JPH0644334B2 - 集積構造を有する磁気記録用読取り書込み装置 - Google Patents

集積構造を有する磁気記録用読取り書込み装置

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JPH0644334B2
JPH0644334B2 JP60018786A JP1878685A JPH0644334B2 JP H0644334 B2 JPH0644334 B2 JP H0644334B2 JP 60018786 A JP60018786 A JP 60018786A JP 1878685 A JP1878685 A JP 1878685A JP H0644334 B2 JPH0644334 B2 JP H0644334B2
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、集積構造を有する磁気記録用読取り書込み装
置に関する。この装置はコンピュータのディスクメモリ
用として使用される。
［従来の技術］ ディスクメモリは、磁気フィルムで覆われた支持体から
成り、このフィルムに磁気ヘッドで情報を書込んだりあ
るいは読出したりすることができる。動作中、磁気ディ
スクは高速で回転し、その回転中に空気流の層を作り出
す。磁気ヘッドは、適切な外形を有することにより記録
層の上方の限られた距離のところで空気流の上を文字ど
うり飛行する支持体（スライダ）に取付けられている。
このヘッドは、前置増幅、増幅、及び読取り書込み選択
のごとき各種機能を有する電子回路に電気的に接続され
ている。
組立体の信号対雑音比及び通過帯域を増大させるためば
かりでなく、ヘッドと集積回路との接続長を減らすため
に、スライダとして適切な外形に形成された同一のシリ
コン支持体上に、読取り書込みヘッドとこれに伴う電子
回路とを共に組合わせて構成することが提案されてい
る。この場合、電子回路は半導体技術で用いられている
従来技術で形成される。
このような集積回路は、例えば、J.W.BECK他によるIBM
テクニカルディスクロージャブルテン，Vol.２２，No.
１，１９７９年６月の論文、さらに１９８３年７月１３
日の特開昭58-118016 号（株式会社諏訪精工舎）に対応
する１９８３年１０月８日のパテントアブストラクトオ
ブジャパン，Vol.７，No.２２８（ｐ．２２８）に述べ
られている。
第１図にこれら従来技術による装置の概要を示す。シリ
コン支持体１は、浮上面又は変位面を構成する表面Ａに
エッチングで形成されたレール２を備えている。読取り
書込みヘッド３は、支持体１の横断面Ｂ上に形成されて
いる。集積回路４は、これと同一の面Ｂに形成されてい
てヘッド３に電気的に接続されている。集積回路４は、
シリコンへの拡散によって得られる。外部との電気的接
続には、導体６に接続されたコンタクト素子５を使用し
ている。
［発明が解決しようとする課題］ ある観点からは満足できるが、このような従来装置には
問題点がある。例えば、この種の従来装置を製造するた
めには、まずシリコンブロックの面Ｂに集積回路と読取
り書込みヘッドとを形成し、次にこのブロックを面Ｂに
垂直な面によって切断しなければならない。次いで浮上
面（又は変位面）Ａをエッチングで形成するのである。
このように従来技術によると、非常に厚いシリコンブロ
ック（４〜５mm）を使用する必要があり、しかもブロッ
クの互いに垂直の２つの面について加工を行わなければ
ならずこれは複雑な機器を必要とする。
本発明の目的は従来技術の上述した問題点を除去するこ
とにある。
［課題を解決するための手段］ この目的は、浮上又は変位支持体を構成する同一のシリ
コンウエハ上に、読取り書込みヘッドと該読取り書込み
ヘッドに接続された集積回路とを備えた集積構造を有す
る磁気記録用読取り書込み装置であって、シリコンウエ
ハは結晶方位（１００）面である２つの平行な面を有し
ており、これら２つの面のうちの１つが浮上面を構成し
ており、読取り書込みヘッドが水平構造を有しかつ上述
の浮上面上に配置されており、集積回路が上述の結晶方
位（１００）面のうちの１つの面に位置している読取り
書込み装置によって達成される。
［作用］ 結晶方位（１００）面である２つの平行な面を有するシ
リコンウエハのこれら２つの面のうちの１つが浮上面を
構成しており、水平構造を有する読取り書込みヘッドが
この浮上面上に配置されている。従って読取り書込み装
置として、半導体集積回路に使用しているような標準的
な非常に薄いシリコンウエハを使用することができ、こ
のウエハの一つの面についてだけ加工すればよい構造を
提供できる。このため、構造が非常に容易であり、しか
も製造コストを大幅に低減することができる。
支持体の浮上面としてシリコンウエハの結晶方位（１０
０）面を使用することそれ自体は既知であることを指摘
しておく。例えば、このような構成は、１９７７年３月
１９日の特開昭52-36016号（株式会社日本製作所）に対
応する１９７７年９月１３日のパテントアブストラクト
オブジャパン，Vol.１，No.１０３，ｐ．3310 Ｅ７７
に述べられている。
しかしながら、この構成は磁気ヘッドと集積回路とを上
述の面（１００）上に組合わせて使用するものではな
い。この公報においては、磁気ヘッドは支持体（スライ
ダ）の側面（第１図のＢ面に対応する）に配置されてお
り、支持体が集積回路（これは必然的に上述の面Ｂに配
列される）を組込んでいることは明らかである。
［実施例］ 第２図に示す装置は、結晶方位（１００）の２つの面Ｃ
及びＣ′（互いに平行な面）を有するシリコンウエハ１
０を備えている。磁気読取り書込みヘッド１１は、面Ｃ
上に配置されている。面Ｃ′は、集積回路１２を担持し
ている。ヘッド１１は入出力接続導体１３を、集積回路
１２は接続導体１４を備えている。これらの接続導体
は、多層構造に今日使われる技術によりシリコンウエハ
を完全に横切る接続導体１５によって相互接続されてい
る。これらの導体は、特に、薄い導電性コーティングの
形態で形成することができる。集積回路は、接続線１７
に接続されている１つ以上の出力コンタクト素子１６を
も備えている。
このような組立体は、記録媒体の支持体１８の前側に配
置される。このようにしてウエハ１０の面Ｃは、支持体
（スライダ）の浮上面（又は変位面）を構成する。この
