JPH06317300A

JPH06317300A - 真空供給装置

Info

Publication number: JPH06317300A
Application number: JP9125594A
Authority: JP
Inventors: Shigekazu Nagai; 茂和永井; Tetsuo Kukuminato; 哲夫久々湊
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 1994-04-28
Filing date: 1994-04-28
Publication date: 1994-11-15
Anticipated expiration: 2013-03-11
Also published as: JP2725999B2

Abstract

(57)【要約】【目的】真空供給装置を小型化し、且つ保守管理を容易
にする。【構成】真空供給装置を少なくとも幅狭な４つの面と幅
広な２つの面とを有する偏平な直方体からなる真空供給
機構本体と、前記幅狭な４つの面のいずれか一つの面の
方向に設けられた周辺機器とから構成される。前記の幅
狭な面に周辺機器を集約したので装置全体として小型化
され、マニホールド化した場合であっても小型化に適
し、且つ保守管理が容易である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空供給装置およびそ
の周辺機器を壁面、プレート等に容易に固着することを
可能とする真空供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】真空供給装置としてのエゼクタ装置は空
気を吸引して真空を得る装置として、近年、とみにその
利用範囲が拡大している。この場合、エゼクタ単体では
利用されることは稀であり、その周辺機器として、例え
ば、方向制御弁、圧力制御弁、チェック弁、サクション
フィルタ、消音器、圧力スイッチ等が付設されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このように
各種機器を付設すると、エゼクタ装置が極めて大型化
し、工場内においてその占有面積を大きくとり、利用者
にとって不便であるとともに高価であるという難点があ
る。特に、エゼクタ本体の排気側に設けられ、エゼクタ
からの排気音を消音するためのサイレンサは本体から膨
出した状態で取り付けられ、従って、このサイレンサに
よってエゼクタの占有する容積が極めて大きくなる不都
合が露呈している。

【０００４】本発明は前記の不都合を克服するためにな
されたものであって、真空供給機構本体と偏平な周辺機
器をブロック形状に構成し、当該真空供給機構本体の幅
狭な面の方向に周辺機器を付設することによって小型化
し併せて保守管理の容易な真空供給装置を提供すること
を目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、幅狭な４つの面と、幅広な２つの面を
有する直方体からなる真空供給機構本体と、前記真空供
給機構本体に付設される周辺機器と、を有し、前記真空
供給機構本体の幅狭な面の方向に前記周辺機器が設けら
れていることを特徴とする。

【０００６】

【作用】偏平な真空供給機構本体の幅狭な面に直接、ま
たはこの面に沿って周辺機器として、例えば、切換弁、
安全弁、圧力スイッチ等を付設可能である。このため、
装置全体として小型化され、供給管理が容易となり、且
つマニホールド化に適する。

【０００７】

【実施例】本発明に係る真空供給装置について、エゼク
タ装置を実施例として挙げ、添付の図面を参照しながら
以下詳細に説明する。

【０００８】図１乃至図４において、参照符号１０は本
実施例に係るエゼクタ装置を示し、該エゼクタ装置１０
は第１のブロック体１２、排気手段を組み込む第２のブ
ロック体１４、エゼクタ本体１６、プレート部材１８、
第３のブロック体２０、圧力スイッチ２２、安全弁２
４、電磁操作による開閉弁２６等から構成され、前記構
成要素は夫々偏平な略直方体あるいは柱状であり夫々内
部に気体の通路が形成される。すなわち、前記第１ブロ
ック体１２、第２ブロック体１４、エゼクタ本体１６、
プレート部材１８で幅狭な４つの面と幅広な２つの面を
有する偏平な直方体が形成される。また、エゼクタ装置
１０はその内部にサクションフィルタ２８、チェック弁
３０ａ、３０ｂ、サイレンサ３２等を内装している。

【０００９】先ず、ブロック体１２においては、夫々螺
孔からなる真空ポート３６、空気供給ポート３８、およ
び前記真空ポート３６、空気供給ポート３８の間に凹部
４０を刻設し、また、真空ポート３６と凹部４０とを連
通するコの字型の通路４２にサクションフィルタ２８が
内装される。この場合、空気供給ポート３８に連通して
通路３９が画成され、一方、サクションフィルタ２８は
凹部４０から着脱自在に構成しておく。次に、前記凹部
４０にはシール部材４４を介装して蓋４６が螺子４８
ａ、４８ｂの挿入螺着により取り付けられる。ブロック
体１２とブロック体１４はその間にシール部材５０を介
装して螺子５２ａ、５２ｂをブロック体１２からブロッ
ク体１４に至るまで貫通させて螺着することにより一体
化される。

【００１０】また、ブロック体１４にはその幅広な側面
と下面に夫々貫通穴５４ａ乃至５４ｃ、螺孔５６ａ、５
６ｂを穿設し、さらにブロック体１４にはサイレンサ３
２、チェック弁３０ａ、３０ｂ、フィルタ５８が内装さ
れる。サイレンサ３２は、図５に示すように、カバー６
０ａ、６０ｂおよび板体６２によって位置決め固定す
る。この場合、カバー６０ａ、６０ｂ、板体６２はサイ
レンサ３２から排気される気体の流路を十分に確保する
ために多数の孔が穿設されており、螺子６４ａ、６４ｂ
をカバー６０ａ、ブロック体１４、カバー６０ｂに挿通
して螺着することによりこれらを一体化する。なお、ブ
ロック体１４に穿設された通路７０並びに通路７２には
夫々内螺子を刻設しておく。また、通路７２に連通して
螺孔７４を形成し、この螺孔７４の開口部に盲螺子７６
ａ、７６ｂを螺入する。ブロック体１４の下面に形成さ
れた孔７８および開口部８０には夫々内螺子を刻設して
盲螺子８２ａ、８２ｂを螺入する。

【００１１】一方、エゼクタ本体１６にはブロック体１
４のサイレンサ３２に至る通路１５６に連通するように
エゼクタ本体１６を横断する通路１５４を穿設し、さら
に、チェック弁３０ａ、３０ｂを内装する凹部に対応さ
せてディフューザ室１４０、１４４を画成し、しかも、
フィルタ５８を内装する凹部に対応させて通路１３８を
穿設する。さらに、エゼクタ本体１６の長手方向に孔８
３、通路１４２、通路１４６を穿設する。この場合、前
記孔８３の穿設に際しては予めこれよりも大径の孔９４
ｂを形成し、一方、通路１４２、１４６の形成にはこれ
らよりも大径の孔９４ａが好適に用いられる。次に、前
記孔８３にはＯリング８４および円筒部材８６を取り付
けたノズル８８を嵌入する。なお、エゼクタ本体１６に
おいて、通路１４２の一端部はディフューザ室１４０側
の直径が拡開するテーパ状に形成し、ノズル８８の先端
部から勢いよく噴出する流体を好適に捕捉するように構
成しておく。

【００１２】また、通路１４６においては、通路１４２
から噴出する流体を充分に捕捉するように通路１４６の
直径を比較的大きく形成し、この場合、図６に示すよう
に、円筒部材８６には凹部９０を刻設し、この凹部９０
とノズル８８の通路とを連通する通路９２を穿設する。
また、エゼクタ本体１６内の通路の作成のために穿設さ
れた孔９４ａ、９４ｂには夫々内螺子を刻設し、盲螺子
９６ａ、９６ｂを螺入する。

【００１３】ブロック体１４とエゼクタ本体１６との
間、エゼクタ本体１６とプレート部材１８との間には夫
々シール部材９８、シール部材１００を介装して積層
し、螺子１０２ａ、１０２ｂをプレート部材１８からブ
ロック体１４に至るまで貫通させて螺着する。

【００１４】一方、ブロック体２０にはＯリング１０６
を装着し、螺子１０８ａ、１０８ｂをブロック体２０か
らプレート部材１８に至るまで貫通させて螺着すること
により前記二者を一体化する。圧力スイッチ２２にはＯ
リング１１０を装着し（図３参照）、螺子１１２ａ、１
１２ｂを圧力スイッチ２２、ブロック体２０に挿入、緊
締することによりこれらを一体化している。この場合、
圧力スイッチ２２の上面には圧力設定の調整用螺子１１
４および圧力状態の表示部１１６が設けられ、圧力スイ
ッチ２２の操作、あるいは、確認を上面方向から行うこ
とができるように構成する。

【００１５】また、ブロック体１４の上面にはシール部
材１１８、開閉弁２６を載設し、螺子１２０ａ、１２０
ｂを開閉弁２６からシール部材１１８を貫通させてブロ
ック体１４に挿入緊締することにより前記三者を一体化
する。この場合、開閉弁２６の上面に弁操作の信号を入
力するリード線１２１ａ、１２１ｂを接続しておく。安
全弁２４にはＯリング１２２を装着し、螺子１２４ａ、
１２４ｂを安全弁２４、開閉弁２６に挿入、緊締してこ
れらを一体化する。この場合も安全弁２４の上面には弁
作動時の流量の調整用螺子１２６が設けられ、さらに弁
作動時に空気を導入するためにポート１２８を設けてお
く。

【００１６】なお、前記全てのシール部材には各通路等
の接続を妨げないように、適宜、孔を設け、また、上記
した全てのＯリングは各通路の好適な連通状態を得るた
めに夫々適切に装着される。このようにして各構成要素
が連設され、エゼクタ装置１０は、図から容易に諒解さ
れるように、偏平な直方体に近似した形状となる。

【００１７】次に、以上のように構成されるエゼクタ装
置の空気通路を図７に模式的に示し、その作用について
説明する。

【００１８】先ず、圧力源１３０から開閉弁２６に空気
が供給される。この場合、圧力源１３０を空気供給ポー
ト３８に接続し、従って、前記空気供給ポート３８に供
給された空気は通路１３２、７２、螺孔７４および１３
４を順次通過し、開閉弁２６に供給される。この空気は
開閉弁２６の弁操作により当該開閉弁２６から通路１３
６、フィルタ５８を通過してエゼクタ本体１６の通路１
３８に供給され、さらに、ノズル８８から勢いよく送出
され、ディフューザ室１４０、通路１４２、ディフュー
ザ室１４４を順次通過して通路１４６に至る。

【００１９】この時、前記ディフューザ室１４０および
１４４に負圧が生じ、結果的に、真空ポート３６から気
体が吸引抽出される。すなわち、この吸引抽出される気
体は真空ポート３６、通路４２、サクションフィルタ２
８、通路７０を順次通過して通路１４８に至り、さらに
この気体は通路１５０と１５２とに分流して夫々チェッ
ク弁３０ａ、３０ｂを通過する。

【００２０】そこで、ノズル８８から所定圧力下に噴出
する空気は通路１４２に流入するが、この時、チェック
弁３０ａを介して導入される空気を吸引する。さらに、
この通路１４２から送出される空気はディフューザ室１
４４でチェック弁３０ｂを介して送給される空気を吸引
する。このようにして通路１４８側に真空を生じさせる
空気は、次いで、通路１４６に流入し、通路１５４、１
５６を通過してサイレンサ３２に送り込まれる。このサ
イレンサ３２に送り込まれた気体は消音された上でカバ
ー６０ａ、６０ｂおよび板体６２の孔を通過してエゼク
タ装置１０の外部に排気される。

【００２１】なお、安全弁２４は通路１６０および１６
２により通路１５０に管路的に接続されており、吸引機
構側の真空圧が設定値に達した時にはポート１２８から
通路１５０に空気が導入され、吸引機構側の真空圧を制
御する。また、圧力スイッチ２２は通路１６４、１６
６、凹部１６８、通路１７０、１７２を順次介して通路
４２に管路的に接続されているために、この圧力スイッ
チにより所望の真空度を選択できる効果が得られる。す
なわち、前記管路を介して吸引機構側の真空圧に応じて
圧力スイッチ２２が作動するとともにこの状態は表示部
１１６に示される。

【００２２】そこで、以上のように作用する本発明装置
の効果について、次に説明する。

【００２３】なお、説明の便宜のために、エゼクタ装置
１０の真空ポート３６、空気供給ポート３８等を有する
面をエゼクタ装置１０の正面とし、この面に対向する面
を背面とし、調整用螺子１１４、１２６を有する面を上
面とし、この上面に対向する面を下面とし、カバー６０
ａを有する面を右側面とし、カバー６０ｂを有する面を
左側面とする。

【００２４】先ず、本発明ではエゼクタ装置１０の正面
に対応して適度な空間が確保されていれば、真空ポート
３６および空気供給ポート３８に接続する管路の着脱が
不都合なくできる。また、直方体形状の中、幅狭な面に
取着された蓋４６、安全弁２４およびブロック体１２の
全ての取付用螺子の緊締、弛緩が可能である。従って、
サクションフィルタ２８に汚れ等に起因する交換の必要
性が生じた時には蓋４６を取り外せばよく、必要に応じ
て同様に幅狭な面に取着された圧力スイッチ２２、安全
弁２４、ブロック体１２の着脱ができる。例えば、真空
ポート３６から吸引抽出される気体が清浄であり、サク
ションフィルタ２８を用いる必要性がない場合はブロッ
ク体１２を取り外し、空気供給用の管路を通路７２に螺
着し、気体抽出用の管路を通路７０に螺着することによ
り気体の吸引抽出を行うことが可能である。

【００２５】なお、本実施例では、サイレンサ３２を含
む排気手段が第２ブロック体１４の内部に組み込まれて
いるために、エゼクタ本体から分離され、小型化を目指
すこの種の装置にあって、全体としての容積を拡大する
ことなくエゼクタ本体を大きくし、従って、容量の大な
るエゼクタ装置が得られる。しかも、全体としては著し
く小型化される効果が得られる。特に、ノズル８８から
ディフューザ室１４０へと流れる空気の流れ方向とは別
の部位に排気手段があるために、設計上大きなスペース
をとる排気部、サイレンサ、エゼクタの組み合わされる
直線距離を小さくできる。

【００２６】一方、エゼクタ装置１０の上面に対して適
度な空間を確保すれば、先ず、調整用螺子１１４および
１２６の操作ができ、表示部１１６の確認も容易に可能
であり、しかも、リード線１２１ａ、１２１ｂの処理も
不都合なく行うことができる。また、圧力スイッチ２２
および開閉弁２６の取付用螺子の緊締、弛緩が可能であ
るため、前記二者に交換等の必要性が生じた場合にはこ
れらの着脱を容易に行える。

【００２７】交換、あるいは、着脱に関して、前記した
以外の構成要素は構造が比較的簡単であり、また、耐久
性にも優れ、エゼクタ装置１０の通常の使用に際して
は、特に、交換の必要性がないため、これらの構成要素
を整然と組み込むことによりエゼクタ装置１０の小型化
をより一層高揚できる。さらに、エゼクタ装置１０の残
余の幅狭な２つの面には、調整、あるいは、交換を有す
る要素がなく、カバー６０ａあるいは６０ｂからの排気
に対する僅かな空間を確保しておけば、前記幅狭な３つ
の面を自由に活用することができる。従って、前記各幅
狭な面のいずれかに対応して適度な空間が得られれば、
狭小な設置場所であっても想定される様々な操作や作業
を容易に行うことが可能となる。

【００２８】さらに、エゼクタ装置１０を複数個並設し
てマニホールド化を図る場合、図８に示すように、夫々
のエゼクタ装置１０ａ乃至１０ｄの幅広な側面を互いに
接して使用することができる。この場合、貫通穴５４ａ
乃至５４ｃを夫々連通状態として長い通孔を形成し、こ
の通孔にボルトを挿通して螺着すれば容易にエゼクタ装
置１０ａ乃至１０ｄを連設固定して、マニホールドとす
ることができる。

【００２９】なお、この場合、並設状態にあるエゼクタ
装置において、最も外側に位置するいずれか一つのエゼ
クタ装置の盲螺子７６ａ（７６ｂ）を螺孔７４に螺着
し、残余のエゼクタ装置の盲螺子７６ａ、７６ｂを全て
取り外す。そして、他の外側の盲螺子７６ｂ（７６ａ）
に管路を接続する。その際、各エゼクタ装置１０ａ乃至
１０ｄの間に適当なシール部材を介装する。この結果、
全ての螺孔７４が一つの連通通路を形成する。一方、空
気供給ポート３８の全てを盲螺子等を用いて閉塞するこ
とにより、空気供給側のマニホールド化を達成すること
ができる。

【００３０】このように、エゼクタ装置を複数個連設し
てマニホールドとする場合においても、前述した種々の
作業や操作を不都合なく簡易に行うことが可能である。
しかも、このような設定では、結果的に、限られた空間
に数多くのエゼクタ装置を設置することが可能であるた
めにその占有空間は著しく少なくてすむ。さらにまた、
エゼクタ装置１０を壁面あるいはプレート等に固定する
場合には貫通穴５４ａ乃至５４ｃ、あるいは、エゼクタ
装置１０の下面の螺孔５６ａ、５６ｂにボルトを螺着
し、このボルトとの間でエゼクタ装置を挟持すればよ
い。

【００３１】

【発明の効果】以上のように、本発明に係る真空供給装
置では、幅狭な４つの面と、幅広な２つの面とで偏平な
直方体を形成し、これらの幅狭な面に直接、またはその
面に沿って圧力スイッチ等の周辺機器を配設し、このよ
うな組み合わせでも、全体として偏平状に形成される。
従って、本発明の真空供給装置を単独で使用する場合は
勿論、夫々の真空供給装置の幅狭な側面を互いに接して
複数個並べて使用する場合においても当該真空供給装置
全体を小型化でき、保守管理も容易である。しかも、複
数の真空供給装置によってマニホールド化をした場合で
あっても小型化の故に限られた空間を有効に利用するこ
とができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るエゼクタ装置の概略斜視図であ
る。

【図２】本発明に係るエゼクタ装置の一部縦断面図であ
る。

【図３】本発明に係るエゼクタ装置の一部省略分解斜視
図である。

【図４】本発明に係るエゼクタ装置の一部省略分解斜視
図である。

【図５】本発明に係るエゼクタ装置におけるサイレンサ
内装部の断面図である。

【図６】本発明に係るエゼクタ装置におけるノズルおよ
びその付帯部品の断面図である。

【図７】図７は本発明に係るエゼクタ装置の空気流路の
構成図である。

【図８】図８は本発明に係るエゼクタ装置を並設する場
合の説明に供する概略斜視図である。

【符号の説明】

１０…エゼクタ装置１２、１４…ブロック体１６…エゼクタ本体１８…プレート部材２０…ブロック体２２…圧力スイッチ２４…安全弁２６…開閉弁２８…サクションフィルタ３０ａ、３０ｂ…チェック弁３２…サイレンサ３６…真空ポート３８…空気供給ポート５８…フィルタ７０、７２…通路８８…ノズル１３０…圧力源１４０、１４４…ディフューザ室

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成６年５月３０日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００５

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、幅狭な４つの面と、幅広な２つの面を
有する直方体からなる真空供給機構本体と、前記真空供
給機構本体に付設される周辺機器と、前記真空供給機構
本体を複数個連設してマニホールド化する連設手段と、
を有し、前記真空供給機構本体の幅狭な面の方向に前記
周辺機器が設けられていることを特徴とする。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】幅狭な４つの面と、幅広な２つの面を有す
る直方体からなる真空供給機構本体と、前記真空供給機構本体に付設される周辺機器と、を有し、前記真空供給機構本体の幅狭な面の方向に前記
周辺機器が設けられていることを特徴とする真空供給装
置。