JP3422332B2 - Ｉｃ試験装置のｉｃ測定部位置認識装置 - Google Patents
Ｉｃ試験装置のｉｃ測定部位置認識装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣ測定部位置認識
装置に関し、特にＣＣＤカメラを使用してＩＣソケット
或はプローブ・ニードルの如きＩＣ測定部の設置位置を
正確に認識するＩＣ測定部位置認識装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】ＩＣ測定部位置認識装置の従来例を図１
および図２を参照して説明する。先ず、ＩＣ４が接続さ
れるＩＣ測定部例えばＩＣソケット３はアダプタ・ソケ
ット２を介して或は直接にパフォーマンス・ボード１に
電気機械的に接続されている。そして、パフォーマンス
・ボード１は図示されていないＩＣ試験装置に接続して
おり、このＩＣ試験装置とＩＣ４とが電気的に接続する
ことができて、ＩＣ４の試験をすることができる。５０
はソケット・ガイドであり、そのＩＣソケット嵌合部５
２はＩＣソケット３の外形であるモールド部に嵌合して
いる。ソケット・ガイド５０にはガイド・ピン５１が植
立している。これに対して、Ｘ−Ｙアームに取り付けら
れたコンタクト・ヘッド６０にはＩＣ４を把持するコン
タクト・チャック６１およびガイド穴６２が具備されて
いる。 【０００３】ここで、オペレータはティーチング・ハン
ドル６３を操作してコンタクト・ヘッド６０を駆動して
ガイド穴６２をしてソケット・ガイド５０のガイド・ピ
ン５１を探しあてさせ、ガイド・ピン５１にガイド穴６
２を嵌合せしめた状態をＩＣソケット３の設置位置とし
てこれをハンドラに学習せしめる。コンタクト・ヘッド
６０は、ハンドラに学習せしめたＩＣソケット３の設置
位置に基づいて、把持したＩＣ４をＩＣソケット３に自
動的にほぼ位置決めすることができる。 【０００４】ところで、このＩＣ測定部位置認識装置
は、結局、ソケット・ガイド５０のガイド・ピン５１を
案内としてＩＣ４をＩＣソケット３に対して位置決め供
給することとなるものであるが、ソケット・ガイド５０
のＩＣソケット嵌合部５２に嵌合している部分はＩＣソ
ケット３の外形であるモールド部であるところから、Ｉ
Ｃソケット３のモールド部の精度によってはガイド・ピ
ン５１とＩＣソケット３の接触子との間の相互位置関係
は一意的には決まらない。即ち、ガイド・ピン５１とＩ
Ｃソケット３の接触子との間の相互位置関係はＩＣソケ
ット３のモールド部の精度分だけ不定であり、これがＩ
Ｃ４の端子とＩＣソケット３の接触子との間の位置決め
誤差となる。モールド部の製造精度は±０. ３mmであ
る。この程度の誤差は従来のＩＣ４の端子ピッチである
ＱＦＰの１. ０mmピッチ、０. ８mmピッチ、０. ６５mm
ピッチの程度の場合は何等問題はないが、現在主流であ
るＡＳＩＣの０. ５mmピッチ、０. ４mmピッチ、０. ３
mmピッチの如き精細なピッチになると、ＩＣ４を無理に
圧し込む様なことをすれば端子が屈曲するであろうこと
は言うまでもない。従って、この様な場合、ＩＣソケッ
ト３に対するＩＣ４の位置決めは最終的にはＩＣソケッ
ト３に案内部を構成し、この案内部にＩＣ４を落し込ん
で案内させる手法を採用している。このようにしても、
位置決め精度は±０. １５mm程度に過ぎず、不充分であ
る。 【０００５】ところで、上述の通りの精細なピッチのＩ
ＣおよびＩＣソケット相互間の相互位置決めにも対応可
能なＩＣ測定部位置認識装置として、ビデオ・カメラ
（例えばＣＣＤカメラ）を採用したものがある。以下、
これについて図３、図４および図５を参照して説明す
る。先ず、この種のＩＣ測定部位置認識装置を具備した
ハンドラの全体を簡単に説明する。ローダ・トレイ４４
上のＩＣは２個ずつ、Ｘ方向アーム４１およびＹ方向ア
ーム４２より成るＸ−Ｙ搬送手段４３の吸着可動体３３
により吸着されて加熱プレート４５上に移送される。加
