JPH06304557A - 廃液処理方法 - Google Patents
廃液処理方法Info
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- JPH06304557A JPH06304557A JP9597493A JP9597493A JPH06304557A JP H06304557 A JPH06304557 A JP H06304557A JP 9597493 A JP9597493 A JP 9597493A JP 9597493 A JP9597493 A JP 9597493A JP H06304557 A JPH06304557 A JP H06304557A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 第４級アンモニウム・ハイドロオキシドを含
む廃液をイオン交換樹脂を用いてほぼ中性の回収利用可
能な水質レベルに処理する。 【構成】 ＴＭＡＨ等の第４級アンモニウム・ハイドロ
オキシド、低級アルコール、界面活性剤等の有機物を含
む廃液をイオン交換樹脂塔２に通水し、塔２内のアクリ
ル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂によりＴＭＡＨを吸着除
去する。ついで、この処理水を逆浸透膜装置４に供給
し、低級アルコール、界面活性剤等の有機物を分離除去
する。逆浸透膜を透過した透過水は、純度の高い水とな
って工場用水として再利用される。イオン交換樹脂の再
生にあたっては、ＴＭＡＨを吸着したイオン交換樹脂を
硫酸で再生した後、水酸化ナトリウム水溶液を通水する
ことによって、Ｈ型イオン交換樹脂の一部をＮa 型に置
換し、イオン交換樹脂塔２を通過した処理水のｐＨが 6
〜 7.5好ましくは 6.5〜 7となるように調整する。
む廃液をイオン交換樹脂を用いてほぼ中性の回収利用可
能な水質レベルに処理する。 【構成】 ＴＭＡＨ等の第４級アンモニウム・ハイドロ
オキシド、低級アルコール、界面活性剤等の有機物を含
む廃液をイオン交換樹脂塔２に通水し、塔２内のアクリ
ル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂によりＴＭＡＨを吸着除
去する。ついで、この処理水を逆浸透膜装置４に供給
し、低級アルコール、界面活性剤等の有機物を分離除去
する。逆浸透膜を透過した透過水は、純度の高い水とな
って工場用水として再利用される。イオン交換樹脂の再
生にあたっては、ＴＭＡＨを吸着したイオン交換樹脂を
硫酸で再生した後、水酸化ナトリウム水溶液を通水する
ことによって、Ｈ型イオン交換樹脂の一部をＮa 型に置
換し、イオン交換樹脂塔２を通過した処理水のｐＨが 6
〜 7.5好ましくは 6.5〜 7となるように調整する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、第４級アンモニウム・
ハイドロオキシドを含む廃液を良好な水質レベルまでに
処理する処理方法に関する。
ハイドロオキシドを含む廃液を良好な水質レベルまでに
処理する処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】テトラメチルアンモニウム・ハイドロオ
キシド（ＴＭＡＨ）等の第４級アンモニウム・ハイドロ
オキシドは、分析用試薬や、プリント配線盤製造時のレ
ジスト剥離剤などのアルカリ溶液剤として一般に使用さ
れており、これらの試薬を使用する研究所や工場から、
アルカリ性の強い第４級アンモニウム・ハイドロオキシ
ドを含む廃液が多量に排出されている。
キシド（ＴＭＡＨ）等の第４級アンモニウム・ハイドロ
オキシドは、分析用試薬や、プリント配線盤製造時のレ
ジスト剥離剤などのアルカリ溶液剤として一般に使用さ
れており、これらの試薬を使用する研究所や工場から、
アルカリ性の強い第４級アンモニウム・ハイドロオキシ
ドを含む廃液が多量に排出されている。
【０００３】このような廃液を工場用水として再利用可
能に簡便に処理する方法として、第４級アンモニウムイ
オンをイオン交換樹脂により吸着除去することが考えら
れるが、第４級アンモニウム・ハイドロオキシドを含む
廃液を良好に処理することができるイオン交換樹脂は今
だ見出だされていない。
能に簡便に処理する方法として、第４級アンモニウムイ
オンをイオン交換樹脂により吸着除去することが考えら
れるが、第４級アンモニウム・ハイドロオキシドを含む
廃液を良好に処理することができるイオン交換樹脂は今
だ見出だされていない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】第４級アンモニウム・
