、かつ、研磨材の外周面には研磨加工形状の溝が形成
される一方、被研磨板が研磨材の外周面に端部を沿わせ
て接線方向に移動可能に設けられていることを特徴とし
ている。
【０００９】
【作用】上記の構成によれば、円盤状の研磨材が回転可
能に設けられ、かつ、研磨材の外周面には研磨加工形状
の溝が形成され、被研磨板が研磨材の外周面に端部を沿
わせて接線方向に移動するので、被研磨板の端部におけ
る研磨加工の形状がこの溝と同一形状となる。この結
果、被研磨板の一度の接線方向への移動によって、被研
磨板の端部に対して、被研磨板の例えば側端部、表角部
及び裏角部等の各傾斜面の研磨を同時に行うことが可能
となる。また、研磨の際、研磨材は被研磨板の移動方向
に対して平行に回転するため、すなわち、研磨材の回転
方向が被研磨板の移動方向に逆らわないため、被研磨板
に欠けや割れが発生するのを防止することができる。
能に設けられ、かつ、研磨材の外周面には研磨加工形状
の溝が形成され、被研磨板が研磨材の外周面に端部を沿
わせて接線方向に移動するので、被研磨板の端部におけ
る研磨加工の形状がこの溝と同一形状となる。この結
果、被研磨板の一度の接線方向への移動によって、被研
磨板の端部に対して、被研磨板の例えば側端部、表角部
及び裏角部等の各傾斜面の研磨を同時に行うことが可能
となる。また、研磨の際、研磨材は被研磨板の移動方向
に対して平行に回転するため、すなわち、研磨材の回転
方向が被研磨板の移動方向に逆らわないため、被研磨板
に欠けや割れが発生するのを防止することができる。
【００１０】
【実施例】本発明の一実施例について図１ないし図４に
基づいて説明すれば、以下の通りである。
基づいて説明すれば、以下の通りである。
【００１１】本実施例の研磨装置は、板状体からなる被
研磨板としての例えばガラス基板の端部を研磨するため
に使用される。
研磨板としての例えばガラス基板の端部を研磨するため
に使用される。
【００１２】すなわち、液晶表示パネルの製造プロセス
においては、静電気による液晶表示素子の破壊を抑える
ために、ガラス基板の端部に導電体を設け、各液晶表示
素子に電位差が生じないようにしている。そして、ドラ
イバを接続する直前にガラス基板の端部を研磨して、上
記導電体を取り除くようになっている。
においては、静電気による液晶表示素子の破壊を抑える
ために、ガラス基板の端部に導電体を設け、各液晶表示
素子に電位差が生じないようにしている。そして、ドラ
イバを接続する直前にガラス基板の端部を研磨して、上
記導電体を取り除くようになっている。
【００１３】上記の他、ガラス基板における端部の研磨
は、液晶表示パネルのモジュール化の際のカレット発生
の防止、ドライバの保護、ガラスのカット時に生じたバ
リの除去、及びガラス基板の端部の強度の向上等の観点
から行われるものであり、通常、図４に示すように、ガ
ラス基板１の端部が端面２、表角面３及び裏角面４のよ
うに面取りすべく研磨が行われる。
は、液晶表示パネルのモジュール化の際のカレット発生
の防止、ドライバの保護、ガラスのカット時に生じたバ
リの除去、及びガラス基板の端部の強度の向上等の観点
から行われるものであり、通常、図４に示すように、ガ
ラス基板１の端部が端面２、表角面３及び裏角面４のよ
うに面取りすべく研磨が行われる。
【００１４】このようなガラス基板１の端部の研磨を行
う研磨装置５は、図１に示すように、モータ６の回転軸
７に取り付けられた円盤状の研磨材としての砥石８を有
している。
う研磨装置５は、図１に示すように、モータ６の回転軸
７に取り付けられた円盤状の研磨材としての砥石８を有
している。
【００１５】上記の砥石８は、図２（ａ）（ｂ）に示す
ように、例えば直径２００ｍｍの円盤からなっている。
また、図３に示すように、円盤における例えば厚さ１０
ｍｍの外周面９には、上記ガラス基板１の研磨加工形状
の溝１０・１０・１０が３個形成されており、これら溝
１０・１０・１０は、上端及び下端からそれぞれ１ｍｍ
隔てた位置から長さ１．８ｍｍのものがそれぞれ１．３
ｍｍの間隔を置いて形成されている。なお、これら溝１
０・１０・１０は、必ずしも３個である必要はなく１個
とすることも可能である。
ように、例えば直径２００ｍｍの円盤からなっている。
また、図３に示すように、円盤における例えば厚さ１０
ｍｍの外周面９には、上記ガラス基板１の研磨加工形状
の溝１０・１０・１０が３個形成されており、これら溝
１０・１０・１０は、上端及び下端からそれぞれ１ｍｍ
隔てた位置から長さ１．８ｍｍのものがそれぞれ１．３
ｍｍの間隔を置いて形成されている。なお、これら溝１
０・１０・１０は、必ずしも３個である必要はなく１個
とすることも可能である。
【００１６】上記の溝１０は、図４に示すように、厚さ
が例えば１ｍｍのガラス基板１の研磨を対象として形成
されており、上部側が傾斜角４５度に形成される一方、
下部側が傾斜角６０度に形成されている。また、溝１０
の最奥部は、垂直面が０．４３ｍｍの長さを有して形成
されている。これらの傾斜角の設定は、ガラス基板１の
ストレスを小さくするためには傾斜角を小さくした方が
良く、また、ガラス基板１の厚さのばらつきによる研磨
量の変化を小さくするためには傾斜角を大きくした方が
良いことを考慮して、上述したそれぞれの傾斜角に設定
されているものである。
が例えば１ｍｍのガラス基板１の研磨を対象として形成
されており、上部側が傾斜角４５度に形成される一方、
下部側が傾斜角６０度に形成されている。また、溝１０
の最奥部は、垂直面が０．４３ｍｍの長さを有して形成
されている。これらの傾斜角の設定は、ガラス基板１の
ストレスを小さくするためには傾斜角を小さくした方が
良く、また、ガラス基板１の厚さのばらつきによる研磨
量の変化を小さくするためには傾斜角を大きくした方が
良いことを考慮して、上述したそれぞれの傾斜角に設定
されているものである。
【００１７】上記の構成を有する研磨装置５の研磨加工
の動作について説明する。まず、図１に示すように、研
磨装置５の砥石８がモータ６により矢印Ａ方向に回転す
る。次いで、ガラス基板１が砥石８の外周面に端部を沿
わせて接線方向（矢印Ｂ方向）に移動する。このときガ
ラス基板１の端部は、砥石８に形成された溝１０・１０
・１０のうち、例えば、最も上側の溝１０に摺接してい
る。
の動作について説明する。まず、図１に示すように、研
磨装置５の砥石８がモータ６により矢印Ａ方向に回転す
る。次いで、ガラス基板１が砥石８の外周面に端部を沿
わせて接線方向（矢印Ｂ方向）に移動する。このときガ
ラス基板１の端部は、砥石８に形成された溝１０・１０
・１０のうち、例えば、最も上側の溝１０に摺接してい
る。
【００１８】そして、ガラス基板１が先端から後端まで
Ｂ方向に移動し終わったときには、図４に示すように、
側端部２ａが端部から内側に向かって約１．０ｍｍ、表
角部３ａが表面から裏側に向かって約０．４ｍｍ、裏角
部４ａが裏面から表面に向かって約０．１ｍｍだけ研磨
加工され、これによって、面取りされた加工面が端面
１、表角面３及び裏角面４となる。
Ｂ方向に移動し終わったときには、図４に示すように、
側端部２ａが端部から内側に向かって約１．０ｍｍ、表
角部３ａが表面から裏側に向かって約０．４ｍｍ、裏角
部４ａが裏面から表面に向かって約０．１ｍｍだけ研磨
加工され、これによって、面取りされた加工面が端面
１、表角面３及び裏角面４となる。
【００１９】このように、本実施例の研磨装置５は、円
盤状の砥石８が回転可能に設けられ、かつ、砥石８の外
周面には研磨加工形状の溝１０が形成され、ガラス基板
１が砥石８の外周面に端部を沿わせて接線方向（矢印Ｂ
方向）に移動するので、ガラス基板１の端部における研
磨加工の形状がこの溝１０と同一形状となる。この結
果、ガラス基板１の一度の接線方向への移動によって、
ガラス基板１の端部に対して、側端部２ａ、表角部３ａ
及び裏角部４ａ等の各傾斜面の研磨を同時に行うことが
可能となり、これによって処理能力が向上し、ひいて
は、工数の低減を図ることができる。
盤状の砥石８が回転可能に設けられ、かつ、砥石８の外
周面には研磨加工形状の溝１０が形成され、ガラス基板
１が砥石８の外周面に端部を沿わせて接線方向（矢印Ｂ
方向）に移動するので、ガラス基板１の端部における研
磨加工の形状がこの溝１０と同一形状となる。この結
果、ガラス基板１の一度の接線方向への移動によって、
ガラス基板１の端部に対して、側端部２ａ、表角部３ａ
及び裏角部４ａ等の各傾斜面の研磨を同時に行うことが
可能となり、これによって処理能力が向上し、ひいて
は、工数の低減を図ることができる。
【００２０】また、研磨の際、砥石８はガラス基板１の
移動方向に対して平行に回転するため、すなわち、砥石
８の回転方向（矢印Ａ方向）がガラス基板１の移動方向
に逆らわないため、ガラス基板１に欠けや割れが発生す
るのを防止することができ、ひいては歩留まりの向上を
図ることができる。
移動方向に対して平行に回転するため、すなわち、砥石
８の回転方向（矢印Ａ方向）がガラス基板１の移動方向
に逆らわないため、ガラス基板１に欠けや割れが発生す
るのを防止することができ、ひいては歩留まりの向上を
図ることができる。
【００２１】また、本実施例の研磨装置５は、従来のよ
うな研磨ベルトを使用したものでないため、装置の省ス
ペース化を図ることが可能となる。
うな研磨ベルトを使用したものでないため、装置の省ス
ペース化を図ることが可能となる。
【００２２】さらに、砥石８の溝１０の形状を変化させ
ることによって、ガラス基板１の端部を種々の面取りの
形状に変化させることが可能となる。
ることによって、ガラス基板１の端部を種々の面取りの
形状に変化させることが可能となる。
【００２３】
【発明の効果】本発明の研磨装置は、以上のように、円
盤状の研磨材が回転可能に設けられ、かつ、研磨材の外
周面には研磨加工形状の溝が形成される一方、被研磨板
が研磨材の外周面に端部を沿わせて接線方向に移動可能
に設けられている構成である。
盤状の研磨材が回転可能に設けられ、かつ、研磨材の外
