JPS61196448A - 光磁気記録素子 - Google Patents

光磁気記録素子

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JPS61196448A
JPS61196448A JP3793285A JP3793285A JPS61196448A JP S61196448 A JPS61196448 A JP S61196448A JP 3793285 A JP3793285 A JP 3793285A JP 3793285 A JP3793285 A JP 3793285A JP S61196448 A JPS61196448 A JP S61196448A
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JP
Japan
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corrosion resistance
magneto
film
recording element
component
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Pending
Application number
JP3793285A
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English (en)
Inventor
Hisao Arimune
久雄 有宗
Takashi Maeda
隆 前田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
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Publication date
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Publication of JPS61196448A publication Critical patent/JPS61196448A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明は、非晶質金属垂直磁化膜自体の腐食を防止せ′
しめ、光磁気特性の長期信頼性を向上せしめた光磁気記
録素子に関する。
(従来技術) 一近年、垂直記録媒体や光磁気記録媒体などを用いた高
密度記録が盛んに研究され、光磁気記録媒体においては
、大量の情報を高密度に記録するため、集束レーザー光
を投光して記録媒体を局部加熱することくよυビットを
書き込み、磁気光学効果を利用して読み出すという記録
方式であり、この媒体には主として希土類−遷移金属元
素から成る非晶質金属垂直磁化膜が用いられる。
磁化膜の材料としては希土類金属の磁気モーメントと遷
移金属の磁気モーメントが反平行に安定となり、且つ記
録材料としての非晶質、垂直磁化、カー回転角、保磁力
等の要求特性に対し、容易に適合し得るものが必要であ
る。また、実用性の点からキュリ一点記録用材料に限る
ならば、王妃の条件を考慮し、Fe系フェリ 磁性体が
最も□一般的に使用される。Fe系合金に対゛して希土
類元素としてはGd 、 TI) 、 py 、 E(
O等が知られ、遷移金屑糸ではFeを必須成分とし、他
にCo等が知られる。本発明者等によれば、これら成分
のうち、Feが急速な孔食及び表面腐食を起たし、最も
化学的安定性に欠けることを確認した。そのため特にフ
ェリ磁性体を磁化膜として設けられる記録素子に対し、
安定した磁気記録特性を有する記録ビットを維持させる
ために耐食性を向上させることは必須と考えられる。
このため、吸湿性、耐酸化性及び耐熱性の観点から各種
のやシ方が提案されている。例えば、記録媒体上に保護
層を設け、外気と遮断することが提案されているが、こ
の層の膜厚が大きすぎると膜内に生じる内部応力の増加
によシ、膜剥離、基板のそシ等が発生するため、100
01程度の薄膜にする必要がある。そのため、保護層の
材料によっては、膜質の劣化および欠損が発生し易く、
その部分から酸化反応が促進され、孔食が発生する等の
傾向にある。
一方、記録媒体としての磁化膜の材質に耐食性に優れた
ものを選択する方法もあるが、今だ、満足すべき結果は
得られていない。
〔発明の目的〕
従って、本発明は上記事情に鑑みて完成されたもので、
その目的は、記録素子としての光磁気特性を阻害するこ
となく、記録媒体である磁化膜の耐食性を向上させ、耐
環境特性に優れた高信頼性の光磁気記録素子を提供する
ことにある。
〔発明の概要〕
本発明においては基体上に少なくとも膜面と垂直な方向
