JPS58118016A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS58118016A JPS58118016A JP21295181A JP21295181A JPS58118016A JP S58118016 A JPS58118016 A JP S58118016A JP 21295181 A JP21295181 A JP 21295181A JP 21295181 A JP21295181 A JP 21295181A JP S58118016 A JPS58118016 A JP S58118016A
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- JP
- Japan
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- recording
- reproducing
- head
- thin film
- circuit
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- Pending
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/17—Construction or disposition of windings
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/12—Disposition of constructional parts in the apparatus, e.g. of power supply, of modules
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は薄膜ヘッドおよび記録再生回路を含む集積回路
を同一の基板上に製作した磁気ヘッドに関する。
を同一の基板上に製作した磁気ヘッドに関する。
フェライトや金属等に機椋的加工法を用いてコア部を形
成し、巻線溝に巻線を巻き、空隙部にスペーサを挿入す
ることにより作製していた。磁気ヘッドに代るものとし
て、蒸着、スパッタリング、電着、フォトエツチング等
の技術を用いて、コア部、巻線部分、空隙部分を等測的
に作製し、しかも集積化させた尚膜によって構成された
磁気ヘッドc以下薄膜ヘッドと呼ぶ)が提案され実用化
されている。薄膜ヘッドでは、小形化が実現され、巻線
を巻く際の困難さが解消される。さらにバラツキが少な
いため記録および再生の評価が容易になる。低い生産コ
ストで製造される等の多くの利点を有している。実際に
は、第1図に示す如く薄膜ヘッド102は、スライダ1
01上に形成されている。然しなから、実際の磁気記録
再生装置で2− こうした磁気ヘッドを用いて記録再生を行なおうとする
と、従来記録再生に必要な電気回路又は電気回路を含む
集積回路(以下、記録再生回路と呼ぶ)を別に用意して
、ヘッドの巻線部と導線103等で接続する必要がある
。そのために、前記ヘッドと記録再生回路との距離が長
くなるために夕1部雑音を薄膜ヘッドで検出した微小信
号が加わっている前記導線部で拾い易く、それが再生波
形の劣化および信号対雑音比の劣化を招く一つの原因と
なシ、最終的なビットエラー率を増加させている。これ
を回避させるために、第2図に示す如く記録再生回路の
一部を集積回路202にして、アーム205上に配置す
ることによシ、スライダ上に搭載された前記ヘッド20
1との間の電気的、接続のだめの導線203の長さを短
くして、ディスク206から201で検出した信号に外
部雑音が混入しないようにした例もあるが、その長さは
無視できない程度の長さであり、外部雑音をNil f
nt2接続線で不可避的に拾う傾向にある。そのために
、さらに前記接続線をシールドする等の手段が講じ3− られている。
成し、巻線溝に巻線を巻き、空隙部にスペーサを挿入す
ることにより作製していた。磁気ヘッドに代るものとし
て、蒸着、スパッタリング、電着、フォトエツチング等
の技術を用いて、コア部、巻線部分、空隙部分を等測的
に作製し、しかも集積化させた尚膜によって構成された
磁気ヘッドc以下薄膜ヘッドと呼ぶ)が提案され実用化
されている。薄膜ヘッドでは、小形化が実現され、巻線
を巻く際の困難さが解消される。さらにバラツキが少な
いため記録および再生の評価が容易になる。低い生産コ
ストで製造される等の多くの利点を有している。実際に
は、第1図に示す如く薄膜ヘッド102は、スライダ1
01上に形成されている。然しなから、実際の磁気記録
再生装置で2− こうした磁気ヘッドを用いて記録再生を行なおうとする
と、従来記録再生に必要な電気回路又は電気回路を含む
集積回路(以下、記録再生回路と呼ぶ)を別に用意して
、ヘッドの巻線部と導線103等で接続する必要がある
。そのために、前記ヘッドと記録再生回路との距離が長
くなるために夕1部雑音を薄膜ヘッドで検出した微小信
号が加わっている前記導線部で拾い易く、それが再生波
形の劣化および信号対雑音比の劣化を招く一つの原因と
なシ、最終的なビットエラー率を増加させている。これ
を回避させるために、第2図に示す如く記録再生回路の
一部を集積回路202にして、アーム205上に配置す
ることによシ、スライダ上に搭載された前記ヘッド20
1との間の電気的、接続のだめの導線203の長さを短
くして、ディスク206から201で検出した信号に外
部雑音が混入しないようにした例もあるが、その長さは
無視できない程度の長さであり、外部雑音をNil f
nt2接続線で不可避的に拾う傾向にある。そのために
、さらに前記接続線をシールドする等の手段が講じ3− られている。
本発明は、かかる欠点を除去したもので、その目的は上
記外部雑音の上記接続線への混入による信号対雑音比の
