JPH063800B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法Info
- Publication number
- JPH063800B2 JPH063800B2 JP61168734A JP16873486A JPH063800B2 JP H063800 B2 JPH063800 B2 JP H063800B2 JP 61168734 A JP61168734 A JP 61168734A JP 16873486 A JP16873486 A JP 16873486A JP H063800 B2 JPH063800 B2 JP H063800B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- refractory metal
- heat treatment
- semiconductor device
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 23
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 23
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 claims description 22
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 claims description 11
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 7
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 claims description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 2
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 claims description 2
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 11
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910021341 titanium silicide Inorganic materials 0.000 description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005885 boration reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 description 1
- 238000010000 carbonizing Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/60—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体装置の製造方法に係り、特に大規模集
積回路（以下、LSIと称する）における電極・配線膜の
形成方法に関するものである。
積回路（以下、LSIと称する）における電極・配線膜の
形成方法に関するものである。
近年、LSIの高集積化に伴ってその素子の電極・配線
に、チタン(Ti)もモリブデン(Mo)などの高融点金属とそ
のシリコン化合物を使用する技術が種々提案されている
が、そのうちチタンのナイトライド化を例にとって第２
図を参照して説明する。
に、チタン(Ti)もモリブデン(Mo)などの高融点金属とそ
のシリコン化合物を使用する技術が種々提案されている
が、そのうちチタンのナイトライド化を例にとって第２
図を参照して説明する。
第２図は、例えば特開昭５８−46631号公報に示された
従来の半導体装置の製造方法を示すコンタクトホール部
分の断面図である。これは、第２図に示すように、シリ
コン基板１上のシリコン酸化膜２の表面にコンタクトホ
ール３を形成し、次いで、このコンタクトホール３を含
むシリコン基板１上にチタン膜を形成した後、450℃，
１５分間の熱処理をすることにより、チタンシリサイド
膜５ａを形成する。次に、シリコン酸化膜２上の未反応
チタン膜を除去したうえ、反応性スパッタリング法によ
りチタンナイトライド膜６ａを形成する。そして、アル
ミニウム合金膜７を形成した後にパターニングを行うこ
とにより、コンタクトホール３のバリア金属として、チ
タンシリサイド膜５ａとチタンナイトライド膜６ａの２
層膜を形成するのである。
従来の半導体装置の製造方法を示すコンタクトホール部
分の断面図である。これは、第２図に示すように、シリ
コン基板１上のシリコン酸化膜２の表面にコンタクトホ
ール３を形成し、次いで、このコンタクトホール３を含
むシリコン基板１上にチタン膜を形成した後、450℃，
１５分間の熱処理をすることにより、チタンシリサイド
膜５ａを形成する。次に、シリコン酸化膜２上の未反応
チタン膜を除去したうえ、反応性スパッタリング法によ
りチタンナイトライド膜６ａを形成する。そして、アル
ミニウム合金膜７を形成した後にパターニングを行うこ
とにより、コンタクトホール３のバリア金属として、チ
タンシリサイド膜５ａとチタンナイトライド膜６ａの２
層膜を形成するのである。
しかし、このような従来の半導体装置の製造方法では、
シリコン半導体基板１上にチタンシリサイド膜５ａを形
成した後、チタンナイトライド膜６ａとアルミニウム合
金膜７を形成しているため、工程が複雑になるという問
題点があった。さらには、チタンは非常に活性な金属で
あるため、チタンシリサイド膜の形成を通常の電気炉で
行なうと、その表面に酸化膜が形成されやすく、コンタ
クト不良が起こりやすいという問題点もあった。
シリコン半導体基板１上にチタンシリサイド膜５ａを形
成した後、チタンナイトライド膜６ａとアルミニウム合
金膜７を形成しているため、工程が複雑になるという問
題点があった。さらには、チタンは非常に活性な金属で
あるため、チタンシリサイド膜の形成を通常の電気炉で
行なうと、その表面に酸化膜が形成されやすく、コンタ
クト不良が起こりやすいという問題点もあった。
本発明は上記のような問題点を解消するためになされた
もので、工程が簡単で、チタンなどの高融点金属の表面
に酸化膜が形成されないようにした半導体装置の製造方
法を提供することを目的とする。
もので、工程が簡単で、チタンなどの高融点金属の表面
に酸化膜が形成されないようにした半導体装置の製造方
法を提供することを目的とする。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、シリコン基板上
の絶縁膜にコンタクトホールを形成する工程と、このコ
ンタクトホールを含むシリコン基板上に高融点金属膜を
形成する工程と、この高融点金属膜を酸素を含まない窒
化雰囲気，炭化雰囲気、硼化雰囲気のうちいずれかの雰
囲気中でそれぞれ所望の窒化膜厚，炭化膜厚，硼化膜厚
に変態させる比較的低温度の熱処理の後に比較的高温度
の熱処理で所望の金属シリサイド膜を形成する２ステッ
プ熱処理により、窒化膜／シリサイド膜，炭化膜／シリ
サイド膜，硼化膜／シリサイド膜のいずれかの２層膜を
形成する工程と、この２層膜上にアルミニウム膜または
アルミニウム合金膜を形成する工程とを具備するもので
ある。
の絶縁膜にコンタクトホールを形成する工程と、このコ
ンタクトホールを含むシリコン基板上に高融点金属膜を
形成する工程と、この高融点金属膜を酸素を含まない窒
化雰囲気，炭化雰囲気、硼化雰囲気のうちいずれかの雰
囲気中でそれぞれ所望の窒化膜厚，炭化膜厚，硼化膜厚
に変態させる比較的低温度の熱処理の後に比較的高温度
の熱処理で所望の金属シリサイド膜を形成する２ステッ
プ熱処理により、窒化膜／シリサイド膜，炭化膜／シリ
サイド膜，硼化膜／シリサイド膜のいずれかの２層膜を
形成する工程と、この２層膜上にアルミニウム膜または
アルミニウム合金膜を形成する工程とを具備するもので
ある。
本発明における半導体装置の製造方法では、シリコン基
板上のコンタクトホールのバリア金属として高融点金属
窒化膜、高融点金属炭化膜，高融点金属硼化膜のいずれ
かと高融点金属シリサイド膜の２層膜を同時に形成する
ことにより、工程が簡略化されるとともに、熱処理を酸
素を取り込まない構造の熱処理装置で行うことによっ
て、チタンなどの高融点金属表面に酸化膜が形成される
ことがなくなる。
板上のコンタクトホールのバリア金属として高融点金属
窒化膜、高融点金属炭化膜，高融点金属硼化膜のいずれ
かと高融点金属シリサイド膜の２層膜を同時に形成する
ことにより、工程が簡略化されるとともに、熱処理を酸
素を取り込まない構造の熱処理装置で行うことによっ
て、チタンなどの高融点金属表面に酸化膜が形成される
ことがなくなる。
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて説明する。
第１図は本発明による半導体装置の製造方法の一実施例
を示す工程断面図である。この実施例では、第１図(a)
に示すように、シリコン基板１上に従来と同様の方法に
てシリコン酸化膜２を形成するとともに、コンタクトホ
ール３を形成した後、このコンタクトホール３を含むシ
リコン基板１上にチタン膜４をスパッタリング法等によ
り形成する。次に、これを窒化雰囲気，例えばアンモニ
ア中で酸素を取り込まない構造の熱処理装置、例えばラ
ンプ加熱法により熱処理すると、第１図（ｂ）に示すよ
うにシリコン基板１上にはチタンシリサイド膜５とチタ
ンナイトライド膜６の２層膜が、シリコン酸化膜２上に
はチタンナイトライド膜６のみが形成される。このと
き、ランプ加熱による熱処理プロセスは、例えば、ハロ
ゲンランプを用い、600℃（３０秒）に予備加熱したう
え、さらに800℃（３０秒）に昇温させる２ステップ法
により容易に行なえる。ここで２ステップ法を用いるこ
とにより、比較的膜厚の厚いチタンナイトライド膜６と
化学的に安定なチタンシリサイド膜５とが得られる。次
いで、上記チタンナイトライド膜６の上に、第１図(c)
に示すように、アルミニウム合金膜７を形成した後、こ
れをパターニングすることにより、チタンシリサイド膜
５とチタンナイトライド膜６の２層膜をコンタクトホー
ル３のバリア金属とし、かつアルミニウム合金膜７をそ
の電極・配線膜として形成することができる。なお、図
中、同一符号は同一または相当部分を示している。
を示す工程断面図である。この実施例では、第１図(a)
に示すように、シリコン基板１上に従来と同様の方法に
てシリコン酸化膜２を形成するとともに、コンタクトホ
ール３を形成した後、このコンタクトホール３を含むシ
リコン基板１上にチタン膜４をスパッタリング法等によ
り形成する。次に、これを窒化雰囲気，例えばアンモニ
ア中で酸素を取り込まない構造の熱処理装置、例えばラ
ンプ加熱法により熱処理すると、第１図（ｂ）に示すよ
うにシリコン基板１上にはチタンシリサイド膜５とチタ
ンナイトライド膜６の２層膜が、シリコン酸化膜２上に
はチタンナイトライド膜６のみが形成される。このと
き、ランプ加熱による熱処理プロセスは、例えば、ハロ
ゲンランプを用い、600℃（３０秒）に予備加熱したう
え、さらに800℃（３０秒）に昇温させる２ステップ法
により容易に行なえる。ここで２ステップ法を用いるこ
とにより、比較的膜厚の厚いチタンナイトライド膜６と
化学的に安定なチタンシリサイド膜５とが得られる。次
いで、上記チタンナイトライド膜６の上に、第１図(c)
に示すように、アルミニウム合金膜７を形成した後、こ
れをパターニングすることにより、チタンシリサイド膜
５とチタンナイトライド膜６の２層膜をコンタクトホー
ル３のバリア金属とし、かつアルミニウム合金膜７をそ