に磁化容易軸を有する非晶質垂直磁性合金から成る磁化
膜を有する光磁気記録素子において、該非晶質垂直磁化
膜が、第1成分としてCuおよび第2成分として、Ag
 、 St) 、 Niから選ばれる少なくとも1種と
から成る複合添加物を含有することを特徴とする光磁気
記録素子が提供される。
(実施例) 本発明における光磁気記録素子の代表的な構造を第1図
に示す。即ち、全体として1で示す記録素子はガラスや
プラスチック(PMMA 、 PC、エポキシ等)の基
体2上に直接、あるいは光干渉層等の中間層3を介して
主としてフェリ磁性体等の非晶質磁性合金から成る磁化
膜4が形成される。磁化膜4は大気との直接の接触を避
けるために保護膜5が設けられる。また、保護膜5上に
は所望によシ樹脂等のオーバーコート層を設けることも
できる。
本発明者等は先に磁化膜中への添加物として貴金属元素
、軽金属元素、半金属元素、その他冶金的にFeに対し
耐食性改善効果があると考えられるものに関し、耐食性
の検討を行なった。比較例1に示すように、 A41 
、 MO,Si、なる添加物は孔食、表面腐食をともに
起たし、Cu、 sb、 Ag。
N1なる添加物は表面腐食に於いて効果があるが、孔食
には顕著な効果はないもののCu、Niは比較 。
的有効である。中でもCuは、光磁気特性の低下を起た
すまでの添加量範囲が広く、添加元素としては最も望ま
しいものである。
しかしながら、 廠のみの添加では実際上十分な耐食性
を有するとはいい難いレベルのものである。
本発明によれば、磁化膜に対し、添加物としてCuを第
1成分とし、他にAg 、 St) 、 Niのうちの
少なくとも1種を第2成分として、両者を同時に添加さ
せることにより、前述の扼添加のみの耐食性に比べて、
光磁気特性を低下させない範囲で更に耐食性を改良する
ことができる。
本発明における複合添加物は、磁性合金に対し原子比で
39 atom%以下、特に3乃至20 FLtom%
の量で含有させるのが好ましい。含有率が30 at−
%を超えるとカー回転角数及び保磁力Ha等の光磁気特
性が急速に低下し始める傾向にある。
一方、複合添加物中の第1成分であるCuの含有率は磁
性合金に対し20 atom%以下、特に5乃至15 
atom%が好ましい。Cuの含有率が20 atom
%を超えると、θにおよびHcの低下が顕著となる。
本発明において、磁化膜の組成のうち主体となる磁性合
金としては、TbFe 、 T’bFeCo 、 Gd
TbFeC。
、 ()iDyFeco 、 DyFeCo等公知のも
f)カ使用できるが、それ自体の耐食性を考慮すれば、
DyFeC0が最も好ましい。 DyFeCo合金にお
けるそれぞれの元素の割合は次式(1) %式%) 但しXは0.18乃至0.30 (原子比)yは0.5
乃至0.15  (原子比)で表わされ、特にDy以外
の希土類元素を含まない方が好ましい。
これは、ン以外の希土類元素の配合は、耐食性の低下を
招くからである。
本発明の光磁気記録素子を製造するにあたっては、公知
の手段を用いることができ、例えば、蒸着、スパッタリ
ング、イオンブレーティング、イオン注入、メッキ等各
種の方法が使用でき、特にスパッタリング法が組成の均
一性、再現性の点で好ましい。
本発明を次の例で説明する。
0試料の作成 高周波2元同時スパッタリング装置を用い、一方のター
ゲットを遷移金属、他方のターゲットを希土類金属とし
、それぞれに同量の添加元素チップを乗せ、各々を複合
ターゲットとし、ガラス基板を取り付けたカソード側を
回転させながらスパッタリングを行ない、ガラス基板上
に非晶質の膜厚1500人の磁化膜を形成させた。尚、
この時の形成は到達真空度5 X 10  Torr 
、アルゴンガス圧5 X 10  Torrの条件下で
行なった。
0光磁気特性試験方法 カー回転角及び保磁力は、カー回転角測定装置を用い、
ガラス基板側よシ測定波長633 nmで測定した。ま
たキュリ一温度はVSMによシ求めた。
組成分析は102発光分光分析によシ求めた。
0耐食性試験 人工汗液(NaHPO40,9g 、 Nacl O,
8g 、 (HsCOOHO,5g t’純純水テロ0
0CCしたもの)に所定時間浸漬した。試料表面の孔食
によシ発生したピンホー〃状の透明酸化部分が、そこを
核として面内方向に拡がっていく程度として透明化した
面積の割合で示した。尚、浸漬時間は全て4時間で行な
った。
比較例1 DyFeCo 3元系合金にfi、l 、 Ag 、 
Cu、 Mo 、 Or、 Sb、 Si−、Ni、を
夫々的S at%添加した4元系合金の磁化膜を作成し
試料番号1乃至9として夫々について初期光磁気特性と
耐孔食性改善効果について調べた結果を第1表に示す。