熱プレート４５において所定温度に迄加熱されたＩＣ
は、次いで、２個ずつ吸着可動体３４に吸着されてバッ
ファ・ステージ４６上に移送、位置決めされる。Ｘ−Ｙ
搬送手段４３の近傍には、Ｘ方向アーム４７およびＹ方
向アーム４８より成るＸ−Ｙ搬送手段４９が併置されて
いる。ここで、バッファ・ステージ４６はエア・シリン
ダによりＸ−Ｙ搬送手段４９側に駆動されて２個のＩＣ
は予備位置４０に配置される。ＩＣはＸ−Ｙ搬送手段４
９により１個ずつＩＣ測定部５１に移送されて、その各
リードがＩＣ測定部５１の各対応するコンタクトに接触
せしめられ、この状態においてＩＣに対する試験が行わ
れる。 【０００６】ＩＣの移送について更に詳しく説明する
に、Ｘ−Ｙ搬送手段４９にはこれにより駆動される可動
基体５５が取り付けられている。可動基体５５は例とし
て２個の吸着可動体５６ａおよび５６ｂが取付けられて
いる。この可動基体５５には更にＣＣＤカメラ５７も取
付けられている。吸着可動体５６ａおよび５６ｂは、ま
たＸ−Ｙ座標平面と垂直な軸５８を軸にして回動するこ
とができる。図４および図５に示される如く、Ｙ方向ア
ーム４８の直線ガイド４８ａにこれに沿って移動自在に
可動ブロック５９が取付けられている。この可動ブロッ
ク５９には直線ガイド４８ａと平行なボール・ネジ６１
が挿通、螺合され、ボール・ネジ６１の回転により可動
ブロック５９はＹ方向に前後方向に駆動される。軸５８
は可動ブロック５９に回動自在に保持され、可動ブロッ
ク５９に固定されたパルス・モータ６２により減速機６
３、カプラ６４を介して回転せしめられる。可動基体５
５はその軸５８に固定されている。この例において、吸
着可動体５６ｂおよび５６ａ、ビデオ・カメラ５７は可
動基体５５に対してＹ方向に取付けられている。また、
吸着可動体５６ａおよび５６ｂはそれぞれ可動基体５５
に固定された直線ガイド６５ａおよび６５ｂにより案内
されて、Ｘ−Ｙ座標面と垂直の方向に上下できるよう構
成されている。 【０００７】ここで、予備位置４０に配置されたＩＣの
Ｘ−Ｙ搬送手段４９のＸーＹ座標（以下、Ｘ−Ｙ座標、
と称す）における基準位置（設計位置）からのずれ、お
よびＸ−Ｙ座標における基準姿勢（設計姿勢）からのず
れを上述のＣＣＤカメラ５７により検出することができ
る。依って、予め知られているＸ−Ｙ座標位置のＩＣ測
定部５１上に吸着可動体５６ａおよび５６ｂを順次移動
させ、ＩＣ１２の各リードをＩＣ測定部５１のコンタク
トの対応するものと接触させると、そのＩＣに対する試
験を行うことができる。 【０００８】なお、ＣＣＤカメラ５７を構成する微細な
多数のセルにＸ−Ｙ座標を付与し、映像をコンピュータ
処理するすることによりそのＣＣＤカメラ画面上の位置
を測定することができる。 【０００９】 【発明が解決しようとする課題】この場合ＩＣ測定部５
１、例えばＩＣソケット５１がＸ−Ｙ座標の予め定めら
れた位置に、定められた姿勢（設計状態）で取付けられ
ているとは限らない。むしろ、ずれているのが普通であ
る。従って、このＩＣソケット５１のずれを予め求めて
おかなければならない。上述の如くして吸着したＩＣ１
２をＩＣソケット５１に移送する際に、予め決定された
ＩＣの移動量にＩＣソケット５１のずれを加えた移動量
をＩＣ１２に与えることにより、ＩＣソケット５１の各
コンタクト２４に対してＩＣ１２の各リード１４を正し
く接触させることができる。ＩＣソケット５１の位置決
めが正確になされていればＩＣの移動量にＩＣソケット
５１のずれを加える様な操作をする必要はないのである
が、ＩＣソケット５１の正確な位置決めは実際は大変に
困難なことである。 【００１０】この発明は、ＣＣＤカメラを使用してＩＣ
ソケット或はプローブ・ニードルの如きＩＣ測定部の設
置位置を正確に認識するＩＣ測定部位置認識装置を提供
するものである。 【００１１】 【課題を解決するための手段】中心部に開口５００が穿
設されたＩＣ測定部５１を具備し、ＣＣＤカメラ５７を
