JPH0644092Y2 - 電子ビ−ム描画装置 - Google Patents

電子ビ−ム描画装置

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JPH0644092Y2
JPH0644092Y2 JP1986193709U JP19370986U JPH0644092Y2 JP H0644092 Y2 JPH0644092 Y2 JP H0644092Y2 JP 1986193709 U JP1986193709 U JP 1986193709U JP 19370986 U JP19370986 U JP 19370986U JP H0644092 Y2 JPH0644092 Y2 JP H0644092Y2
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JP
Japan
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slit
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electron beam
substrate
beam drawing
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浩 安田
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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JPS53143175A (en) * 1977-05-20 1978-12-13 Hitachi Ltd Electron beam drawing apparatus
JPS59111326A (ja) * 1982-12-17 1984-06-27 Hitachi Ltd 電子ビ−ム整形用アパ−チヤマスク

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JPS6398628U (en, 2012) 1988-06-25

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