耐食性については人工汁液浸漬後の膜面状態から、Dy
FeCo合金と同程度の孔食と表面腐食が進んだものを
X1孔食の程度が同じかそれ以下で表面腐食がないもの
を△、全く変化のないものを○として表示した。
第1表から明らかなように、kl 、 Mo、 Si 
では孔食、表面腐食を起たし、未添加の材料1と同程度
であるのに対し、Cu、 Sb、 Ag 、 N1は表
面腐食は無く金属光沢を保つようになった。また、これ
らは大旨θk * Tcの低下は起こさなかった。
Orは耐孔食性には優れていたがθk a Tcの低下
が比較例2 DyFeCo合金とCut−添加元素として2at%、
6 at%、12at%、 20 at%なる添加量の
合金をキュリ一温度一定となるようにco含有量で補償
するよう磁化膜を作製し、試料番号10乃至14として
夫々について初期光磁気特性と、耐孔食性について調べ
た。
また比較の為に’rbreco合金についても試料番号
15.16として調べた。その結果も第2表に示す。C
u成分の増加に従い孔食量は一定しベIvまで減らせる
一方、θk及びHaは低下する傾向にあった。
比較例3 DyF’eCo 、 TbFeCo 、 GdT’bF
eOo について補償組成近傍でかつキュリ一温度が2
00℃近傍となるような組成の合金から成る磁化膜を試
料番号17乃至 19として、夫々について初期光磁気
特性と、耐孔食性について調べた結果を第3表に示す。
耐孔食性については人工汁液に浸漬した後の孔食量を面
積百分率で示した。
実験の結果、光磁9IC#性においては大きな差異は見
受けられなかったが、耐食性においてDyFeC。
が最も優れていた。
実施例l DyFeCo合金に対し、CuKS’b 、 Ag 、
 Ni、  をそれぞれ組合わした複合添加物を加えた
合金の磁化膜を作製し、試料番号20乃至24として夫
々について初期光磁気特性と耐食性試験を行なった。
結果は第4表に示す。
第4表から明らかな通シ、いずれの試料も優れた光磁気
特性と耐食性を示した。
実施例2 TbFeCo合金に対し、実施例1と同様、Cuに。
Sb 、 Ag 、 Niをそれぞれ組合わした複合添
加物を加えた合金を作製し、試料番号25乃至27とし
て夫々について試験を行なった。
結果は第4表に示す。
第4表によれば、実施例1はどではないが、優れた光磁
気特性と耐食性を示した。
比較例4 試料番号20の組成のうちCuの量を増やした以外はま
ったく同様にして合金の磁化膜をfl:製し、試料番号
28として光磁気特性および耐食性を調べた。結果は第
4表に示す。
測定の結果、試料番号20に比較して、θに、Hcが低
下した。
比較例5 試料番号20の組成のうちCuの添加量を増やした以外
はまったく同様にして磁化膜を作製し、試料番号29と
して、光磁気特性、耐食性試験を行なった。結果は第4
表に示す。
測定の結果、試料番号20に比較して、θにおよびHa
の低下を招いた。
(発明の効果) 本発明の光磁気記録素子は、上述したように磁化膜自体
、極めて優れた耐食性を示すことにより、耐環境特性に
優れ、長期的な光磁気特性の安定性を得ることができ、
しかも、光磁気特性においても優れた特性を示すもので
ある。
【図面の簡単な説明】
図面は、本発明の光磁気記録素子の基本的構造を示す図
である。 1・−記録素子   2・−基体 4・・・非晶質垂直磁化膜

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基体上に少なくとも膜面と垂直な方向に磁化容易
    軸を有する非晶質磁性合金から成る磁化膜を有する光磁
    気記録素子において、該磁化膜が、第1成分としてCu
    、および第2成分としてAg、Sb、Niから選ばれる
    少なくとも1種とから成る複合添加物を含有することを
    特徴とする光磁気記録素子。
  2. (2)前記複合添加物が前記磁性合金に対し30ato
    m%以下、および前記第1成分が20atom%以下の
    量で含有される特許請求の範囲第1項記載の光磁気記録
    素子。
  3. (3)前記磁性合金がDyFeCoである特許請求の範
    囲第1項記載の光磁気記録素子。
JP3793285A 1985-02-26 1985-02-26 光磁気記録素子 Pending JPS61196448A (ja)

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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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