ハイドロオキシドを含む廃液としてＴＭＡＨを含む現像
液廃水を用いて陽イオン交換樹脂で第４級アンモニウム
イオンを吸着除去するには次のような問題があった。
ハイドロオキシドを含む廃液としてＴＭＡＨを含む現像
液廃水を用いて陽イオン交換樹脂で第４級アンモニウム
イオンを吸着除去するには次のような問題があった。
【０００５】（ａ） 現像液廃水中のＴＭＡＨを吸着除
去するために強酸性陽イオン交換樹脂を使用する場合、
樹脂にクラックが生じ、劣化しやすいとともに、大量の
再生剤を必要とする。
去するために強酸性陽イオン交換樹脂を使用する場合、
樹脂にクラックが生じ、劣化しやすいとともに、大量の
再生剤を必要とする。
【０００６】（ｂ） 弱酸性陽イオン交換樹脂であるメ
タクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂（例えばダイヤイ
オンＷＫ−１０）の場合も、理由は明確ではないが樹脂
粒子にクラックが生じ、劣化しやすい。
タクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂（例えばダイヤイ
オンＷＫ−１０）の場合も、理由は明確ではないが樹脂
粒子にクラックが生じ、劣化しやすい。
【０００７】一方、本発明者は、アクリル酸系の弱酸性
陽イオン交換樹脂（たとえばデュオライトＣ−４７６）
を使って処理したところ、膨潤度は低く、樹脂粒子のク
ラックを生じることなく良好にＴＭＡＨを吸着除去する
ことができることを見出だした。
陽イオン交換樹脂（たとえばデュオライトＣ−４７６）
を使って処理したところ、膨潤度は低く、樹脂粒子のク
ラックを生じることなく良好にＴＭＡＨを吸着除去する
ことができることを見出だした。
【０００８】本発明は、かかる知見に基づいてなされた
もので、第４級アンモニウム・ハイドロオキシドを含む
廃液をイオン交換樹脂を用いて容易にほぼ中性の回収利
用可能な水質レベルに処理する方法を提供することを目
的とする。
もので、第４級アンモニウム・ハイドロオキシドを含む
廃液をイオン交換樹脂を用いて容易にほぼ中性の回収利
用可能な水質レベルに処理する方法を提供することを目
的とする。
【０００９】さらに本発明は、現像液廃水中にはＴＭＡ
Ｈの外に低級アルコール、界面活性剤が含まれている
が、このようなイオン交換樹脂では除去できない有機物
も分離除去して回収利用に処理する方法を提供すること
を目的とする。
Ｈの外に低級アルコール、界面活性剤が含まれている
が、このようなイオン交換樹脂では除去できない有機物
も分離除去して回収利用に処理する方法を提供すること
を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明の廃液
処理方法は、第４級アンモニウム・ハイドロオキシドを
含む廃液をアクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂に通水
し、第４級アンモニウムイオンを吸着除去することを特
徴とする。
処理方法は、第４級アンモニウム・ハイドロオキシドを
含む廃液をアクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂に通水
し、第４級アンモニウムイオンを吸着除去することを特
徴とする。
【００１１】さらに、本発明は、上記廃液処理方法にお
いて、前記アクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂は水素
イオン型に再生した後、一部アルカリ金属イオン型に置
換して用いることを特徴とする。
いて、前記アクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂は水素
イオン型に再生した後、一部アルカリ金属イオン型に置
換して用いることを特徴とする。
【００１２】さらにまた、本発明の廃液処理方法は、第
４級アンモニウム・ハイドロオキシドを含む廃液をアク
リル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂に通水し、通水後の処
理水を逆浸透膜装置に供給して、処理水中の有機物を分
離除去することを特徴とする。
４級アンモニウム・ハイドロオキシドを含む廃液をアク
リル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂に通水し、通水後の処
理水を逆浸透膜装置に供給して、処理水中の有機物を分
離除去することを特徴とする。
【００１３】第４級アンモニウム・ハイドロオキシドを