面は、任意の外形（レール、溝、カタマラン形状等）と
なるようにエッチングすることができる。
集積回路１２をヘッドと並べて面Ｃ上に配設することは
もちろん本発明の範囲を逸脱するものではない。この場
合には、接続導体は同一面Ｃ上にあることとなり、集積
回路と外部との接続導体はシリコン基板を横切るチャネ
ルとなる。
このような装置の製造には下記の工程が含まれる。
（Ａ）シリコンウエハの面（１００）上に、拡散工程で
読取り及び／又は書込み回路を組込んだ増幅器を形成す
る工程、 （Ｂ）同じ面上又は反対の面上に水平構造を有する読取
り書込みヘッドを形成する工程、 （Ｃ）読取り書込みヘッドとこれに伴う集積回路との間
に必要な電気的接続体を形成する工程、 （Ｄ）読取り書込みヘッドが形成されている面に浮上用
又は変位用の外形状を形成する工程、 （Ｅ）これら多数の支持体を互いに切断分離し、各支持
体（スライダ）を固定用ばね上に組立てる工程。
磁気読取り書込みヘッドは、本発明によれば、浮上面上
に配設される。従ってこのヘッドは、水平構造でなけれ
ばならず、これは垂直構造である第１図の従来装置に使
用するヘッドとは全く異なる。このことは、磁気誘導を
発生したり又は磁束の変動から電圧を形成したりするの
に使用するコイルは浮上面と平行な内面に配置しなけれ
ばならないことを意味する。このようなヘッドの生産プ
ロセスの主な工程を、第３図〜第６図に示す。
まず第３図は、シリカコーティング２２と磁気コーティ
ング２８とを施したシリコンウエハ２０を示す。磁気コ
ーティング内には溝３０が８の字形にエッチングで形成
されており、これにより２つの磁極片３４ａ及び３４ｂ
がエッチングされずに残る。二重螺線コイル３１，３２
が溝の中に形成されて２つの磁極片３４ａ及び３４ｂを
囲んでいる。次ぎに溝３０に絶縁材が充填される。コイ
ルの外部接続体は導体３３で形成される。
この後、組立体に樹脂層をデポジットし、これをエッチ
ングして段３８（第４図）を形成する。この段は、磁極
片３４ａ及び３４ｂの間に位置する側面３６を有してい
る。次に非磁性材料の層４０を組立体にデポジットす
る。この非磁性層４０は、垂直壁４２（第５図）として
後まで残る側面３６の位置上の部分を残して除去され
る。その後、さらに磁気コーティング４４がデポジット
される。これはコーティング２８及び保護コーティング
４６と同様である。これら２つのコーティングは、壁４
２の上に突出部を形成している。
この構造は、次に、層４６中で分割され、非磁性壁４２
で分離された２つの読取り書込み磁極片５１及び５２が
現われる。その結果、本発明の水平構造を有する磁気ヘ
ッドが形成されることとなる。
［発明の効果］ 以上詳細に説明したように本発明によれば、浮上又は変
位支持体を構成するシリコンウエハは結晶方位（１０
０）面である２つの平行な面を有しており、これら２つ
の面のうちの１つが浮上面を構成しており、読取り書込
みヘッドが水平構造を有しかつ上述の浮上面上に配置さ
れており、集積回路が上述の結晶方位（１００）面のう
ちの１つの面に位置しているので、浮上スライダ及びヘ
ッドを含めた読取り書込み装置を形成する場合に、半導
体集積回路に使用しているような標準的な非常に薄いシ
リコンウエハを使用することができ、このウエハの一つ
の面についてだけ加工すればよい。その結果、製造が非
常に容易になると共に製造コストを大幅に低減すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来技術による装置の斜視図、第２図は本発明
による装置の断面図、第３図〜第６図はシリコンウエハ
の（１００）面に読取り書込みヘッドを形成する工程を
示す図である。 １０……シリコンウエハ、１１……読取り書込みヘッ
ド、１２……集積回路、１３，１４，１５……接続導
体、Ｃ，Ｃ′……結晶方位（１００）の面。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】浮上又は変位支持体を構成する同一のシリ
    コンウエハ上に、読取り書込みヘッドと該読取り書込み
    ヘッドに接続された集積回路とを備えた、集積構造を有
    する磁気記録用読取り書込み装置であって、前記シリコ
    ンウエハは結晶方位（１００）面である２つの平行な面
    を有しており、該２つの面のうちの１つが浮上面を構成
    しており、前記読取り書込みヘッドが水平構造を有しか
    つ前記浮上面上に配置されており、前記集積回路が前記
    結晶方位（１００）面のうちの１つの面に位置している
    ことを特徴とする磁気記録用読取り書込み装置。
  2. 【請求項２】前記集積回路が前記読取り書込みヘッドを
    有していない方の面に形成されており、該集積回路と該
    読取り書込みヘッドとの電気的接続が前記ウエハを通っ
    て行われるものである特許請求の範囲第１項に記載の磁
    気記録用読取り書込み装置。
JP60018786A 1984-02-03 1985-02-04 集積構造を有する磁気記録用読取り書込み装置 Expired - Lifetime JPH0644334B2 (ja)

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Families Citing this family (63)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2606197B1 (fr) * 1986-10-31 1988-12-02 Commissariat Energie Atomique Procede de realisation d'une tete magnetique permettant de simplifier la realisation des connexions electriques
FR2630244B1 (fr) * 1988-04-15 1990-07-13 Commissariat Energie Atomique Dispositif d'ecriture et de lecture sur un support magnetique et son procede de fabrication
JPH0731362Y2 (ja) * 1988-06-03 1995-07-19 アルプス電気株式会社 薄膜磁気ヘッドおよび浮動式磁気ヘッド
