CN100453873C - 真空以及真空破坏用复合阀 - Google Patents

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Abstract

得到一种真空以及真空破坏用的复合阀，该真空以及真空破坏用的复合阀通过采用简单且合理的设计构造，使整体紧凑化且简单化，同时也改善了真空用以及加压用的各流路的配置和流路长度的问题。将主阀部(1)和流路合流部(2)以及先导阀部(3)形成为同等的宽度，同时沿阀轴线(L)一列并且一体地结合，该主阀部(1)通过真空用以及加压用的两个阀部件(8)、(9)，单独开闭用于将真空压供给到负荷的真空流路(6)以及用于将真空破坏用的压力流体供给到负荷的加压流路(7)；该流路合流部(2)通过一个合流口(10)，将上述真空流路(6)和加压流路(7)连接到负荷；该先导阀部(3)通过两个先导阀(11)、(12)，单独对上述阀部件(8)、(9)进行开闭操作。

Description

真空以及真空破坏用复合阀
技术领域
本发明涉及真空以及真空破坏用复合阀，更详细地说是涉及构成为针对吸附台等的负荷，交替供给真空压和真空破坏用的压力流体的复合阀。
背景技术
例如，在各种加工装置中，在将工件运送到规定的加工场所或收容场所等的情况下，使用真空吸附装置。该真空吸附装置具有吸附台、吸入泵等的真空源、供给用于真空破坏的压力流体的压力流体源、连接在这些真空源以及压力流体源和上述吸附台之间的真空转换装置，利用该真空转换装置，通过将上述吸附台连接到真空源来吸附工件，运送到规定的场所，然后，通过利用上述真空转换装置将吸附台连接到压力流体源，破坏真空而解除吸附，将工件释放到该位置。
用于这样的真空吸附装置的上述真空转换装置，例如专利文献1或者专利文献2所述的那样，是通过组合多个电磁阀和转换阀等构成，这些电磁阀和转换阀与节流阀等的其他的相关零件一起被组装在装置主体上。
[专利文献1]特开平5-26367公报
[专利文献2]特开平8-309684公报
但是，上述以往的真空转换装置，是通过象上述那样将多个电磁阀和转换阀与其他的相关零件一起一体组装在装置主体上而构成的，都是各个零件以各种各样的朝向安装在装置主体的各种各样的位置上，所以不仅作为整体大型杂乱，而且流路也复杂地伸入，流路长度也长，还有很多要改善的地方。
因此，本发明的目的就是替代上述以往的真空转换装置，提供一种真空以及真空破坏用的复合阀，该真空以及真空破坏用的复合阀通过采用简单且合理的设计构造，使整体紧凑化且简单化，同时也改善了与真空用以及加压用的各流路的配置和流路长度相关的问题点。
发明内容
为了达到上述目的，本发明的复合阀的特征在于，具有主阀部、流路合流部以及先导阀部，该主阀部具有与真空源连接的真空口、与压力流体源连接的加压口、对连结上述真空口和合流口的真空流路进行开闭的真空侧阀部件、以及对连结上述加压口和合流口的加压流路进行开闭的加压侧阀部件；该流路合流部具有用于与负荷连接的上述合流口、分别位于上述真空流路中以及加压流路中的过滤室、可自由拆装地配设在各过滤室内的滤清器；上述先导阀部具有两个单独对上述主阀部的真空侧阀部件以及加压侧阀部件进行操作的先导阀，上述主阀部和流路合流部以及先导阀部被形成为同等的宽度，上述流路合流部结合在主阀部的轴线方向的一端侧，同时，上述先导阀部结合在另一端侧，据此，这些主阀部和流路合流部以及先导阀部沿上述轴线结合为一列。
希望在本发明中，上述主阀部具有在轴线方向延伸的一个阀孔，上述真空侧阀部件以及加压侧阀部件可单独动作地被收容在该阀孔内，这些阀部件在彼此相对的一侧具有受压面积小的恢复用受压部，同时，在相反的一侧具有受压面积大的驱动用受压部，来自上述加压口的压力流体总是作用于上述恢复用受压部，由上述先导阀供给的先导流体作用于驱动用受压部。
另外，也可以是上述合流口形成在上述流路合流部的前端面，并且，上述两个过滤室，沿轴线方向形成于该流路合流部的内部的隔着上述合流口相对的位置，上述过滤器借助可从上述前端面侧自由拆装的滤清器保持器与该滤清器保持器一起可自由拆卸地安装在各过滤室内。
再有，在本发明中最好上述滤清器呈圆筒状，另外，上述滤清器保持器呈圆柱状，在该滤清器保持器的内部形成流路孔，该流路孔构成上述真空流路或者加压流路的一部分，该流路孔的一端通过滤清器保持器的侧面的孔开口与上述合流口连通，上述滤清器安装在该滤清器保持器的外周，覆盖该孔开口。
另外，在本发明中，也可以是在上述主阀部的上面安装节流阀，通过该节流阀对在上述加压主流路内流动的压力流体的流量进行调节。
再有，希望在本发明中，复合阀的两侧面是用于连接其他的复合阀的实质上为平的连接面，另外，上述加压口和真空口在宽度方向贯通上述主阀部，可以与所连接的其他的复合阀的加压口和真空口连接。
发明的效果
通过采用将主阀部和流路合流部以及先导阀部沿阀的轴线一列并且一体地结合这样非常简单合理的设计构造，可以作为具有与通常的电磁阀同样的构成的复合阀而构成，其结果为，整体被紧凑化且被简单化，同时，真空用以及加压用的各流路的配置也被简单化，可以谋求缩短流路的长度。
附图说明
图1是有关本发明的复合阀的一个实施方式的剖视图。
图2是放大图1的主阀部所示的主要部位放大图。
图3是放大图1的流路合流部所示的主要部位放大图。
图4是图1的分解立体图。
图5是表示通过有关本发明的复合阀，构成阀总成情况的中途的组装状态的立体图。
具体实施方式
图1-图4是表示有关本发明的真空以及真空破坏复合阀的一个实施方式，该复合阀V是由主阀部1、流路合流部2以及先导阀部3构成，该主阀部1通过真空侧以及加压侧的两个阀部件8、9，单独开闭用于将真空压供给到负荷的真空流路6以及用于将真空破坏用的压力流体(例如空气)供给到负荷的加压流路7；该流路合流部2通过一个合流口10，将上述真空流路6和加压流路7连接到负荷；该先导阀部3通过两个先导阀11、12，单独对上述两个阀部件8、9进行开闭操作，这些主阀部1和流路合流部2以及先导阀部3沿阀的轴线L一列并且一体地结合。
另外，该复合阀V如图5所示，其构成为，通过具有同样的构成的其他的复合阀V相互连接，与被称为配管单元100和配电单元101的相关部件一起，集中搭载在轨道102上，可以作为阀总成使用。因此，该复合阀V的宽度(厚度)作为整体大致一定，其宽度方向的两侧面为了连接其他的复合阀V或相关零件等，实质上成为平的连接面13。
下面，详细叙述上述复合阀V的具体的构成。
上述复合阀V的主阀部1具有主阀部壳体16，该主阀部壳体16具有矩形且纵向长的剖面形状。该主阀部壳体16由多个单元构成，是通过将位于中央的阀单元16a、位于该阀单元16a的轴线L方向一端侧的手动单元16b、跨越两单元16a、16b，位于这些阀单元16a和手动单元16b的底部的端口单元16c相互结合而构成。
在上述阀单元16a上形成沿上述轴线L延伸的一个阀孔17，在该阀孔17内的一个半部侧和另一个半部侧，可单独动作地收容着滑阀式的上述真空侧阀部件8和加压侧阀部件9。这些阀部件8、9在相互相对的一侧的端面具有受压面积小的恢复用受压部8a、9a，同时在相互相反的一侧的端部具有受压面积大的驱动用受压部8b、9b。该驱动用受压部8b、9b由与该阀部件8、9的端面接触的活塞18、19形成，在该活塞18、19的外侧形成先导用的受压室21、22。这样，若从上述先导阀11、12向对应的受压室21、22供给先导流体，则象图1以及图2的加压侧阀部件9那样，阀部件8、9被活塞18、19推动，向阀孔17的内侧的连通位置移动，另外，若上述受压室21、22的先导流体被排出，则象图1以及图2的真空侧阀部件8那样，通过作用在恢复用受压部8a、9a上的、来自加压口5的流体压，上述阀部件8、9被推动，恢复到外侧的断开位置。