含む廃液を、通常の酸で再生したアクリル酸系弱酸性陽
イオン交換樹脂に通水すると、処理水のｐＨは 4〜 5の
やや酸性側に傾く。このため、通水後に処理水の中和処
理が必要となってくる。
含む廃液を、通常の酸で再生したアクリル酸系弱酸性陽
イオン交換樹脂に通水すると、処理水のｐＨは 4〜 5の
やや酸性側に傾く。このため、通水後に処理水の中和処
理が必要となってくる。
【００１４】しかしながら、アクリル酸系弱酸性陽イオ
ン交換樹脂の再生処理にあたって、まず通水終了後のア
クリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂を酸で再生してＨ+
型とし、ついで酸によりＨ+ 型とした樹脂に水酸化ナト
リウム溶液を流して樹脂の一部をＮa + 型に置換するこ
とにより、処理水のｐＨを中性に調整するすることがで
き、中和工程を削減することができる。
ン交換樹脂の再生処理にあたって、まず通水終了後のア
クリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂を酸で再生してＨ+
型とし、ついで酸によりＨ+ 型とした樹脂に水酸化ナト
リウム溶液を流して樹脂の一部をＮa + 型に置換するこ
とにより、処理水のｐＨを中性に調整するすることがで
き、中和工程を削減することができる。
【００１５】さらに、第４級アンモニウム・ハイドロオ
キシドの他に、低級アルコール、界面活性剤等の有機物
を含有する場合には、イオン交換樹脂ではそれらの有機
物を除去できないが、イオン交換樹脂を経た処理水を逆
浸透膜に透過させることにより、有機物を分離除去しＴ
ＯＣを低減させることができる。
キシドの他に、低級アルコール、界面活性剤等の有機物
を含有する場合には、イオン交換樹脂ではそれらの有機
物を除去できないが、イオン交換樹脂を経た処理水を逆
浸透膜に透過させることにより、有機物を分離除去しＴ
ＯＣを低減させることができる。
【００１６】
【作用】本発明の廃液処理方法において、第４級アンモ
ニウム・ハイドロオキシド含有廃液の処理にアクリル酸
系弱酸性陽イオン交換樹脂を用いることにより、オスモ
ティックショック等による樹脂の破損はほとんど皆無と
することができるとともに、このアクリル酸系弱酸性陽
イオン交換樹脂をＨ＋形に再生した後一部Ｎａ＋形に置
換することにより処理水のｐＨを６〜７に調整すること
ができる。さらに、低級アルコールや界面活性剤を含む
場合、アクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂で処理した
処理水を逆浸透膜で処理することにより、処理水のＴＯ
Ｃ除去率を８０％以上にすることができる。
ニウム・ハイドロオキシド含有廃液の処理にアクリル酸
系弱酸性陽イオン交換樹脂を用いることにより、オスモ
ティックショック等による樹脂の破損はほとんど皆無と
することができるとともに、このアクリル酸系弱酸性陽
イオン交換樹脂をＨ＋形に再生した後一部Ｎａ＋形に置
換することにより処理水のｐＨを６〜７に調整すること
ができる。さらに、低級アルコールや界面活性剤を含む
場合、アクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂で処理した
処理水を逆浸透膜で処理することにより、処理水のＴＯ
Ｃ除去率を８０％以上にすることができる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。
【００１８】図１は、本発明の処理方法による装置構成
の一実施例を示すもので、工場から排出されたＴＭＡＨ
等の第４級アンモニウム・ハイドロオキシド、および低
級アルコール、界面活性剤等の有機物を含む廃液を貯蔵
する廃液貯槽１と、アクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹
脂が充填され、廃液が通水されるイオン交換樹脂塔２
と、イオン交換樹脂塔２を経た処理水をいったん収容す
る処理水槽３と、この処理水中の低級アルコール、界面
活性剤等の有機物を逆浸透膜で分離除去する逆浸透膜装
置４と、イオン交換樹脂塔２の樹脂再生に使用する再生
剤として硫酸等の酸および水酸化ナトリウム溶液をそれ
ぞれ収容するＨ2 ＳＯ4 タンク５およびＮa ＯＨタンク
６と、樹脂再生で濃縮分離された第４級アンモニウム塩
濃縮液を貯留するＴＭＡＨ濃縮液槽７と、逆浸透膜装置
４にて分離された低級アルコール、界面活性剤等の有機
物の濃縮液を貯留する有機系濃縮液槽８とで構成され
る。
の一実施例を示すもので、工場から排出されたＴＭＡＨ
等の第４級アンモニウム・ハイドロオキシド、および低
級アルコール、界面活性剤等の有機物を含む廃液を貯蔵
する廃液貯槽１と、アクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹
脂が充填され、廃液が通水されるイオン交換樹脂塔２
と、イオン交換樹脂塔２を経た処理水をいったん収容す
る処理水槽３と、この処理水中の低級アルコール、界面
活性剤等の有機物を逆浸透膜で分離除去する逆浸透膜装
置４と、イオン交換樹脂塔２の樹脂再生に使用する再生
剤として硫酸等の酸および水酸化ナトリウム溶液をそれ
ぞれ収容するＨ2 ＳＯ4 タンク５およびＮa ＯＨタンク
６と、樹脂再生で濃縮分離された第４級アンモニウム塩
濃縮液を貯留するＴＭＡＨ濃縮液槽７と、逆浸透膜装置
４にて分離された低級アルコール、界面活性剤等の有機
物の濃縮液を貯留する有機系濃縮液槽８とで構成され
る。
【００１９】イオン交換樹脂塔２に充填されるアクリル
酸系弱酸性陽イオン交換樹脂としては、図２に化学構造
を示すように交換基としてカルボン酸基を持ちポリアク
リルを母体とするものが使用される。
酸系弱酸性陽イオン交換樹脂としては、図２に化学構造
を示すように交換基としてカルボン酸基を持ちポリアク
リルを母体とするものが使用される。
【００２０】この構成において、ＴＭＡＨ等の第４級ア
ンモニウム・ハイドロオキシド、および低級アルコー
ル、界面活性剤等の有機物を含む廃液は、廃液貯槽１か
らイオン交換樹脂塔２に送られ、廃液中の第４級アンモ
ニウムイオンがアクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂に
吸着される。第４級アンモニウムイオンを吸着除去され
た処理水は処理水槽３に収容され、ついで処理水槽３か
ら逆浸透膜装置４に供給され、逆浸透膜により低級アル
コール、界面活性剤等の有機物が分離される。逆浸透膜
装置４の逆浸透膜を透過した透過水は、純度の高い水と
なって工場用水として再利用される。
ンモニウム・ハイドロオキシド、および低級アルコー
ル、界面活性剤等の有機物を含む廃液は、廃液貯槽１か
らイオン交換樹脂塔２に送られ、廃液中の第４級アンモ
ニウムイオンがアクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂に
吸着される。第４級アンモニウムイオンを吸着除去され
た処理水は処理水槽３に収容され、ついで処理水槽３か
ら逆浸透膜装置４に供給され、逆浸透膜により低級アル
コール、界面活性剤等の有機物が分離される。逆浸透膜
装置４の逆浸透膜を透過した透過水は、純度の高い水と
なって工場用水として再利用される。
【００２１】また、第４級アンモニウムイオンを吸着し
たイオン交換樹脂は、Ｈ2 ＳＯ4 タンク５から供給され
る硫酸により再生され、イオン交換樹脂から分離された
第４級アンモニウムイオンを含有する再生液はＴＭＡＨ
濃縮液槽７に貯留されて、廃棄物処理に回される。この
再生樹脂は、さらにＮa ＯＨタンク６内の水酸化ナトリ
ウム水溶液を通水することによって、Ｈ型イオン交換樹
脂の一部をＮa 型にし、その後、たとえば逆洗などの方
法によりＮa 型に置換した樹脂を樹脂塔２下部に移行さ
せることにより、イオン交換樹脂塔２を通過した処理水
のｐＨが 6〜 7.5好ましくは 6.5〜 7となるように調整
される。
たイオン交換樹脂は、Ｈ2 ＳＯ4 タンク５から供給され
る硫酸により再生され、イオン交換樹脂から分離された
第４級アンモニウムイオンを含有する再生液はＴＭＡＨ
濃縮液槽７に貯留されて、廃棄物処理に回される。この
再生樹脂は、さらにＮa ＯＨタンク６内の水酸化ナトリ
ウム水溶液を通水することによって、Ｈ型イオン交換樹
脂の一部をＮa 型にし、その後、たとえば逆洗などの方
法によりＮa 型に置換した樹脂を樹脂塔２下部に移行さ
せることにより、イオン交換樹脂塔２を通過した処理水
のｐＨが 6〜 7.5好ましくは 6.5〜 7となるように調整
される。
【００２２】また、逆浸透膜装置４にて分離された低級
アルコール、界面活性剤等の有機物は、濃縮液として有
機系濃縮液槽８に回収され、廃棄物処理される。
アルコール、界面活性剤等の有機物は、濃縮液として有
機系濃縮液槽８に回収され、廃棄物処理される。
【００２３】なお、上記実施例は、一段の逆浸透膜装置
４のみにより有機物分離を行う場合について示したもの
であるが、処理水中の有機物濃度に応じて図３に示すよ
うに逆浸透膜装置４を２段設けて、さらにＴＯＣ除去率
を高めることもできる。この場合には、逆浸透膜装置４
からの透過水はさらに次段の逆浸透膜装置４′に供給さ