JPH0782630B2 (ja) * 1989-02-28 1995-09-06 三菱電機株式会社 薄膜磁気ヘッド装置
US4972286A (en) * 1989-03-03 1990-11-20 Seagate Technology, Inc. Grounding pole structures in thin film mganetic heads
US5006946A (en) * 1989-04-19 1991-04-09 Tdk Corporation Flexible polymeric resinous magnetic head supporting device
US5001583A (en) * 1989-04-19 1991-03-19 Tdk Corporation Flexible polymeric resinous magnetic head supporting device
US5287239A (en) * 1989-07-05 1994-02-15 Kabushiki Kaisha Toshiba Magnetic head using high saturated magnetic flux density film and manufacturing method thereof
US5233492A (en) * 1989-11-14 1993-08-03 Hitachi Metals, Ltd. Flying type composite magnetic head having Mn-Zn ferrite core
US5476131A (en) * 1989-11-27 1995-12-19 Censtor Corporation Unitary micro-flexure structure and method of making same
US5453315A (en) * 1989-11-27 1995-09-26 Censtor Corp. Unitary micro-flexure structure and method of making same
US20020176210A1 (en) * 1989-11-27 2002-11-28 Hamilton Harold J. Durable, low-vibration, dynamic-contact hard disk drive system
US5111351A (en) * 1989-11-27 1992-05-05 Censtor Corp. Integrated magnetic read/write head/flexure/conductor structure
US5483025A (en) * 1989-11-27 1996-01-09 Censtor Corporation Unitary micro-flexure structure
US5041932A (en) * 1989-11-27 1991-08-20 Censtor Corp. Integrated magnetic read/write head/flexure/conductor structure
JP3158487B2 (ja) * 1991-05-23 2001-04-23 株式会社日立製作所 ヘッド支持機構
FR2683369B1 (fr) * 1991-10-30 1993-12-24 Commissariat A Energie Atomique Patin de vol de type catamaran a decrochements peripheriques.
JP2943579B2 (ja) 1992-10-20 1999-08-30 三菱電機株式会社 磁気構造体並びにこれを用いた磁気ヘッドおよび磁気記録ヘッド
JP3025120B2 (ja) * 1992-12-21 2000-03-27 キヤノン株式会社 記録再生装置
FR2709855B1 (fr) * 1993-09-06 1995-10-20 Commissariat Energie Atomique Tête magnétique de lecture et d'écriture à élément magnétorésistant compensé en écriture.
FR2718557B1 (fr) * 1994-04-06 1996-06-21 Silmag Sa Patin de vol à moyens de suspension flexibles intégrés.
US6091581A (en) * 1994-08-26 2000-07-18 Aiwa Co., Ltd. Thin film magnetic head including a separately deposited diamond-like carbon gap structure and magnetic control wells
US5909346A (en) * 1994-08-26 1999-06-01 Aiwa Research & Development, Inc. Thin magnetic film including multiple geometry gap structures on a common substrate
JPH08171712A (ja) * 1994-08-26 1996-07-02 Aiwa Co Ltd 側面露出型薄膜磁気ヘッド並びにその製造方法
US5748417A (en) * 1994-08-26 1998-05-05 Aiwa Research And Development, Inc. Thin film magnetic head including layered magnetic side poles
US5563754A (en) * 1994-08-26 1996-10-08 Aiwa Research And Development, Inc. Thin film magnetic head including a durable wear layer and gap structure
US5544774A (en) * 1994-08-26 1996-08-13 Aiwa Research And Development, Inc. Method of eliminating pole recession in a thin film magnetic head
US5490028A (en) * 1994-08-26 1996-02-06 Aiwa Research And Development, Inc. Thin film magnetic head including an integral layered shield structure
US5801909A (en) * 1994-08-26 1998-09-01 Aiwa Research And Development, Inc. Thin film magnetic head including durable wear layer and non-magnetic gap structures
US5754377A (en) * 1994-08-26 1998-05-19 Aiwa Research And Development, Inc. Thin film magnetic head including an elevated gap structure
US5673474A (en) * 1994-08-26 1997-10-07 Aiwa Research And Development, Inc. Method of fabricating a thin film magnetic head including layered magnetic side poles
US5587857A (en) * 1994-10-18 1996-12-24 International Business Machines Corporation Silicon chip with an integrated magnetoresistive head mounted on a slider
US5539596A (en) * 1994-12-29 1996-07-23 International Business Machines Corporation Integrated suspension, actuator arm and coil assembly with common structural support layer
US5621594A (en) * 1995-02-17 1997-04-15 Aiwa Research And Development, Inc. Electroplated thin film conductor coil assembly
US5712747A (en) * 1996-01-24 1998-01-27 International Business Machines Corporation Thin film slider with on-board multi-layer integrated circuit
US5808832A (en) * 1996-02-27 1998-09-15 International Business Machines Corporation Ultrathin silicon wear coating for a slider and thin film magnetic head elements at an ABS
US6069015A (en) * 1996-05-20 2000-05-30 Aiwa Research And Development, Inc. Method of fabricating thin film magnetic head including durable wear layer and non-magnetic gap structure
US5805382A (en) * 1996-06-21 1998-09-08 International Business Machines Corporation Integrated conductor magnetic recording head and suspension having cross-over integrated circuits for noise reduction
DE69730691T2 (de) * 1996-11-21 2005-09-22 Koninklijke Philips Electronics N.V. Magnetkopf mit integriertem schaltkreis und verfahren zu dessen herstellung
US5757591A (en) 1996-11-25 1998-05-26 International Business Machines Corporation Magnetoresistive read/inductive write magnetic head assembly fabricated with silicon on hard insulator for improved durability and electrostatic discharge protection and method for manufacturing same
JP3130860B2 (ja) 1997-03-04 2001-01-31 ティーディーケイ株式会社 磁気ヘッド装置及び該磁気ヘッド装置を備えた磁気ディスク装置
KR100238128B1 (ko) * 1997-04-21 2000-01-15 윤종용 과전류 및 과전압 인가로부터 보호되는 구조의 플래너실리콘헤드 및 그 제조방법
US5768070A (en) * 1997-05-14 1998-06-16 International Business Machines Corporation Horizontal thin film write, MR read head
JP3001466B2 (ja) * 1997-06-27 2000-01-24 日本電気アイシーマイコンシステム株式会社 磁気記録装置の駆動回路
US6356413B2 (en) * 1997-10-31 2002-03-12 Magnecomp Corp Chip-mounted disk drive suspension
US5871655A (en) * 1998-03-19 1999-02-16 International Business Machines Corporation Integrated conductor magnetic recording head and suspension having cross-over integrated circuits for noise reduction
US6239947B1 (en) 1998-05-11 2001-05-29 International Business Machines Corporation Milliactuator with integrated sensor and drivers and method of manufacturing the same
US6404575B1 (en) * 1998-09-25 2002-06-11 Seagate Technology Llc Read/write preamp integrated head and process for fabricating same
US6869870B2 (en) * 1998-12-21 2005-03-22 Megic Corporation High performance system-on-chip discrete components using post passivation process
JP2001067634A (ja) * 1999-08-26 2001-03-16 Mitsumi Electric Co Ltd 磁気ヘッド装置
US6513228B1 (en) * 2000-01-05 2003-02-04 Seagate Technology Llc Method for forming a perpendicular recording read/write head
US6643099B1 (en) * 2000-06-20 2003-11-04 Seagate Technology Llc Transducer formed on a sacrificial metal substrate
US7095594B2 (en) * 2000-11-28 2006-08-22 Texas Instruments Incorporated Active read/write head circuit with interface circuit
US6556380B2 (en) 2001-04-10 2003-04-29 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Silicon sliders with trapezoidal shape and drie process for fabrication
US20030043495A1 (en) * 2002-02-22 2003-03-06 Mayer David F. Massively parallel fixed head disk drive
US6870717B2 (en) * 2002-05-16 2005-03-22 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Semiconductor slider with an integral spin valve transistor structure and method for making same without a bonding step
US7196016B2 (en) * 2003-09-29 2007-03-27 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. Fabrication process for preparing recording head sliders made from silicon substrates with SiO2 overcoats
US7535676B2 (en) * 2004-08-26 2009-05-19 Hitachi Global Storage Technologies B.V. Slider with bonding pads opposite the air bearing surface
JP4546483B2 (ja) * 2005-01-24 2010-09-15 パナソニック株式会社 半導体チップの製造方法
US7450342B2 (en) * 2005-03-14 2008-11-11 Seagate Technology Llc Composite head-electrical conditioner assembly
US7715150B2 (en) * 2006-05-15 2010-05-11 Samsung Electronics Co., Ltd. Apparatus and method for head gimbal assembly sharing power to slider amplifier and micro-actuator in a hard disk drive
US8107197B2 (en) 2008-12-30 2012-01-31 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Slider with integrated writer and semiconductor heterostucture read sensor
US20110116193A1 (en) * 2009-11-16 2011-05-19 Seagate Technology Llc Magnetic head with integrated write driver

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5634121A (en) * 1979-08-27 1981-04-06 Nec Corp Thin film magnetic head
JPS5798120A (en) * 1980-12-10 1982-06-18 Comput Basic Mach Technol Res Assoc Thin film magnetic head
JPS58118016A (ja) * 1981-12-29 1983-07-13 Seiko Epson Corp 磁気ヘツド

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1307886A (en) * 1970-05-12 1973-02-21 Ibm Magnetic transducing head
US3657806A (en) * 1970-12-28 1972-04-25 Ibm Method for manufacturing a thin-film magnetic head assembly
FR2218611B1 (ja) * 1973-02-21 1976-09-10 Cii
US4030189A (en) * 1973-02-21 1977-06-21 Compagnie Internationale Pour L'informatique Method of making magnetic head devices
JPS5236016A (en) * 1975-09-17 1977-03-19 Hitachi Ltd Manufacturing method for floating magnetic head
JPS5369623A (en) * 1976-12-03 1978-06-21 Fujitsu Ltd Magnetic head
US4321641A (en) * 1977-09-02 1982-03-23 Magnex Corporation Thin film magnetic recording heads
US4219853A (en) * 1978-12-21 1980-08-26 International Business Machines Corporation Read/write thin film head
JPS55132520A (en) * 1979-03-30 1980-10-15 Fujitsu Ltd Magnetic head
JPS55135325A (en) * 1979-04-09 1980-10-22 Toshiba Corp Vertically-magnetized type magnetic head
JPS5674812A (en) * 1979-11-26 1981-06-20 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Magnetic head assembly
NL7908611A (nl) * 1979-11-28 1981-07-01 Philips Nv Geintegreerde magneetkopconstructie.
JPS6022406B2 (ja) * 1979-12-13 1985-06-01 富士通株式会社 垂直磁気記録再生用ヘッド
EP0032230A3 (en) * 1980-01-14 1982-01-13 Siemens Aktiengesellschaft Integrated magnetic transducer and method of manufacturing the same
JPS56148713A (en) * 1980-04-17 1981-11-18 Fujitsu Ltd Production of horizontal type magnetic head
US4414554A (en) * 1980-07-21 1983-11-08 Ferix Corporation Magnetic imaging apparatus
JPS58118017A (ja) * 1981-12-29 1983-07-13 Seiko Epson Corp 磁気ヘツド
JPS58208925A (ja) * 1982-05-28 1983-12-05 Canon Electronics Inc 磁気ヘツド
JPS58208922A (ja) * 1982-05-28 1983-12-05 Canon Electronics Inc 磁気ヘツド
JPS5979417A (ja) * 1982-10-28 1984-05-08 Sony Corp 磁気ヘツド装置
US4503440A (en) * 1983-03-08 1985-03-05 Springer Gilbert D Thin-film magnetic writing head with anti-saturation back-gap layer
JPS59168968A (ja) * 1983-03-17 1984-09-22 Fujitsu Ltd 磁気記憶装置
FR2559296B1 (fr) * 1984-02-03 1988-12-30 Commissariat Energie Atomique Nouveau patin du type catamaran pour tetes magnetiques d'enregistrement et son procede de fabrication

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5634121A (en) * 1979-08-27 1981-04-06 Nec Corp Thin film magnetic head
JPS5798120A (en) * 1980-12-10 1982-06-18 Comput Basic Mach Technol Res Assoc Thin film magnetic head
JPS58118016A (ja) * 1981-12-29 1983-07-13 Seiko Epson Corp 磁気ヘツド

Also Published As

Publication number Publication date
JPS60179918A (ja) 1985-09-13
DE3576870D1 (de) 1990-05-03
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EP0152327A1 (fr) 1985-08-21
FR2559297A1 (fr) 1985-08-09
EP0152327B1 (fr) 1990-03-28
US4809103A (en) 1989-02-28

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