JPH0664761B2 - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPH0664761B2 JP11629284A JP11629284A JPH0664761B2 JP H0664761 B2 JPH0664761 B2 JP H0664761B2 JP 11629284 A JP11629284 A JP 11629284A JP 11629284 A JP11629284 A JP 11629284A JP H0664761 B2 JPH0664761 B2 JP H0664761B2
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Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明はドキユメントフアイル、ハードデイスク、フロ
ツピーデイスク等に使用される光磁気記録媒体に関す
る。
従来技術 近年、半導体レーザー光により磁気記録を行う光磁気記
録媒体が高密度記録用として種々研究されている。従
来、これら光磁気記録媒体に用いられる磁性膜としては
遷移金属(Fe,Co)と重希土類金属(Gd,Tb,Dy……)とのア
モルフアス合金膜、すなわちTb-Fe,Gd-Fe,Gd-Tb-Fe,Gd-
Co等が知られている。これらアモルフアス磁性合金膜は
キユリー温度が低く、またアモルフアスであるため光学
的ノイズが小さい等の長所がある反面、アモルフアス合
金膜は酸化腐食しやすく、これに起因する磁気特性の劣
化、記録または再生特性の劣化が生じやすく、膜安定性
に劣る欠点を有するものである。また、アモルフアス合
金膜は透光性に劣るためカー回転角θkによつて再生光
を得るが、カー回転角θkは小さく0.5°が限度である。
従つてアモルフアス合金膜を超薄膜、例えば200Å程
度として透光しフアラデー回転角θFを相剰してカー回
転角θkを大きくする試みもあるが、かかる超薄膜とし
た場合には反射率Rが低下し、再生 となり、C/Nが大きくならず、さらに膜特性劣化が著し
いものである。
上記の如き欠点のあるアモルフアス合金膜に代えて六方
晶マグネトプランバイト型酸化物磁性体を適用した光磁
気記録媒体を本発明者らの一部はさきに提案した。しか
し、この酸化物磁性体は膜安定性はよいが、フアラデー
回転角θFが十分満足できるものではなく、改良が求め
られているものである。また磁気光学性能θF 〔deg〕
μmが1°以上と大きい酸化物磁性体としてガーネツト
系磁性体およびコバルトスピネル系フエライトがある
が、これらは保磁力が小さく、メモリーの安定性が悪
く、またはキユリー温度が高いために光磁気記録媒体に
適用されることはなかつた。
目的 本発明の目的は膜安定性に優れ、磁気光学性能、すなわ
ちフアラデー回転角θFまたはカー回転角θkが大きく、
メモリー安定性の良い光磁気記録媒体を提供することに
ある。
構成 本発明は支持体上に下記のAと、BもしくはCとからな
る磁性層を順次積層してなる光磁気記録媒体である: A; ただしMeはBa,Pb,Srの少くとも1種、MはSc,Ti,
Zn,In,Ga,Al,Cr,Sn,Mn,Gdの少
くとも1種、mはMのイオン価数、0<x≦6、5<n
≦6、 B; ただしRはY,Bi,Ca,Sm,Gdの少くとも1
種、MはGa,Al,Vの少くとも1種、0<y≦3、 C;CoxMyFe3-(x+y)O4、ただしMはAl,Cr,の少くとも1
種、0<x+y<3,0≦y<2。
本発明におけるAの磁性層はいわゆる六方晶マグネトプ
ランバイト型酸化物磁性体であり、望ましくはキユリー
温度Tcが350℃以下、保磁力Hcが1 KOe以上のものと
する。具体的には次の如きもの等が挙げられる。
A層:BaO。6〔Ga0.3Fe1.7O3〕,(Hc=4.0KOe,Tc=30
0℃), SrO。5.6〔Ga0.4Fe1.4O3〕,(Hc=5.0KOe,Tc=250
℃), PbO。6〔Al0.3Fe1.7O3〕,(Hc=5.5KOe,Tc=340
℃), BaO。6〔Cr0.25Fe1.7O3〕,(Hc=3.0KOe,Tc=330
℃), PbO。5.6〔Mn0.3Fe1.7O3〕,(Hc=2.6KOe,Tc=350
℃), BaO。6.0〔Ga0.15In0.08Fe1.77O3〕,(Hc=1.2KOe,Tc
=23.5℃), BaO。5.6〔Ga0.3Al0.3Fe1.6O3〕,(Hc=5KOe,Tc=270
℃), SrO。6.0〔Al0.15In0.18Fe1.67O3〕,(Hc=2.0KOe,Tc
=250℃), BaO。5.6〔Ga0.23Sc0.05Fe1.72O3〕,(Hc=1.5KOe,Tc
=310℃), BaO。5.6〔Mn0.36Sn0.12Fe1.48O3〕,(Hc=1.5KOe,Tc
=240℃), BaO。6.0〔Cr0.18In0.1Fe1.72O3〕,(Hc=4.3KOe,Tc=
240℃), BaO。6.0〔Al0.3Zn0.18Fe1.58O3〕,(Hc=4.5KOe,Tc=
340℃), BaO。6.0〔Ga0.3Zn0.18Fe1.58O3〕,(Hc=2.0KOe,Tc=
150℃), PbO。6.0〔Ga0.3Ti0.18Fe1.43O3〕,(Hc=2.0KOe,Tc=
180℃), BaO。6.0〔Al0.3Zn0.18Bi0.6Fe1.52O3〕,(Hc=2.5KO
e,Tc=250℃), BaO。5.8〔Al0.36Co0.12Fe1.58O3〕,(Hc=5KOe,Tc=3
10℃), BaO。6.0〔Ga0.24In0.12Co0.12Fe1.54O3〕,(Hc=2.0K
Oe,Tc=250℃)。
またBの磁性層はガーネツト系磁性体であつて、保磁力
Hcは小さいが磁気光学性能が優れたものであり、その具
体例を示せば次の如きもの等が挙げられる。なお、フア
ラデー回転角θFはλ=633nmのレーザーを照射した場合
の値を示すものである。またこれら具体的に例示したB
層の保持力Hcはいずれも0.1〜0.5KOeであつた。
B層:〔Bi1.4Y1.6〕〔Al1.2Fe3.8O12〕,(θF=2.0
〔deg〕/μm), 〔Bi1.0Y2.0〕〔Ga1.0Fe4.0O12〕,(θF=1.5〔deg〕
/μm), 〔Bi1.0Yb1.5Sm0.5〕〔Ga0.1Fe4.0O12〕,(θF=3.0
〔deg〕/μm), 〔Bi0.8Sm2.2〕〔Ga0.8Fe4.2O12〕,(θF=2.0〔deg〕
/μm), 〔Bi0.7Y2.3〕〔Ga1.0Fe4.0O12〕,(θF=2.4〔deg〕
/μm), 〔Bi0.65Ca2.35〕〔V2.35/2Fe6.35/2O12〕,(θF=1.6
〔deg〕/μm), 〔Gd2.0Bi1.0〕〔Al1.2Fe3.8O12〕,(θF=2.6〔deg〕
/μm)。
さらにCの磁性層はコバルトスピネル系フエライトであ
つて、ガーネツト系磁性体と同様に保磁力は小さいが磁
気光学性能が優れたものであり、その具体例を示せば次
の如きもの等が挙げられる。これらのフアラデー回転角
θFはガーネツト系磁性体と同様の条件における値を示
し、また保磁力Hcも同様にいずれも0.1〜0.5KOeであつ
た。
C層:〔Co1.0Cr1.0Fe2.0O4〕,(θF=3.0〔deg〕/μ
m), 〔Co1.0Al0.8Fe1.2O4〕,(θF=1.0〔deg〕/μm), 〔Co1.0Mn1.2Fe0.8O4〕,(θF=1.5〔deg〕/μm)。
以上の通り、SrO・6.0〔Al0.15In0.18Fe1.07O3
(A層)を単層で用いた場合は、Hc:2KOe,T
c:250℃,θF:0.2deg/μm;BaO・5.6〔Ga0.23S
c0.05Fe1.72O3〕(A層)を単層で用いた場合は、H
c:1.5KOe,Tc:310℃,θF:0.2deg/μm;〔B
i0.7Y2.3〕 〔Ga1.0Fe4.0O12〕(B層)を単層で用い
た場合は、Hc:0.2KOe,Tc:150℃,θF:2.4de
g/μm;〔Ce1.0Cr1.0Fe2.0O4.0〕(C層)を単層で用
いた場合は、Hc:0.2KOe,Tc:150℃,θF:3.0deg/
μmである。
しかして、本発明では磁性層として、A層と、B層もし
くはC層とを順次積層したものとすることにより、A層
であるマグネトプラムバイト型酸化物磁性体の膜安定性
が優れ保磁力Hcが大きく、キユリー温度が低い特性を保
持したまま、B層であるガーネツト系磁性体もしくはC
層であるコバルトスピネル系フエライトのもつ磁気光学
性能が優れた特性を併せもつことができるのである。
このような磁性層を適用して光磁気記録媒体を得る場合
の具体例を添付図面を参照して以下に説明する。
第1図において、支持体1上には反射層2が設けられ、
この反射層2の上にはA層3およびB層もしくはC層4
が順次積層され、その上には接着層5を介して透光性保
護板6が設けられる。支持体1には透光性耐熱板として
バイコールガラス、石英ガラス、GGG、リチウムタン
タレート、パイレツクス、結晶化ガラス(ミラクロ
ン)、強化ガラス(コーニング#313)、透光性セラ
ミツクス、無機シリコン、単結晶シリコン、有機シリコ
ン等があり、また不透明耐熱板として結晶化ガラス(フ
オトセラム)、セラミツクス等があり、さらにメタル板
としてNi,Ni-P、ステンレス、Al,Al-Mg合金等があり、
これらがいずれも本発明の支持体1として好ましく適用
できる。また、反射層2を用いる場合にはAg,Cu,Al,Cr,
Au,Ni,Pt等を500〜3000Åの膜厚となるよう適用するこ
とができる。
磁性層A,BもしくはC層はそれぞれ真空蒸着、スパツ
タリング、イオンプレーテイング等の手段で適用され、
その膜厚はA層3は300〜10000Å、B層もしくはC
層4は1000〜50000Å程度に形成される。そしてA層3
を形成する場合、A層3が膜面に対して垂直方向の磁
化、すなわち垂直磁気異方性になりやすいようにA層3
の下地層7としてA層であるマグネトプラムバイト型酸
化物磁性体のC軸配向面に対してミスフイツト率が小さ
い材料であるZnO,AlN,Mn-Znフエライト、Ba−モノフエ
ライト、またアモルフアス構造のSi,SiO2等を200〜5000
Åの膜厚で用いることができる。磁性層の上に接着層5
を介して設けられる透光性保護板6としてはプラスチツ
クとしてメタルメタクリレートポリマー、メチルメタク
リレートスチレン共重合体ポリマー、ポリカーボネー
ト、ポリイミド、ポリアミド、ポリエーテルサルフオ
ン、エポキシポリマー、メチルメタクリレートシクロヘ
キシル−α−メチルスチレン共重合体、有機シリコン等
が、また無機材料としてシリコン、ガラス、結晶化ガラ
ス、透明セラミツク等が使用できる。なお、磁性層のA
層および/またはB層、C層に接して高屈折誘電層とし
てSixOy,SixNy,CeO2,MgO,TexOy,ThO2等を500〜5000Åの
膜厚となるように用いることもできる。
第2図は支持体1と反射層2との間に断熱層8を設け、
さらに磁性層と透光性保護板6との間にスペーサー9を
介在させることによりエアーギヤツプ10を設けた光磁
気記録媒体の具体例を示すものである。この第2図にお
いて、断熱層8としては無機材料のSixOy,SixNy,SiC,Al
2O3,ZrO2,ThO2,CaO,CeO2,HfO2,BeO等を用いることがで
きる。
また、第3図は支持体1にプレグルーブを設けた場合、
第4図は透光性保護板6にプレグルーブを設け、これを
エアーギヤツプ10とした場合の光磁気記録媒体を示す
ものである。
かかる構成となした光磁気記録媒体において、記録する
場合には磁性層のキユリー温度または補償温度近傍にお
ける温度変化に対応した保磁力の急激な変化特性を利用
した情報信号で変調されたレーザー光を各図に示す如く
透光性保護板6側から照射加熱して磁化の向きを反転さ
せることにより行い、また再生はこうして反転記録され
た磁性層の磁気光学特性の差を利用して読出すことによ
り行う。
効果 以上のような本発明によれば、マグネトプラムバイト型
酸化物磁性体と、ガーネツト系磁性体もしくはコバルト
スピネル系フエライトとを順次積層した磁性層構成を有
するため、それら各磁性層の有する利点、すなわち膜安
定性および磁気光学性能に優れ、キユリー温度が低く、
かつ保磁力の大きい利点が生かされ、従つてこのような
光磁気記録媒体により、メモリー安定性のみならず、ピ
ツト数が増大し、再生C/Nも向上し、コントラストの良
い高密度記録再生が可能となる。
以下に実施例を示す。
実施例1 単結晶シリコン支持体上に蒸着法により反射層として50
0ÅのAgを、そしてこの上にスパツタリング法により下
地層として500ÅのSiO2を順次被着した。次いで、この
上に磁性層としてPbO。6.0〔Al0.3Fe1.7O3〕(A層)を
膜厚1000Åとし、さらに〔Bi1.4Y1.5〕〔Al1.2Fe
3.3O12〕(B層)を膜厚5000Åとしそれぞれスパツタリ
ング法にて支持体温度を400〜700℃に維持して被着させ
た。この磁性層の上にはエポキシ接着剤にて透光性保護
板としてポリカーボネートを接合して第1図に示す如き
光磁気記録媒体を得た。
実施例2 ステンレス支持体上にスパツタリング法により断熱層と
して1000ÅのSiO2、反射層として1000ÅのAl、下地層と
して500ÅのZnOを順次被着した。この上に磁性層として
BaO。6.0〔Cr0.25Fe1.7O3〕(A層)を膜厚1000Åと
し、さらに〔Bi1.0Y2.0〕〔Ga1.0Fe4.0O12〕(B層)を
膜厚3000Åとしそれぞれスパツタリング法にて支持体温
度400〜700℃に維持して被着させた。この磁性層上にス
ペーサーを介しエアーギヤツプを設けてポリメチルメタ
クリレートの透光性保護板を接合し、第2図に示す如き
光磁気記録媒体を得た。
実施例3 Ni電鋳法によつて得た微小プレグルーブ付Niメタル支持
体上に蒸着法により反射層として500ÅのAu、下地層と
して500ÅのZnOを順次被着した。次いで、この上に磁性
層としてBaO。6.0〔Ga1.5In0.08Fe1.77O3〕(A層)を
膜厚1500Åとし、さらに〔Bi0.8Sm2.2〕〔G0.8Fe
4.2O12〕(B層)を膜厚3000Åとし、それぞれスパツタ
リング法にて支持体温度400〜700℃に維持して被着させ
た。この磁性層の上にはエポキシ接着剤にてポリカーボ
ネートの透光性保護板を接合し、第3図に示す如き光磁
気記録媒体を得た。
実施例4 バイコールガラス支持体上に蒸着法により反射層として
500ÅのAl、下地層として500ÅのAlNを順次被着した。
次いでこの上に磁性層としてBaO。6.0〔Ga0.15In0.08Fe
1.77O3〕(A層)を膜厚1000Åとし、さらに〔Bi1.0Yb
1.5Sm0.5〕〔Ga1.0Fe4.0O12〕(B層)を膜厚3000Åと
し、それぞれスパツタリング法にて支持体温度400〜700
℃に維持して被着させた。この磁性層の上には予じめ微
小プレグルーブ付プラスチツク透光性保護板を接合して
第4図に示す如き光磁気記録媒体を得た。
実施例5〜9 実施例1と同様にして磁性層のみを第1表に示す如く構
成して光磁気記録媒体を得た。
実施例10〜12 実施例2と同様にして磁性層のみを第2表に示す如く構
成して光磁気記録媒体を得た。
実施例13〜15 実施例3と同様にして磁性層のみを第3表に示す如く構
成して光磁気記録媒体を得た。
これら実施例1〜15の光磁気記録媒体を次の様に記録
テストを行つた。まず、レーザー光を2μm程度に収光
し、各記録媒体面に10mWパワーで0.3MHzの磁化と逆方向
の磁界400Oeを印加しながら記録した。このときの記録
ビツト径は1.5μmであった。また偏光顕微鏡にてビツ
トを観察した結果、非常にコントラストの高いものであ
つた。
【図面の簡単な説明】 第1図〜第4図は本発明光磁気記録媒体の実施例を示す
断面説明図である。 1…支持体、2…反射層 3…A層、4…B層もしくはC層 5…接着層、6…透光性保護板 7…下地層、8…断熱層 9…スペーサー、10…エアーギヤツプ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】支持体上に下記Aと、BもしくはCとから
    なる磁性層を順次積層してなる光磁気記録媒体: A; ただしMeはBa,Pb,Srの少くとも1種、MはS
    c,Ti,Zn,In,Ga,A,Cr,Snの少く
    とも1種、mはMのイオン価数、0<x≦6,5<n≦
    6、 B; ただしRはY,Bi,Ca,Sm,Gdの少くとも1
    種、MはGa,A,Vの少くとも1種、0<y≦3、 C;CoxMyFe3-(x+y)O4、ただしMはA,Crの少くと
    も1種、0<x+y<3,0<y≦2。
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