れ、逆浸透膜装置４′を経た透過水が工場用水として再
利用される。また、逆浸透膜装置４′で膜分離された濃
縮水は再び処理水槽３に戻され、循環処理される。
４のみにより有機物分離を行う場合について示したもの
であるが、処理水中の有機物濃度に応じて図３に示すよ
うに逆浸透膜装置４を２段設けて、さらにＴＯＣ除去率
を高めることもできる。この場合には、逆浸透膜装置４
からの透過水はさらに次段の逆浸透膜装置４′に供給さ
れ、逆浸透膜装置４′を経た透過水が工場用水として再
利用される。また、逆浸透膜装置４′で膜分離された濃
縮水は再び処理水槽３に戻され、循環処理される。
【００２４】以上のように処理することにより、廃液か
らＴＭＡＨ等の第４級アンモニウム・ハイドロオキシ
ド、および低級アルコール、界面活性剤等の有機物を良
好に除去することができるとともに、中性の処理水を得
ることができ、通常の市水レベルまで容易に処理するこ
とができる。
らＴＭＡＨ等の第４級アンモニウム・ハイドロオキシ
ド、および低級アルコール、界面活性剤等の有機物を良
好に除去することができるとともに、中性の処理水を得
ることができ、通常の市水レベルまで容易に処理するこ
とができる。
【００２５】実施例１ 図１に示す処理装置において、イオン交換樹脂塔２に充
填されるアクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂としてデ
ュオライトＣ−４７６（ローム＆ハース社製品） 0.6リ
ットルを、Ｈ2 ＳＯ4 、Ｎa ＯＨの再生剤により、樹脂
1リットル当たりＨ2 ＳＯ4 として200gの再生レベルに
再生したものを用いて、廃液をＳＶ＝30（１時間当たり
樹脂量の30倍）の処理速度で通水した。
填されるアクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂としてデ
ュオライトＣ−４７６（ローム＆ハース社製品） 0.6リ
ットルを、Ｈ2 ＳＯ4 、Ｎa ＯＨの再生剤により、樹脂
1リットル当たりＨ2 ＳＯ4 として200gの再生レベルに
再生したものを用いて、廃液をＳＶ＝30（１時間当たり
樹脂量の30倍）の処理速度で通水した。
【００２６】その際、イオン交換樹脂塔２出口の処理水
のｐＨを 6.5〜 7.0にするために、アクリル酸系弱酸性
陽イオン交換樹脂を次のような特殊な方法で再生処理を
行った。
のｐＨを 6.5〜 7.0にするために、アクリル酸系弱酸性
陽イオン交換樹脂を次のような特殊な方法で再生処理を
行った。
【００２７】(1) 通水終了後、まず 5％Ｈ2 ＳＯ4 2リ
ットルをＳＶ＝4 でイオン交換樹脂塔２に流し、イオン
交換樹脂をＨ型に再生する。
ットルをＳＶ＝4 でイオン交換樹脂塔２に流し、イオン
交換樹脂をＨ型に再生する。
【００２８】(2) 次に、 4％Ｎa ＯＨ 1リットルをＳＶ
＝4 でイオン交換樹脂塔２に流し、Ｈ型のイオン交換樹
脂の一部をＮa 型に置換する。
＝4 でイオン交換樹脂塔２に流し、Ｈ型のイオン交換樹
脂の一部をＮa 型に置換する。
【００２９】(3) 最後に逆洗を行い、比重差を利用して
Ｎa 型の樹脂をイオン交換樹脂塔２の下部に移行させ
る。
Ｎa 型の樹脂をイオン交換樹脂塔２の下部に移行させ
る。
【００３０】ついで、イオン交換樹脂塔２を通水した処
理水を、逆浸透膜モジュールとしてＳＵ−７００（東レ
株式会社製品）を使用した逆浸透膜装置４に、入口圧力
15 Kg/cm2 で供給し、回収率90％で透過水を得た。この
結果を次表にまとめて示す。
理水を、逆浸透膜モジュールとしてＳＵ−７００（東レ
株式会社製品）を使用した逆浸透膜装置４に、入口圧力
15 Kg/cm2 で供給し、回収率90％で透過水を得た。この
結果を次表にまとめて示す。
【００３１】
【表１】 表中、ＥＣは電気伝導度である。
【００３２】この結果から明らかなように、本実施例に
よれば、廃液中2000 ppmのＴＭＡＨをイオン交換樹脂塔
２出口で10 ppm以下に、逆浸透膜透過水では1ppm以下に
まで分離除去することができるとともに、処理水のｐＨ
を中性にすることができ、かつ逆浸透膜により廃液中の
ＴＯＣをほぼ87％除去することができた。
よれば、廃液中2000 ppmのＴＭＡＨをイオン交換樹脂塔
２出口で10 ppm以下に、逆浸透膜透過水では1ppm以下に
まで分離除去することができるとともに、処理水のｐＨ
を中性にすることができ、かつ逆浸透膜により廃液中の
ＴＯＣをほぼ87％除去することができた。
【００３３】実施例２ 実施例１の装置に、同じくＳＵ−７００（東レ株式会社
製品）の逆浸透膜モジュールを使用した逆浸透膜装置
４′を付加して、図３の装置構成にて廃液処理を行っ
た。その際、２段構成とした逆浸透膜処理は入口圧力30
Kg/cm2 、回収率90％の運転条件で実施した。この結果
を次の表２に示す。
製品）の逆浸透膜モジュールを使用した逆浸透膜装置
４′を付加して、図３の装置構成にて廃液処理を行っ
た。その際、２段構成とした逆浸透膜処理は入口圧力30
Kg/cm2 、回収率90％の運転条件で実施した。この結果
を次の表２に示す。
【００３４】
【表２】 表２から明らかなように、２段目の透過水は、１段目の
透過水に比較してさらに純度が高くなり、特にＴＯＣ除
去率をほぼ99％とすることができた。
透過水に比較してさらに純度が高くなり、特にＴＯＣ除
去率をほぼ99％とすることができた。
【００３５】なお、比較のために、イオン交換樹脂塔２
に強酸性陽イオン交換樹脂および図４に示すような化学
構造のメタクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂をそれぞ
れ使用して、表１、２に示す現像液廃水を通水し、出口
処理水のＴＭＡＨ濃度を測定した。各イオン交換樹脂に
よる処理結果を図５に示す。この図において、横軸は樹
脂量の倍数で表すＢＶを単位とする通水量である。
に強酸性陽イオン交換樹脂および図４に示すような化学
構造のメタクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂をそれぞ
れ使用して、表１、２に示す現像液廃水を通水し、出口
処理水のＴＭＡＨ濃度を測定した。各イオン交換樹脂に
よる処理結果を図５に示す。この図において、横軸は樹
脂量の倍数で表すＢＶを単位とする通水量である。
【００３６】図５からも明らかなように、強酸性陽イオ
ン交換樹脂は、数サイクルで割れたり、汚染したりし
て、３種のイオン交換樹脂の中で最もはやい段階でＴＭ
ＡＨの吸着能力が低下する。また、メタクリル酸系弱酸
性陽イオン交換樹脂は、樹脂の汚染はないが割れるた
め、アクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂よりも先に吸
着能力が低下し、処理容量が小さい。
ン交換樹脂は、数サイクルで割れたり、汚染したりし
て、３種のイオン交換樹脂の中で最もはやい段階でＴＭ
ＡＨの吸着能力が低下する。また、メタクリル酸系弱酸
性陽イオン交換樹脂は、樹脂の汚染はないが割れるた
め、アクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂よりも先に吸
着能力が低下し、処理容量が小さい。
【００３７】さらに、表３に上記樹脂についてそれぞれ
ＴＭＡＨ含有廃液に対する処理能力について調べた結果
をまとめて示す。
ＴＭＡＨ含有廃液に対する処理能力について調べた結果
をまとめて示す。
【００３８】
【表３】 なお、上記実施例では、第４級アンモニウム・ハイドロ
オキシドとしてＴＭＡＨを例に挙げて説明したが、これ
以外のテトラアルキルアンモニウム・ハイドロオキシド
およびコリン、アセチルコリン等の関連物質について
も、本発明の処理方法で除去することができる。
オキシドとしてＴＭＡＨを例に挙げて説明したが、これ
以外のテトラアルキルアンモニウム・ハイドロオキシド
およびコリン、アセチルコリン等の関連物質について
も、本発明の処理方法で除去することができる。
【００３９】
【発明の効果】上記したように、本発明の処理方法によ
れば、アクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂を用いるこ
とにより、廃液中の第４級アンモニウムイオンを良好に
吸着除去することができる。
れば、アクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂を用いるこ
とにより、廃液中の第４級アンモニウムイオンを良好に
吸着除去することができる。
【００４０】またこのとき、アクリル酸系弱酸性陽イオ
ン交換樹脂の水素イオンの一部をアルカリ金属イオンで
置換しておくことにより、通水するだけで中性の処理水
を得ることができる。
ン交換樹脂の水素イオンの一部をアルカリ金属イオンで
置換しておくことにより、通水するだけで中性の処理水
を得ることができる。
【００４１】また、さらに逆浸透膜に透過させることに
より、廃液中のＴＯＣを低減することができる。
より、廃液中のＴＯＣを低減することができる。
【図１】本発明の廃液処理方法による処理システムの一
実施例を示すブロック図である。
実施例を示すブロック図である。
【図２】アクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂の化学構
造を示す図である。
造を示す図である。
【図３】本発明の廃液処理方法による処理システムの他
の実施例を示すブロック図である。
の実施例を示すブロック図である。
【図４】メタクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂の化学
構造を示す図である。
構造を示す図である。
【図５】各陽イオン交換樹脂のＴＭＡＨ含有廃液に対す
る処理能力の相違を示すグラフである。
る処理能力の相違を示すグラフである。
１………廃液貯槽 ２………イオン交換樹脂塔 ３………処理水槽 ４、４′………逆浸透膜装置
Claims (3)
- 【請求項１】 第４級アンモニウム・ハイドロオキシド
を含む廃液をアクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂に通
水し、第４級アンモニウムイオンを吸着除去することを
特徴とする廃液処理方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の廃液処理方法において、
前記アクリル酸系弱酸性陽イオン交換樹脂は水素イオン
型に再生した後、一部アルカリ金属イオン型に置換して
用いることを特徴とする廃液処理方法。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の廃液処理方法に
おいて、第４級アンモニウムイオンが吸着除去された処
理水を逆浸透膜装置に供給し、該処理水中の有機物を分
離除去することを特徴とする廃液処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9597493A JPH06304557A (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | 廃液処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9597493A JPH06304557A (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | 廃液処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06304557A true JPH06304557A (ja) | 1994-11-01 |
Family
ID=14152151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9597493A Withdrawn JPH06304557A (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | 廃液処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06304557A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010119978A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Kotobuki Kakoki Kk | 排水処理装置 |
| WO2011074495A1 (ja) * | 2009-12-15 | 2011-06-23 | 株式会社トクヤマ | テトラアルキルアンモニウムイオン除去廃液の再利用方法 |
-
1993
- 1993-04-22 JP JP9597493A patent/JPH06304557A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010119978A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Kotobuki Kakoki Kk | 排水処理装置 |
| WO2011074495A1 (ja) * | 2009-12-15 | 2011-06-23 | 株式会社トクヤマ | テトラアルキルアンモニウムイオン除去廃液の再利用方法 |
| JP2011125770A (ja) * | 2009-12-15 | 2011-06-30 | Tokuyama Corp | 処理廃液の再利用方法 |
| CN102686520A (zh) * | 2009-12-15 | 2012-09-19 | 德山株式会社 | 去四烷基铵离子废液的再利用方法 |
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