JP2550633B2 - 光熱磁気記録媒体 - Google Patents

光熱磁気記録媒体

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  • Thin Magnetic Films (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、光熱磁気記録媒体に関し、例えば光磁気
メモリ、磁気記録、表示素子などに用いられるものに関
する。
〔従来の技術〕
従来、光熱磁気記録媒体としては、MnBi、MnCuBiなど
の多結晶体薄膜、GdCo,GdFe,TbFe,DyFe、GdTbFe、TbDyF
eなどの非晶質薄膜、GIGなどの単結晶薄膜などが知られ
ている。これらの薄膜のうち、大面積の薄膜を室温近傍
の温度で製作する製膜性、信号を小さな光熱エネルギー
で書込むための書込み効率、書込まれた信号をSN比よく
読出すための読出し効率などの点から、最近では上記の
非晶質薄膜が優れていると考えられている。
しかしながら、これらの非晶質薄膜においても種々の
欠点が指摘されている。例えば、GdFeは保磁力が小さ
く、記録された情報が不安定である。また、GdFe、GdCo
は磁気的補償点を利用した書込みを行っており、書込み
効率を均一にするために、製膜の際、膜組成を厳しく管
理しなければならないという問題点がある。また、TbF
e、DyFe、TbDyFeはキュリー点書込みのため、膜組成を
それほど激しく管理する必要がないが、キュリー点が10
0℃前後と低いために、信号を読出す時にパワーの強い
光を用いることができないという問題点がある。キュリ
ー温度は低ければ書込み効率は向上するが、書込まれが
信号が、周囲の温度とか読出し光により乱されてしま
う。従ってキュリー温度は、書込み可能であれば高い程
よく、実用上の状態を考慮すれば200℃前後が望まし
い。
また、反射光による読出しはSN比は、反射率をR、カ
ー回転角をθKとすると、 に比例する。従って、SN比よく読出すためには、カー回
転角を大きくすればよい。表1に非晶質薄膜による光熱
磁気記録媒体の主なもののカー回転角とキュリー温度を
示す。なお、第6図(a)及び(b)は、各々Tbx(Fe
1-yCoy1-x膜の組成(x)によるカー回転角(deg)変
化を示す特性図および組成(x)によるキュリー温度
(℃)変化を示す特性図である。
図において、(A)はy=0.17の特性、(B)はy=
0.1の特性を示し、各図中、横軸は組成(x)、縦軸は
カー回転角(deg)(第6図(a))および横軸は組成
(x)縦軸はキュリー温度(℃)(第6図(b))を示
す。この表1におけるTbFeCoに関しては、特開昭58−73
746号公報に報告されている。
又、キュリー温度の高い膜を用いる方法として、特開
昭56−153546号公報に示されている様に、基板の上面に
高保磁力で垂直磁気異方性を有する書き込み層を配設
し、該書き込み層の上面に磁気光学効果が大きく低保磁
力で垂直磁気異方性を有する読み出し層を配設した構造
の媒体が提案されている。
さらに特開昭57−78652号公報においても、一面に垂
直磁化可能な低キュリー点を有する低保磁力層が形成さ
れ、他面には高キュリー点を有する低保磁力層が形成さ
れ、該高保磁力層と該低保磁力層とは交換結合されてい
る媒体が報告されている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
表1に示されるようにTbFeCo膜は、キュリー温度が20
0℃前後で望ましく、カー回転角もこの中では最も大き
く、SN比よく読み出すことができる。しかしこのTbFeCo
膜においてもカー回転角、キュリー温度は第5図に示す
様に組成に依存しており、最大のカー回転角を得るため
にはTb量は少ない方がよい。しかしTb量が少ない場合、
飽和磁化(Ms)の温度依存性のためN(ノイズ)レベル
が上昇し、SN比が低下するという欠点がある。そのため
Tb量が22〜35at%程度のTbFeCo膜が適当であった。又Co
量を多くしていくにつれカー回転角は大きくなるが、キ
ュリー温度が上昇し、書き込みに大きなエネルギーを必
要とする欠点がある。
またTbFeCo三元系合金薄膜においてTbx(Fe1-yCoy
1-xとしたとき、y≧0.5のときは第1層、第2層どちら
に用いたとしても膜のキュリー温度が高くなりすぎ、記
録ができないという欠点がある。
又、特開昭56−153546号公報に示された方法では、書
き込み層に情報を書き込んで、その書き込み層から読み
出し層に情報を転写して読み出し層に偏光を照射して情
報を再生する方法を用いているため、容易に転写が可能
である層の組み合わせを選ぶ必要がある。そのため書き
込み層などにはTbCo膜,DyFe膜を用い、読み出し層にはG
dFe膜,GdCo膜などを用いる必要があり、構造が複雑にな
り、製造方法も複雑になるという欠点がある。さらに読
み出し層は基板との間に書き込み層があるため、再生光
は基板をとおらず、保護膜を介したとしても膜側から直
接読み出すことになり、媒体に付着したゴミ、ほこりな
どの影響をうけるという欠点がある。
さらに、特開昭57−78652号公報においても、望まし
くは高保磁力層としてTbFe膜,DyFe膜,低保磁力層とし
てGeFe膜,GdCo膜等が例示されており、異なった元素を
含有する2層膜を用いる場合には、構造上複雑になり製
造条件も難しくなる。
また、交換結合されている媒体であっても、例えばTb
Fe膜とGdFe膜の組合せの場合、Tb副格子磁化優勢のTbFe
膜とGd副格子磁化優勢のGdFE膜の時は、大きなカー回転
角を得ることができずSN比の向上が期待できない。また
Fe副格子磁化優勢のTbFe膜とFe副格子磁化優勢のGdFe膜
の時は、ノイズレベルの上昇があり、やはりSN比の向上
が期待できないという欠点あった。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされた
もので、得られる最大のカー回転角を有効に利用して効
率よく光再生出力をとり出し得る光熱磁気記録媒体を提
供するものである。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明の光熱磁気記録媒体は、膜面に垂直方向に磁
化容易軸を有し、一般式Tbx(Fe1-yCoy1-xで示される
TbFeCo3元系第1非晶質磁性合金層、および膜面に垂直
方向に磁化容易軸軸を有し、一般式Tbx(Fe1-yCoy1-x
で示されるTbFeCo3元系第2非晶質磁性合金層を基板に
積層し、上記第1と第2非晶質磁性合金層とは交換結合
されている磁性層を備え、上記第1非晶質磁性合金層に
おいて、第1の発明では0.1≦x≦0.2,0.1≦y<0.5,第
2の発明では0.15≦x≦0.2,0.1≦y<0.5,上記第2非
晶質磁性合金層において第1及び第2の発明で0.22≦x
≦0.35、0.05<y<0.5であり、室温において上記第1
非晶質磁性合金層がFeCo副格子磁化優勢で、上記第2非
晶質磁性合金層がTb副格子磁化優勢のものである。
〔作 用〕
この発明の光熱磁気記録媒体は、基板に得られる最大
のカー回転角を有する室温でFeCo副格子磁化優勢のTbFe
Co3元系第1非晶質磁性合金層を配したことにより大き
なシグナルレベルが得られ、さらに室温でTb副格子磁化
優勢のTbFeCo3元系第2非晶質磁性合金層を配設し、交
換結合を利用することによりノイズレベルの上昇をおさ
え、大きなSN比を得ることができた。さらに交換結合を
利用した結果書き込みエネルギーを小さくすることが可
能となった。
〔実施例〕
第1図はこの発明の一実施例の光熱磁気記録媒体の断
面図であり(1)は基板、(2)はTbFeCo3元系第1非
晶質磁性合金層、(3)はTbFeCo3元系第2非晶質磁性
合金層で、上記第1,第2非晶質磁性合金層で磁性層
(4)を形成する。基板(1)としては、ガラス、セラ
ミックス、プラスチック等の非磁性体が材料として用い
られる。
TbFeCo3元系第1非晶質磁性合金層(2)は、Tbx(Fe
1-yCoy1-xとしたとき第1の発明ではxが0.1≦x≦0.
2、第2の発明ではxが0.15≦x≦0.2の範囲であり、第
1及び第2の発明でyが0.1≦y<0.5の範囲であり、室
温でFeCo副格子磁化優勢である。
TbFeCo3元系第2非晶質磁性合金層(3)は、Tbx(Fe
1-yCoy1-xとしたときのxが0.2<x0.35の範囲であ
り、yが0y<0.5の範囲であり、室温でTb副格子磁
化優勢である。そして、TbFeCo3元系第1非晶質磁性合
金層とTbFeCo3元系第2非晶質磁性合金層とが交換結合
していることが必要である。
なお、上記のような構成の磁性層を形成するには、例
えばスパッタリング法や真空蒸着法などによって製膜す
る。
以下、この発明を実施例によって詳細に説明する。
実施例1 基板:1.2mm厚プラスチック基板 TbFeCo3元系第1非晶質磁性合金層:Tb18.4(Fe70Co30
81.4 膜厚:200Å保磁力:Hc2KOe キュリー温度:250℃ TbFeCo3元系第2非晶質磁性合金層:Tb23.6(Fe90Co10
76.4 膜厚:600Å保磁力:Hc10KOe キュリー温度:180℃ 上記構成材料を用い、スパッタリング法によってこの
発明の一実施例の光熱磁気記録媒体を得た。
比較例1 実施例1におけるTbFeCo3元系第1非晶質磁性合金層
を省略し、Tb18.4(Fe70Co3081.4のものを800Åのみ
を実施例1と同様に積層して光熱磁気記録媒体を得た。
第2図にその断面図を示す。
実施例2〜11 表2に示したような構成材料を用いる他は実施例1と
同様にこの発明の他の実施例の光熱磁気記録媒体を得
た。
比較例2〜9 表2に示したような構成材料を用いる他は実施例1と
同様に光熱磁気記録媒体を得た。
記録再生特性試験 上記のようにして得られたこの発明の実施例の光熱磁
気記録媒体および比較例の光熱磁気記録媒体について、
ディスクスピード9.8m/s、記録周波数1MHzで記録再生特
性試験を行った。その結果を第3図および第4図に示
す。第3図は書き込みパワー(mW)によるS/N(dB)変
化を示す特性図であり、図中(m)は実施例の特性、
(n)は比較例1の特性である。ここで、横軸は書き込
みパワー(mW)を、縦軸はS/N(dB)を示す。第4図は
読み出しパワー(mW)によるS/N(dB)変化を示す特 性図であり、図中(A1)(A2)は実施例の特性、(B1)
(B2)は比較例1の特性である。ここで、横軸は読み出
しパワー(mW)を、縦軸はS/N(dB)を示す。又、表2
に、用いた構成材料と、得られた光熱磁気記録媒体のS/
Nを示す。
それによると、実施例は、比較例より低いパワーから
SN比は高く、即ち、より小さなエネルギーで書き込むこ
とができる。又、実施例においては、大きな読み出しパ
ワーまで高いSN比を保つことができる。またTbの組成を
変化させたことによるS/N(dB)の変化は第5図に示
す。この図からの0.1x0.2でS/Nが良いことがわか
る。このようにこの発明の実施例の光熱磁気記録媒体を
用いると小さなエネルギーで書き込むことが可能であ
り、又、大きな読み出しパワーまで高いSN比を保つこと
ができ、光再生出力は従来よりも大きい。従って、光ビ
ームを用いて書き込みカー効果を利用して読み出しを行
なういわゆるビームアドレッサブルファイルメモリ等の
光熱磁気メモリとして使用すれば、極めて高密度でSN比
の大きい優れたメモリ装置を実現できる。
なお、基板(1)とTbFeCo3元系第1非晶質磁性合金層
(2)の間に窒化ケイ素膜などの誘電体層を設けて、カ
ー回転各増大効果をもたせる構成をとっても良いことは
いうまでもない。
又、上記実施例においては、基板側からの記録再生を
行っているが、膜面側から記録再生を行う場合において
は、TbFeCo3元系第1非晶質磁性合金層とTbFeCo3元系第
2非晶質磁性合金層を逆に形成し、実施する構成につい
ても、この発明の実施例と同様であることはいうまでも
ない。
即ち、TbFeCo3元系第1非晶質磁性合金層とTbFeCo3元
系第2非晶質磁性合金層はどちらを読み出し層、書き込
み層と規定するものではない。
また、高保磁力層と低保磁力層とを規定するものでも
ない。
〔発明の効果〕
以上説明したとおり、この発明は、膜面に垂直方向に
磁化容易軸を有し、一般式Tbx(Fe1-yCoy1-xで示され
るTbFeCo3元系第1非晶質磁性合金層、および膜面に垂
直方向に磁化容易軸を有し、一般式Tbx(Fe1-yCoy1-x
で示されるTbFeCo3元系第2非晶質磁性合金層を基板に
積層し、上記第1と第2非晶質磁性合金層とは交換結合
されている磁性層を備え、上記第1非晶質磁性合金層に
おいて、第1の発明では0.1≦x≦0.2,0.1≦y<0.5,第
2の発明では0.15≦x≦0.2、0.1≦y<0.5,、また上記
第2非晶質磁性合金層において、第1及び第2の発明に
おいて0.22≦x≦0.35、0.05<y<0.5であり、室温に
おいて上記第1非晶質磁性合金層が、FeCo副格子磁化優
勢で、上記第2非晶質磁性合金層がTb副格子磁化優勢で
あるものを用いることにより、得られる最大のカー回転
角を有効に利用して効率良く光再生出力をとり出し得る
光熱磁気記録媒体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】 第1図はこの発明の一実施例の光熱磁気記録媒体の断面
図、第2図は従来の光熱磁気記録媒体の断面図、第3図
は書き込みパワー(mW)によるS/N(dB)変化を示す特
性図、第4図は読み出しパワー(mW)によるS/N(dB)
変化を示す特性図、第5図はTbの組成を変化させた時の
S/N(dB)変化を示す特性図、第6図(a)および
(b)は、Tbx(Fe1-yCoy1-x膜の各々組成(x)によ
るカー回転角(deg.)変化および組成(x)によるキュ
リー温度(℃)変化を示す特性図である。 図において、(1)は基板、(2)はTbFeCo3元系第1
非晶質磁性合金層、(3)はTbFeCo3元系第2非晶質磁
性合金層、(4)は磁性層である。 なお、各図中同一符号は同一又は相当部分を示す。

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】膜面に垂直方向に磁化容易軸を有し、一般
    式Tbx(Fe1-yCoy1-xで示されるTbFeCo3元系第1非晶
    質磁性合金層、及び膜面に垂直方向に磁性容易軸を有
    し、一般式Tbx(Fe1-yCoy1-xで示されるTbFeCo3元系
    第2非晶質磁性合金層を基板に積層し、上記第1及び第
    2非晶質磁性合金層とは交換結合されている磁性層を備
    え、上記第1非晶質磁性合金層において、0.1≦x≦0.
    2,0.1≦y<0.5,上記第2非晶質磁性合金層において0.2
    2≦x≦0.35、0.05<y<0.5であり、室温において上記
    第1非晶質磁性合金層がFeCo副格子磁化優勢で、上記第
    2非晶質磁性合金層がTb副格子優勢である光熱磁気記録
    媒体。
  2. 【請求項2】膜面に垂直方向に磁化容易軸を有し、一般
    式Tbx(Fe1-yCoy1-xで示されるTbFeCo3元系第1非晶
    質磁性合金層、及び膜面に垂直方向に磁性容易軸を有
    し、一般式Tbx(Fe1-yCoy1-xで示されるTbFeCo3元系
    第2非晶質磁性合金層を基板に積層し、上記第1及び第
    2非晶質磁性合金層とは交換結合されている磁性層を備
    え、上記第1非晶質磁性合金層において、0.15≦x≦0.
    2,0.1≦y<0.5,上記第2非晶質磁性合金層において0.2
    2≦x≦0.35、0.05<y<0.5であり、室温において上記
    第1非晶質磁性合金層がFeCo副格子磁化優勢で、上記第
    2非晶質磁性合金層がTb副格子優勢である光熱磁気記録
    媒体。
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