JPH0634643A - 検査セルの処理ステーション - Google Patents

検査セルの処理ステーション

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JPH0634643A
JPH0634643A JP5101640A JP10164093A JPH0634643A JP H0634643 A JPH0634643 A JP H0634643A JP 5101640 A JP5101640 A JP 5101640A JP 10164093 A JP10164093 A JP 10164093A JP H0634643 A JPH0634643 A JP H0634643A
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JP
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cell
measurement
magazine
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measuring
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JP5101640A
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Gottlieb Schacher
シャッヒャー ゴットリーブ
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F Hoffmann La Roche AG
Original Assignee
F Hoffmann La Roche AG
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 自動制御により多数の分析サンプルを連続的
に処理できる機能を備えていると共に、個々のサンプル
から得られる分析結果に対し融通のきく対応のできる性
能を備えた分析装置を提供すること。 【構成】 化学／生物化学的分析装置による検査に際
し、セル内のサンプルの蛍光偏光測定を行なうための処
理ステーションにして、分析装置はセルを搬送するコン
ベアを備えている。コンベアから外れた位置で蛍光偏光
測定を行なうために、当該処理ステーションはコンベア
から独立していて、またセル内のサンプルの蛍光偏光測
定を行なうための測定装置と、個々のセルをコンベアか
ら取り外し、取り外したセルを測定装置の測定位置に搬
送し、測定の終えたセルをコンベアの元の位置に戻すた
めの自動制御される位置替え／位置決め装置とを備えて
いることを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、化学／生物化学的分析
装置による検査に用いる、セル内のサンプルの蛍光偏光
測定を行なうための処理ステーションに係る。この分析
装置はセルを搬送するコンベアを備えている。
【０００２】
【従来の技術】自動分析装置は次の原理に則って操作さ
れるのが通例である。分析用のサンプルまたはサンプル
の一部を容器内に入れておき、このサンプルに試薬を加
えたり（ピペットによる添加）、攪拌または培養する等
の一連の処理工程を通じ、処理の途中および／または一
旦処理を終えてから繰り返し反応結果を測定することが
行なわれている。一般的な手順は次の通りである。分析
用サンプルの入った容器をコンベアに所定の順序で並
べ、それぞれの処理ステーションを通過させて検査が行
なわれる。遠心分析装置で汎用される一括処理法を行な
う場合には、サンプル容器すべてをキャリア（ロータ）
に設置し、処理工程と測定を同時に実施する操作が行な
われる。この操作原理に則った分析装置は、多数のサン
プルを処理しなければならない大きな診療所や分析セン
ターにとりその果たす役割は大きい。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、今日行
なわれている様々な種類の分析の実態、および診療化学
とりわけ免疫学検査における医学的要望の見地から、大
量のサンプル処理用に従来から使用してきた自動分析装
置では多数の患者のサンプルを取り扱うことはできて
