JPH0636584Y2 - 基板収納容器 - Google Patents
基板収納容器Info
- Publication number
- JPH0636584Y2 JPH0636584Y2 JP1988113847U JP11384788U JPH0636584Y2 JP H0636584 Y2 JPH0636584 Y2 JP H0636584Y2 JP 1988113847 U JP1988113847 U JP 1988113847U JP 11384788 U JP11384788 U JP 11384788U JP H0636584 Y2 JPH0636584 Y2 JP H0636584Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- substrate storage
- side holding
- wafer
- storage container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988113847U JPH0636584Y2 (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | 基板収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988113847U JPH0636584Y2 (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | 基板収納容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0235448U JPH0235448U (US07709020-20100504-C00041.png) | 1990-03-07 |
JPH0636584Y2 true JPH0636584Y2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=31354053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1988113847U Expired - Lifetime JPH0636584Y2 (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | 基板収納容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0636584Y2 (US07709020-20100504-C00041.png) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0810196Y2 (ja) * | 1991-03-22 | 1996-03-27 | ヤマハ株式会社 | ウエハキャリア |
JP2585005Y2 (ja) * | 1992-06-04 | 1998-11-11 | 株式会社柿崎製作所 | 半導体ウエハ用バスケット |
JP2002329702A (ja) * | 2001-05-01 | 2002-11-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体基板洗浄治具と半導体基板洗浄治具へのウエハ挿入方法 |
JP5153399B2 (ja) * | 2008-03-19 | 2013-02-27 | 三洋電機株式会社 | 基板ケース及び処理方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60926U (ja) * | 1983-06-15 | 1985-01-07 | ソニー株式会社 | 半導体基板の収納容器 |
JPS60177642A (ja) * | 1984-02-24 | 1985-09-11 | Hitachi Ltd | 収納容器 |
JPS6139545A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-25 | Toshiba Ceramics Co Ltd | ウエ−ハ用キヤリヤ− |
-
1988
- 1988-08-29 JP JP1988113847U patent/JPH0636584Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0235448U (US07709020-20100504-C00041.png) | 1990-03-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW315326B (US07709020-20100504-C00041.png) | ||
JP3486416B2 (ja) | ヒト又は動物の細胞試料の処理方法及び処理装置 | |
JP3713447B2 (ja) | 現像処理装置 | |
US5236515A (en) | Cleaning device | |
KR101891358B1 (ko) | 기판 세정 장치 및 세정 방법 | |
JP4634333B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JPH0636584Y2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP3686822B2 (ja) | 現像処理装置および現像処理方法 | |
JP3623315B2 (ja) | 円形薄板状物の支持治具 | |
US6340090B1 (en) | Substrate fixturing device | |
CN216827537U (zh) | 一种玻璃盖板清洗装置 | |
JPH0864667A (ja) | 半導体ウェハ用カセット | |
JP3118443B2 (ja) | ウェーハ洗浄装置 | |
JP2001252604A (ja) | 処理液吐出ノズルおよび液処理装置 | |
JPH11197614A (ja) | 多結晶体自動洗浄装置 | |
JP2000031108A (ja) | ウエハ洗浄・乾燥装置及びウエハの洗浄・乾燥方法 | |
JP2000243807A (ja) | 基板処理装置 | |
CN220873540U (zh) | 一种晶圆清洗结构、晶圆清洗设备 | |
JP2872895B2 (ja) | 基板保持カセット | |
JP3003017B2 (ja) | 洗浄処理装置 | |
JPS6234635Y2 (US07709020-20100504-C00041.png) | ||
JPS60106136A (ja) | 薄板状体の洗浄装置 | |
JPS63172428A (ja) | フオトレジスト現像装置 | |
JP4304476B2 (ja) | 浸漬処理用基板保持ユニットおよび浸漬処理用基板保持治具 | |
KR950010445Y1 (ko) | 반도체웨이퍼 지지캐리어 |