周面には研磨加工形状の溝が形成される一方、被研磨板
が研磨材の外周面に端部を沿わせて接線方向に移動可能
に設けられている構成である。
【００２４】これにより、被研磨板の端部における研磨
加工の形状がこの溝と同一形状となるので、被研磨板の
一度の接線方向への移動によって、被研磨板の端部に対
して、被研磨板の例えば側端部、表角部及び裏角部等の
各傾斜面の研磨を同時に行うことが可能となり、ひいて
は工数の低減を図ることができる。
加工の形状がこの溝と同一形状となるので、被研磨板の
一度の接線方向への移動によって、被研磨板の端部に対
して、被研磨板の例えば側端部、表角部及び裏角部等の
各傾斜面の研磨を同時に行うことが可能となり、ひいて
は工数の低減を図ることができる。
【００２５】また、研磨の際、研磨材は被研磨板の移動
方向に対して平行に回転するため、すなわち、研磨材の
回転方向が被研磨板の移動方向に逆らわないため、被研
磨板に欠けや割れが発生するのを防止することができ、
ひいては歩留まりの向上を図ることができるという効果
を奏する。
方向に対して平行に回転するため、すなわち、研磨材の
回転方向が被研磨板の移動方向に逆らわないため、被研
磨板に欠けや割れが発生するのを防止することができ、
ひいては歩留まりの向上を図ることができるという効果
を奏する。
【図１】本発明の一実施例における研磨装置の構造を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図２】上記研磨装置の砥石の構造を示すものであり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【図３】上記砥石の外周部に形成された溝の構造を拡大
して示す要部正面図である。
して示す要部正面図である。
【図４】上記研磨装置の砥石の溝にガラス基板が摺接し
て研磨される状態を示す要部正面図である。
て研磨される状態を示す要部正面図である。
【図５】従来例を示すものであり、ガラス基板の端部に
形成されるべき研磨加工面の形状を示す要部正面図であ
る。
形成されるべき研磨加工面の形状を示す要部正面図であ
る。
【図６】上記ガラス基板を研磨するための研磨装置の構
造及び研磨動作を示す説明図である。
造及び研磨動作を示す説明図である。
【図７】他の従来例を示すものであり、ガラス基板を研
磨するための研磨装置の構造及び研磨動作を示す説明図
である。
磨するための研磨装置の構造及び研磨動作を示す説明図
である。
１ ガラス基板（被研磨板） ２ 端面 ２ａ 側端部 ３ 表角面 ３ａ 表角部 ４ 裏角面 ４ａ 裏角部 ５ 研磨装置 ６ モータ ７ 回転軸 ８ 砥石（研磨材） １０ 溝
Claims (1)
- 【請求項１】被研磨板の端部を研磨する研磨装置におい
て、 円盤状の研磨材が回転可能に設けられ、かつ、研磨材の
外周面には研磨加工形状の溝が形成される一方、被研磨
板が研磨材の外周面に端部を沿わせて接線方向に移動可
能に設けられていることを特徴とする研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21506492A JPH0655426A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21506492A JPH0655426A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0655426A true JPH0655426A (ja) | 1994-03-01 |
Family
ID=16666159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21506492A Pending JPH0655426A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0655426A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100476501B1 (ko) * | 1999-09-01 | 2005-03-17 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 셀 연마장치 및 그 장치에 따른 액정 셀 연마방법 |
-
1992
- 1992-08-12 JP JP21506492A patent/JPH0655426A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100476501B1 (ko) * | 1999-09-01 | 2005-03-17 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 셀 연마장치 및 그 장치에 따른 액정 셀 연마방법 |
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