具備し、ＣＣＤカメラ５７はその撮像領域５０２内にＩ
Ｃ測定部５１の開口５００がすべて収まる大きさのボッ
クス・ウインドウ５０３を設定し、中心部開口５００の
重心位置（ＸG 、ＹG ）の左右両方向の或る距離ａのと
ころおよび上下両方向の或る距離ｂのところであってＩ
Ｃソケット５１の接触子５０１の位置するところに長さ
Ｌのライン・ウインドウ５０４を設定するものであり、
ライン・ウインドウ５０４はＣＣＤカメラ５７固有のＸ
−Ｙ座標系の軸に平行であり、ここで、ＩＣ測定部５１
の開口５００の重心位置（ＸG 、ＹG ）を求め、ライン
・ウインドウ５０４内に存在する接触子５０１について
それぞれ重心位置（Ｘ1 、Ｙ1 ）、（Ｘ2 、Ｙ2 ）、
（Ｘ3 、Ｙ3 ）および（Ｘ4 、Ｙ4 ）を求め、これら接
触子の重心位置からＩＣ測定部５１の重心位置（ＸS 、
ＹS ）を求め、ＣＣＤカメラ５７固有のＸ−Ｙ座標系の
原点（０、０）とＩＣソケット５１の重心位置（ＸS 、
ＹS ）との間の距離、および重心位置（ＸS 、ＹS ）を
原点とする座標系の軸の、ＣＣＤカメラ５７固有のＸ−
Ｙ座標系の軸からの傾きθを求めるＩＣ測定部位置認識
装置、を構成した。 【００１２】 【実施例】この発明の実施例を図３および図６を参照し
て説明する。ＩＣソケット或はプローブ・ニードルその
他のＩＣ測定部５１の真上にＣＣＤカメラ５７を位置決
めする。ＩＣソケット５１の中心部には開口５００が穿
設されており、そしてＩＣソケット５１が取り付けられ
たパフォーマンス・ボードの上面は光の良好な反射面で
あるところから、このＣＣＤカメラ５７の位置決めに際
しては、ＩＣソケット５１の中心部の開口５００を介す
るパフォーマンス・ボード上面からの反射光を頼りにす
る。ＩＣソケット５１の接触子５０１は金メッキされて
いるところから、これらからの反射光もＣＣＤカメラ５
７に入射する。 【００１３】ところで、この発明は、ＩＣソケット５１
の中心部に穿設されている開口５００の位置精度はよく
ないのに対してその接触子５０１の位置精度は厳格に管
理、構成される結果極めて良好であることに着目した点
が重要な点である。そして、ＩＣのリードは最終的には
ＩＣソケット５１の接触子５０１に正確に位置決めされ
るべき運命にあるものであるから、ＩＣソケット５１の
位置決めはその接触子５０１に着目して要は接触子５０
１の位置決めがどこになされているかを認識することが
最も重要なことである。 【００１４】ＩＣソケット５１はハンドラの所定位置に
対して±２mm程度の精度で位置決めされている。ＣＣＤ
カメラ５７の撮像領域５０２内に、ＩＣソケット５１の
中心部に穿設される開口５００がすべて収まる程度の大
きさのボックス・ウインドウ５０３を設定する。ＩＣソ
ケット５１の真上にＣＣＤカメラ５７を位置決めし、ボ
ックス・ウインドウ５０３内における中心部開口５００
の画像についてその重心位置（ＸG 、ＹG ）の測定を実
施し、これを決定することができる。 【００１５】次に、中心部開口５００の重心位置
（ＸG 、ＹG ）の左右両方向の距離ａのところおよび上
下両方向の距離ｂのところ、即ちＩＣソケット５１の接
触子５０１の位置するところに長さＬのライン・ウイン
ドウ５０４を設定する。ライン・ウインドウ５０４の重
心位置（ＸG 、ＹG ）からの距離ａ、ｂ、ライン・ウイ
ンドウ５０４の長さＬはＩＣソケット５１の形状寸法に
対応して任意に決定することができる。そしてライン・
ウインドウ５０４はＣＣＤカメラ５７固有のＸ−Ｙ座標
系の軸に平行である。この場合、ライン・ウインドウ５
０４を介して接触子５０１から反射される反射光がＣＣ
Ｄカメラ５７に受光され、この受光に基づいて接触子５
０１について重心位置（Ｘ1 、Ｙ1 ）、（Ｘ2 、
Ｙ2 ）、（Ｘ3 、Ｙ3）および（Ｘ4 、Ｙ4 ）をそれぞ
れ決定することができる。 【００１６】ここで、重心位置（Ｘ1 、Ｙ1 ）と
（Ｘ3 、Ｙ3 ）とを結ぶ直線と重心位置（Ｘ2 、Ｙ2 ）
と（Ｘ4 、Ｙ4 ）とを結ぶ直線とは直行し、その交点
（ＸS 、ＹS）はＩＣソケット５１についての求められ
るべき重心位置である。これらのことについては、簡単
な幾何学上の問題であるので格別の説明は要しない。結
局、ＣＣＤカメラ５７固有のＸ−Ｙ座標系の原点（０、
０）とＩＣソケット５１の重心位置（ＸS 、ＹS ）との
間の距離、および重心位置（ＸS 、ＹS ）を原点とする
座標系の軸の、ＣＣＤカメラ５７固有のＸ−Ｙ座標系の
軸からの傾きθを認識することにより、ＩＣソケット５
１特にその接触子５０１の位置が正確に認識されたこと
になる。 【００１７】 【発明の効果】以上の通りであって、この発明は、ＣＣ
Ｄカメラを使用したＩＣ測定部位置認識装置を構成する
ことによりＩＣソケット或はプローブ・ニードルの如き
ＩＣ測定部の設置位置をきわめて正確に認識するもので
ある。この場合、ＩＣ測定部５１例えばＩＣソケット５
１はその外形であるモールド部の精度は低くてもそこに
必ず存在する中心部開口５００に先ず着目し、次いで位
置精度が厳格に管理、構成される接触子５０１に着目し
てこれに基づいてＩＣソケット５１の位置を認識するこ
ととしたので、ＩＣソケット５１の各コンタクト２４に
対してＩＣ１２の各リード１４を正しく接触させること
に関してＩＣソケット５１の位置決めは極めて正確であ
ると言うことができる。
装置に関し、特にＣＣＤカメラを使用してＩＣソケット
或はプローブ・ニードルの如きＩＣ測定部の設置位置を
正確に認識するＩＣ測定部位置認識装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】ＩＣ測定部位置認識装置の従来例を図１
および図２を参照して説明する。先ず、ＩＣ４が接続さ
れるＩＣ測定部例えばＩＣソケット３はアダプタ・ソケ
ット２を介して或は直接にパフォーマンス・ボード１に
電気機械的に接続されている。そして、パフォーマンス
・ボード１は図示されていないＩＣ試験装置に接続して
おり、このＩＣ試験装置とＩＣ４とが電気的に接続する
ことができて、ＩＣ４の試験をすることができる。５０
はソケット・ガイドであり、そのＩＣソケット嵌合部５
２はＩＣソケット３の外形であるモールド部に嵌合して
いる。ソケット・ガイド５０にはガイド・ピン５１が植
立している。これに対して、Ｘ−Ｙアームに取り付けら
れたコンタクト・ヘッド６０にはＩＣ４を把持するコン
タクト・チャック６１およびガイド穴６２が具備されて
いる。 【０００３】ここで、オペレータはティーチング・ハン
ドル６３を操作してコンタクト・ヘッド６０を駆動して
ガイド穴６２をしてソケット・ガイド５０のガイド・ピ
ン５１を探しあてさせ、ガイド・ピン５１にガイド穴６
２を嵌合せしめた状態をＩＣソケット３の設置位置とし
てこれをハンドラに学習せしめる。コンタクト・ヘッド
６０は、ハンドラに学習せしめたＩＣソケット３の設置
位置に基づいて、把持したＩＣ４をＩＣソケット３に自
動的にほぼ位置決めすることができる。 【０００４】ところで、このＩＣ測定部位置認識装置
は、結局、ソケット・ガイド５０のガイド・ピン５１を
案内としてＩＣ４をＩＣソケット３に対して位置決め供
給することとなるものであるが、ソケット・ガイド５０
のＩＣソケット嵌合部５２に嵌合している部分はＩＣソ
ケット３の外形であるモールド部であるところから、Ｉ
Ｃソケット３のモールド部の精度によってはガイド・ピ
ン５１とＩＣソケット３の接触子との間の相互位置関係
は一意的には決まらない。即ち、ガイド・ピン５１とＩ
Ｃソケット３の接触子との間の相互位置関係はＩＣソケ
ット３のモールド部の精度分だけ不定であり、これがＩ
Ｃ４の端子とＩＣソケット３の接触子との間の位置決め
誤差となる。モールド部の製造精度は±０. ３mmであ
る。この程度の誤差は従来のＩＣ４の端子ピッチである
ＱＦＰの１. ０mmピッチ、０. ８mmピッチ、０. ６５mm
ピッチの程度の場合は何等問題はないが、現在主流であ
るＡＳＩＣの０. ５mmピッチ、０. ４mmピッチ、０. ３
mmピッチの如き精細なピッチになると、ＩＣ４を無理に
圧し込む様なことをすれば端子が屈曲するであろうこと
は言うまでもない。従って、この様な場合、ＩＣソケッ
ト３に対するＩＣ４の位置決めは最終的にはＩＣソケッ
ト３に案内部を構成し、この案内部にＩＣ４を落し込ん
で案内させる手法を採用している。このようにしても、
位置決め精度は±０. １５mm程度に過ぎず、不充分であ
る。 【０００５】ところで、上述の通りの精細なピッチのＩ
ＣおよびＩＣソケット相互間の相互位置決めにも対応可
能なＩＣ測定部位置認識装置として、ビデオ・カメラ
（例えばＣＣＤカメラ）を採用したものがある。以下、
これについて図３、図４および図５を参照して説明す
る。先ず、この種のＩＣ測定部位置認識装置を具備した
ハンドラの全体を簡単に説明する。ローダ・トレイ４４
上のＩＣは２個ずつ、Ｘ方向アーム４１およびＹ方向ア
ーム４２より成るＸ−Ｙ搬送手段４３の吸着可動体３３
により吸着されて加熱プレート４５上に移送される。加
熱プレート４５において所定温度に迄加熱されたＩＣ
は、次いで、２個ずつ吸着可動体３４に吸着されてバッ
ファ・ステージ４６上に移送、位置決めされる。Ｘ−Ｙ
搬送手段４３の近傍には、Ｘ方向アーム４７およびＹ方
向アーム４８より成るＸ−Ｙ搬送手段４９が併置されて
いる。ここで、バッファ・ステージ４６はエア・シリン
ダによりＸ−Ｙ搬送手段４９側に駆動されて２個のＩＣ
は予備位置４０に配置される。ＩＣはＸ−Ｙ搬送手段４
９により１個ずつＩＣ測定部５１に移送されて、その各
リードがＩＣ測定部５１の各対応するコンタクトに接触
せしめられ、この状態においてＩＣに対する試験が行わ
れる。 【０００６】ＩＣの移送について更に詳しく説明する
に、Ｘ−Ｙ搬送手段４９にはこれにより駆動される可動
基体５５が取り付けられている。可動基体５５は例とし
て２個の吸着可動体５６ａおよび５６ｂが取付けられて
いる。この可動基体５５には更にＣＣＤカメラ５７も取
付けられている。吸着可動体５６ａおよび５６ｂは、ま
たＸ−Ｙ座標平面と垂直な軸５８を軸にして回動するこ
とができる。図４および図５に示される如く、Ｙ方向ア
ーム４８の直線ガイド４８ａにこれに沿って移動自在に
可動ブロック５９が取付けられている。この可動ブロッ
ク５９には直線ガイド４８ａと平行なボール・ネジ６１
が挿通、螺合され、ボール・ネジ６１の回転により可動
ブロック５９はＹ方向に前後方向に駆動される。軸５８
は可動ブロック５９に回動自在に保持され、可動ブロッ
ク５９に固定されたパルス・モータ６２により減速機６
３、カプラ６４を介して回転せしめられる。可動基体５
５はその軸５８に固定されている。この例において、吸
着可動体５６ｂおよび５６ａ、ビデオ・カメラ５７は可
動基体５５に対してＹ方向に取付けられている。また、
吸着可動体５６ａおよび５６ｂはそれぞれ可動基体５５
に固定された直線ガイド６５ａおよび６５ｂにより案内
されて、Ｘ−Ｙ座標面と垂直の方向に上下できるよう構
成されている。 【０００７】ここで、予備位置４０に配置されたＩＣの
Ｘ−Ｙ搬送手段４９のＸーＹ座標（以下、Ｘ−Ｙ座標、
と称す）における基準位置（設計位置）からのずれ、お
よびＸ−Ｙ座標における基準姿勢（設計姿勢）からのず
れを上述のＣＣＤカメラ５７により検出することができ
る。依って、予め知られているＸ−Ｙ座標位置のＩＣ測
定部５１上に吸着可動体５６ａおよび５６ｂを順次移動
させ、ＩＣ１２の各リードをＩＣ測定部５１のコンタク
トの対応するものと接触させると、そのＩＣに対する試
験を行うことができる。 【０００８】なお、ＣＣＤカメラ５７を構成する微細な
多数のセルにＸ−Ｙ座標を付与し、映像をコンピュータ
処理するすることによりそのＣＣＤカメラ画面上の位置
を測定することができる。 【０００９】 【発明が解決しようとする課題】この場合ＩＣ測定部５
１、例えばＩＣソケット５１がＸ−Ｙ座標の予め定めら
れた位置に、定められた姿勢（設計状態）で取付けられ
ているとは限らない。むしろ、ずれているのが普通であ
る。従って、このＩＣソケット５１のずれを予め求めて
おかなければならない。上述の如くして吸着したＩＣ１
２をＩＣソケット５１に移送する際に、予め決定された
ＩＣの移動量にＩＣソケット５１のずれを加えた移動量
をＩＣ１２に与えることにより、ＩＣソケット５１の各
コンタクト２４に対してＩＣ１２の各リード１４を正し
く接触させることができる。ＩＣソケット５１の位置決
めが正確になされていればＩＣの移動量にＩＣソケット
５１のずれを加える様な操作をする必要はないのである
が、ＩＣソケット５１の正確な位置決めは実際は大変に
困難なことである。 【００１０】この発明は、ＣＣＤカメラを使用してＩＣ
ソケット或はプローブ・ニードルの如きＩＣ測定部の設
置位置を正確に認識するＩＣ測定部位置認識装置を提供
するものである。 【００１１】 【課題を解決するための手段】中心部に開口５００が穿
設されたＩＣ測定部５１を具備し、ＣＣＤカメラ５７を
具備し、ＣＣＤカメラ５７はその撮像領域５０２内にＩ
Ｃ測定部５１の開口５００がすべて収まる大きさのボッ
クス・ウインドウ５０３を設定し、中心部開口５００の
重心位置（ＸG 、ＹG ）の左右両方向の或る距離ａのと
ころおよび上下両方向の或る距離ｂのところであってＩ
Ｃソケット５１の接触子５０１の位置するところに長さ
Ｌのライン・ウインドウ５０４を設定するものであり、
ライン・ウインドウ５０４はＣＣＤカメラ５７固有のＸ
−Ｙ座標系の軸に平行であり、ここで、ＩＣ測定部５１
の開口５００の重心位置（ＸG 、ＹG ）を求め、ライン
・ウインドウ５０４内に存在する接触子５０１について
それぞれ重心位置（Ｘ1 、Ｙ1 ）、（Ｘ2 、Ｙ2 ）、
（Ｘ3 、Ｙ3 ）および（Ｘ4 、Ｙ4 ）を求め、これら接
触子の重心位置からＩＣ測定部５１の重心位置（ＸS 、
ＹS ）を求め、ＣＣＤカメラ５７固有のＸ−Ｙ座標系の
原点（０、０）とＩＣソケット５１の重心位置（ＸS 、
ＹS ）との間の距離、および重心位置（ＸS 、ＹS ）を
原点とする座標系の軸の、ＣＣＤカメラ５７固有のＸ−
Ｙ座標系の軸からの傾きθを求めるＩＣ測定部位置認識
装置、を構成した。 【００１２】 【実施例】この発明の実施例を図３および図６を参照し
て説明する。ＩＣソケット或はプローブ・ニードルその
他のＩＣ測定部５１の真上にＣＣＤカメラ５７を位置決
めする。ＩＣソケット５１の中心部には開口５００が穿
設されており、そしてＩＣソケット５１が取り付けられ
たパフォーマンス・ボードの上面は光の良好な反射面で
あるところから、このＣＣＤカメラ５７の位置決めに際
しては、ＩＣソケット５１の中心部の開口５００を介す
るパフォーマンス・ボード上面からの反射光を頼りにす
る。ＩＣソケット５１の接触子５０１は金メッキされて
いるところから、これらからの反射光もＣＣＤカメラ５
７に入射する。 【００１３】ところで、この発明は、ＩＣソケット５１
の中心部に穿設されている開口５００の位置精度はよく
ないのに対してその接触子５０１の位置精度は厳格に管
理、構成される結果極めて良好であることに着目した点
が重要な点である。そして、ＩＣのリードは最終的には
ＩＣソケット５１の接触子５０１に正確に位置決めされ
るべき運命にあるものであるから、ＩＣソケット５１の
位置決めはその接触子５０１に着目して要は接触子５０
１の位置決めがどこになされているかを認識することが
最も重要なことである。 【００１４】ＩＣソケット５１はハンドラの所定位置に
対して±２mm程度の精度で位置決めされている。ＣＣＤ
カメラ５７の撮像領域５０２内に、ＩＣソケット５１の
中心部に穿設される開口５００がすべて収まる程度の大
きさのボックス・ウインドウ５０３を設定する。ＩＣソ
ケット５１の真上にＣＣＤカメラ５７を位置決めし、ボ
ックス・ウインドウ５０３内における中心部開口５００
