JPH0633090U - Lsiテスタ - Google Patents
LsiテスタInfo
- Publication number
- JPH0633090U JPH0633090U JP2978591U JP2978591U JPH0633090U JP H0633090 U JPH0633090 U JP H0633090U JP 2978591 U JP2978591 U JP 2978591U JP 2978591 U JP2978591 U JP 2978591U JP H0633090 U JPH0633090 U JP H0633090U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- performance board
- contact pin
- test head
- lsi tester
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定信号の品位の向上を図ったLSIテスタ
に関する。 【構成】 コンタクトピンが設けられているコンタクト
リングに対して回転可能に取り付けられ、周面には上端
が開口したL字形の溝が形成され、この溝はL字形の横
線部が傾斜溝になっている回転リングと、パフォ−マン
スボ−ド上に搭載され、テストヘッドに向かって伸びた
ア−ムの先端に傾斜溝に係合する係合部を有した固定リ
ングと、を設け係合部をL字形の溝へ挿入し、回転リン
グを回転することにより、傾斜溝に沿って係合部を押し
下げ、固定リングによってパフォ−マンスボ−ドをコン
タクトピンに押圧して固定するようにしたLSIテス
タ。
に関する。 【構成】 コンタクトピンが設けられているコンタクト
リングに対して回転可能に取り付けられ、周面には上端
が開口したL字形の溝が形成され、この溝はL字形の横
線部が傾斜溝になっている回転リングと、パフォ−マン
スボ−ド上に搭載され、テストヘッドに向かって伸びた
ア−ムの先端に傾斜溝に係合する係合部を有した固定リ
ングと、を設け係合部をL字形の溝へ挿入し、回転リン
グを回転することにより、傾斜溝に沿って係合部を押し
下げ、固定リングによってパフォ−マンスボ−ドをコン
タクトピンに押圧して固定するようにしたLSIテス
タ。
Description
【0001】
本考案は、高周波測定用タイプのLSIテスタに関し、更に詳しくは、テスト ヘッドを被検査対象デバイス(以下、DUTと省略する)に極力近接して設ける ことによって測定信号の品位の向上を図ったLSIテスタに関する。
【0002】
図5は、従来のLSIテスタのテストヘッド部の分解構成斜視図である。図中 、10はテストヘッド、20はテストヘッド側10とハンドラ側(図6参照)を 電気的に接続するパフォマンスボ−ドで、ロ−ラ貫通穴21がテストヘッド10 側に設けられている作用腕11に挿入されて、コンタクトリング12に搭載され る。 コンタクトリング12は、複数のコンタクトピン121が植設されていて 、パフォ−マンスボ−ド20のパッドと電気的に接続される。尚、図においては 、一部のコンタクトピン121のみを示している。 30はパフォマンスボ−ド20をテストヘッド10に押圧する円形状の押付け リングで、外周に沿って等間隔に4個のテ−パブロック31が設けられている。
【0003】 押付けリング30は、押えリング301と回転リング302とからなっていて 、回転棒32を両手でθ方向に回転すると、回転リング302のみがそれにとも なって回転し、作用腕11の先端に設けられている回転ロ−ラ111がテ−パブ ロック31上を登っていく。 このため、押付けリング30は、矢印D方向に変位しパフォ−マンスボ−ド2 0を押し下げ、パフォ−マンスボ−ド20のパッドをテストヘッド10のコンタ クトピン121に強く押し付ける。 これによって、パフォマンスボ−ド20は、テストヘッド10間で電気的な接 続が確実になされる。
【0004】 図6は、図5に示したLSIテスタをハンドラに接続した場合の要部側面図で ある。図中、図5と同一作用をするものは同一符号を付けて説明する。以下図面 においては同様とする。40はDUTを供給するハンドラで、テストヘッド10 側の接続用ソケット22に接続されるテストヘッド接続用ソケット41が設けら れている。ハンドラ40は、このテストヘッド接続用ソケット41によってテス トヘッド10と接続されるが、作用腕11が押付けリングよりさらに高さh突出 しているために、中継ソケット42等を介して接続用ソケット22に接続されて いる。
【0005】
ハンドラがぶつからないように中継ソケットを設けなければないために、テスト ヘッドとハンドラ間の信号経路が長くなってしまい、測定信号の品位が低下して しまうという欠点を有する。
【0006】 本考案は、このような点に鑑みてなされたもので、パフォ−マンスボ−ドとハ ンドラの接続距離を短くして信号品位の維持を図り、LSIを高精度に測定する ことができるLSIテスタを提供することを目的としている。
【0007】
測定する被検査対象デバイスにあわせて交換されるパフォ−マンスボ−ドをテ ストヘッドのコンタクトピンに押し付けて固定し、パフォ−マンスボ−ド上に搭 載される被検査対象デバイスを検査するLSIテスタであって、 前記コンタクトピンが設けられているコンタクトリングに対して回転可能に取 り付けられ、周面には上端が開口したL字形の溝が形成され、この溝はL字形の 横線部が傾斜溝になっている回転リングと、 前記被検査対象デバイスと重ならない位置で、前記パフォ−マンスボ−ド上に 搭載され、前記テストヘッドに向かって伸びたア−ムの先端に前記傾斜溝に係合 する係合部を有した固定リングと、 を設け、前記係合部を前記L字形の溝へ挿入し、前記回転リングを回転するこ とにより、前記傾斜溝に沿って前記係合部を押し下げ、前記固定リングによって 前記パフォ−マンスボ−ドを前記コンタクトピンに押圧して固定することを特徴 としている。
