JPH0644101Y2 - 半導体素子の位置決め装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、例えばトランジスタ、ホール素子、ホールIC
等の半導体素子の電気的特性を測定する際の位置決め装
置に関する。更に詳しくは、傾斜シュートによって搬送
されて来る半導体素子を、その電気的特性を測定するた
めの接触子が半導体素子のリードに正しく接触できる位
置に、一時的に留める装置に関する。

［従来の技術］ 一般に半導体素子は、一連の測定仕分け装置によって、
自動的にその電気的特性が測定された後、測定された電
気的特性に応じた集積位置へ振り分けられて仕分けされ
ている。この測定仕分け装置は、通常、半導体素子を供
給するフィーダーと、フィーダーから供給される半導体
素子を搬送する傾斜シュートと、傾斜シュートによって
搬送される半導体素子の搬送間隔を所要間隔に調整する
搬送ゲート装置と、搬送途中で半導体素子を一時的に一
定位置に留める位置決め装置を備えた測定装置と、測定
装置で測定した電気的特性に応じた集積位置へ半導体素
子を振り分ける振り分け装置とから構成されている。

従来、上記測定仕分け装置の測定装置に用いられている
位置決め装置は、搬送される半導体素子の素子頭部進路
を開閉するストッパーを設けただけのものとなってい
る。この従来の装置は、ストッパーで進路を遮断するこ
とによって、搬送されて来る半導体素子の素子頭部前面
をストッパーに当接させて、一時的に一定位置と留めよ
うとするものである。また、ストッパーは、電気的特性
の測定後は、進路を開放して、半導体素子の通過を許容
するものである。

［考案が解決しようとする問題点］ しかしながら、上記従来の装置では、ストッパーによる
進路遮断時に、搬送されて来る半導体素子がストッパー
に衝突してはね返り、途中で引掛ってしまったり、スト
ッパーに斜に当接してしまい、その停止位置が一定しな
い問題がある。また、はなはだしい場合には、半導体素
子が傾斜シュートから飛び出すことも生じる。

半導体素子の停止位置が不規則になったり、半導体素子
が傾斜シュートから飛び出すと、電気的特性を測定する
ための接触子が、半導体素子のリードと接触不良を起こ
したり接触不能となる。このため、電気的特性の測定不
良や測定不能が頻発し、稼動率の低下や製品信頼度の低
下を招いている。

［問題点を解決するための手段］ 上記問題点を解決するために講じられた手段を、本考案
の一実施例に対応する第１図及び第２図で説明すると、
本考案は、 半導体素子１を搬送する傾斜シュート２上に設けられる
案内ブロック10に、搬送される半導体素子１の素子頭部
３の一側方と上方を位置決めする位置決め面4a,4bを形
成して、傾斜シュート２上に沿って、一側方と上方が位
置決め面4a,4bで他側方が開放された位置決め通路５を
形成し、 この位置決め通路５の出口に近接して、素子頭部３の進
路を開閉するストッパー６を設け、 更に、一端がストッパー６の位置決め通路側５に開口
し、他端が吸引装置に連結されていて、ストッパー６の
閉鎖時に停止した半導体素子１の素子頭部３を吸引し、
ストッパー６の開放時にはこの吸引が停止される吸引孔
７をストッパー６に設ける、という手段を講じているも
のである。

［作用］ ストッパー６によって素子頭部３の進路を閉鎖しておく
と、搬送されて来る半導体素子１は、その素子頭部３が
ストッパー６に当って進行が妨げられ、その位置で停止
する。このとき、ストッパー６のすぐ手前側は位置決め
通路５となっており、側方及び上方の位置決め面4a,4b
があるので、これらに妨げられて、ストッパー６との衝
突によって半導体素子１が大きくはね返ることがない。
従って、半導体素子１は、その素子頭部の前面（搬送方
向の前面）が正しくストッパーに当接して停止され、停
止位置のずれが防止される。

上記のようにして、停止位置のずれが防止されても、測
定時に、半導体素子１のリード８に接触子９が接触する
と、この接触によって半導体素子１の位置にずれを生ず
るおそれがある。そこで本考案では吸引孔７を設け、そ
の吸引力によって素子頭部３前面をストッパー６に吸い
付けて固定できるようにしているもので、これによって
接触子９の接触による位置ずれが防止されるものであ
る。

［実施例］ 第１図及び第２図に示されるように、傾斜シュート２
は、２枚の板材を、適宜の間隔をもって並列させたもの
である。この傾斜シュート２は、第５図に示されるよう
に、架台10に支えられて、傾斜して取付けられている。

半導体素子１は、例えば第３図に示されるように、半導
体チップを内蔵した樹脂モールドの素子頭部３と、素子
頭部３から突出したリード８とから構成される。この半
導体素子１は、第２図に示されるように、傾斜シュート
２を構成する２枚の板材間にそのリード８が挿入され、
素子頭部３が傾斜シュート２上に吊られた状態で、傾斜
シュート２に沿って滑降して搬送されて来るものであ
る。

第１図、第２図及び第４図に示されるように、傾斜シュ
ート２上に案内ブロック11が位置している。この案内ブ
ロック11は、スタンド12に取付けられた磁界発生部13
に、傾斜シュート２上に突出した状態で取付けられてい
る（第２図及び第５図参照）。案内ブロック11の、傾斜
シュート２上に突出している側のコーナー部は切り欠か
れていて、傾斜シュート２上に、一側方と上方が覆われ
て、他側方が開放された位置決め通路５を形成してい
る。位置決め通路５の一側方を覆う壁面は、素子頭部３
の側方位置を定める位置決め面4aで、上方を覆う壁面
は、素子頭部の上方位置を制限して、過度の飛びはねを
防止する位置決め面4bである。

上記位置決め通路５は、その入口側がやや広げられてい
る。このようにすると、位置決め通路５の入口に素子頭
部３が引掛りにくくなるので好ましい。また、位置決め
通路５は、必ず一側を開放しなければならないものでは
ない。しかし、一側を全面開放しておくと、位置決め通
路５の入口や内部で、素子頭部３が引掛りにくくなるの
で好ましい。

位置決め通路５の出口側には、出口に近接して、素子頭
部３の進路を開閉するストッパー６が設けられている。
このストッパー６は、ストッパー取付アーム14の先端に
取付けられている。第５図に示されるように、ストッパ
ー取付アーム14は、スペーサー15を介してスタンド12に
取付けられたエヤアクチュエーター16に連結されてお
り、ストッパー用エヤアクチュエーター16で、ストッパ
ー取付アーム14を、傾斜シュート２上面に向って上下さ
せることにより、ストッパー６が素子頭部３の進路を開
閉するものである。

第１図及び第４図に示されるように、ストッパー６の位
置決め通路５側の端面には吸引孔７の一端が開孔してい
る。吸引孔７の他端は、フレキシブルホース17でポンプ
等の吸引装置（図示されていない）に接続されていて、
搬送されて来る半導体素子１の素子頭部３を吸い付ける
ことができるようになっている。吸引孔７による吸引
は、ストッパー６の閉鎖時に成されるもので、ストッパ
ー６の開放時は停止される。吸引孔７で素子頭部３を吸
い付けることにより、素子頭部３の前面（搬送方向前
面）を、確実にストッパー６に密着させて保持すること
ができる。

第１図、第２図及び第５図に示されるように、位置決め
通路５の側方側には、測定ブロック取付アーム18に取付
けられた測定ブロック19が位置している。測定ブロック
取付アーム18は、スタンド12から延びた支持フレーム20
上に支持されている。また、測定ブロック取付アーム18
は、測定ブロック用エヤアクチュエーター21a〜21cによ
って、図中矢印で示される方向、即ち傾斜シュート２に
向って前後、左右、上下方向に移動可能で、これによっ
て測定ブロック19の進退制御及び上下・左右位置の調整
が行われるものである。

測定ブロック19には、半導体素子１のリード８の数に対
応した数の接触子９とが、各々先端を傾斜シュート２方
向に向けて設けられている。

ストッパー６及び案内ブロック11直下の傾斜シュート２
側面には、測定用切欠部22が形成されている。この測定
用切欠部22からは、ストッパー６によって搬送が停止さ
れ、吸引孔７で吸い付けられている半導体素子１のリー
ド９が露出されるものである。

測定ブロック19に設けられている接触子９は、上記測定
用切欠部22を介して露出されるリード８と各々向き合う
位置に位置している。接触子９は、吸引孔７の吸引によ
って素子頭部３をストッパー６へ密着保持した後、測定
ブロック19が前進されると、測定すべき半導体素子１の
リード８に接触される。

上述のようにしてリード８と接触された接触子22を介し
て、磁界発生部13による磁界に対する特性を測定した
後、測定ブロック19は後退され、接触子９は半導体素子
１のリード８から離される。また、これに引き続いて吸
引孔７の吸引が停止されてストッパー６も引き上げら
れ、素子頭部３の進路が開放されて、半導体素子１は、
傾斜シュート２に沿って更に搬送されることになる。半
導体素子１を送り出した後は、次の半導体素子１が搬送
されて来るタイミングに合わせて、ストッパー６による
素子頭部３進路の閉鎖並びにそれに続く測定ブロック19
の前進が繰り返される。

本実施例においては、位置決め通路５を形成する案内ブ
ロック11は固定し、ストッパー６のみをストッパー取付
アーム14で上下移動させているが、ストッパー６と共に
案内ブロック11をも上下移動させてもよい。また、ホー
ル素子やホールICを想定して磁界発生部13を備えている
が、測定すべき半導体素子１が磁電変換素子でなけれ
ば、必ずしも磁界発生部13は必要でない。

次に、第６図によって、本位置決め装置を備えた測定仕
分け装置の一例を説明する。

まず、フィーダー23から傾斜シュート２上に供給された
半導体素子１は、搬送ゲート装置24によって、所要間隔
（先行する半導体素子１の電気的特性測定完了に十分な
間隔）で順次送り出される。送り出された半導体素子
は、傾斜シュート２に沿って滑降して、測定装置25へと
至る。

測定装置25では、前述したように、本位置決め装置によ
って、半導体素子１は一定の位置に一時留められ、その
間に電気的特性が測定される。

測定装置25で電気的特性が測定された半導体素子は、待
機装置26で必要に応して待機された後、振り分け装置27
で仕分けされる。即ち、測定装置25での測定結果から振
り分け装置27のロータリーシュート28が回転し、その出
口が正しい集積部29a又は29b…に向けられたことが確認
されると待機装置26が半導体素子１を送り出し、その電
気的特性に応じた集積位置29a又は29b…へと振り分けら
れて仕分けされる。特に、集積位置29a,29b…の直前
に、半導体素子１の通過センサー30a,30b…を設けて、
正しい集積位置29a又は29b…へ半導体素子が搬入された
ことがこの通過センサー30a,30b…で確認されるまで、
次の半導体素子１の振り分けを行わないようにすること
が好ましい。このようにすると、半導体素子１がロータ
リーシュート28内で引掛って、後続の半導体素子１と共
に異なる集積位置29a又は29b…へ落下するのを防止で
き、本位置決め装置による正確な電気的特性の測定が無
意味化するのを防ぐことができる。

［考案の効果］ 本考案によれば搬送されて来る半導体素子を常に一定位
置に留めて測定に供することができるので、半導体素子
の測定位置のずれによる測定誤差を防止でき、測定精度
の向上と共に製品信頼度が向上される。また、半導体素
子の位置が大きくずれて測定不能となることも防止でき
るので、測定不能となるたびに装置を停止して点検する
手間を無くせ、装置の稼動率を向上させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例に係る装置の部分側面図、第
２図は一部を断面とした第１図のII-II方向図、第３図
は半導体素子の一例を示す図、第４図は測定ブロックを
除いた状態の第１図の部分拡大図、第５図は一部を断面
とした第１図のII-II方向からの全体図、第６図は本考
案に係る装置を備えた測定仕分け装置の一例を示す説明
図である。 1:半導体素子、2:傾斜シュート、3:素子頭部、4a,4b:位
置決め面、5:位置決め通路、6:ストッパー、7:吸引孔、
8:リード、9:接触子、10:架台、11:案内ブロック、12:
スタンド、13:磁界発生部、14:ストッパー取付アーム、
15:スペーサー、16:ストッパー用エヤアクチュエータ
ー、17:フレキシブルホース、18:測定ブロック取付アー
ム、19:測定ブロック、20:支持フレーム、21a〜21c:測
定ブロック用エヤアクチュエーター、22:切欠部、23:フ
ィーダー、24:搬送ゲート装置、25:測定装置、26:待機
装置、27:振り分け装置、28:ロータリーシュート、29a,
29b…：集積部、30a,30b…：通過センサー。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｇ 7630−4Ｍ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体素子を搬送する傾斜シュート上に設
   けられる案内ブロックに、搬送される半導体素子の素子
   頭部の一側方と上方を位置決めする位置決め面を形成し
   て、傾斜シュート上に沿って、一側方と上方が位置決め
   面で他側方が開放された位置決め通路を形成し、 この位置決め通路の出口に近接して、素子頭部の進路を
   開閉するストッパーを設け、 更に、一端がストッパーの位置決め通路側に開口し、他
   端が吸引装置に連結されていて、ストッパーの閉鎖時に
   停止した半導体素子の素子頭部を吸引し、ストッパーの
   開放時にはこの吸引が停止される吸引孔をストッパーに
   設けたことを特徴とする半導体素子の位置決め装置。