の画像についてその重心位置（ＸG 、ＹG ）の測定を実
施し、これを決定することができる。 【００１５】次に、中心部開口５００の重心位置
（ＸG 、ＹG ）の左右両方向の距離ａのところおよび上
下両方向の距離ｂのところ、即ちＩＣソケット５１の接
触子５０１の位置するところに長さＬのライン・ウイン
ドウ５０４を設定する。ライン・ウインドウ５０４の重
心位置（ＸG 、ＹG ）からの距離ａ、ｂ、ライン・ウイ
ンドウ５０４の長さＬはＩＣソケット５１の形状寸法に
対応して任意に決定することができる。そしてライン・
ウインドウ５０４はＣＣＤカメラ５７固有のＸ−Ｙ座標
系の軸に平行である。この場合、ライン・ウインドウ５
０４を介して接触子５０１から反射される反射光がＣＣ
Ｄカメラ５７に受光され、この受光に基づいて接触子５
０１について重心位置（Ｘ1 、Ｙ1 ）、（Ｘ2 、
Ｙ2 ）、（Ｘ3 、Ｙ3）および（Ｘ4 、Ｙ4 ）をそれぞ
れ決定することができる。 【００１６】ここで、重心位置（Ｘ1 、Ｙ1 ）と
（Ｘ3 、Ｙ3 ）とを結ぶ直線と重心位置（Ｘ2 、Ｙ2 ）
と（Ｘ4 、Ｙ4 ）とを結ぶ直線とは直行し、その交点
（ＸS 、ＹS）はＩＣソケット５１についての求められ
るべき重心位置である。これらのことについては、簡単
な幾何学上の問題であるので格別の説明は要しない。結
局、ＣＣＤカメラ５７固有のＸ−Ｙ座標系の原点（０、
０）とＩＣソケット５１の重心位置（ＸS 、ＹS ）との
間の距離、および重心位置（ＸS 、ＹS ）を原点とする
座標系の軸の、ＣＣＤカメラ５７固有のＸ−Ｙ座標系の
軸からの傾きθを認識することにより、ＩＣソケット５
１特にその接触子５０１の位置が正確に認識されたこと
になる。 【００１７】 【発明の効果】以上の通りであって、この発明は、ＣＣ
Ｄカメラを使用したＩＣ測定部位置認識装置を構成する
ことによりＩＣソケット或はプローブ・ニードルの如き
ＩＣ測定部の設置位置をきわめて正確に認識するもので
ある。この場合、ＩＣ測定部５１例えばＩＣソケット５
１はその外形であるモールド部の精度は低くてもそこに
必ず存在する中心部開口５００に先ず着目し、次いで位
置精度が厳格に管理、構成される接触子５０１に着目し
てこれに基づいてＩＣソケット５１の位置を認識するこ
ととしたので、ＩＣソケット５１の各コンタクト２４に
対してＩＣ１２の各リード１４を正しく接触させること
に関してＩＣソケット５１の位置決めは極めて正確であ
ると言うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】コンタクト・チャックの位置合わせを説明する
図。 【図２】図１の斜視図。 【図３】ハンドラ全体を示す図。 【図４】図３のハンドラの一部の断面を示す図。 【図５】図３のハンドラの一部の断面を示す図。 【図６】ＣＣＤカメラの画面を示す図。 【符号の説明】 ５１ ＩＣ測定部 ５７ ＣＣＤカメラ ５００ 開口 ５０１ ＩＣソケット５１の接触子 ５０２ 撮像領域５０２ ５０３ ボックス・ウインドウ ５０４ ライン・ウインドウ （ＸG 、ＹG ） 開口５００の重心位置 （０、０） ＣＣＤカメラ５７固有のＸ−Ｙ座標系
の原点 （ＸS 、ＹS ） ＩＣソケット５１の重心位置 （Ｘ1 、Ｙ1 ）、（Ｘ2 、Ｙ2 ）、（Ｘ3 、Ｙ3 ）、
（Ｘ4 、Ｙ4 ） 接触子 ５０１の重心位置
図。 【図２】図１の斜視図。 【図３】ハンドラ全体を示す図。 【図４】図３のハンドラの一部の断面を示す図。 【図５】図３のハンドラの一部の断面を示す図。 【図６】ＣＣＤカメラの画面を示す図。 【符号の説明】 ５１ ＩＣ測定部 ５７ ＣＣＤカメラ ５００ 開口 ５０１ ＩＣソケット５１の接触子 ５０２ 撮像領域５０２ ５０３ ボックス・ウインドウ ５０４ ライン・ウインドウ （ＸG 、ＹG ） 開口５００の重心位置 （０、０） ＣＣＤカメラ５７固有のＸ−Ｙ座標系
の原点 （ＸS 、ＹS ） ＩＣソケット５１の重心位置 （Ｘ1 、Ｙ1 ）、（Ｘ2 、Ｙ2 ）、（Ｘ3 、Ｙ3 ）、