【0008】
本考案の各構成要素は、次のような作用をする。 回転リングは、テストヘッドのコンタクトリングに回転可能に取り付けられて いる。 固定リングは、パフォ−マンスボ−ド上に搭載されて設けられ、回転リングの 回転によってパフォ−マンスボ−ドをコンタクトピンに押圧する。
【0009】
以下図面を用いて、本考案の一実施例を詳細に説明する。図1は、本考案に係 るLSIテスタのテストヘッド部の一実施例を示す分解構成斜視図である。図中 、50は回転リングで、長穴51がコンタクトリング12の外周に設けられた4 個のガイドシャフト122に嵌め込まれて取り付けられている。 回転リング50は、回転リング50と一体になっているハンドル52が固定位 置Fまで移動されると長穴51がガイドシャフト122に沿って移動し、コンタ クトリング12の外周に沿って回転する。
【0010】 回転リング50が取り付けられたコンタクトリング12には、パフォ−マンス ボ−ド20が搭載され、更にパフォ−マンスボ−ド固定リング60が搭載される 。 パフォ−マンスボ−ド20は、配線パッド(図省略)とコンタクトピン12 1の位置合わせが簡単にできるように、コンタクトリング12の位置決め用ピン 123に対して嵌め込まれる位置決めよう穴22が設けられている。 パフォ−マンスボ−ド固定リング60は、リング61の4か所にア−ム62が 設けられていて、その先端には回転ロ−ラ621が取り付けられている。
【0011】 53は回転リング50の周面の上端側に開口部531を有したL字形の溝(以 下、L字溝と省略する)で、ア−ム62の回転ロ−ラ621がパフォマンスボ− ド20のロ−ラ貫通穴21を介して開口部531から挿入されて取り付けられる 。 L字溝53は、ハンドルが解放位置Eから固定位置Fまで移動されると回転 リング50が回転して、円周方向に設けられている傾斜溝532によって回転ロ −ラ621を矢印D方向に押し下げる。 このため、パフォ−マンスボ−ド固定リング60は、下方に変位し、パフォ− マンスボ−ド20をコンタクトピン121に強く押し付ける。
【0012】 図2は、図1のA−A´断面図であり、図3は図2をa視の方向から見た要部 構成図、図4は図2をb視の方向から見た要部構成図である。回転リング50は 、長穴51の下方に設けられた開口部511からガイドシャフト122に挿入さ れ、コンタクトリング12に取り付けられる。回転リング50は、長穴の距離r 1 が回転範囲になっていて、ハンドルを解放位置Eと固定位置F間を移動するこ とによって回転される。 L字溝53は、開口部531側から下方に向かって距離r2 の傾斜溝532が 設けられていて、先端側には距離r3 の水平部533が設けられている。
【0013】 開口部531から挿入された回転ロ−ラ621は、回転リング50が回転され ると傾斜溝532に沿って、距離dだけ下方に引き下げられ、水平部533で固 定される。この時、パフォ−マンスボ−ド20とパフォ−マンスボ−ド固定リン グ60は、コンタクトピン121のばね力によって矢印U方向に押し上げられて いるために、回転ロ−ラ621は、この位置で安定に固定される。 尚、図4の破線で示されたア−ム62及び回転ロ−ラ621は、ハンドル52 が固定位置Fに移動した場合の説明で、図においては横方向に移動したように示 してあるが、実際は、取り付け位置Bに止どまっていて下方向に距離dだけ変位 するのみである。
【0014】 次に、上記構成の組み立て方法と動作について説明する。先ず、回転リング5 0をコンタクトリング12の外周に設けられた4個のガイドシャフト171に嵌 め込んで取り付ける。次に、パフォ−マンスボ−ド20の位置決めよう穴22を コンタクトリング12の位置決め用ピン123に挿入する。 パフォ−マンスボ−ド20は、位置決めよう穴22と位置決め用ピン123が 合わされることによって、パッドとコンタクトピン121が正確に位置合わせさ れる。 コンタクトリング12にパフォ−マンスボ−ド20が搭載された後、パフォ− マンスボ−ド固定リング60は、パフォ−マンスボ−ド20のロ−ラ貫通穴21 を介して長穴53の開口部531から挿入され、回転リング50に取り付けられ る。 この時、回転リング50のハンドル52の位置は、解放位置Eにある。
【0015】 両手で、それぞれのハンドル52を持ち、固定位置Fまでハンドルを移動する 。ハンドル52の移動によって、回転リング50は、コンタクトリング12に沿 って回転し、L字溝53と係止している回転ロ−ラ621が傾斜溝532に沿っ て距離dだけ下方に変位する。 この回転ロ−ラ621の変位にともない、パフォ−マンス固定リング60は、 同じ距離dだけ変位する。このため、パフォ−マンスボ−ド20は、コンタクト リング12のコンタクトピン121に強く押し付けられることになる。この時、 回転ロ−ラ50は、パフォ−マンスボ−ド20がコンタクトピン121のばね力 によって常に持ち上げられた状態にあるため水平部533で安定に固定される。
【0016】 次に、パフォマンスボ−ドの取り外しについて説明する。 ハンドル52が固定位置Fから解放位置Eまで移動される。ハンドル52の移 動にともなって、回転リング50は、コンタクトリング12に沿って回転し、回 転ロ−ラ621が傾斜溝532に沿って上方に距離dだけ変位する。 ハンドラ52が解放位置Eまでくると、回転ロ−ラ621は、開口部531か ら外すことができる状態になり、パフォ−マンス固定リング60は、上方に引き 上げられて回転リング50から取り外される。 パフォ−マンスボ−ド20は、パフォ−マンス固定リング60が外された後、 位置決め用ピン122から取り外される。 尚、回転リング50は、パフォ−マンスボ−ド20の交換の都度、コンタクト リング12から取り外す必要はなくメンテナンスの時だけ取り外せばよい。
【0017】
以上詳細に説明したように、本考案のLSIテスタは、パフォマンスボ−ドの 接続用ソケットとハンドラのテストヘッド接続用ソケットに直接接続するために 、パフォ−マンスボ−ドを下側からを引き込むようにしてコンタクトピンに押圧 するようにしたものである。このため、テストヘッドとDUT間の信号経路が短 くでき、測定信号の品位を落とすことなく高精度でLSIを測定することができ る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案に係るLSIテスタのテストヘッド部の
一実施例を示す分解構成斜視図である
一実施例を示す分解構成斜視図である
【図2】図1のA−A´断面図である。
【図3】図2をa視の方向から見た要部構成図である。
【図4】図2をb視の方向から見た要部構成図である。
【図5】従来のLSIテスタのテストヘッド部の分解構
成斜視図である。
成斜視図である。
【図6】図5に示したLSIテスタをハンドラに接続し
た場合の要部側面図である。
た場合の要部側面図である。
10 テストヘッド 20 パフォ−マンスボ−ド 50 回転リング 53 L字溝 531 傾斜溝 60 パフォ−マンスボ−ド固定リング 62 ア−ム 621 回転ロ−ラ
Claims (1)
- 【請求項1】 測定する被検査対象デバイスにあわせて
交換されるパフォ−マンスボ−ドをテストヘッドのコン
タクトピンに押し付けて固定し、パフォ−マンスボ−ド
上に搭載される被検査対象デバイスを検査するLSIテ
スタにおいて、 前記コンタクトピンが設けられている
コンタクトリングに対して回転可能に取り付けられ、周
面には上端が開口したL字形の溝が形成され、この溝は
L字形の横線部が傾斜溝になっている回転リングと、 前記被検査対象デバイスと重ならない位置で、前記パフ
ォ−マンスボ−ド上に搭載され、前記テストヘッドに向
かって伸びたア−ムの先端に前記傾斜溝に係合する係合
部を有した固定リングと、 を設け、前記係合部を前記L字形の溝へ挿入し、前記回
転リングを回転することにより、前記傾斜溝に沿って前
記係合部を押し下げ、前記固定リングによって前記パフ
ォ−マンスボ−ドを前記コンタクトピンに押圧して固定
することを特徴としたLSIテスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2978591U JP2550265Y2 (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | Lsiテスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2978591U JP2550265Y2 (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | Lsiテスタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0633090U true JPH0633090U (ja) | 1994-04-28 |
JP2550265Y2 JP2550265Y2 (ja) | 1997-10-08 |
Family
ID=12285659
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2978591U Expired - Lifetime JP2550265Y2 (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | Lsiテスタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2550265Y2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005315876A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-11-10 | Agilent Technol Inc | インターフェースをテスト機器に着脱可能に接続するための機構 |
JP2011013146A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Micronics Japan Co Ltd | 集積回路の試験装置 |
JP2011149950A (ja) * | 2003-03-31 | 2011-08-04 | Intest Corp | テストヘッド位置決めシステムと方法 |
-
1991
- 1991-04-26 JP JP2978591U patent/JP2550265Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011149950A (ja) * | 2003-03-31 | 2011-08-04 | Intest Corp | テストヘッド位置決めシステムと方法 |
JP2005315876A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-11-10 | Agilent Technol Inc | インターフェースをテスト機器に着脱可能に接続するための機構 |
JP2011013146A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Micronics Japan Co Ltd | 集積回路の試験装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2550265Y2 (ja) | 1997-10-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |