JPH06314409A - 磁気ヘッドの研磨方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気ヘッドを構成するコアブロック半体の斜
面取り部を高精度に研磨し、フェライト及び金属磁性膜
の磁気特性を向上させる。 【構成】 コアブロック半体１の巻線溝５側の面を弾力
性を有するポリシング材１５によって研磨し、巻線溝５
の斜面取り部４までポリシング材１５を入り込ませて研
磨する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッドの研磨方法
に関する。更に詳述すると、本発明は、フェライト等の
酸化物磁性材料からなるコアブロックのギャップ突き合
わせ面に金属磁性膜を形成したメタルインギャップ（Ｍ
ＩＧ）型磁気ヘッドの金属磁性膜の成膜前処理としての
研磨方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＭＩＧヘッドは、従来、例えば図２に示
す工程を経て製造されている。

【０００３】まず、図２（Ａ）に示すように、フェライ
ト等からなる１対のバー状のコアブロック半体１，２の
うち一方または両方（この従来例では一方のコアブロッ
ク半体１）に研削によって矩形の溝３を形成する。そし
て、矩形の溝３の一方の角が研削によって面取り加工さ
れ、図２（Ｂ）に示すような斜面取り部４が形成され
る。これによって、舟形の巻線用溝５が形成される。そ
の後、コアブロック半体１のギャップ突き合わせ面６，
７及び巻線溝５の内面（以下、巻線溝側の面と総称す
る）と他方のコアブロック半体２の突き合わせ面８に図
２（Ｃ）に示すようにスパッタリング等によって金属磁
性材料の薄膜（以下金属磁性膜という）９が形成され
る。次に、１対のコアブロック半体１，２を低融点ガラ
スなどで接合してギャップ突き合わせ面６，８の間でギ
ャップ１０を形成する。尚、コアブロック半体１の巻線
用溝５がコアブロック半体２によって閉塞されて巻線窓
１２が形成される。

【０００４】斯様にして得られた磁気ヘッドブロックを
図２の（Ｄ）に示す一点鎖線に沿って切断加工して図２
の（Ｅ）に示すヘッドチップ１１が得られる。

【０００５】ここで、コアブロック半体１，２を接合し
たときに磁路を構成する金属磁性膜９は、スパッタリン
グなどの薄膜形成技術により形成される。したがって、
均一かつ連続的に成膜されるように、コアブロック半体
１の巻線溝側の面およびコアブロック半体２の突き合わ
せ面８、特にギャップを構成するギャップ突き合わせ面
６，８及びギャップ近傍となる斜面取り部４は金属磁性
膜９の成膜前に表面粗さを平滑にしたり、前加工の加工
変質層を取り除いておく必要がある。そこで、従来、ギ
ャップ突き合わせ面６，７の平滑処理は、ラップ加工に
より行われる。このラップ加工によって、ギャップ突き
合わせ面６，７の表面粗さや前加工の加工変質層を０μ
ｍに近づけることができる。また、同様にコアブロック
半体２の突き合わせ面８もラップ加工される。一方、巻
線溝５内特にギャップに近い斜面取り部４は、ギャップ
突き合わせ面６より凹んでいるのでラップ加工が不可能
であることから、従来、砥石による研削加工によって仕
上げられている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、砥石に
よる研削加工であると、いくら粒度の細かい砥石を使用
しても、加工精度に限界が有り、斜面取り部４に加工変
質層が０．５μｍ程度残ってしまったり表面粗さがラッ
プ加工に比べて荒くなってしまうため、フェライトの磁
気特性が悪化したり、スパッタリング等により形成され
る金属磁性膜９の磁気特性が悪化し、ヘッドの感度が劣
化したりうねりが生じたりするなどの問題を起こす虞が
ある。

【０００７】本発明の目的は、コアブロック半体の巻線
窓溝の斜面取り部を高精度にて平滑処理して、フェライ
ト及び金属磁性膜の磁気特性を向上させることのできる
磁気ヘッドの研磨方法を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、本発明は、斜面取り部を有する巻線窓が形成された
磁気ヘッド用のコアブロック半体を研磨する磁気ヘッド
の研磨方法において、巻線窓を構成する巻線溝側の面
を、弾力性を有するポリシング材によって研磨する。

【０００９】

【作用】したがって、コアブロック半体がポリシング材
に沈み込み、巻線溝の奥までポリシング材が入り込ん
で、コアブロック半体のギャップ突き合わせ面と同時に
斜面取り部を研磨する。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の構成を図面に示す実施例に基
づいて詳細に説明する。

【００１１】図２（Ａ）に示すように、フェライト等の
酸化磁性材料からなる１対のコアブロック半体１，２の
うち一方または両方（本実施例では一方のコアブロック
半体１）に研削によって矩形の溝３を形成する。続い
て、図２（Ｂ）に示すように溝３の一方の角に研削によ
って面取り加工を施して斜面取り部４を形成し、舟形の
巻線用溝５を形成する。

【００１２】ここまでは従来例と同様であるが、本発明
では、この巻線溝５の形成後、コアブロック半体１の巻
線溝側の面を弾力性を有するポリシング材によって研磨
し、ギャップ突き合わせ面６，７と巻線溝５の斜面取り
部４とに平滑処理を同時に施す。

【００１３】この平滑処理に用いる研磨装置は、例えば
図１に示すように、軸１３を中心に回転する回転定盤１
４と、この回転定盤１４の上面に張られて固着された発
泡ポリウレタンのクロス等の弾力性あるポリシング材１
５と、このポリシング材１５に散布した砥粒１６とを備
えている。砥粒１６はポリシング材１５に接着させるよ
うにしてもよい。ポリシング材１５の厚さ及び弾力性
は、コアブロック半体１を押しつけたときに、コアブロ
ック半体１がポリシング材１５に沈み込んで、巻線溝５
の奥までポリシング材１５の一部が入り込むことが可能
となる程度であることが必要である。

【００１４】このような研磨装置の回転定盤１４のポリ
シング材１５の上に、コアブロック半体１の巻線溝側の
面を接触させてコアブロック半体１を押しつけてポリシ
ング・研磨する。このとき、コアブロック半体１は、図
示していない治具に接着されて自転運動を行いながらポ
リシング材１５に所定圧力で押しつけられる。すると、
ポリシング材１５には弾力性があるので、コアブロック
半体１はポリシング材１５に沈み込み、巻線溝５の奥ま
でポリシング材１５が入り込む。したがって、コアブロ
ック半体１のギャップ突き合わせ面６，７および斜面取
り部４を含む巻線溝５とが同時に、砥粒１６及びポリシ
ング材１５により研磨される。

【００１５】従来の砥石による研削では斜面取り部４に
０．５μｍ程度の加工変質層が残っていたが、本発明の
研磨方法によると加工変質層は０．１ｍμ以下にでき
る。

【００１６】この研磨が終了したら、治具によりコアブ
ロック半体１を持ち上げてポリシング材１５から離し、
ギャップ突き合わせ面６，７を従来のラップ工法により
研磨を行う。

【００１７】その後は、公知の手法によってコアブロッ
ク半体１のギャップ突き合わせ面７，８及び巻線溝５並
びにコアブロック半体２のギャップ突き合わせ面８と
に、図２の（Ｃ）に示すようにスパッタリング等により
センダスト等の金属磁性材料からなる金属磁性膜９を形
成してから、図２の（Ｄ）に示すように接合してギャッ
プ１０を形成する。そして、コアブロックをスライスし
て、図２の（Ｅ）に示すような所定幅のヘッドチップ１
１を切り出す。

【００１８】なお、上述の実施例は本発明の好適な実施
の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明
の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能であ
る。

【００１９】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
の磁気ヘッドの研磨方法は、コアブロック半体の巻線溝
側の面を弾力性を有するポリシング材によって研磨する
ようにしているので、巻線溝の斜面取り部までポリシン
グ材が入り込んだ状態で研磨され、高精度に研磨され
る。依って、本発明方法によって得られる磁気ヘッド
は、フェライト及び金属磁性膜の磁気特性を向上でき、
感度を向上させ得ると共にうねり等を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気ヘッドの研磨方法を説明する概略
図である。

【図２】コアの一般的な製造工程を示す斜視図で、
（Ａ）は溝形成工程、（Ｂ）は斜面取り部形成工程、
（Ｃ）は金属磁性膜形成工程、（Ｄ）は接着工程、
（Ｅ）は得られたヘッドチップである。

【符号の説明】

１，２ コアブロック半体 ４ 斜面取り部 ５ 巻線溝 ６，７，８ ギャップ突き合わせ面 １４ 回転定盤 １５ ポリシング材 １６ 砥粒

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 斜面取り部を有する巻線窓が形成された
   磁気ヘッドのコアブロック半体を研磨する方法におい
   て、前記巻線窓を構成する巻線溝側の面を、弾力性を有
   するポリシング材によって研磨することを特徴とする磁
   気ヘッドの研磨方法。