JPH0935230A - 磁気ディスク装置 - Google Patents
磁気ディスク装置Info
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- JPH0935230A JPH0935230A JP17713195A JP17713195A JPH0935230A JP H0935230 A JPH0935230 A JP H0935230A JP 17713195 A JP17713195 A JP 17713195A JP 17713195 A JP17713195 A JP 17713195A JP H0935230 A JPH0935230 A JP H0935230A
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- Japan
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- magnetic
- magnetic head
- recording medium
- slider
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 大容量記録が可能な情報記憶装置のための、
高信頼性、低コストの情報記録検出用磁気ディスク装置
を提供する。 【構成】 磁気ヘッド支持機構は単結晶シリコンを素材
とし、先端付近に位置する磁気ヘッド１、スライダ２、
その姿勢を保持するジンバル３、電気配線４からなる立
体的な一体構造を有し、電気配線４を介したアーム５と
の接合連結構造を有する。更に、磁気ヘッド支持機構は
位置決め用アクチュエータ７に接続され、磁気記録媒体
６表面の任意の位置に位置決めして情報の記録・検出を
行う。 【効果】 変動の少ない高信頼性の磁気ヘッド浮上が可
能となり、大容量記録、高速アクセス動作を実現でき
る。また、従来のように夫々の部品を個別に製作し、組
立てる必要がなくなるので、低コストの磁気ヘッド支持
機構が得られる。
高信頼性、低コストの情報記録検出用磁気ディスク装置
を提供する。 【構成】 磁気ヘッド支持機構は単結晶シリコンを素材
とし、先端付近に位置する磁気ヘッド１、スライダ２、
その姿勢を保持するジンバル３、電気配線４からなる立
体的な一体構造を有し、電気配線４を介したアーム５と
の接合連結構造を有する。更に、磁気ヘッド支持機構は
位置決め用アクチュエータ７に接続され、磁気記録媒体
６表面の任意の位置に位置決めして情報の記録・検出を
行う。 【効果】 変動の少ない高信頼性の磁気ヘッド浮上が可
能となり、大容量記録、高速アクセス動作を実現でき
る。また、従来のように夫々の部品を個別に製作し、組
立てる必要がなくなるので、低コストの磁気ヘッド支持
機構が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置に係
り、特に、コンピュータやデータファイリングシステム
などの情報処理機器の外部メモリ装置の一部品として用
いられ、超薄型磁気ディスクメモリカードや超小型磁気
ディスクアレイに好適な超小型磁気ヘッド支持機構を具
備する磁気ディスク装置に関する。
り、特に、コンピュータやデータファイリングシステム
などの情報処理機器の外部メモリ装置の一部品として用
いられ、超薄型磁気ディスクメモリカードや超小型磁気
ディスクアレイに好適な超小型磁気ヘッド支持機構を具
備する磁気ディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスクや光ディスクに代表される
情報記憶装置は、コンピュータやデータファイリングシ
ステムなどの情報処理機器の外部メモリ装置として用い
られており、特に最近は超薄型磁気ディスクメモリカー
ドや超小型磁気ディスクアレイなどの、従来と異なるコ
ンセプトの磁気ディスク装置が必要とされている。これ
らの情報記憶装置においては、装置の薄型化・小型化と
情報記録容量の増大に伴う記録密度の向上、並びに、情
報処理速度の高速化に伴うアクセス速度の高速化が望ま
れている。
情報記憶装置は、コンピュータやデータファイリングシ
ステムなどの情報処理機器の外部メモリ装置として用い
られており、特に最近は超薄型磁気ディスクメモリカー
ドや超小型磁気ディスクアレイなどの、従来と異なるコ
ンセプトの磁気ディスク装置が必要とされている。これ
らの情報記憶装置においては、装置の薄型化・小型化と
情報記録容量の増大に伴う記録密度の向上、並びに、情
報処理速度の高速化に伴うアクセス速度の高速化が望ま
れている。
【０００３】これらの要請に応えるためには、情報記録
媒体と情報記録検出用磁気ヘッドの間隔（以下、浮上量
という）とその変動の低減が必要になる。また、磁気ヘ
ッド支持機構の薄型化及び共振周波数の向上が必要にな
る。一般に普及している磁気ディスク装置においては、
ディスク（円板）形状を有する磁気記録媒体を回転さ
せ、その近傍に磁気ヘッドを装着した空気軸受（スライ
ダ）を接近させる。その結果生じる磁気記録媒体とスラ
イダとの間の空気流による浮力と、スライダを支持する
ジンバルとアームによる押しつけ力の均衡により、前記
浮上量が適宜決定され、情報の記録及び検出が行われ
る。
媒体と情報記録検出用磁気ヘッドの間隔（以下、浮上量
という）とその変動の低減が必要になる。また、磁気ヘ
ッド支持機構の薄型化及び共振周波数の向上が必要にな
る。一般に普及している磁気ディスク装置においては、
ディスク（円板）形状を有する磁気記録媒体を回転さ
せ、その近傍に磁気ヘッドを装着した空気軸受（スライ
ダ）を接近させる。その結果生じる磁気記録媒体とスラ
イダとの間の空気流による浮力と、スライダを支持する
ジンバルとアームによる押しつけ力の均衡により、前記
浮上量が適宜決定され、情報の記録及び検出が行われ
る。
【０００４】浮上量とその変動を低減するために各種の
方式が提案されている。スライダの寸法を小さくするこ
とによって効果的に浮上量を低減することができるが、
現在の機械加工技術では微小化及び加工精度に限界があ
る。また、微小なスライダ、ジンバル及びアームのハン
ドリングや組立も困難になり、生産コストを著しく上げ
る要因となっている。
方式が提案されている。スライダの寸法を小さくするこ
とによって効果的に浮上量を低減することができるが、
現在の機械加工技術では微小化及び加工精度に限界があ
る。また、微小なスライダ、ジンバル及びアームのハン
ドリングや組立も困難になり、生産コストを著しく上げ
る要因となっている。
【０００５】微小なスライダの加工の生産性を改善する
一方法として、例えば、ＩＥＥＥＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯ
ＮＳ ＯＮ ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ，ＶＯＬ．２５，Ｎ
Ｏ．５，ｐｐ．３１９０（１９８９）に記載のように、
磁気ヘッドの磁場印加検出用渦巻状コイルの形成する平
面が、磁気記録媒体と向かいあう面（浮上面）に略平行
になるように設置され、半導体シリコン基板からスライ
ダと磁気ヘッドが半導体加工技術及び機械加工技術によ
り形成される方法が提案されている。本方法は微小なス
ライダの大量生産方法として有力になり得る方法であ
る。
一方法として、例えば、ＩＥＥＥＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯ
ＮＳ ＯＮ ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ，ＶＯＬ．２５，Ｎ
Ｏ．５，ｐｐ．３１９０（１９８９）に記載のように、
磁気ヘッドの磁場印加検出用渦巻状コイルの形成する平
面が、磁気記録媒体と向かいあう面（浮上面）に略平行
になるように設置され、半導体シリコン基板からスライ
ダと磁気ヘッドが半導体加工技術及び機械加工技術によ
り形成される方法が提案されている。本方法は微小なス
ライダの大量生産方法として有力になり得る方法であ
る。
【０００６】また、スライダとジンバルとアームの組立
を省く方法として、例えば、特開平２−２２７８１３号
公報に記載のように、スライダをなくして、磁気ヘッド
支持部材の表面に一体的に磁気ヘッドを作り込む構造が
提案されている。また、特開平６−５０２６号公報に記
載のように、磁気ヘッドからアームまでを同一部材を使
って一体化する構造が提案されている。
を省く方法として、例えば、特開平２−２２７８１３号
公報に記載のように、スライダをなくして、磁気ヘッド
支持部材の表面に一体的に磁気ヘッドを作り込む構造が
提案されている。また、特開平６−５０２６号公報に記
載のように、磁気ヘッドからアームまでを同一部材を使
って一体化する構造が提案されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】低浮上量化の従来例と
して挙げたように、半導体シリコン基板上にスライダと
その情報記録媒体と向かいあう面に配置されてなる磁気
ヘッドが、半導体加工技術により形成される方法では、
スライダの外形形状の成形のために従来の機械加工技術
を用いているので、スライダの寸法が小さくなると、加
工寸法精度の維持及びハンドリングが困難になる。ま
た、磁気ヘッドの支持部材との組立工程が考慮されてい
ないために、スライダの寸法を小さくするほど、スライ
ダとジンバルとアームとの組立が困難になるという問題
があった。
して挙げたように、半導体シリコン基板上にスライダと
その情報記録媒体と向かいあう面に配置されてなる磁気
ヘッドが、半導体加工技術により形成される方法では、
スライダの外形形状の成形のために従来の機械加工技術
を用いているので、スライダの寸法が小さくなると、加
工寸法精度の維持及びハンドリングが困難になる。ま
た、磁気ヘッドの支持部材との組立工程が考慮されてい
ないために、スライダの寸法を小さくするほど、スライ
ダとジンバルとアームとの組立が困難になるという問題
があった。
【０００８】また、スライダをなくして、磁気ヘッド支
持部材の表面に一体的に磁気ヘッドを作り込む構造で
は、磁気ヘッドと支持部材の材質の整合性について考慮
されておらず、磁気ヘッド製作工程において支持部材と
の界面に応力が加わり、歪みが残る。また、スライダを
なくしたために、スライダの表面に形成される浮上レー
ルがなく、浮上量の変動を抑制するのが困難である。さ
らに、磁気ヘッドが薄膜構造であるために、アームによ
り情報記録媒体の方向に押しつけられる際に撓むジンバ
ルが情報記録媒体に接触して、安定浮上が実現されない
という問題があった。
持部材の表面に一体的に磁気ヘッドを作り込む構造で
は、磁気ヘッドと支持部材の材質の整合性について考慮
されておらず、磁気ヘッド製作工程において支持部材と
の界面に応力が加わり、歪みが残る。また、スライダを
なくしたために、スライダの表面に形成される浮上レー
ルがなく、浮上量の変動を抑制するのが困難である。さ
らに、磁気ヘッドが薄膜構造であるために、アームによ
り情報記録媒体の方向に押しつけられる際に撓むジンバ
ルが情報記録媒体に接触して、安定浮上が実現されない
という問題があった。
【０００９】また、磁気ヘッドからアームまでを同一部
材を使って一体化する構造では、磁気ヘッドが磁気記録
媒体に対して略垂直に形成されており、磁気ヘッドを含
めた構造体をエッチング加工で製作する工程、磁気ヘッ
ドに電気信号を入出力する電気配線の接続方法が記載さ
れておらず、その構造をエッチング加工で実現するのは
非常に困難と考えられる。
材を使って一体化する構造では、磁気ヘッドが磁気記録
媒体に対して略垂直に形成されており、磁気ヘッドを含
めた構造体をエッチング加工で製作する工程、磁気ヘッ
ドに電気信号を入出力する電気配線の接続方法が記載さ
れておらず、その構造をエッチング加工で実現するのは
非常に困難と考えられる。
【００１０】本発明の目的は、浮上量を低く維持し、大
容量記録、高速アクセス動作の可能な、薄型・超小型磁
気ヘッド支持機構を有する磁気ディスク装置を提供する
ことにある。
容量記録、高速アクセス動作の可能な、薄型・超小型磁
気ヘッド支持機構を有する磁気ディスク装置を提供する
ことにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的は、磁気ヘッド
支持手段を、同一の単結晶シリコン基板上に、少なくと
も薄膜形成技術、微細パターンの転写露光技術、異方性
及び等方性エッチング技術、並びにめっき技術を含むマ
イクロ加工技術と表面活性化接合技術により一体で立体
的に形成することにより達成できる。
支持手段を、同一の単結晶シリコン基板上に、少なくと
も薄膜形成技術、微細パターンの転写露光技術、異方性
及び等方性エッチング技術、並びにめっき技術を含むマ
イクロ加工技術と表面活性化接合技術により一体で立体
的に形成することにより達成できる。
【００１２】すなわち、本発明の磁気ディスク装置は、
回転する円板状の磁気記録媒体に対し情報を記録検出す
る磁気ディスク装置であって、前記磁気記録媒体に対し
略平行になるように設置された薄膜状の磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドを支持する磁気ヘッド支持手段とが、シ
リコン又はシリコン化合物からなる基板上に、一体構造
で立体的に形成されていることを特徴とするものであ
る。
回転する円板状の磁気記録媒体に対し情報を記録検出す
る磁気ディスク装置であって、前記磁気記録媒体に対し
略平行になるように設置された薄膜状の磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドを支持する磁気ヘッド支持手段とが、シ
リコン又はシリコン化合物からなる基板上に、一体構造
で立体的に形成されていることを特徴とするものであ
る。
【００１３】また、前記基板は、同一素材の単結晶シリ
コン基板であることを特徴とし、また、前記基板には、
前記磁気ヘッドに対し電気信号を入出力する電気配線
が、一体的に形成され、また、前記磁気ヘッド支持手段
は、磁気記録媒体に向かって突出するようにして形成さ
れたスライダ、前記スライダの姿勢を保持するジンバ
ル、又は、前記磁気ヘッドの磁気記録媒体に対する相対
位置を決定するアームのうち、少なくともいずれかを含
むものである。
コン基板であることを特徴とし、また、前記基板には、
前記磁気ヘッドに対し電気信号を入出力する電気配線
が、一体的に形成され、また、前記磁気ヘッド支持手段
は、磁気記録媒体に向かって突出するようにして形成さ
れたスライダ、前記スライダの姿勢を保持するジンバ
ル、又は、前記磁気ヘッドの磁気記録媒体に対する相対
位置を決定するアームのうち、少なくともいずれかを含
むものである。
【００１４】さらに具体的には、本発明の磁気ディスク
装置は、磁気記録媒体に対し略平行になるように設置さ
れた薄膜状の磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを支持し、
磁気記録媒体に向かって突出するようにして形成された
空気軸受（スライダ）と、磁気ヘッドに対し電気信号を
入出力する電気配線と、前記スライダの姿勢を保持する
可撓性部材（ジンバル）を同一素材の単結晶シリコン基
板から一体形成して構成した磁気ヘッド・スライダ・電
気配線一体化ジンバルと、表面に絶縁層を挟んで形成さ
れた電気配線及び金属パッドを有し磁気ヘッドの磁気記
録媒体に対する相対位置を決定する金属製支持部材（ア
ーム）とを、それぞれの電気配線及び金属パッド同士の
接合により連結した磁気ヘッド支持手段を有するもので
ある。
装置は、磁気記録媒体に対し略平行になるように設置さ
れた薄膜状の磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを支持し、
磁気記録媒体に向かって突出するようにして形成された
空気軸受（スライダ）と、磁気ヘッドに対し電気信号を
入出力する電気配線と、前記スライダの姿勢を保持する
可撓性部材（ジンバル）を同一素材の単結晶シリコン基
板から一体形成して構成した磁気ヘッド・スライダ・電
気配線一体化ジンバルと、表面に絶縁層を挟んで形成さ
れた電気配線及び金属パッドを有し磁気ヘッドの磁気記
録媒体に対する相対位置を決定する金属製支持部材（ア
ーム）とを、それぞれの電気配線及び金属パッド同士の
接合により連結した磁気ヘッド支持手段を有するもので
ある。
【００１５】また、磁気記録媒体に対し略平行になるよ
うに設置された薄膜状の磁気ヘッドと、前記磁気ヘッド
を支持し、磁気記録媒体に向かって突出するようにして
形成された空気軸受（スライダ）と、磁気ヘッドに対し
電気信号を入出力する電気配線と、前記スライダの姿勢
を保持する可撓性部材（ジンバル）と、磁気ヘッドの磁
気記録媒体に対する相対位置を決定する金属製支持部材
（アーム）とを同一素材の単結晶シリコン基板から一体
形成して構成した磁気ヘッド・スライダ・電気配線・ジ
ンバル・アーム一体化磁気ヘッド支持手段を有するもの
である。
うに設置された薄膜状の磁気ヘッドと、前記磁気ヘッド
を支持し、磁気記録媒体に向かって突出するようにして
形成された空気軸受（スライダ）と、磁気ヘッドに対し
電気信号を入出力する電気配線と、前記スライダの姿勢
を保持する可撓性部材（ジンバル）と、磁気ヘッドの磁
気記録媒体に対する相対位置を決定する金属製支持部材
（アーム）とを同一素材の単結晶シリコン基板から一体
形成して構成した磁気ヘッド・スライダ・電気配線・ジ
ンバル・アーム一体化磁気ヘッド支持手段を有するもの
である。
【００１６】また、磁気記録媒体に対し略平行になるよ
うに設置された薄膜状の磁気ヘッドと、前記磁気ヘッド
に対し電気信号を入出力する電気配線と、前記スライダ
の姿勢を保持する可撓性部材（ジンバル）と、磁気ヘッ
ドの磁気記録媒体に対する相対位置を決定する支持部材
（アーム）とを同一素材の単結晶シリコン基板から一体
形成して構成した磁気ヘッド・電気配線・ジンバル・ア
ーム一体化磁気ヘッド支持手段を有するものである。
うに設置された薄膜状の磁気ヘッドと、前記磁気ヘッド
に対し電気信号を入出力する電気配線と、前記スライダ
の姿勢を保持する可撓性部材（ジンバル）と、磁気ヘッ
ドの磁気記録媒体に対する相対位置を決定する支持部材
（アーム）とを同一素材の単結晶シリコン基板から一体
形成して構成した磁気ヘッド・電気配線・ジンバル・ア
ーム一体化磁気ヘッド支持手段を有するものである。
【００１７】また、磁気記録媒体に対し略平行になるよ
うに設置された薄膜状の磁気ヘッドと、前記磁気ヘッド
を支持し、磁気記録媒体に向かって突出するようにして
形成された空気軸受（スライダ）と、磁気ヘッドに対し
電気信号を入出力する電気配線と、磁気ヘッドの磁気記
録媒体に対する相対位置を決定する金属製支持部材（ア
ーム）とを同一素材の単結晶シリコン基板から一体形成
して構成した磁気ヘッド・スライダ・電気配線・アーム
一体化磁気ヘッド支持手段を有するものである。
うに設置された薄膜状の磁気ヘッドと、前記磁気ヘッド
を支持し、磁気記録媒体に向かって突出するようにして
形成された空気軸受（スライダ）と、磁気ヘッドに対し
電気信号を入出力する電気配線と、磁気ヘッドの磁気記
録媒体に対する相対位置を決定する金属製支持部材（ア
ーム）とを同一素材の単結晶シリコン基板から一体形成
して構成した磁気ヘッド・スライダ・電気配線・アーム
一体化磁気ヘッド支持手段を有するものである。
【００１８】また、磁気記録媒体に対し略垂直になるよ
うに設置された薄膜状の磁気ヘッドと、前記磁気ヘッド
をその端面に有し、磁気記録媒体に向かって突出するよ
うにして形成された空気軸受（スライダ）と、磁気ヘッ
ドに対し電気信号を入出力する電気配線と、前記スライ
ダの姿勢を保持する可撓性部材（ジンバル）と磁気ヘッ
ドの磁気記録媒体に対する相対位置を決定する支持部材
（アーム）とを同一素材の単結晶シリコン基板から一体
形成して構成した電気配線・ジンバル一体化アームと
を、磁気ヘッドの電気配線との接合により連結した磁気
ヘッド支持手段を有するものである。
うに設置された薄膜状の磁気ヘッドと、前記磁気ヘッド
をその端面に有し、磁気記録媒体に向かって突出するよ
うにして形成された空気軸受（スライダ）と、磁気ヘッ
ドに対し電気信号を入出力する電気配線と、前記スライ
ダの姿勢を保持する可撓性部材（ジンバル）と磁気ヘッ
ドの磁気記録媒体に対する相対位置を決定する支持部材
（アーム）とを同一素材の単結晶シリコン基板から一体
形成して構成した電気配線・ジンバル一体化アームと
を、磁気ヘッドの電気配線との接合により連結した磁気
ヘッド支持手段を有するものである。
【００１９】さらに、前記電気配線、あるいは金属パッ
ドは、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕの中から選ばれる金属、あるい
はその合金か、あるいはそれらとはんだ合金との多層膜
からなることが望ましい。
ドは、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕの中から選ばれる金属、あるい
はその合金か、あるいはそれらとはんだ合金との多層膜
からなることが望ましい。
【００２０】さらに、前記接合は、接合される面の表面
を真空あるいは清浄雰囲気チャンバの中で不活性原子あ
るいはイオンビームエッチングで清浄化したのちに、接
合すべき部材同士を室温に近い温度で加熱・加圧する表
面活性化接合であることが望ましい。
を真空あるいは清浄雰囲気チャンバの中で不活性原子あ
るいはイオンビームエッチングで清浄化したのちに、接
合すべき部材同士を室温に近い温度で加熱・加圧する表
面活性化接合であることが望ましい。
【００２１】
【作用】上記構成のように、磁気ヘッド、スライダ、電
気配線、ジンバルなどを適宜組合わせ、例えば同一素材
を用いて一体構造に形成すると、磁気ヘッド支持手段の
先端に微小な磁気ヘッドとスライダ部を、例えばジンバ
ルとの組立工程なしに設置することができるようにな
る。また、単結晶シリコンによれば、密度が低く軽質量
であり、したがって、共振周波数の高い浮上動作が可能
となり、変動の少ない安定な低浮上を実現することがで
きる。
気配線、ジンバルなどを適宜組合わせ、例えば同一素材
を用いて一体構造に形成すると、磁気ヘッド支持手段の
先端に微小な磁気ヘッドとスライダ部を、例えばジンバ
ルとの組立工程なしに設置することができるようにな
る。また、単結晶シリコンによれば、密度が低く軽質量
であり、したがって、共振周波数の高い浮上動作が可能
となり、変動の少ない安定な低浮上を実現することがで
きる。
【００２２】さらに、従来のように、磁気ヘッドスライ
ダ、電気配線、ジンバル、アーム等、それぞれの部品を
個別に製作し、組立てる必要がなくなるので、低コスト
の情報記録検出用磁気ヘッド手段を得ることができる。
ダ、電気配線、ジンバル、アーム等、それぞれの部品を
個別に製作し、組立てる必要がなくなるので、低コスト
の情報記録検出用磁気ヘッド手段を得ることができる。
【００２３】また、薄膜形成技術、微細パターンの転写
露光技術、異方性及び等方性エッチング技術、めっき技
術等からなる単結晶シリコンのマイクロ加工技術による
と、低浮上量化に適した超小型の磁気ヘッド支持手段を
製作するのに効果的である。
露光技術、異方性及び等方性エッチング技術、めっき技
術等からなる単結晶シリコンのマイクロ加工技術による
と、低浮上量化に適した超小型の磁気ヘッド支持手段を
製作するのに効果的である。
【００２４】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照して説
明する。図１に、本発明の第１の実施例になる磁気ディ
スク装置の斜視図を示す。磁気記録媒体６に対し、位置
決め用アクチュエータ７によって旋回するアーム５の先
端付近に付設された磁気ヘッド（図では見えない位置に
ある）付きスライダ２が、位置決めされ情報が記録検出
される。本実施例により、薄型の磁気ヘッド支持機構が
得られ、その結果として、全体の筐体の薄い高密度記録
の可能な磁気ディスク装置が構成できる。
明する。図１に、本発明の第１の実施例になる磁気ディ
スク装置の斜視図を示す。磁気記録媒体６に対し、位置
決め用アクチュエータ７によって旋回するアーム５の先
端付近に付設された磁気ヘッド（図では見えない位置に
ある）付きスライダ２が、位置決めされ情報が記録検出
される。本実施例により、薄型の磁気ヘッド支持機構が
得られ、その結果として、全体の筐体の薄い高密度記録
の可能な磁気ディスク装置が構成できる。
【００２５】図２に、本発明の第１の実施例における要
部である磁気ヘッド支持機構の断面図を示す。磁気ヘッ
ド支持機構は磁気ヘッド１、スライダ２、その姿勢を保
持するためのジンバル３、電気配線４及びアーム５から
なり、磁気ヘッド１から電気配線４までが、シリコン単
結晶基板からマイクロ加工技術により立体形状に成形さ
れる。一方、アーム５は金属を用いたホトエッチング加
工により外形加工され、曲げ剛性を高めるために、長手
方向に対する側端部の一部が曲げ加工により成形され
る。そして、両者が接合された構造を有する。
部である磁気ヘッド支持機構の断面図を示す。磁気ヘッ
ド支持機構は磁気ヘッド１、スライダ２、その姿勢を保
持するためのジンバル３、電気配線４及びアーム５から
なり、磁気ヘッド１から電気配線４までが、シリコン単
結晶基板からマイクロ加工技術により立体形状に成形さ
れる。一方、アーム５は金属を用いたホトエッチング加
工により外形加工され、曲げ剛性を高めるために、長手
方向に対する側端部の一部が曲げ加工により成形され
る。そして、両者が接合された構造を有する。
【００２６】スライダ２は長さ１ｍｍあるいはそれ以
下、厚さ数百μｍ、ジンバル３は長さ数ｍｍ、厚さ数十
μｍで、スライダ２がジンバル３に比べて十分厚く、ス
ライダ２が磁気記録媒体６に向かって突出するように設
置される。さらに、アーム５の一端を位置決め用アクチ
ュエータ７に連結して、磁気記録媒体表面の任意の位置
に位置決めして情報の記録・検出を行う。
下、厚さ数百μｍ、ジンバル３は長さ数ｍｍ、厚さ数十
μｍで、スライダ２がジンバル３に比べて十分厚く、ス
ライダ２が磁気記録媒体６に向かって突出するように設
置される。さらに、アーム５の一端を位置決め用アクチ
ュエータ７に連結して、磁気記録媒体表面の任意の位置
に位置決めして情報の記録・検出を行う。
【００２７】ここで、本発明の新規性は、磁気ヘッド
１、スライダ２、ジンバル３、電気配線４、アーム５の
全部、あるいは、ある一部分が、同一材料の単結晶シリ
コン基板からなる立体的な一体構造を有し、残りの部分
が少なくとも電気配線４自身を介した表面活性化接合に
より連結されるところにある。尚、本発明では、同一材
料の単結晶シリコン基板が好ましいが、必ずしもそれに
限定されず、一体構造であれば、Ｓｉ化合物でもよく、
また別材料あるいは多結晶でもよい。
１、スライダ２、ジンバル３、電気配線４、アーム５の
全部、あるいは、ある一部分が、同一材料の単結晶シリ
コン基板からなる立体的な一体構造を有し、残りの部分
が少なくとも電気配線４自身を介した表面活性化接合に
より連結されるところにある。尚、本発明では、同一材
料の単結晶シリコン基板が好ましいが、必ずしもそれに
限定されず、一体構造であれば、Ｓｉ化合物でもよく、
また別材料あるいは多結晶でもよい。
【００２８】表面活性化接合とは、電気配線４の材質
に、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕ、それぞれの合金か、あるいはそ
れらとはんだ合金との多層膜を用い、その表面を真空あ
るいは清浄雰囲気チャンバの中で、不活性原子あるいは
イオンビームエッチングで清浄化したのちに、接合すべ
き部材同士を室温に近い温度（例えば、室温〜２００
℃）で加熱・加圧する方法である。さらに、接合強度を
高めるためには、スライダ２とジンバル３のアーム５対
向面に、電気配線４と同一材料の接合用金属パッド８を
設け接合箇所を増やすことが効果的である。
に、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕ、それぞれの合金か、あるいはそ
れらとはんだ合金との多層膜を用い、その表面を真空あ
るいは清浄雰囲気チャンバの中で、不活性原子あるいは
イオンビームエッチングで清浄化したのちに、接合すべ
き部材同士を室温に近い温度（例えば、室温〜２００
℃）で加熱・加圧する方法である。さらに、接合強度を
高めるためには、スライダ２とジンバル３のアーム５対
向面に、電気配線４と同一材料の接合用金属パッド８を
設け接合箇所を増やすことが効果的である。
【００２９】図３を用い、磁気ヘッド１についてさらに
詳細に説明する。ここでは、磁気ヘッド１の構造を理解