另外，在上述阀单元16a上，形成真空第一通孔6a以及真空第二通孔6b和加压第一通孔7a以及加压第二通孔7b，该真空第一通孔6a以及真空第二通孔6b在上述真空侧阀部件8的动作区域、在与上述阀孔17不同的位置上开口；该加压第一通孔7a以及加压第二通孔7b在加压侧阀部件9的动作区域、在与上述阀孔17不同的位置上开口。上述真空第一通孔6a与形成在上述端口单元16c上的真空口4连通，真空第二通孔6b与真空连通孔6c连通，该真空连通孔6c在与上述流路合流部2的接合面上开口，通过这些真空第一通孔6a和阀孔17以及真空第二通孔6b和真空连通孔6c，形成作为上述真空流路6的一部分的主阀部侧真空流路部分6A。这样，该主阀部侧真空流路部分6A，在上述真空第一通孔6a和真空第二通孔6b之间的阀孔部分，通过上述真空侧阀部件8的阀密封部件24接近或离开阀孔内周面的凸台(ランド)进行开闭。
另外，上述主阀部侧真空流路部分6A与在后述的流路合流部2中的合流部侧真空流路部分6B连通，构成上述真空流路6。
另外，上述加压第一通孔7a与形成在上述端口单元16c上的加压口5连通，加压第二通孔7b经过节流阀27以及中间通孔7d与加压连通孔7c连通，该加压连通孔7c在与上述流路合流部2的接合面上开口，通过这些加压第一通孔7a和阀孔17和加压第二通孔7b和节流阀27和中间通孔7d以及加压连通孔7c，形成作为上述加压流路7的一部分的主阀部侧加压流路部分7A。这样，该主阀部侧加压流路部分7A，在上述加压第一通孔7a和加压第二通孔7b之间的阀孔部分，通过上述加压侧阀部件9的阀密封部件26接近或离开阀孔内周面的凸台进行开闭。
另外，上述主阀部侧加压流路部分7A与在后述的流路合流部2中的合流部侧加压流路部分7B连通，构成上述加压流路7。
另外，通过加压口5的上述加压第一通孔7a在两个阀部件8、9的恢复用受压部8a、9a之间的位置上，在阀孔17内开口，通过该加压第一通孔7a被供给到阀孔17内的、来自加压口5的压力流体，总是作用在这些两个阀部件8、9的恢复用受压部8a、9a上。
上述真空口4以及加压口5在宽度方向贯通上述端口单元16c，在其一端侧，形成从连接面13向外方突出的连接管部29，在另一端侧，形成具有环状的密封部件的连接孔部(省略图示)。这样，在将其他的复合阀V连接到该复合阀V的两侧的连接面13上时，上述连接管部29和连接孔部与其他的复合阀V的连接孔部和连接管部29嵌合，端口彼此气密性地连接。
另外，上述真空口4以及加压口5通过图5所示的配管单元100，与空吸泵等的真空源和供给压缩空气等的压力流体源连接。
上述端口单元16c还具有在宽度方向贯通的先导排出口31。该先导排出口31通过省略了图示的先导连通孔，与上述先导阀部3的两个先导阀11、12连通。这样，在该先导排出口31的两端，也设置用于与所连接的其他的复合阀V的先导排出口31连接的连接管部和连接孔部。
上述手动单元16b具有两组手动操作部32、33。这些手动操作部32、33用于通过手动操作再现由两个先导阀11、12进行的转换状态，在上述手动单元16b的上面具有在宽度方向并列设置的两个手动钮32a、33a，第一手动钮32a与操作真空侧阀部件8的第一先导阀11对应，第二手动钮33a与操作加压侧阀部件9的第二先导阀12对应。这样，若下压上述第一手动钮32a，则先导流体直接供给到真空侧受压室21，真空侧阀部件8被转换到连通位置，若下压第二手动钮33a，则先导流体直接供给到加压侧受压室22，加压侧阀部件9被转换到连通位置。但是，这样的手动操作部32、33的构造以及作用是公知的。
另外，在上述主阀部壳体16的上面形成凹部，通过垫片34，利用固定螺钉36，将节流阀体35固定在该凹部内，在该节流阀体35上搭载上述节流阀27。该节流阀27是使阀杆37进退、调节节流孔38的开口量的方式，该阀杆37通过密封部件39，可自由旋转且可自由进退地被收容在竖起于上述节流阀体35的上面的筒部35a的内部，该阀杆37的基端部的阳螺纹部40和筒部侧的阴螺纹部41啮合。这样，若转动操作该阀杆37，则该阀杆37在上下方向，即，与阀的轴线L正交的方向进退，通过其前端的调节部37a，调节上述节流孔38的开口面积，该节流孔38位于连结上述加压第二通孔7b和加压连通孔7c的流路中。
另外，通过与阀单元16a一体形成上述垫片34，也可以省略该垫片34。
上述流路合流部2具有与在上述主阀部1中的主阀部壳体16的接合面结合的合流部壳体45。该合流部壳体45具有与上述主阀部壳体16实质上相同的高度以及宽度(厚度)，在轴线L方向的前端面45a的大致中央位置，具有用于与负荷连接的一个上述合流口10。该合流口10形成在与上述主阀部1中的阀孔17大致同轴上的位置，通过分支为两个的分支通孔46、47和真空侧以及加压侧的过滤室48、49，与上述主阀部1的真空连通孔6c和加压连通孔7c连接。因此，通过上述分支通孔46和真空侧过滤室48，形成上述合流部侧真空流路部分6B，另外，通过上述分支通孔47和加压侧过滤室49，形成上述合流部侧加压流路部分7B。
作为连接到上述合流口10的负荷，例如是吸附并运送工件的吸附台。
上述过滤室48、49是由细长的圆形的孔构成的，这两个过滤室48、49从上述合流部壳体45的前端面45a侧与上述轴线L平行，并且相互平行地形成在隔着上述合流口10上下相对的位置上。这样，各过滤室48、49的前端通过连接孔48a、49a，与主阀部1的真空连通孔6c以及加压连通孔7c连通，上述分支通孔46、47连通在该过滤室48、49的中间部侧面位置上。
在上述各过滤室48、49内，分别可自由拆装地配设着滤清器51。该滤清器51通过被安装在滤清器保持器52上而与该滤清器保持器52一起构成滤清器组件50，该滤清器组件50可自由拆卸地安装在上述各过滤室48、49内。对此进行更具体的说明，上述滤清器保持器52呈圆柱状，在其内部具有在该滤清器保持器52的长度方向延伸的流路孔53。该流路孔53形成上述流路部分6B、7B的一部分，其一端在该滤清器保持器52的前端部开口，另一端到达该滤清器保持器52的长度方向的中间位置，与在该滤清器保持器52的侧面开口的多个孔开口53a连通。
另外，在上述滤清器保持器52的前端部形成外周具有阳螺纹的螺纹部52a，在基端部形成用于转动操作的操作部52b，该操作部52b具有用于卡定螺丝刀等的工具的卡定槽52c。
另外，上述滤清器51呈圆筒状，被嵌在形成有上述滤清器保持器52的外周的上述孔开口53a的部分，覆盖该孔开口53a，通过螺合在上述螺纹部52a的固定环54支撑端部，据此，被固定在该位置。
这样，从合流部壳体45的前端面45a侧将上述滤清器保持器52插入各过滤室48、49内，通过将前端的螺纹部52a螺合到固定在该过滤室48、49内的螺纹接受部55，上述滤清器组件50可自由拆装地被安装在过滤室48、49内。此时，通过上述分支通孔46、47在包围上述滤清器51的外周的区域内与过滤室48、49连通，而借助该滤清器51与上述滤清器保持器52的孔开口53a连通，据此，上述合流口10和主阀部1的真空流路部分6A以及加压流路部分7A通过上述滤清器51相互连通。
图中56是气密性地保持上述滤清器保持器52、52的外周和过滤室48、49的内周之间的密封部件。
在上述合流部壳体45的上面形成与上述加压侧过滤室49连通的传感器口60，检测加压用流体的压力的压力传感器61通过传感器保持器62安装在该传感器口60上。该传感器保持器62其筒状的脚部62a以拧入方式安装在上述口60上，在该脚部62a的上端的安装部62b上安装着上述压力传感器61，压力流体通过上述脚部62a的内部的检测孔62c，被导入压力传感器61的检测部。
上述传感器口60在包围上述滤清器51的外周的区域，换言之，在可通过该滤清器51与上述滤清器保持器52的孔开口53a连通的区域，与上述过滤室49连通，据此，被该滤清器51过滤后的压力流体被导入上述压力传感器61。
但是，上述传感器口60以及压力传感器61也可以设置在主阀部1的主阀部壳体16上。或者，还可以不将该压力传感器61附设在主阀部壳体16上或者合流部壳体45上，而是作为单独部件形成，另行设置并与流路连接。
另外，在图示的实施方式中，上述合流部壳体45是通过一个单元一体形成的，也可以是将多个单元结合而形成。
另外，上述先导阀部3在先导壳体65的上下具有电磁操作式的上述两个先导阀11、12，同时在该先导壳体65的下端部，具有做成集中端子形的用于汇总配线的电气连接器66，并且，在该先导壳体65的中间位置具有先导供给口67。
上述两个先导阀11、12通过省略了图示的多个先导用的流路，共通地连通到上述先导供给口67，同时单独与上述真空侧受压室21和加压侧受压室22连通，并且也与上述先导排出口31连通。另外，通过内置在上述先导壳体65内的导电机构，与上述电气连接器66电连接。这样，若对两个先导阀11、12的一个通电，则先导流体被供给到相应的受压室21、22，阀部件8、9移动到连通位置，若解除通电，则上述受压室21、22的先导流体被排出，阀部件8、9恢复到断开位置。
但是，因为这样的先导阀11、12的构造以及作用与公知的相同，所以省略更具体的说明。
另外，在上述先导供给口67的两端部，与上述先导排出口31相同，也设置用于与所连接的其他的复合阀V的先导供给口连接的连接管部和连接孔部。
另外，上述电气连接器66为了能够与所连接的其他的复合阀V的电气连接器插入式地连接，也构成为在连接面13的一侧具有插入部，在另一侧具有被插入部。
图中69a、69b是安装部，为了使上述复合阀V与轨道102(参照图5)的凸缘部102a卡合，跨主阀部壳体16和合流部壳体45而形成。其中的一个安装部69a可相对于另一个安装部69b弹性开闭。
在具有上述构成的复合阀V中，图1以及图2的动作状态是通过对先导阀部3的第二先导阀12通电，并且使第一先导阀11为非通电，而成为真空破坏状态。此时，因为从上述第二先导阀12向加压侧受压室22供给先导流体，通过活塞19，使加压侧阀部件9前进到图示的连通位置，据此，加压第一通孔7a和加压第二通孔7b通过阀孔17连通，所以加压流路7开放。因此，在来自加压口5的压力流体从上述加压第一通孔7a经过加压第二通孔7b并被节流阀27调节流量后，从加压连通孔7c到达流路合流部2的加压流路部分7B，在经过位于该加压流路部分7B中的滤清器51到达合流口10后，被供给负荷。
另外，因为真空侧阀部件8通过作用在恢复用受压部8a上的上述压力流体占据图示的恢复位置，将真空第一通孔6a和真空第二通孔6b之间断开，所以真空流路6被断开。
因此，例如在与上述合流口10连接的吸附台上吸附着工件的情况下，该工件从吸附状态被释放。
另外，从上述合流口10输出的压力流体的压力由被安装在传感器口60上的压力传感器61检测。
因为若从该状态对上述第一先导阀11通电，并使第二先导阀12为非通电，则先导流体从上述第一先导阀11供给到真空侧受压室21，所以真空侧阀部件8被活塞18推压，被转换到作为与图示相反的转换位置的连通位置，真空第一通孔6a和真空第二通孔6b通过阀孔17连通，真空流路6开放。因此，来自负荷的压力流体从合流口10通过分支通孔46以及滤清器51被吸引到滤清器保持器52的内部的流路孔53，再有，从主阀部1的真空连通孔6c经过真空第二通孔6b、阀孔17、真空第一通孔6a被向上述真空口4吸引。
另外，因为加压侧受压室22成为排气状态，所以上述加压侧阀部件9通过作用于恢复用受压部9a的压力流体，后退到恢复位置，将加压第一通孔7a和加压第二通孔7b之间断开。因此，加压流路7被封闭。
因此，例如对与上述合流口10连接的吸附台供给真空压，通过该吸附台吸附工件。
在这里，如上所述，在将来自加压口5的压力流体从加压流路7通过合流口10向负荷供给，破坏真空的情况下，由加压流路6中的滤清器51除去压力流体中的杂质，不会污染工件。另外，在将来自真空口4的真空压从真空流路6通过合流口10供给到负荷的情况下，即，在从该合流口10吸引空气的情况下，吸引的空气中的杂质被真空流路中的滤清器51除去，不会被吸入到主阀部1。
通过将滤清器组件50整体从各过滤室48、49上拆下，可以单独更换发生了阻塞的滤清器51。
这样，上述复合阀V通过采用将上述主阀部1和流路合流部2及先导阀部3沿阀的轴线L一列并且一体地结合这样非常简单合理的设计构造，可以构成为作为具有与通常的电磁阀同样的构成的复合阀，其结果为，在整体紧凑化并且简单化的同时，真空用以及加压用的各流路的配置也被简单化，可以谋求缩短流路长度。
另外，因为上述复合阀的宽度方向的两侧面实质上为平的连接面13，所以通过与其他的复合阀相互连接，可以作为阀总成使用。图5表示通过连接多个上述复合阀V，同时与配管单元100和配电单元101等的相关部件一起集中搭载在轨道102上，构成歧管形的阀总成的情况下的中途的组装状态。另外，在完成组装的状态下，位于离开图的最右端的复合阀V被接合在已经完成接合的四个复合阀V的外侧，另外，在其外侧配置省略了图示的末端单元。
上述复合阀V通过使下面的安装部卡合到轨道102的凸缘部102a上而搭载在该轨道102上，其他的配管单元100和配电单元101以及末端单元也用同样的方法搭载，位于两端的配电单元101和末端单元通过螺钉紧固等被固定在轨道102上。
在上述配管单元100上设置着连接有管接头103的真空用配管口104和加压用配管口105，其中的真空用配管口104与吸入泵等的真空源连接，加压用配管口105与压力流体源连接，据此，真空压和压力流体通过该配管单元100被集中地供给到上述各复合阀V。
另外，上述配电单元101具有作为用于汇总配线的基点的集中端子形的基础连接器106，该基础连接器106被设置在上述复合阀V上，与依次连接的集中端子形的电气连接器66连接，据此，以该基础连接器106为基点向各复合阀V汇总供电。
另外，虽然上述复合阀V具有作为与其他的复合阀连接使用的连接形复合阀的构成，真空口以及加压口、先导供给口以及先导排出口分别作为共通的口，与其他的复合阀的口依次连接，但是，也可以作为独立使用复合阀的单体形的复合阀来构成。在该情况下，上述各口作为单独口形成。

Claims (6)

1.一种真空以及真空破坏用复合阀，其特征在于，具有主阀部、流路合流部以及先导阀部，该主阀部具有与真空源连接的真空口、与压力流体源连接的加压口、对连结所述真空口和合流口的真空流路进行开闭的真空侧阀部件、以及对连结所述加压口和合流口的加压流路进行开闭的加压侧阀部件；该流路合流部具有用于与负荷连接的上述合流口、分别位于所述真空流路中以及加压流路中的过滤室、可自由拆装地配设在各过滤室内的滤清器；所述先导阀部具有两个单独对所述主阀部的真空侧阀部件以及加压侧阀部件进行操作的先导阀，
所述主阀部和流路合流部以及先导阀部被形成为同等的宽度，所述流路合流部结合在主阀部的轴线方向的一端侧，同时，所述先导阀部结合在另一端侧，据此，主阀部和流路合流部以及先导阀部沿所述轴线结合为一列。
2.如权利要求1所述的真空以及真空破坏用复合阀，其特征在于，所述主阀部具有在轴线方向延伸的一个阀孔，所述真空侧阀部件以及加压侧阀部件可单独动作地被收容在该阀孔内，真空侧阀部件以及加压侧阀部件在彼此相对的一侧具有受压面积小的恢复用受压部，同时，在相反的一侧具有受压面积大的驱动用受压部，来自所述加压口的压力流体总是作用于所述恢复用受压部，由所述先导阀供给的先导流体作用于驱动用受压部。
3.如权利要求1或者2所述的真空以及真空破坏用复合阀，其特征在于，所述合流口形成在所述流路合流部的前端面，并且，所述两个过滤室，沿轴线方向形成于该流路合流部的内部的隔着所述合流口相对的位置，所述滤清器借助可从所述前端面侧自由拆装的滤清器保持器与该滤清器保持器一起可自由拆卸地安装在各过滤室内。
4.如权利要求3所述的真空以及真空破坏用复合阀，其特征在于，所述滤清器呈圆筒状，另外，所述滤清器保持器呈圆柱状，在该滤清器保持器的内部形成流路孔，该流路孔构成所述真空流路或者加压流路的一部分，该流路孔的一端通过滤清器保持器的侧面的孔开口与所述合流口连通，所述滤清器安装在该滤清器保持器的外周，覆盖该孔开口。
5.如权利要求1或者2所述的真空以及真空破坏用复合阀，其特征在于，在所述主阀部的上面安装节流阀，通过该节流阀对在所述加压主流路内流动的压力流体的流量进行调节。
6.如权利要求1或者2所述的真空以及真空破坏用复合阀，其特征在于，复合阀的两侧面是用于连接其它的复合阀的实质上为平的连接面，另外，所述加压口和真空口在宽度方向贯通所述主阀部，可以与所连接的其它的复合阀的加压口和真空口连接。
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