（Ｘ4 、Ｙ4 ） 接触子 ５０１の重心位置
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01R 31/26
H01L 21/66 - 21/68
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 中心部に開口が穿設されたＩＣ測定部を
具備し、ＣＣＤカメラを具備し、ＣＣＤカメラはその撮
像領域内にＩＣ測定部の開口がすべて収まる大きさのボ
ックス・ウインドウを設定し、中心部開口の重心位置の
左右両方向の或る距離のところおよび上下両方向の或る
距離のところであってＩＣソケットの接触子の位置する
ところに全接触子に亘る長さのライン・ウインドウを設
定するものであり、ライン・ウインドウはＣＣＤカメラ
固有のＸ−Ｙ座標系の軸に平行であり、ここで、ＩＣ測
定部の開口の重心位置を求め、ライン・ウインドウ内に
存在する接触子についてそれぞれ重心位置を求め、これ
ら接触子の重心位置からＩＣ測定部の重心位置を求め、
ＣＣＤカメラ固有のＸ−Ｙ座標系の原点とＩＣソケット
の重心位置との間の距離、およびＩＣ測定部の重心位置
を原点とする座標系の軸の、ＣＣＤカメラ固有のＸ−Ｙ
座標系の軸からの傾きを求めることを特徴とするＩＣ測
定部位置認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07379092A JP3422332B2 (ja) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | Ｉｃ試験装置のｉｃ測定部位置認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07379092A JP3422332B2 (ja) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | Ｉｃ試験装置のｉｃ測定部位置認識装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05275518A JPH05275518A (ja) | 1993-10-22 |
| JP3422332B2 true JP3422332B2 (ja) | 2003-06-30 |
Family
ID=13528342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07379092A Expired - Fee Related JP3422332B2 (ja) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | Ｉｃ試験装置のｉｃ測定部位置認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3422332B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4723129B2 (ja) * | 2001-08-01 | 2011-07-13 | ヤマハ発動機株式会社 | 部品試験装置における部品搬送位置の補正方法および部品試験装置 |
| AU2002237553A1 (en) * | 2002-03-07 | 2003-09-16 | Advantest Corporation | Electronic component testing apparatus |
-
1992
- 1992-03-30 JP JP07379092A patent/JP3422332B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05275518A (ja) | 1993-10-22 |
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