しやすくするために、厚さ方向の寸法を拡大・誇張して
示した。磁気記録媒体６に接近させて情報を記録検出す
る磁気ヘッド１は、情報記録検出兼用の電磁誘導ヘッド
か、あるいは、情報記録用の電磁誘導ヘッド１１と、情
報検出用の磁気抵抗効果ヘッド１２との複合型ヘッドが
用いられる。
詳細に説明する。ここでは、磁気ヘッド１の構造を理解
しやすくするために、厚さ方向の寸法を拡大・誇張して
示した。磁気記録媒体６に接近させて情報を記録検出す
る磁気ヘッド１は、情報記録検出兼用の電磁誘導ヘッド
か、あるいは、情報記録用の電磁誘導ヘッド１１と、情
報検出用の磁気抵抗効果ヘッド１２との複合型ヘッドが
用いられる。
【００３０】さらに、スライダ２の磁気記録媒体６に対
向する面が、Ｃｕあるいはその合金からなる磁場発生用
の渦巻状コイル１１１の形成する平面に平行に設置され
るプレーナ方式の磁気ヘッドである。また、電磁誘導ヘ
ッド１１には、渦巻状コイル１１１による磁場を閉込め
るためのパーマロイからなるヨーク１１２と、その一部
分でかつ磁気ヘッドの最表面に端面が露出するようにギ
ャップ１１３が形成されている。
向する面が、Ｃｕあるいはその合金からなる磁場発生用
の渦巻状コイル１１１の形成する平面に平行に設置され
るプレーナ方式の磁気ヘッドである。また、電磁誘導ヘ
ッド１１には、渦巻状コイル１１１による磁場を閉込め
るためのパーマロイからなるヨーク１１２と、その一部
分でかつ磁気ヘッドの最表面に端面が露出するようにギ
ャップ１１３が形成されている。
【００３１】磁気ヘッドの全体骨格を形成する素材は、
Ａｌ2Ｏ3（アルミナ）やＳｉＯ2（二酸化シリコン）あ
るいはプラスチックスが使用される。一方、渦巻状コイ
ル１１１の両端部は、磁気ヘッド１のスライダ２との界
面に埋設された電極端子１３を形成し、そこから、スラ
イダ２を貫通して穿孔されたコンタクトホール２１を通
って、磁気ヘッドに対し電気信号を入出力するための電
気配線４が磁気ヘッド支持機構の表面にマイクロ加工技
術により形成されている。
Ａｌ2Ｏ3（アルミナ）やＳｉＯ2（二酸化シリコン）あ
るいはプラスチックスが使用される。一方、渦巻状コイ
ル１１１の両端部は、磁気ヘッド１のスライダ２との界
面に埋設された電極端子１３を形成し、そこから、スラ
イダ２を貫通して穿孔されたコンタクトホール２１を通
って、磁気ヘッドに対し電気信号を入出力するための電
気配線４が磁気ヘッド支持機構の表面にマイクロ加工技
術により形成されている。
【００３２】磁気ヘッド１をスライダ２の表面に形成す
る方法としては、スライダ２を加工するためのシリコン
基板の上に、あらかじめ磁気ヘッド１をマイクロ加工技
術により形成しておく方法と、磁気ヘッド１をある基板
の上に形成しておいて、スライダ２を加工するためのシ
リコン基板に接合したのち、磁気ヘッド１の基板をエッ
チングにより除去する磁気ヘッド移植法が効果的であ
る。
る方法としては、スライダ２を加工するためのシリコン
基板の上に、あらかじめ磁気ヘッド１をマイクロ加工技
術により形成しておく方法と、磁気ヘッド１をある基板
の上に形成しておいて、スライダ２を加工するためのシ
リコン基板に接合したのち、磁気ヘッド１の基板をエッ
チングにより除去する磁気ヘッド移植法が効果的であ
る。
【００３３】図４及び図５に、同実施例における磁気ヘ
ッド・スライダ一体化ジンバルの浮上面及びその裏面か
ら見た斜視図を示す。図４に示す浮上面の裏側には、ス
ライダ２の裏面からコンタクトホール（図示していな
い）を介して電気配線４がジンバル３の表面に形成され
ている。接合強度を効果的に向上させる金属パッド８も
同じ面に形成される。
ッド・スライダ一体化ジンバルの浮上面及びその裏面か
ら見た斜視図を示す。図４に示す浮上面の裏側には、ス
ライダ２の裏面からコンタクトホール（図示していな
い）を介して電気配線４がジンバル３の表面に形成され
ている。接合強度を効果的に向上させる金属パッド８も
同じ面に形成される。
【００３４】図５に示す浮上面側には、突出したスライ
ダ２の磁気記録媒体に対抗する面にある磁気ヘッド１の
表面に、電磁誘導ヘッドのギャップ１１３と磁気抵抗効
果ヘッド１２の端部が露出して形成されている。なお、
実際には渦巻状コイル１１１とヨーク１１２は表面から
は見えないが、磁気ヘッド１の平面形状を表現するため
に図示した。さらに、磁気ヘッド１の表面には浮上レー
ル１５が形成される。
ダ２の磁気記録媒体に対抗する面にある磁気ヘッド１の
表面に、電磁誘導ヘッドのギャップ１１３と磁気抵抗効
果ヘッド１２の端部が露出して形成されている。なお、
実際には渦巻状コイル１１１とヨーク１１２は表面から
は見えないが、磁気ヘッド１の平面形状を表現するため
に図示した。さらに、磁気ヘッド１の表面には浮上レー
ル１５が形成される。
【００３５】ジンバル３の形状の加工方法としては、反
応性ガスプラズマを用いる反応性プラズマドライエッチ
ング法を利用するのが、加工寸法精度を確保するのに効
果的である。スライダ２を浮上面側に突出するように加
工するには、シリコン単結晶基板の結晶方位によって加
工速度が著しく異なる異方性ウェットエッチング法を利
用するのが効果的である。特に、スライダ２をエッチン
グしてジンバル３の厚さが数十μｍになるように制御す
るために、エッチングストップ層として、Ｂ（ボロン）
ドープシリコン層、あるいはＳｉＯ2層が埋め込まれた
シリコン基板を用いることにより、ジンバル３の厚さの
ばらつきを抑制することができる。
応性ガスプラズマを用いる反応性プラズマドライエッチ
ング法を利用するのが、加工寸法精度を確保するのに効
果的である。スライダ２を浮上面側に突出するように加
工するには、シリコン単結晶基板の結晶方位によって加
工速度が著しく異なる異方性ウェットエッチング法を利
用するのが効果的である。特に、スライダ２をエッチン
グしてジンバル３の厚さが数十μｍになるように制御す
るために、エッチングストップ層として、Ｂ（ボロン）
ドープシリコン層、あるいはＳｉＯ2層が埋め込まれた
シリコン基板を用いることにより、ジンバル３の厚さの
ばらつきを抑制することができる。
【００３６】図６に、本発明の第２の実施例になる磁気
ヘッド支持機構の断面図を示す。磁気ヘッド支持機構
は、磁気ヘッド１、スライダ２、その姿勢を保持するた
めのジンバル３、電気配線４及びアーム５からなり、シ
リコン単結晶基板からマイクロ加工技術により立体形状
に完全一体成形される。磁気ヘッド１からコンタクトホ
ール２１を通って、磁気ヘッド１に対し電気信号を入出
力するための電気配線４が、スライダ２の浮上面に対す
る裏側とジンバル３とアーム５に沿ってエッチング加工
やめっきにより形成されている。
ヘッド支持機構の断面図を示す。磁気ヘッド支持機構
は、磁気ヘッド１、スライダ２、その姿勢を保持するた
めのジンバル３、電気配線４及びアーム５からなり、シ
リコン単結晶基板からマイクロ加工技術により立体形状
に完全一体成形される。磁気ヘッド１からコンタクトホ
ール２１を通って、磁気ヘッド１に対し電気信号を入出
力するための電気配線４が、スライダ２の浮上面に対す
る裏側とジンバル３とアーム５に沿ってエッチング加工
やめっきにより形成されている。
【００３７】また、アーム５の曲げ剛性を維持しつつ極
力軽くするために、ハーフエッチングにより、長手方向
に対する側端部の一部が分厚く成形される。本方式では
接合による連結を行わないので、磁気ヘッド支持機構の
厚さをより薄くすることができる。
力軽くするために、ハーフエッチングにより、長手方向
に対する側端部の一部が分厚く成形される。本方式では
接合による連結を行わないので、磁気ヘッド支持機構の
厚さをより薄くすることができる。
【００３８】図７に、本発明の第３の実施例になる磁気
ヘッド支持機構の断面図を示す。磁気ヘッド支持機構
は、磁気ヘッド１、その姿勢を保持するためのジンバル
３、電気配線４及びアーム５からなり、シリコン単結晶
基板からマイクロ加工技術により立体形状に完全一体成
形される。磁気ヘッド１に対し電気信号を入出力するた
めの電気配線４が、ジンバル３とアーム５に沿ってエッ
チング加工やめっきにより形成されている。製作方法は
第２の実施例と同様であるが、本方式ではコンタクトホ
ール２１の形成が不要であるので製作が容易である。
ヘッド支持機構の断面図を示す。磁気ヘッド支持機構
は、磁気ヘッド１、その姿勢を保持するためのジンバル
３、電気配線４及びアーム５からなり、シリコン単結晶
基板からマイクロ加工技術により立体形状に完全一体成
形される。磁気ヘッド１に対し電気信号を入出力するた
めの電気配線４が、ジンバル３とアーム５に沿ってエッ
チング加工やめっきにより形成されている。製作方法は
第２の実施例と同様であるが、本方式ではコンタクトホ
ール２１の形成が不要であるので製作が容易である。
【００３９】図８に、本発明の第４の実施例になる磁気
ヘッド支持機構の断面図を示す。磁気ヘッド支持機構は
磁気ヘッド１、スライダ２、電気配線４及びアーム５か
らなり、シリコン単結晶基板からマイクロ加工技術によ
り立体形状に完全一体成形される。本実施例ではジンバ
ルを省く代わりに、アーム５の厚さを数十μｍ程度に薄
くしてスライダ２の姿勢を支持する。磁気ヘッド１に対
し電気信号を入出力するための電気配線４が、スライダ
２とアーム５に沿ってエッチング加工やめっきにより形
成されている。製作方法は第２の実施例と同様である
が、本方式ではジンバルの加工が不要であるので工程が
簡略化される。
ヘッド支持機構の断面図を示す。磁気ヘッド支持機構は
磁気ヘッド１、スライダ２、電気配線４及びアーム５か
らなり、シリコン単結晶基板からマイクロ加工技術によ
り立体形状に完全一体成形される。本実施例ではジンバ
ルを省く代わりに、アーム５の厚さを数十μｍ程度に薄
くしてスライダ２の姿勢を支持する。磁気ヘッド１に対
し電気信号を入出力するための電気配線４が、スライダ
２とアーム５に沿ってエッチング加工やめっきにより形
成されている。製作方法は第２の実施例と同様である
が、本方式ではジンバルの加工が不要であるので工程が
簡略化される。
【００４０】図９に、本発明の第５の実施例になる磁気
ヘッド支持機構の断面図を示す。磁気ヘッド支持機構は
磁気ヘッド１、スライダ２、その姿勢を保持するための
ジンバル３、電気配線４及びアーム５からなり、エッチ
ング加工と接合により立体形状に成形される。磁気ヘッ
ド１に対し電気信号を入出力するための電気配線４が、
ジンバル３とアーム５に沿って半導体製造技術やめっき
技術により形成されている。スライダ２とジンバル３の
連結には第１の実施例と同様な電気配線自身を介した接
合が用いられる。本実施例では従来構造の磁気ヘッドを
利用することができるので、従来機種部品との互換性を
保つことができる。なお、スライダ２の材質は従来通り
のセラミックスでもよいが、ジンバル３と同一の材料で
あるシリコンを用いた方が、接合時の熱膨張率差による
歪をなくし高精度の組立が可能になる。
ヘッド支持機構の断面図を示す。磁気ヘッド支持機構は
磁気ヘッド１、スライダ２、その姿勢を保持するための
ジンバル３、電気配線４及びアーム５からなり、エッチ
ング加工と接合により立体形状に成形される。磁気ヘッ
ド１に対し電気信号を入出力するための電気配線４が、
ジンバル３とアーム５に沿って半導体製造技術やめっき
技術により形成されている。スライダ２とジンバル３の
連結には第１の実施例と同様な電気配線自身を介した接
合が用いられる。本実施例では従来構造の磁気ヘッドを
利用することができるので、従来機種部品との互換性を
保つことができる。なお、スライダ２の材質は従来通り
のセラミックスでもよいが、ジンバル３と同一の材料で
あるシリコンを用いた方が、接合時の熱膨張率差による
歪をなくし高精度の組立が可能になる。
【００４１】
【発明の効果】本発明の磁気ディスク装置によると、そ
の先端に微小な磁気ヘッドとスライダを設置することが
できるようになるため、共振周波数の高い極低浮上が可
能となり、変動の少ない高信頼性浮上及び高速アクセス
動作を実現することができる。また、薄膜形成技術、微
細パターンの露光技術、並びに異方性及び等方性エッチ
ング技術により形成する工程によると、従来のようにそ
れぞれの部品を個別に製作し、組立てる必要がなくなる
ので、低コストの磁気ヘッド支持機構を得ることができ
る。また、薄い筐体の磁気ディスク装置を実現すること
ができる。以上のことから、共振周波数が高く変動の少
ない極低浮上量動作を維持することにより、大容量記
録、高速アクセス動作を可能にする薄型・超小型磁気デ
ィスク装置を低コストで提供することが可能になる。
の先端に微小な磁気ヘッドとスライダを設置することが
できるようになるため、共振周波数の高い極低浮上が可
能となり、変動の少ない高信頼性浮上及び高速アクセス
動作を実現することができる。また、薄膜形成技術、微
細パターンの露光技術、並びに異方性及び等方性エッチ
ング技術により形成する工程によると、従来のようにそ
れぞれの部品を個別に製作し、組立てる必要がなくなる
ので、低コストの磁気ヘッド支持機構を得ることができ
る。また、薄い筐体の磁気ディスク装置を実現すること
ができる。以上のことから、共振周波数が高く変動の少
ない極低浮上量動作を維持することにより、大容量記
録、高速アクセス動作を可能にする薄型・超小型磁気デ
ィスク装置を低コストで提供することが可能になる。
【図１】本発明に係る磁気ディスク装置の第１の実施例
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図２】本発明に係る磁気ディスク装置の第１の実施例
における磁気ヘッド支持機構を示す断面図。
における磁気ヘッド支持機構を示す断面図。
【図３】本発明に係る磁気ディスク装置の第１の実施例
における磁気ヘッドを示す断面図。
における磁気ヘッドを示す断面図。
【図４】本発明に係る磁気ディスク装置の第１の実施例
における磁気ヘッド・スライダ・電気配線一体化ジンバ
ルの浮上面裏側を示す斜視図。
における磁気ヘッド・スライダ・電気配線一体化ジンバ
ルの浮上面裏側を示す斜視図。
【図５】本発明に係る磁気ディスク装置の第１の実施例
における磁気ヘッド・スライダ・電気配線一体化ジンバ
ルの浮上面側を示す斜視図。
における磁気ヘッド・スライダ・電気配線一体化ジンバ
ルの浮上面側を示す斜視図。
【図６】本発明に係る磁気ディスク装置の第２の実施例
における磁気ヘッド支持機構を示す断面図。
における磁気ヘッド支持機構を示す断面図。