も、個々の患者の病状すなわち臨床像に見合う分析手法
（完全なランダムアクセス）を取り入れられる余地はな
い。検査に際しサンプルと試薬の混合液の吸光測定の他
に、同じ分析装置により混合液の蛍光偏光測定を行なえ
ると都合がよい。
【０００４】このため、広義に解釈するなら、本発明の
ねらいは、多数の分析サンプルを処理できると共に、個
々のサンプルから得られる分析結果に対し融通のきく対
応のできる分析装置を提供することにある。具体的に言
えば、本発明のねらいは、前述した分析装置に用いる蛍
光偏光測定に適した処理ステーションを提供することに
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、明細書
の冒頭で指摘した形式の処理ステーションを用いれば前
記ねらいは達成される。処理ステーションは、コンベア
から独立している点に特徴があり、また、 ａ）セル内のサンプルの蛍光偏光測定を行なうための測
定装置と、 ｂ）個々のセルをコンベアから取り外し、取り外したセ
ルを測定装置の測定位置に搬送し、測定の終えたセルを
コンベアの元の位置に戻すための自動制御される位置替
え／位置決め装置とを備えていることを特徴としてい
る。
【０００６】好ましくは、位置替え／位置決め装置は、
蛍光偏光測定に際しセルを外部の光から遮断する枢動可
能なフードと、位置替え／位置決め装置の可動構成要素
の運動を制御し且つフードを枢動させる手段とを備えて
いる。
【０００７】好ましい実施例では、位置替え／位置決め
装置は、コンベアの異なる２つの位置から随意にセルを
取り出し、取り出したセルを測定装置の測定位置に搬送
し、測定の終えたセルをコンベアの元の位置に戻すため
の手段を備えている。
【０００８】本発明にかかる処理ステーションは、「分
析装置」の名称の欧州特許出願 No.92105903.9に詳しく
記載されている分析装置に使用するとよい結果が得られ
る。ここでは出願番号を引用して内容の説明に代える。
【０００９】
【実施例】以下、添付図面を参照しながら本発明に係る
処理装置の一実施例につき説明する。本発明に係る処理
ステーション３について説明する。この処理ステーショ
ンは、化学／生物化学的分析装置による検査に際し、セ
ル２内のサンプルの蛍光偏光測定を行なうためのもので
ある。
【００１０】分析装置は、図１、図２、図７および図８
に部分的に示す円形のロータマガジン１を備えている。
ロータマガジン１は、分析装置内にあってこのロータマ
ガジンの周囲に配置された個々の処理ステーションにセ
ルを搬送するコンベアとしての働きをする。ロータマガ
ジンは、（添付図面に示していない）駆動装置により正
確な角度毎に両方向に回転移動させることができる。
【００１１】セル２のフランジ２ａは、ロータマガジン
１の周縁４の３６０／ｎ度で求められる任意の位置に配
置された板ばね５により保持されている。ここで、ｎは
任意の位置の総数を表している。ロータマガジン１は軸
６を中心として回転するように装着され、例えば、コン
ピュータ制御ステップモータ（図示せず）により駆動さ
れる。従って、本発明に係る処理ステーション３に対し
てロータマガジン１の各任意位置を求め蛍光偏光測定を
行なうことができる。
【００１２】セル２はロータマガジンの外縁に保持され
ている。すなわち、セルは上側表面にフランジ２ａを備
え、このフランジはロータマガジンの回転軸に直角な平
坦環状表面に載っている。セルの一方の壁面はロータマ
ガジンのほぼ円筒形をした外側表面に当接し、またセル
は板ばね５の弾性突起により保持されている。板ばねの
弾性突起はセルの上部を半径方向に突き出し、それぞれ
のセル位置に符合して設けられている。弾性突起の下側
には、セルフランジ２ａの凹所に係合する突起（図示せ
ず）が形成されている。こうしてできた弾性ホルダー
は、マガジンの回転中にセルが外れないようセルを確実
に保持している。ただし、手の操作または機械的な掴み
機構を用いて弾性ホルダーからセルを簡単に取り外した
り挿入することもできる。
【００１３】ロータマガジンおよびその操作についての
詳細な説明は、「分析装置用コンベア」の名称の欧州特
許出願 No.92105902.8に記載されている。ここでは出願
番号を引用して内容の説明に代える。
【００１４】内容物について蛍光偏光測定の行なわれる
セル２は、ロータマガジン１により処理ステーション３
の取扱領域内に移され、この領域にてセルの１つが掴ま
れ、掴んだセルを測定位置に移動し、測定を終えた後に
セルをロータマガジンに戻す操作が行なわれる。
【００１５】処理ステーション３は、ロータマガジンに
対し正確な所定の位置に配置されている。
【００１６】図１および図２に詳しく示すように、処理
ステーション３はセル２内のサンプルの蛍光偏光測定を
行なう装置３３と位置替え／位置決め装置を備えてい
る。この位置替え／位置決め装置は、ロータマガジンか
ら個々のセル２を取り出し、取り出したセルを測定装置
３３の測定位置に搬送し、測定を終えたセルをロータマ
ガジンの元の位置に戻す働きをする。
【００１７】位置替え／位置決め装置は以下のように構
成されている。掴み装置７はスライド８を介して旋回ア
ーム９の案内トラック１１に連動し、掴み装置７の挟み
１３は水平かつ長手方向にまたロータマガジン１の回転
軸６に対し半径方向に案内される。
【００１８】挟み１３はスライド８から突き出た保持ア
ーム１２に配置され、セル２がロータマガジン１内を搬
送される際の平面に一致する面内で掴み動作が行なわれ
る。従って、挟み１３を軸６に対し半径方向に移動させ
てセル２に係合さすことができる。
【００１９】アーム１２のベアリングブロック１４には
掴み装置制御シャフト１５が装着され、揺動体の形態を
した稼働掴み手段１６がシャフト１５の一方の端部に回
転不能な状態に連結されている。ロータに近い側の手段
１６の端部は、セルのフランジ２ａの凹所２ｂ（図３参
照）に確実に係合する下向きに突き出た突起１７を備え
ている。ロータとは反対側に位置する掴み手段１６の端
部は圧縮ばね１８を介してアーム１２に支持されてい
る。掴み手段を閉じる向きに動かすと、アーム１２に一
体的に形成されたベアリングテーブル１９に対しフラン
ジ２ａを押さえ付けるようになる。適切な作動により、
前述した装置はセル２を確実に掴み、このセルをマガジ
ン１から外し、測定面内にある測定位置にセルを搬送
し、セルを再びマガジン１に戻す操作が行なわれる。
【００２０】手段１６の掴み運動は、制御ディスク２１
の表面に配置されたカム２２ａ、２２ｂにより行なわ
れ、走行体２３および旋回クランクアーム２４を介して
シャフト１５に伝達される。
【００２１】旋回アーム９は、案内ローラ２５を持つ伸
長アーム２６を介し、ロータマガジン１の回転軸６に一
致する軸２８を中心として制御ディスク２１の下側に形
成された制御溝２７内を移動することができる。従っ
て、制御ディスク２１が適切に回転すれば、アームは中
立位置（図３）から一方の向きまたは反対の向きに以下
に列挙するほぼ３つの角度位置に移動することができ
る。 １．挟み１３がロータマガジン１の任意位置Ａ（図４）
にあるセル２と半径方向に一致する角度位置。 ２．挟み１３が測定面（図５）内にある角度位置。 ３．挟み１３がロータマガジン１の任意位置Ｂ（図６）
にあるセル２と半径方向に一致する角度位置。
【００２２】例えば、アーム９が任意位置ＡまたはＢか
ら測定面にかけて枢動する角度はどれも３６０／ｎ度に
設定することができる。すなわち、アーム９がＡよりＢ
に枢動する際の移動角度は２×３６０／ｎ度である。
【００２３】制御ディスク２１の上側表面にある制御溝
２９により挟み１３は軸３の向きに半径方向に移動し、
任意位置ＡまたはＢからセルを掴んだり半径方向に動い
て戻し、あるいはロータマガジン１からセル２を取り外
し、この取り外したセルを測定装置３３の測定位置まで
搬送したり、セル２を反対向きに移動させてロータマガ
ジン１に戻すことができる。掴み装置７のスライド８
は、ピン３１および案内ローラ３２を介し制御溝２９に
作動連結されている。ロータ軸６に対し半径方向に位置
する掴み装置７は、制御ディスク２１の運動方向に関係
なく中立位置（図３）から以下に列挙する２つの個別位
置まで移動することができる。 １．セル２を掴むかまたはセルをロータマガジン１から
搬送するロータ付近の位置（図４、図６および図７）。 ２．ロータとは反対側の位置（測定位置、図５および図
８）。
【００２４】制御ディスク２１はベースプレート３４に
固定したシャフトに回転可能に装着され、ベースプレー
ト３４と制御ディスク２１の間にはレバー９の伸長アー
ム２６が配置され、案内ロール２５は制御溝２７に係合
することができる。ベースプレート３４はケーシングの