劣化の解決と磁気ヘッドと記録再生回路C以下、記録再
生系と呼ぶ)の小型化、高信頼化および軽葉化を実現す
る方法を提供するものである。
記外部雑音の上記接続線への混入による信号対雑音比の
劣化の解決と磁気ヘッドと記録再生回路C以下、記録再
生系と呼ぶ)の小型化、高信頼化および軽葉化を実現す
る方法を提供するものである。
以下、実施例に基すいて本発明を詳しく鯖、明する。第
3図は、本発明になる磁気ヘッドの基本的な原理構造を
示す概観図例である。第3図に於いて、301はシリコ
ン等の半導体基板を加工して作ったスライダであF)、
302は301上に形成された薄膜ヘッド、303は3
01上で薄膜ヘッド302の近傍に形成された記録再生
用の集積回路、304は集積回路303の信号端子であ
る。
3図は、本発明になる磁気ヘッドの基本的な原理構造を
示す概観図例である。第3図に於いて、301はシリコ
ン等の半導体基板を加工して作ったスライダであF)、
302は301上に形成された薄膜ヘッド、303は3
01上で薄膜ヘッド302の近傍に形成された記録再生
用の集積回路、304は集積回路303の信号端子であ
る。
第4図は第3図の302および303の一部を拡大した
ものであ、9.401および403はパーマロイ等の導
電性高透磁率磁性薄膜、405は巻線部を形成している
金等の導電性金属膜、406はアルミニウム等の導電性
金h4%、402は半導体−4= 基板401上に形成された記録再生用集積回路である。
ものであ、9.401および403はパーマロイ等の導
電性高透磁率磁性薄膜、405は巻線部を形成している
金等の導電性金属膜、406はアルミニウム等の導電性
金h4%、402は半導体−4= 基板401上に形成された記録再生用集積回路である。
第5図は、第4図のa −b問およびc −d間の断面
図の例である。第5図で503がc −d間の断面図で
あり、例えば501は単結晶シリコン等のP形半導体基
板、513は501上に形成されたN影領域、516は
P形領埴’1 514.515.517は不純物濃度が
高いN影領域(N領域)、518は二酸化硅素などの絶
縁層、519はアルミなどで作られる電極であり、50
3の部分は全体として1つのNl’N型トランジスタを
構成している。502は第4図のa−b間の断面図であ
シ、504はパーマロイ等の導電性高透磁率磁性薄膜、
505.506および512は二酸化硅素等からなる絶
縁層、507,508,509.510および511は
金等の導電性金属膜である。第4図および第5図で、集
積回路部は通常のモノリシック半導体技術によって作ら
れ、薄膜ヘッド部は、スパッタリング等の技術で作られ
る。
図の例である。第5図で503がc −d間の断面図で
あり、例えば501は単結晶シリコン等のP形半導体基
板、513は501上に形成されたN影領域、516は
P形領埴’1 514.515.517は不純物濃度が
高いN影領域(N領域)、518は二酸化硅素などの絶
縁層、519はアルミなどで作られる電極であり、50
3の部分は全体として1つのNl’N型トランジスタを
構成している。502は第4図のa−b間の断面図であ
シ、504はパーマロイ等の導電性高透磁率磁性薄膜、
505.506および512は二酸化硅素等からなる絶
縁層、507,508,509.510および511は
金等の導電性金属膜である。第4図および第5図で、集
積回路部は通常のモノリシック半導体技術によって作ら
れ、薄膜ヘッド部は、スパッタリング等の技術で作られ
る。
両者の製造プロセス技術が相異なるために、集積回路部
の形成時に於いては薄膜ヘッド部をマスク5− し、薄膜ヘッド部の形成時に於いては集積回路部をマス
クする必要がある。
の形成時に於いては薄膜ヘッド部をマスク5− し、薄膜ヘッド部の形成時に於いては集積回路部をマス
クする必要がある。
また、上記集積回路は、モノリシック半導体技術ばかり
でなく、薄膜ヘッドの製造と同じ薄膜技術を用いて形成
することが可能である。
でなく、薄膜ヘッドの製造と同じ薄膜技術を用いて形成
することが可能である。
第6図にその場合の実施例を示す。同図は、第5図と同
様な断面図であって、601は非磁性かつ絶縁性の基板
であり、602は502と同じく薄膜ヘッドの一部の断
面図であシ、603は集積回路の一部の断面図である。
様な断面図であって、601は非磁性かつ絶縁性の基板
であり、602は502と同じく薄膜ヘッドの一部の断
面図であシ、603は集積回路の一部の断面図である。
604,605および606は金等の導電性金属膜、6
07は硫化カドニウム等の半導体薄膜、608は二酸化
硅素等からなる誘電体薄膜である。603は、全体とし
て1つの電界効果型薄膜トランジスタを構成していて、
この場合604がソース、605がゲート、606がド
レインに相当していて、この例では、604が、ヘッド
の巻線につながっている。薄膜技術を用いて集積回路の
部分を形成すれば同一の製造プロセスによって、ヘッド
部と集積回路部とを形成することができるので、集積回
路部をモノ6− リシック半導体技術を用いて形成する場合と北較して、
製造の過程が簡単になる利点を有する。
07は硫化カドニウム等の半導体薄膜、608は二酸化
硅素等からなる誘電体薄膜である。603は、全体とし
て1つの電界効果型薄膜トランジスタを構成していて、
この場合604がソース、605がゲート、606がド
レインに相当していて、この例では、604が、ヘッド
の巻線につながっている。薄膜技術を用いて集積回路の
部分を形成すれば同一の製造プロセスによって、ヘッド
部と集積回路部とを形成することができるので、集積回
路部をモノ6− リシック半導体技術を用いて形成する場合と北較して、
製造の過程が簡単になる利点を有する。
この様にして記録再生回路とに脚ヘッドとを同一の基板
上に形成すると、従来外部雑音を拾う大きな原因となっ
ていたヘッドと記録再生回路との接続線の距離が著しく
小さくすることが可能となり、外部雑音が検出信号に混
入しにくくなる。従って、信号対雑音比の大幅な向上が
期待できる。
上に形成すると、従来外部雑音を拾う大きな原因となっ
ていたヘッドと記録再生回路との接続線の距離が著しく
小さくすることが可能となり、外部雑音が検出信号に混
入しにくくなる。従って、信号対雑音比の大幅な向上が
期待できる。
さらに、記録再生回路と薄膜ヘッドとの一体化によって
記録再生系が大幅に小型化かつ軽量化することが可能と
なる。また、ヘッドを含む記録再生系全体を一体に集積
化するので、信頼性がさらに向上するものである。
記録再生系が大幅に小型化かつ軽量化することが可能と
なる。また、ヘッドを含む記録再生系全体を一体に集積
化するので、信頼性がさらに向上するものである。
いままでは、第3図に示したヘッドの様にハードディス
ク用のヘッドを例として説明してきたが、本発明による
構造の磁気ヘッドはフロッピーディスク等のフレキシブ
ルディスクに対しても有効である。実施例を第7図およ
び第8図に示す。第7図では、前記の如くして同一の半
導体基板上に記録再生系を形成して、それを701の形
状に加エアー したもので、702が薄膜ヘッド、7o3が集積化され
た記録再生回路704が外部インタフェース回路等との
接続線である。第8図は第7図の701と同じ形状の基
板801を701に接着したものであシ、これをスライ
ダに搭載すれば、フレキシブルディスクに対しても利用
可能である。
ク用のヘッドを例として説明してきたが、本発明による
構造の磁気ヘッドはフロッピーディスク等のフレキシブ
ルディスクに対しても有効である。実施例を第7図およ
び第8図に示す。第7図では、前記の如くして同一の半
導体基板上に記録再生系を形成して、それを701の形
状に加エアー したもので、702が薄膜ヘッド、7o3が集積化され
た記録再生回路704が外部インタフェース回路等との
接続線である。第8図は第7図の701と同じ形状の基
板801を701に接着したものであシ、これをスライ
ダに搭載すれば、フレキシブルディスクに対しても利用
可能である。
以上の様に、本発明による山気ヘッドによれば、ヘッド
と記録再生回路間に入る外部雑音が抵減し、信号対雑音
比が向上する。記録再生系が小型化、軽量化、高信頼化
されるという優れた効果を有しておシ、磁気ヘッドとし
て望しい性質を持つものである。
と記録再生回路間に入る外部雑音が抵減し、信号対雑音
比が向上する。記録再生系が小型化、軽量化、高信頼化
されるという優れた効果を有しておシ、磁気ヘッドとし
て望しい性質を持つものである。
第1図は従来のスライダ上に搭載した薄膜ヘッドの全体
の構造を示している。第2図は、集積回路化された記録
再生回路がアーム上に搭載されて、第1図で示した磁気
ヘッドと接続されていることを示している。第3図は、
本発明になる磁気ヘッドの構造例を示すものである。第
4図は、第3図8− の薄膜ヘッドと集積化された記録再生回路の一部の拡大
図を示すものである。 第5図は、記録再生回路部をモノリシック半導体技術を
用いて形成した場合の第4図の断面図の一部を模式的に
表現したものである。 第6図は、記録再生回路をヘッド部と同様に薄膜技術を
用いて形成した場合の第4図の断面図の一部である。第
7図および第8図は、本発明の磁気ヘッドを別の形状に
加工した例である。 102.302,502,602,702・・・・薄膜
ヘッド 101.201.301・・スライダ 202.303,402,503,603,703・・
・集積化された記録再生回路 103.203・・薄膜ヘッドと記録再生回路との接続
線 以 上 出願人 株式会社趣訪精工舎 代理人 弁理士最 上 務 9− 第4図 第70 第8ニー 97−
の構造を示している。第2図は、集積回路化された記録
再生回路がアーム上に搭載されて、第1図で示した磁気
ヘッドと接続されていることを示している。第3図は、
本発明になる磁気ヘッドの構造例を示すものである。第
4図は、第3図8− の薄膜ヘッドと集積化された記録再生回路の一部の拡大
図を示すものである。 第5図は、記録再生回路部をモノリシック半導体技術を
用いて形成した場合の第4図の断面図の一部を模式的に
表現したものである。 第6図は、記録再生回路をヘッド部と同様に薄膜技術を
用いて形成した場合の第4図の断面図の一部である。第
7図および第8図は、本発明の磁気ヘッドを別の形状に
加工した例である。 102.302,502,602,702・・・・薄膜
ヘッド 101.201.301・・スライダ 202.303,402,503,603,703・・
・集積化された記録再生回路 103.203・・薄膜ヘッドと記録再生回路との接続
線 以 上 出願人 株式会社趣訪精工舎 代理人 弁理士最 上 務 9− 第4図 第70 第8ニー 97−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 11)同一の基板上に薄膜で形成されたヘッド部と記録
再生を含む回路部とを有することを特徴とする磁気ヘッ
ド。 (21基板が半導体である事を特徴とする嬉1項記載の
磁気ヘッド。 131半導体基板が単結晶シリコンである事を特徴とす
る第2狽記載の磁気ヘッド。 (41記録再生を含む回路部は、半導体基板を用いて形
成されている事を特徴とする第2項記載の磁気ヘッド。 151記録再生を含む回路は、基板上に薄膜で形成され
ている事を特徴とする第1項記載のζB気ヘッド。 1−
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21295181A JPS58118016A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21295181A JPS58118016A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 磁気ヘツド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58118016A true JPS58118016A (ja) | 1983-07-13 |
Family
ID=16630991
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21295181A Pending JPS58118016A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58118016A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2559297A1 (fr) * | 1984-02-03 | 1985-08-09 | Commissariat Energie Atomique | Nouveau patin de vol pour tetes magnetiques d'enregistrement |
US5712747A (en) * | 1996-01-24 | 1998-01-27 | International Business Machines Corporation | Thin film slider with on-board multi-layer integrated circuit |
EP1014342A2 (en) * | 1998-12-25 | 2000-06-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Head IC, head amplifier circuit, head suspension assembly, and magnetic disk drive for avoiding electrostatic breakdown of magnetic head |
-
1981
- 1981-12-29 JP JP21295181A patent/JPS58118016A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2559297A1 (fr) * | 1984-02-03 | 1985-08-09 | Commissariat Energie Atomique | Nouveau patin de vol pour tetes magnetiques d'enregistrement |
JPS60179918A (ja) * | 1984-02-03 | 1985-09-13 | コミツサリア ア レネルジイ アトミツク | 集積構造を有する磁気記録用読取り書込み装置 |
US4809103A (en) * | 1984-02-03 | 1989-02-28 | Commissariat A L'energie Atomique | Head slider with an integrated flat magnetic head |
JPH0644334B2 (ja) * | 1984-02-03 | 1994-06-08 | コミツサリア ア レネルジイ アトミツク | 集積構造を有する磁気記録用読取り書込み装置 |
US5712747A (en) * | 1996-01-24 | 1998-01-27 | International Business Machines Corporation | Thin film slider with on-board multi-layer integrated circuit |
US5771571A (en) * | 1996-01-24 | 1998-06-30 | International Business Machines Corporation | Method for manufacturing thin film slider with on-board multi-layer integrated circuit |
EP1014342A2 (en) * | 1998-12-25 | 2000-06-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Head IC, head amplifier circuit, head suspension assembly, and magnetic disk drive for avoiding electrostatic breakdown of magnetic head |
US6377411B1 (en) | 1998-12-25 | 2002-04-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Head IC, head amplifier circuit, head suspension assembly, and magnetic disk drive for avoiding electrostatic breakdown of magnetic head |
EP1014342A3 (en) * | 1998-12-25 | 2002-12-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Head IC, head amplifier circuit, head suspension assembly, and magnetic disk drive for avoiding electrostatic breakdown of magnetic head |
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