【図７】本発明に係る磁気ディスク装置の第３の実施例
における磁気ヘッド支持機構を示す断面図。
における磁気ヘッド支持機構を示す断面図。
【図８】本発明に係る磁気ディスク装置の第４の実施例
における磁気ヘッド支持機構を示す断面図。
における磁気ヘッド支持機構を示す断面図。
【図９】本発明に係る磁気ディスク装置の第５の実施例
における磁気ヘッド支持機構を示す断面図。
における磁気ヘッド支持機構を示す断面図。
１ 磁気ヘッド ２ スライダ ３ ジンバル ４ 電気配線 ５ アーム ６ 磁気記録媒体 ７ 位置決め用アクチュエータ ８ 接合用パッド １１ 電磁誘導ヘッド １２ 磁気抵抗効果ヘッド １３ 電極端子 １４ 浮上レール ２１ コンタクトホール １１１ 渦巻状コイル １１２ ヨーク １１３ ギャップ
Claims (12)
- 【請求項１】 回転する円板状の磁気記録媒体に対し情
報を記録検出する磁気ディスク装置であって、前記磁気
記録媒体に対し略平行になるように設置された薄膜状の
磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを支持する磁気ヘッド支
持手段とが、シリコン又はシリコン化合物からなる基板
上に、一体構造で立体的に形成されていることを特徴と
する磁気ディスク装置。 - 【請求項２】 前記基板は、同一素材の単結晶シリコン
基板であることを特徴とする請求項１に記載の磁気ディ
スク装置。 - 【請求項３】 前記基板には、前記磁気ヘッドに対し電
気信号を入出力する電気配線が、一体的に形成されてい
ることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ディス
ク装置。 - 【請求項４】 前記磁気ヘッド支持手段は、磁気記録媒
体に向かって突出するようにして形成されたスライダ、
前記スライダの姿勢を保持するジンバル、又は、前記磁
気ヘッドの磁気記録媒体に対する相対位置を決定するア
ームのうち、少なくともいずれかを含むものであること
を特徴とする請求項１、２又は３に記載の磁気ディスク
装置。 - 【請求項５】 回転する円板状の磁気記録媒体に対し情
報を記録検出する磁気ディスク装置であって、前記磁気
記録媒体に対し略平行になるように設置された薄膜状の
磁気ヘッドを有し、前記磁気記録媒体に向かって突出す
るようにして形成されたスライダと、前記磁気ヘッドに
対し電気信号を入出力する電気配線及び金属パッドと、
前記スライダの姿勢を保持するジンバルとを、同一素材
の単結晶シリコン基板から一体形成して磁気ヘッド・ス
ライダ・電気配線一体化ジンバルを構成し、前記一体化
ジンバルと、前記磁気ヘッドの磁気記録媒体に対する相
対位置を決定するアームとが、前記アームの表面に絶縁
層を挟んで付設された電気配線及び金属パッドと、前記
一体化ジンバルの表面の電気配線及び金属パッドとの各
々同士の接合により連結されてなる磁気ヘッド支持手段
を具備することを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項６】 回転する円板状の磁気記録媒体に対し情
報を記録検出する磁気ディスク装置であって、前記磁気
記録媒体に対し略平行になるように設置された薄膜状の
磁気ヘッドを有し、前記磁気記録媒体に向かって突出す
るようにして形成されたスライダと、前記磁気ヘッドに
対し電気信号を入出力する電気配線と、前記スライダの
姿勢を保持するジンバルと、前記磁気ヘッドの磁気記録
媒体に対する相対位置を決定するアームとを、同一素材
の単結晶シリコン基板から一体形成して構成した磁気ヘ
ッド・スライダ・電気配線・ジンバル・アーム一体化磁
気ヘッド支持手段を具備することを特徴とする磁気ディ
スク装置。 - 【請求項７】 回転する円板状の磁気記録媒体に対し情
報を記録検出する磁気ディスク装置であって、前記磁気
記録媒体に対し略平行になるように設置された薄膜状の
磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドに対し電気信号を入出力
する電気配線と、前記磁気ヘッドの姿勢を保持するジン
バルと、前記磁気ヘッドの磁気記録媒体に対する相対位
置を決定するアームとを、同一素材の単結晶シリコン基
板から一体形成して構成した磁気ヘッド・電気配線・ジ
ンバル・アーム一体化磁気ヘッド支持手段を具備するこ
とを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項８】 回転する円板状の磁気記録媒体に対し情
報を記録検出する磁気ディスク装置であって、前記磁気
記録媒体に対し略平行になるように設置された薄膜状の
磁気ヘッドを有し、前記磁気記録媒体に向かって突出す
るようにして形成されたスライダと、前記磁気ヘッドに
対し電気信号を入出力する電気配線と、前記磁気ヘッド
の磁気記録媒体に対する相対位置を決定するアームと
を、同一素材の単結晶シリコン基板から一体形成して構
成した磁気ヘッド・スライダ・電気配線・アーム一体化
磁気ヘッド支持手段を具備することを特徴とする磁気デ
ィスク装置。 - 【請求項９】 回転する円板状の磁気記録媒体に対し情
報を記録検出する磁気ディスク装置であって、前記磁気
記録媒体に対し略垂直になるように設置された薄膜状の
磁気ヘッドを側面に有するとともに、前記磁気記録媒体
の対向面の裏面に金属パッドを有し、前記磁気記録媒体
に向かって突出するようにして形成された単結晶シリコ
ンからなるスライダと、前記磁気ヘッドに対し電気信号
を入出力する電気配線及び金属パッドと、前記スライダ
の姿勢を保持するジンバルと、前記磁気ヘッドの磁気記
録媒体に対する相対位置を決定するアームとを、同一素
材の単結晶シリコン基板から一体形成して電気配線・ジ
ンバル一体化アームを構成し、前記一体化アームが、前
記磁気ヘッド・スライダの電気配線及び金属パッドの各
々同士と接合により連結されてなる磁気ヘッド支持手段
を具備することを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項１０】 前記電気配線は、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕの
中から選ばれる金属、あるいはその合金か、あるいはそ
れらとはんだ合金との多層膜からなることを特徴とする
請求項５ないし９のうちいずれかに記載の磁気ディスク
装置。 - 【請求項１１】 前記金属パッドは、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕ
の中から選ばれる金属、あるいはその合金か、あるいは
それらとはんだ合金との多層膜からなることを特徴とす
る請求項５又は９に記載の磁気ディスク装置。 - 【請求項１２】 前記接合は、接合される面の表面を真
空あるいは清浄雰囲気チャンバの中で不活性原子あるい
はイオンビームエッチングで清浄化したのちに、接合す
べき部材同士を室温に近い温度で加熱・加圧する表面活
性化接合であることを特徴とする請求項５又は９に記載
の磁気ディスク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17713195A JPH0935230A (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | 磁気ディスク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17713195A JPH0935230A (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | 磁気ディスク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0935230A true JPH0935230A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16025725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17713195A Withdrawn JPH0935230A (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | 磁気ディスク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0935230A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003067576A1 (en) * | 2002-02-02 | 2003-08-14 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Head gimbal assembly with precise positioning actuator for head element, disk drive apparatus with the head gimbal assembly, and manufacturing method of the head gimbal assembly |
| WO2005055317A1 (ja) * | 2003-12-05 | 2005-06-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | パッケージされた電子素子、及び電子素子パッケージの製造方法 |
| WO2007034697A1 (ja) * | 2005-09-26 | 2007-03-29 | Japan Electronic Materials Corporation | プローブカード及びその製造方法 |
| US7248444B1 (en) * | 2000-07-21 | 2007-07-24 | Lauer Mark A | Electromagnetic heads, flexures, gimbals and actuators formed on and from a wafer substrate |
| US7617588B1 (en) | 1999-11-09 | 2009-11-17 | Lauer Mark A | Method for making a device |
-
1995
- 1995-07-13 JP JP17713195A patent/JPH0935230A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7617588B1 (en) | 1999-11-09 | 2009-11-17 | Lauer Mark A | Method for making a device |
| US7248444B1 (en) * | 2000-07-21 | 2007-07-24 | Lauer Mark A | Electromagnetic heads, flexures, gimbals and actuators formed on and from a wafer substrate |
| US7684158B1 (en) * | 2000-07-21 | 2010-03-23 | Lauer Mark A | Electromagnetic heads, flexures, gimbals and actuators formed on and from a wafer substrate |
| US8432643B1 (en) | 2000-07-21 | 2013-04-30 | Mark A. Lauer | Electromagnetic heads, flexures, gimbals and actuators formed on and from a wafer substrate |
| WO2003067576A1 (en) * | 2002-02-02 | 2003-08-14 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Head gimbal assembly with precise positioning actuator for head element, disk drive apparatus with the head gimbal assembly, and manufacturing method of the head gimbal assembly |
| US7099115B2 (en) | 2002-02-02 | 2006-08-29 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Head gimbal assembly with precise positioning actuator for head element, disk drive apparatus with the head gimbal assembly, and manufacturing method of the head gimbal assembly |
| WO2005055317A1 (ja) * | 2003-12-05 | 2005-06-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | パッケージされた電子素子、及び電子素子パッケージの製造方法 |
| US7692292B2 (en) | 2003-12-05 | 2010-04-06 | Panasonic Corporation | Packaged electronic element and method of producing electronic element package |
| WO2007034697A1 (ja) * | 2005-09-26 | 2007-03-29 | Japan Electronic Materials Corporation | プローブカード及びその製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A761 | Written withdrawal of application |
Effective date: 20040113 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 |