ベース３６に調節可能に取り付けられ、掴み装置７をロ
ータマガジンに対し正確に位置決めすることができる
（図７および図８）。モータ（図示せず）は、歯付きホ
イール３７と歯付きベルト３８を介して制御ディスク２
１を駆動する。制御ディスクは外縁に相対する歯３９を
備えている（図１および図２）。制御ディスクの回転は
コンピュータにより制御されモニターされている。
【００２５】前述した切替え／位置決め装置の構成要素
は以下のように連動する。制御溝２７、２９を１つの制
御ディスク上に形成し、コンピュータ制御ステップモー
タ（図示せず）により同期的に駆動させるため、アーム
９の枢動運動が掴み装置７の直線運動にオーバーラップ
するようになる。そうした運動は軸６に対し半径方向に
生じ、その結果、以下のような総合的な運動が行なわれ
る。
【００２６】掴み装置７が図３に示すような中立位置に
あれば、旋回アーム９と掴み装置７の案内ローラ２５、
３２は制御ディスク２７、２９のカムの対応位置２７
ａ、２９ａに係合している。
【００２７】ロータマガジン１が適当な位置に停止する
と、速やかに制御ディスク２１を回転させて任意位置Ａ
またはＢからセル２を取り出すことができる。
【００２８】制御ディスク２１が反時計方向に回転する
と、制御溝２７の部分２７ｂにより制御されているアー
ム９は先ず時計方向に３６０／ｎ度枢動し、マガジン１
の任意位置Ａの前方の場所（カム２７の部分２７ｃ）ま
たはセル２の前方の場所に留まるようになる。次に、カ
ム２９の部分２９ａにより、スライド８または案内ロー
ラ３２を介しロータ１に向けて掴み装置７の移動が行な
われる。その際、挟み開口機構１５、２４のローラがデ
ィスク２１に固定設置された制御カム２２ａ上を走行
し、挟み１３を開く。挟み１３が掴み位置にあれば、カ
ム２２ａまたは圧縮ばね１８は挟み１３を閉じる。カム
２９の部分２９ｃが動くと、挟み１３は戻り運動するか
またはロータ１からセル２を取り外す動きをする（図
４）。セル２をロータ１から取り外すと、旋回アーム９
の案内ローラ２５はカム２７の部分２７ｄに達し、アー
ム９を反時計方向に３６０／ｎ度にわたり枢動させその
場所（２７の部分２７ｅ）に留まる。
【００２９】挟み１３がロータとは反対側の端部位置に
到達する際（制御ローラ３２がカム２９の部分２９ｄに
あれば）、速やかにセル２は測定装置３３の測定位置に
遮断状態に配置される。次いで、制御ディスクは停止さ
れ測定が行なわれる。
【００３０】測定の後、制御ディスク２１は時計方向に
駆動され、測定を終えたセルはロータマガジン１または
任意位置Ａまで反対向きに戻される。
【００３１】掴み装置７は中立位置に戻り、制御ディス
クの駆動は停止される。セル２が測定ステーション３３
に移される際、ロータマガジンも回転を続け他にも操作
が行なわれる。ロータ１に戻されるセル２は元あった位
置を占めていなくてはならない。
【００３２】掴み装置７が任意位置Ｂからセル２を取り
出す際、制御ディスク２１は中立位置から時計方向に動
かされる。旋回アーム９の制御ローラ２５はカム２７の
部分２７ｆを走行し、アーム９を反時計方向に３６０／
ｎ度にわたり枢動し、任意位置Ｂと半径方向に整合した
状態（２７の部分２７ｇ）を保つようになる。挟み１３
は、カム２９の部分２９ｅによりロータ軸６の向きに半
径方向に動かされる。制御ディスクに設けた別のカム２
２ｂは挟み１３の動きを制御する。セル２は、任意位置
Ａの場合では既に説明したようにして、測定位置までま
たは測定位置から搬送される。アーム９は制御溝２７の
部分２７ｈを介して測定面内に枢動され、制御溝２９の
部分２９ｆを介し測定位置への直線運動が行なわれる。
【００３３】前述した好ましい制御ステーション３の実
施例を用いれば、例えば、空のセルのブランク測定（bl
ank measurement)を任意位置Ａから行なえ、検査用サン
プルを収納したセルの試験を任意位置Ｂから行なうこと
ができる。この方法によれば測定に要する時間を短縮で
きる。
【００３４】単純な形態の位置替え／位置決め装置を持
つ前述した処理ステーション３の実施例において、セル
２を常にロータマガジン１の同じ場所から取り出すよう
に変更することもできる。この変更例を分析装置に取り
入れた手順を採用すれば、測定するサンプルを入れたセ
ルを別の任意位置からアイドリング測定する設備は不要
となる。
【００３５】図１および図２に概略的に示した蛍光偏光
測定を行なう測定装置３３につき、図７、図８および図
９に基づいて詳細に説明する。
【００３６】図９は、測定装置３３の光学構造を概略的
に示している。測定装置は、概ねハロゲンランプ６３か
らなる測定用光源４６、レンズ装置６４および励起波長
用の干渉フィルタ６５を備えている。光の強さをモニタ
ーしたり、コンピュータを使用して光度変化を補償する
ために、測定用光源４６の経路内に分光器６６が配置さ
れている。分光器６６は、付加処理用信号を送る発光ダ
イオード６７に測定光線の一部を送る働きをする。測定
光線はセルを通り抜け、セルの内容物を励起する。蛍光
偏光測定に際し、セル２に収容したサンプルから発散す
る光はレンズ装置６８および干渉フィルタ７１を通じて
光電子増倍管に送られ、測定結果に見合う信号が発せら
れる。サンプルから発散する光の経路内に配置され、且
つモータ（図示せず）により駆動される偏光器を使用す
れば、異なった２つの測定、すなわち０度または９０度
の偏光角度での測定を行なうことができる。
【００３７】図１、図２、図７および図８に示すよう
に、測定用光源４６はケーシング４５内に配置され、ま
たケーシング４９内には光電子増倍管５１が配置されて
いる。図７および図８に示すように、光電子増倍管５１
の測定ダクト５６はスライド５７により閉鎖可能であ
る。セル２が測定位置にあれば、あるいはセルが測定位
置を占める時にだけ、開口５８はスライドを通して光電
子増倍管ケーシング４９の入口開口５６と整合する。掴
み装置７のキャリジ８上の当接面５９はスライド５７に
直接作用し、この動きによりスライド５７の動作が行な
われる。スライドの閉鎖運動は、例えば、板ばね（図示
せず）により行なうことができる。スライド５７を閉じ
た時点で、遮光状態の下で光電子増倍管電流の測定を行
なうことができる。
【００３８】測定が行なわれている間、測定光は出口開
口６１（図８）から測定セル２を通じロータマガジン軸
６に向かう方向に水平に送られる。測定光はセルの内容
物を通り内容物に光の照射が行なわれ、またフード４１
の前方壁４２に設けた小さな開口を通じて測定チャンバ
の外に逃げるようにしてあり、干渉反射を防ぐことがで
きる。
【００３９】セルの内容物に関する情報の得られる発散
光は、セルの真下に配置された光電子増倍管５１により
測定される。
【００４０】好ましい実施例の処理ステーション３はフ
ード４１を備えている。このフードは掴みアーム１２に
沿って９０度の範囲で枢動するように装着され、前方壁
４２、２つの側壁４３およびカバー壁を備えている。
【００４１】図１、図３、図４、図６および図７に示す
ように、掴み１３が測定装置３３の測定位置から外れた
位置でセル２を保持する際、フード４１はほぼ水平の状
態にあり、セル２は露出していてフード４１が所定の搬
送工程の邪魔となることがない。
【００４２】図２、図５および図８に示すように、掴み
１３が測定装置３３の測定位置にセルを保持した状態
で、フード４１は９０度回転して縦向きになり、セルの
四方を取り囲み、ケーシング４５、４９の壁と一緒にな
って外部の光からセルを遮蔽する暗室を形成する。
【００４３】フード４１の動作を制御するために、旋回
アーム９とフード４１の制御溝５３に係合する制御ピン
５４の端部とに伸長アーム５２を固定してある。ピン５
４はフード４１の軸５５から縦に間隔を置いて配置され
ている（図７、図８）。軸５５に対するピン５４の動き
により、すなわち測定位置に向けて掴み装置７が移動し
ながらキャリッジ８がアーム９の側部１１に沿って動く
際、この動きにつれてフード４１は回転し（図７および
図８参照）、図２、図５および図８に示す状態に至る。
【００４４】前述したフード４１の動作制御手段から明
らかなように、フードの動作は位置替え／位置決め装置
の動作を制御するのと同じ手段により制御されている。
【００４５】例えば、蛍光偏光測定を行なう場合には、
測定するセル２は外部の光から遮断する必要がある。す
なわち、測定は暗室の中で行なわなくてはならない。測
定位置３３にあるセル２は、掴みアーム１２に設置のフ
ード４１により暗く保たれている。フードは９０度にわ
たり旋回可能であり、測定装置３３内でのセル２の測定
中、４面すなわち前方壁４２、２つの側壁４３および天
井壁４４により実質的にセル２を取り囲んでいる。
【００４６】測定位置３３において、掴み１３、セル２
およびフード４１は測定用光源のケーシング４５の上方
に持ち上るようにされ、ケーシングは暗室の事実上の後
方壁４７を構成している。暗室の床４８は、測定チャン
ネルを成す光電子増倍管ケーシング４９の一部分により
形成されている。
【００４７】掴み１３が測定位置３３から外れた位置に
あれば、フード４１は９０度旋回されセル２は露出して
いるため搬送工程の障害にならない。
【図面の簡単な説明】
【図１】測定セルを掴んでロータマガジンから取り出す
時期の処理ステーションを示す斜視説明図。
【図２】セルが測定位置、すなわち蛍光偏光測定を行な
う位置にある、図１の処理ステーションを示す斜視説明
図。
【図３】中立開始状態にある、図１の処理ステーション
を示す平面図。
【図４】ロータマガジンの任意位置Ａに対する掴み位置
を占める、図１の処理ステーションを示す平面図。
【図５】セルを測定装置の測定位置に移した状態を示
す、図２の処理ステーションの平面図。
【図６】ロータマガジンの任意位置Ｂに対する掴み位置
を占める、図１の処理ステーションを示す平面図。
【図７】図４の矢印VII の方向に見た処理ステーション
の一部断面側面図。
【図８】図５の矢印VIIIの方向に見た処理ステーション
の一部断面側面図。
【図９】セル内のサンプルの蛍光偏光測定を行なう測定
装置の構造を示す概略図。
【符号の説明】
１ ロータマガジン ２ セル ３ 処理ステーション ７ 掴み装置 ８ スライド ９ 旋回アーム １１ 案内トラック １２ 保持アーム １３ 掴み １４ ベアリングブロック １５ 掴み制御シャフト １６ 可動掴み手段 ２１ 制御ディスク ２２ａ、２２ｂ カム ２３ 走行体 ２４ 旋回クランクアーム ２５ 案内ローラ ２６ 伸長アーム ２７ 制御溝 ２９ 制御溝 ３１ ピン ３２ 案内ローラ ３３ 測定装置 ３４ ベースプレート ３６ ベース ３７ 歯付きホイール ３８ 歯付きベルト ４１ フード ４２ フードの前方壁 ４３ 側部壁 ４５ ケーシング ４６ 測定用光源 ４７ 後方壁 ４８ 床 ４９ ケーシング ５１ 光電子増倍管 ５２ 伸長アーム ５３ 制御溝 ５４ 制御ピン ５５ 軸 ５６ 測定ダクト ５７ スライド ６１ 出口開口 ６２ 小さな開口

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 化学／生物化学的分析装置による検査に
    際し、セル内のサンプルの蛍光偏光測定を行なうための
    処理ステーションにして、分析装置はセルを搬送するコ
    ンベアを備えており、当該処理ステーションはコンベア
    から独立していることに特徴があり、また、 ａ）セル内のサンプルの蛍光偏光測定を行なうための測
    定装置と、 ｂ）個々のセルをコンベアから取り外し、取り外したセ
    ルを測定装置の測定位置に搬送し、測定の終えたセルを
    コンベアの元の位置に戻すための自動制御される位置替
    え／位置決め装置とを備えていることを特徴とする検査
    セルの処理ステーション。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載された検査セルの処理ス
    テーションにおいて、位置替え／位置決め装置は、蛍光
    偏光測定の間、セルを外部の光から遮断する枢動可能な
    フードと、位置替え／位置決め装置の可動構成要素の運
    動を制御し且つフードを枢動させる手段とを備えている
    ことを特徴とする検査セルの処理ステーション。
  3. 【請求項３】 請求項１に記載された検査セルの処理ス
    テーションにおいて、位置替え／位置決め装置は、コン
    ベアの異なる２つの位置から随意にセルを取り出し、取
    り出したセルを測定装置の測定位置に搬送し、測定の終
    えたセルをコンベアの元の位置に戻すための手段を備え
    ていることを特徴とする検査セルの処理ステーション。
JP5101640A 1992-04-30 1993-04-28 検査セルの処理ステーション Pending JPH0634643A (ja)

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