の電極・配線膜として形成することができる。なお、図
中、同一符号は同一または相当部分を示している。
このように上記実施例によると、シリコン基板１上のシ
リコン酸化膜２にコンタクトホール３を形成した後、チ
タン膜を形成して、これを窒化雰囲気中でランプ加熱法
にて熱処理することにより、チタン膜の表面に酸化膜の
形成されないチタンシリサイド膜５とチタンナイトライ
ド膜６を同時に形成できるので、その２層膜を容易に、
しかも再現性良く形成することが可能となる。
リコン酸化膜２にコンタクトホール３を形成した後、チ
タン膜を形成して、これを窒化雰囲気中でランプ加熱法
にて熱処理することにより、チタン膜の表面に酸化膜の
形成されないチタンシリサイド膜５とチタンナイトライ
ド膜６を同時に形成できるので、その２層膜を容易に、
しかも再現性良く形成することが可能となる。
なお、上記実施例では、絶縁膜としてシリコン酸化膜を
用いたが、シリコン酸化膜中に砒素，リン，硼素いずれ
か１つ以上の不純物を含むものを用いてもよい。
用いたが、シリコン酸化膜中に砒素，リン，硼素いずれ
か１つ以上の不純物を含むものを用いてもよい。
また、以上ではチタンのナイトライド化を例にとり説明
したが、本発明は、その他のIV,V,VI族の金属の窒化，
炭化，硼化のいずれであっても同様に実施することがで
きる。
したが、本発明は、その他のIV,V,VI族の金属の窒化，
炭化，硼化のいずれであっても同様に実施することがで
きる。
さらに、本発明は、熱処理としてランプ加熱法によるも
のに限らず、酸素を取り込まない構造の熱処理チャンバ
を用いた任意の熱源にて熱処理を行うこともできる。ま
た、アルミニウム合金膜に代えてアルミニウム膜を用い
ることもできる。
のに限らず、酸素を取り込まない構造の熱処理チャンバ
を用いた任意の熱源にて熱処理を行うこともできる。ま
た、アルミニウム合金膜に代えてアルミニウム膜を用い
ることもできる。
以上のように本発明によれば、高融点金属窒化膜，高融
点金属炭化膜，高融点金属硼化膜のいずれかと高融点金
属シリサイド膜の２層膜を同時に形成することにより、
工程が簡略化されるとともに、酸素を取り込まない方法
による熱処理を行うことによって、高融点金属の表面に
酸化膜が形成されず、コンタクトホールのコンタクトを
良好ならしめることができる効果がある。さらには、２
ステップの熱処理法を用いることにより、比較的膜厚の
厚い高融点金属窒化膜，高融点金属炭化膜，高融点金属
硼化膜のいずれかと化学的に安定な高融点金属シリサイ
ド膜とが得られるため、コンタクトの信頼性が向上する
という効果がある。
点金属炭化膜，高融点金属硼化膜のいずれかと高融点金
属シリサイド膜の２層膜を同時に形成することにより、
工程が簡略化されるとともに、酸素を取り込まない方法
による熱処理を行うことによって、高融点金属の表面に
酸化膜が形成されず、コンタクトホールのコンタクトを
良好ならしめることができる効果がある。さらには、２
ステップの熱処理法を用いることにより、比較的膜厚の
厚い高融点金属窒化膜，高融点金属炭化膜，高融点金属
硼化膜のいずれかと化学的に安定な高融点金属シリサイ
ド膜とが得られるため、コンタクトの信頼性が向上する
という効果がある。
第１図(a)ないし(c)は本発明による半導体装置の製造方
法の一実施例を示す工程断面図、第２図は従来方法の一
例の説明に供する半導体装置のコンタクトホール部分の
断面図である。 １・・・・シリコン基板、２・・・・シリコン酸化膜、
３・・・・コンタクトホール、４・・・・チタン膜、５
・・・・チタンシリサイド膜、６・・・・チタンナイト
ライド膜、７・・・・アルミニウム合金膜。
法の一実施例を示す工程断面図、第２図は従来方法の一
例の説明に供する半導体装置のコンタクトホール部分の
断面図である。 １・・・・シリコン基板、２・・・・シリコン酸化膜、
３・・・・コンタクトホール、４・・・・チタン膜、５
・・・・チタンシリサイド膜、６・・・・チタンナイト
ライド膜、７・・・・アルミニウム合金膜。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大崎 明彦 兵庫県伊丹市瑞原４丁目１番地 三菱電機 株式会社エル・エス・アイ研究所内 (56)参考文献 特開 昭61−142739（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−153121（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】シリコン基板上の絶縁膜にコンタクトホー
ルを形成する工程と、 このコンタクトホールを含むシリコン基板上に高融点金
属膜を形成する工程と、 この高融点金属膜を酸素を含まない窒化雰囲気，炭化雰
囲気，硼化雰囲気のうちいずれかの雰囲気中でそれぞれ
所望の窒化膜厚，炭化膜厚，硼化膜厚に変態させる比較
的低温度の熱処理の後に比較的高温度の熱処理で所望の
金属シリサイド膜を形成する２ステップ熱処理により、
窒化膜／シリサイド膜，炭化膜／シリサイド膜，硼化膜
／シリサイド膜のいずれかの２層膜を形成する工程と、 この２層膜上にアルミニウム膜またはアルミニウム合金
膜を形成する工程と、 を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 【請求項２】高融点金属膜の熱処理をランプ加熱法にて
行うことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の半導
体装置の製造方法。 - 【請求項３】高融点金属としてIV,V,VI族の金属のいず
れかとすることを特徴とする特許請求の範囲第１項ない
し第２項のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61168734A JPH063800B2 (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | 半導体装置の製造方法 |
| KR1019870006103A KR900004441B1 (ko) | 1986-07-16 | 1987-06-16 | 반도체장치의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61168734A JPH063800B2 (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6324669A JPS6324669A (ja) | 1988-02-02 |
| JPH063800B2 true JPH063800B2 (ja) | 1994-01-12 |
Family
ID=15873426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61168734A Expired - Lifetime JPH063800B2 (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH063800B2 (ja) |
| KR (1) | KR900004441B1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5043300A (en) * | 1990-04-16 | 1991-08-27 | Applied Materials, Inc. | Single anneal step process for forming titanium silicide on semiconductor wafer |
| US5236868A (en) * | 1990-04-20 | 1993-08-17 | Applied Materials, Inc. | Formation of titanium nitride on semiconductor wafer by reaction of titanium with nitrogen-bearing gas in an integrated processing system |
| US5250467A (en) * | 1991-03-29 | 1993-10-05 | Applied Materials, Inc. | Method for forming low resistance and low defect density tungsten contacts to silicon semiconductor wafer |
-
1986
- 1986-07-16 JP JP61168734A patent/JPH063800B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-06-16 KR KR1019870006103A patent/KR900004441B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR880002263A (ko) | 1988-04-30 |
| JPS6324669A (ja) | 1988-02-02 |
| KR900004441B1 (ko) | 1990-06-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS61142739A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPS63133650A (ja) | 多結晶シリコン層上にシリサイドの接着層を形成する方法 | |
| JPS6213819B2 (ja) | ||
| KR0177534B1 (ko) | 반도체 장치 제조방법 | |
| JPH063800B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPH0464226A (ja) | 金属フッ化膜を備えた電子装置 | |
| JPS5910271A (ja) | 半導体装置 | |
| JP2522924B2 (ja) | 金属シリサイド膜の形成方法 | |
| JPS62262422A (ja) | ＴｉＳｉ２膜の形成方法 | |
| KR100199526B1 (ko) | 반도체 장치 및 그 제조방법 | |
| JP2946543B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPH041497B2 (ja) | ||
| JPS6074675A (ja) | 半導体装置 | |
| JPH03198329A (ja) | 配線形成方法 | |
| JPH01291450A (ja) | 半導体装置 | |
| JP2555754B2 (ja) | 薄膜形成方法 | |
| JPH01231318A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPH01286447A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
| JPH02280378A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
| JPH0377661B2 (ja) | ||
| JPH042121A (ja) | チタンシリサイドの製造方法 | |
| JPH03163874A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPH0269979A (ja) | 半導体装置 | |
| JPH01202860A (ja) | 半導体装置 | |
| JPS63240017A (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |