JPH0638370B2 - 非晶質磁気光学層 - Google Patents
非晶質磁気光学層Info
- Publication number
- JPH0638370B2 JPH0638370B2 JP59103468A JP10346884A JPH0638370B2 JP H0638370 B2 JPH0638370 B2 JP H0638370B2 JP 59103468 A JP59103468 A JP 59103468A JP 10346884 A JP10346884 A JP 10346884A JP H0638370 B2 JPH0638370 B2 JP H0638370B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magneto
- optical
- amorphous
- optical layer
- magnetic
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- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明はハードデイスク、フロツピーデイスク、ドキユ
メントフアイル等に使用される光磁気記録媒体の磁気光
学層に関するものであり、特に磁気光学効果に優れた非
晶質磁気光学層に係るものである。
メントフアイル等に使用される光磁気記録媒体の磁気光
学層に関するものであり、特に磁気光学効果に優れた非
晶質磁気光学層に係るものである。
従来技術 近年、半導体レーザー光により磁気記録を行う光磁気記
録媒体が高密度記録用として種々研究されている。特に
高密度記録用として使用されるためには磁性膜がその膜
面に垂直な方向に磁化容易軸を有することが必要とされ
る。従来、これら光磁気記録媒体に用いられる磁性膜と
してはGd−Co,Gd−Fe,Tb−Fe,Gd−Tb−Fe,Tb−Dy−
Fe等の非晶質合金を用いたもの等が知られているが、こ
れら非晶質合金磁性体を用いた光磁気記録媒体は記録感
度が高く半導体レーザー光によつて光速度(周波数,数
MHzにおいて)で記録できるという利点はあるものの磁
気光学効果が十分満足できるものではない問題点を有す
るものである。かかることからDy−Fe−Coよりなる3元
系非晶質磁性合金膜を用いることによりカー回転角θk
を大きくして磁気光学効果を向上させることが提案され
ている。このような非晶質合金磁性体を用いて光磁気記
録媒体を作るには一般にガラス板のような基板上に前記
磁性体を真空蒸着、スパツタリング等の方法で付着させ
て磁性膜を形成している。こうして得られる光磁気記録
媒体への記録、再生は次のようにして行われる。すなわ
ち、記録は磁性膜のキユリー温度または補償温度近傍に
おける温度変化に対応した保磁力の急激な変化特性を利
用して情報信号で変調されたレーザー光を磁性膜に照射
加熱して磁性膜表面磁化の向きを反転させることにより
行われる。また再生はこうして反転記録された磁性膜の
力−回転角を読出すことにより行われる。このように非
晶質合金磁性体のように光が透過しにくい場合の情報信
号の記録、再生はカー効果を利用するものである。カー
効果とは磁性体の表面で光が反射する際の偏光面の回転
現象であり、a)極(polar)効果、b)縦(longitudinal)効
果、c)横(transverse)効果があり、特に非晶質合金磁性
体の場合にはaの極効果が用いられ、そのカー回転角θ
kを利用して再生が行われる。従つてカー回転角θkが
少しでも大きくなればそれだけ磁気光学効果が増し、再
生特性が向上することになる。
録媒体が高密度記録用として種々研究されている。特に
高密度記録用として使用されるためには磁性膜がその膜
面に垂直な方向に磁化容易軸を有することが必要とされ
る。従来、これら光磁気記録媒体に用いられる磁性膜と
してはGd−Co,Gd−Fe,Tb−Fe,Gd−Tb−Fe,Tb−Dy−
Fe等の非晶質合金を用いたもの等が知られているが、こ
れら非晶質合金磁性体を用いた光磁気記録媒体は記録感
度が高く半導体レーザー光によつて光速度(周波数,数
MHzにおいて)で記録できるという利点はあるものの磁
気光学効果が十分満足できるものではない問題点を有す
るものである。かかることからDy−Fe−Coよりなる3元
系非晶質磁性合金膜を用いることによりカー回転角θk
を大きくして磁気光学効果を向上させることが提案され
ている。このような非晶質合金磁性体を用いて光磁気記
録媒体を作るには一般にガラス板のような基板上に前記
磁性体を真空蒸着、スパツタリング等の方法で付着させ
て磁性膜を形成している。こうして得られる光磁気記録
媒体への記録、再生は次のようにして行われる。すなわ
ち、記録は磁性膜のキユリー温度または補償温度近傍に
おける温度変化に対応した保磁力の急激な変化特性を利
用して情報信号で変調されたレーザー光を磁性膜に照射
加熱して磁性膜表面磁化の向きを反転させることにより
行われる。また再生はこうして反転記録された磁性膜の
力−回転角を読出すことにより行われる。このように非
晶質合金磁性体のように光が透過しにくい場合の情報信
号の記録、再生はカー効果を利用するものである。カー
効果とは磁性体の表面で光が反射する際の偏光面の回転
現象であり、a)極(polar)効果、b)縦(longitudinal)効
果、c)横(transverse)効果があり、特に非晶質合金磁性
体の場合にはaの極効果が用いられ、そのカー回転角θ
kを利用して再生が行われる。従つてカー回転角θkが
少しでも大きくなればそれだけ磁気光学効果が増し、再
生特性が向上することになる。
しかしながら、前述のDy−Fe−Coよりなる3元系非晶質
合金磁性体のカー回転角θkはその組成により最高でも
0.28deg程度であり、光再生特性の向上が望まれて
いる現況にある。
合金磁性体のカー回転角θkはその組成により最高でも
0.28deg程度であり、光再生特性の向上が望まれて
いる現況にある。
目的 本発明の目的は膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する
非晶質合金磁性体におけるカー回転角θkをより増大せ
しめ、それにより光再生特性を向上させた非晶質磁気光
学層を提供することにある。
非晶質合金磁性体におけるカー回転角θkをより増大せ
しめ、それにより光再生特性を向上させた非晶質磁気光
学層を提供することにある。
構成 本発明は膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する{Dyx
(Fe1-yCoy)1-x}1-zMz (ただし、MはCr,Cu,Ni,Snから選ばれる少なくとも
1種であり、0.1≦x≦0.4,0.01≦y≦0.5,0.001≦z
≦0.1である)からなる非晶質磁気光学層である。
(Fe1-yCoy)1-x}1-zMz (ただし、MはCr,Cu,Ni,Snから選ばれる少なくとも
1種であり、0.1≦x≦0.4,0.01≦y≦0.5,0.001≦z
≦0.1である)からなる非晶質磁気光学層である。
本発明の非晶質磁気光学層は、垂直磁気光学層は垂直磁
気異方性を示し、かつ高い保磁力を有し、その上高いカ
ー回転角をもつ必要があるためDy,Fe,Co,Mを上記の
含有比とし、特にMの含有量は上記量より少であるとカ
ー効果が低下し、大であると磁性特性を劣化させ、その
上磁気光学効果も低下する。
気異方性を示し、かつ高い保磁力を有し、その上高いカ
ー回転角をもつ必要があるためDy,Fe,Co,Mを上記の
含有比とし、特にMの含有量は上記量より少であるとカ
ー効果が低下し、大であると磁性特性を劣化させ、その
上磁気光学効果も低下する。
本発明非晶質磁気光学層は適宜の支持体上に真空蒸着、
スパツタリング、イオンプレーテイング等の方法で膜厚
0.01〜1μm程度に形成する。
スパツタリング、イオンプレーテイング等の方法で膜厚
0.01〜1μm程度に形成する。
スパツタリングにて薄膜形成を行う場合には、各磁性体
成分を各個にあるいは組合わせてターゲツトし、磁性体
組成はターゲツト表面の面積比でコントロールするよう
にする。
成分を各個にあるいは組合わせてターゲツトし、磁性体
組成はターゲツト表面の面積比でコントロールするよう
にする。
支持体としてはガラス、プラスチツク、セラミツク等が
使用できる。また本発明非晶質磁気光学層と支持体との
間、あるいは上面に保護層、断熱層、反射層等が任意に
設けられる。
使用できる。また本発明非晶質磁気光学層と支持体との
間、あるいは上面に保護層、断熱層、反射層等が任意に
設けられる。
効果 このようにして得られる{Dyx(Fe1-yCoy)1-x}1-zM
z (ただし、MはCr,Cu,Ni,Snから選ばれる少なくとも
1種であり、0.1≦x≦0.4,0.01≦y≦0.5,0.001≦z
≦0.1である)からなる垂直磁気異方性を有する非晶質
磁気光学層はそのカー回転角θkがMを含有していない
ものに比べて大きいため、光再生時の光再生特性が良好
となり、S/N比が向上するとともに記録ピツト数も増
大し、高密度記録再生可能な光磁気記録媒体が得られる
ことになる。
z (ただし、MはCr,Cu,Ni,Snから選ばれる少なくとも
1種であり、0.1≦x≦0.4,0.01≦y≦0.5,0.001≦z
≦0.1である)からなる垂直磁気異方性を有する非晶質
磁気光学層はそのカー回転角θkがMを含有していない
ものに比べて大きいため、光再生時の光再生特性が良好
となり、S/N比が向上するとともに記録ピツト数も増
大し、高密度記録再生可能な光磁気記録媒体が得られる
ことになる。
以下に実施例を示す。
実施例 スライドガラス支持体上にスパツタリング法によりDy−
Fe−Co−Mからなる非晶質磁気光学層を形成した。ター
ゲツトはコンポジツト法を用い、Fe0.9Co0.1の合金板上
にDyおよびMのチツプをのせて構成し、各組成比をター
ゲツト表面の面積比でコントロールしつつ膜を形成し
た。
Fe−Co−Mからなる非晶質磁気光学層を形成した。ター
ゲツトはコンポジツト法を用い、Fe0.9Co0.1の合金板上
にDyおよびMのチツプをのせて構成し、各組成比をター
ゲツト表面の面積比でコントロールしつつ膜を形成し
た。
各磁気光学層の作成条件を次表に示す。
各非晶質磁気光学層は保磁力Hcの大きい補償組成付近
の(Fe0.9Co0.1)0.78Dy0.22もしくは(Fe0.9Co0.1)
0.79Dy0.21の組成において、Dyの一部をMで置換すると
いう形、すなわち (Fe0.9Co0.1)0.78(Dy1-xMx)0.22, (Fe0.9Co0.1)0.79(Dy1-xMx)0.21,もしくは (Fe0.9Co0.1)0.78{(Dy0.95M0.05)1-xM′x}
0.22とし作成した。
の(Fe0.9Co0.1)0.78Dy0.22もしくは(Fe0.9Co0.1)
0.79Dy0.21の組成において、Dyの一部をMで置換すると
いう形、すなわち (Fe0.9Co0.1)0.78(Dy1-xMx)0.22, (Fe0.9Co0.1)0.79(Dy1-xMx)0.21,もしくは (Fe0.9Co0.1)0.78{(Dy0.95M0.05)1-xM′x}
0.22とし作成した。
膜の評価は基板(支持体)側からHe−Neレーザー(λ=
633nm)を照射し、カー効果を用いてカー回転角θk
および保磁力Hcを求めた。
633nm)を照射し、カー効果を用いてカー回転角θk
および保磁力Hcを求めた。
それらの結果を第1図〜第10図に示す。これらの図よ
りX、すなわちMの量を増加させることによりHcは小さ
くなるもののθkは大きくなることがわかる。各実施例
ではDyの一部をMで置換したため、M量を増加させると
異方性に寄与しているDyの量が減り、Hcが小さくなるた
めM量をそれ程増大できなかつたが(Fe0.9Co0.1)とDy
の量の比を一定にしてM量を増すようにすればHcの低下
はある程度抑えられM量を増大させることができる。
りX、すなわちMの量を増加させることによりHcは小さ
くなるもののθkは大きくなることがわかる。各実施例
ではDyの一部をMで置換したため、M量を増加させると
異方性に寄与しているDyの量が減り、Hcが小さくなるた
めM量をそれ程増大できなかつたが(Fe0.9Co0.1)とDy
の量の比を一定にしてM量を増すようにすればHcの低下
はある程度抑えられM量を増大させることができる。
ここで改めて各実施例における非品質磁気光学層におい
て最もカー回転角θkが大きくなる場合のDy−Fe−Co−
M膜組成、カー回転角θkおよびM無含有の場合に比べ
てのθkの増加量をまとめて次表に示す。
て最もカー回転角θkが大きくなる場合のDy−Fe−Co−
M膜組成、カー回転角θkおよびM無含有の場合に比べ
てのθkの増加量をまとめて次表に示す。
第1図〜第8図は実施例における各非晶質磁気光学層中
のMの量を変えた場合のθkおよびHcの変化図である。
のMの量を変えた場合のθkおよびHcの変化図である。
Claims (1)
- 【請求項1】膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する {Dyx(Fe1-yCoy)1-x}1-zMz (ただし、MはCr,Cu,Ni,Snから選ばれる少なくとも
1種であり、 0.1≦x≦0.4,0.01≦y≦0.5,0.001≦z≦0.1であ
る) からなる非晶質磁気光学層。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59103468A JPH0638370B2 (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | 非晶質磁気光学層 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59103468A JPH0638370B2 (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | 非晶質磁気光学層 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60246606A JPS60246606A (ja) | 1985-12-06 |
JPH0638370B2 true JPH0638370B2 (ja) | 1994-05-18 |
Family
ID=14354839
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59103468A Expired - Lifetime JPH0638370B2 (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | 非晶質磁気光学層 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0638370B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6140012A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光磁気記録用材料 |
JPS61196448A (ja) * | 1985-02-26 | 1986-08-30 | Kyocera Corp | 光磁気記録素子 |
JPH0224853A (ja) * | 1988-07-13 | 1990-01-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5873746A (ja) * | 1981-10-27 | 1983-05-04 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | 光磁気記録媒体 |
JPS58165306A (ja) * | 1982-03-26 | 1983-09-30 | Hitachi Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
JPS5961011A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-07 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
JPS5984358A (ja) * | 1982-11-04 | 1984-05-16 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
-
1984
- 1984-05-22 JP JP59103468A patent/JPH0638370B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS60246606A (ja) | 1985-12-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |