JP2001170658A - フッ素含有排水の処理装置及び処理方法 - Google Patents
フッ素含有排水の処理装置及び処理方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フッ素含有排水の処理に連続式電気脱イオン
装置を適用した場合のＨＦによる陽極の腐食の問題を解
決し、フッ素含有排水を連続式電気脱イオン装置により
安定かつ効率的に処理する。 【解決手段】 ＲＯ膜分離装置１と連続式電気脱イオン
装置３とに順次通水するフッ素含有排水の処理装置及び
処理方法において、ＲＯ膜分離装置１の前段又はＲＯ膜
分離装置１と連続式電気脱イオン装置３との間にフッ素
吸着樹脂装置２を設ける。
装置を適用した場合のＨＦによる陽極の腐食の問題を解
決し、フッ素含有排水を連続式電気脱イオン装置により
安定かつ効率的に処理する。 【解決手段】 ＲＯ膜分離装置１と連続式電気脱イオン
装置３とに順次通水するフッ素含有排水の処理装置及び
処理方法において、ＲＯ膜分離装置１の前段又はＲＯ膜
分離装置１と連続式電気脱イオン装置３との間にフッ素
吸着樹脂装置２を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フッ素含有排水の
処理装置に係り、特に、半導体や液晶等を製造する電子
産業分野の工場から排出されるフッ素含有排水を、連続
式電気脱イオン装置を適用して安定かつ効率的に処理す
る方法に関する。
処理装置に係り、特に、半導体や液晶等を製造する電子
産業分野の工場から排出されるフッ素含有排水を、連続
式電気脱イオン装置を適用して安定かつ効率的に処理す
る方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体や液晶等を製造する電子産業分野
の工場では、水の有効利用率を高めるために、洗浄水と
して使用した後の使用済超純水（以下「回収水」と称す
場合がある。）を回収、処理して再利用することが行わ
れている。
の工場では、水の有効利用率を高めるために、洗浄水と
して使用した後の使用済超純水（以下「回収水」と称す
場合がある。）を回収、処理して再利用することが行わ
れている。
【０００３】この回収水中にはフッ素イオンが含有され
ているため、従来、このフッ素含有回収水は、次のよう
な方法で処理されている。
ているため、従来、このフッ素含有回収水は、次のよう
な方法で処理されている。
【０００４】 フッ素含有回収水を活性炭で処理した
後、弱塩基性アニオン交換樹脂塔、強酸性カチオン交換
樹脂塔及び強塩基性アニオン交換樹脂塔に順次通水して
処理する方法。
後、弱塩基性アニオン交換樹脂塔、強酸性カチオン交換
樹脂塔及び強塩基性アニオン交換樹脂塔に順次通水して
処理する方法。
【０００５】 フッ素含有回収水を中和した後、活性
炭で処理し、その後逆浸透（ＲＯ）膜分離し、次いで混
床式イオン交換純水装置で処理する方法。
炭で処理し、その後逆浸透（ＲＯ）膜分離し、次いで混
床式イオン交換純水装置で処理する方法。
【０００６】しかしながら、イオン交換樹脂塔や混床式
イオン交換純水装置では、定期的にイオン交換樹脂の再
生を行う必要があり、また、再生排水の処理の問題があ
る。
イオン交換純水装置では、定期的にイオン交換樹脂の再
生を行う必要があり、また、再生排水の処理の問題があ
る。
【０００７】このため、近年、イオン交換樹脂のように
再生を必要とせず、電気による脱塩で完全な連続採水が
可能な連続式電気脱イオン装置がフッ素含有回収水の処
理に適用されるようになってきた。
再生を必要とせず、電気による脱塩で完全な連続採水が
可能な連続式電気脱イオン装置がフッ素含有回収水の処
理に適用されるようになってきた。
【０００８】連続式電気脱イオン装置は、陽極と陰極と
の間に複数のアニオン交換膜及びカチオン交換膜を交互
に配列して濃縮室と脱塩室とを交互に形成し、好ましく
は、脱塩室にアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂とを
混合して充填して構成され、このような連続式電気脱イ
オン装置では、脱塩室に流入した原水中のイオンが親和
力、濃度及び移動度に基いて電位をかけた電極の方向
（被処理水の流れに対して直角方向）に移動し、更に、
脱塩室と濃縮室とを仕切るカチオン交換膜又はアニオン
交換膜を横切って移動し、すべての室において電荷の中
和が保たれるようになる。そして、イオン交換膜の半浸
透特性及び電位により、原水中のイオンは脱塩室では減
少し、隣りの濃縮室では濃縮されることになる。このた
め、脱塩室から脱イオン水が回収される。
の間に複数のアニオン交換膜及びカチオン交換膜を交互
に配列して濃縮室と脱塩室とを交互に形成し、好ましく
は、脱塩室にアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂とを
混合して充填して構成され、このような連続式電気脱イ
オン装置では、脱塩室に流入した原水中のイオンが親和
力、濃度及び移動度に基いて電位をかけた電極の方向
（被処理水の流れに対して直角方向）に移動し、更に、
脱塩室と濃縮室とを仕切るカチオン交換膜又はアニオン
交換膜を横切って移動し、すべての室において電荷の中
和が保たれるようになる。そして、イオン交換膜の半浸
透特性及び電位により、原水中のイオンは脱塩室では減
少し、隣りの濃縮室では濃縮されることになる。このた
め、脱塩室から脱イオン水が回収される。
【０００９】従来、連続式電気脱イオン装置をフッ素含
有回収水の処理に適用する場合、一般に、上記の方法
におけるイオン交換純水装置の代替として、連続式電気
脱イオン装置はＲＯ膜分離装置の後段に設けられる。
有回収水の処理に適用する場合、一般に、上記の方法
におけるイオン交換純水装置の代替として、連続式電気
脱イオン装置はＲＯ膜分離装置の後段に設けられる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、連続式
電気脱イオン装置を混床式イオン交換純水装置の代替と
して、上記の方法におけるＲＯ膜分離装置の後段に設
けた場合、ＲＯ膜分離装置を透過した数ｐｐｍのフッ素
イオンは、中和剤として用いた水酸化ナトリウム（Ｎａ
ＯＨ）との反応では、フッ化ナトリウム（ＮａＦ）の型
で連続式電気脱イオン装置に通水されることとなり、こ
のＮａＦのＦは連続式電気脱イオン装置の脱塩工程にお
いて、Ｆ−として移動するため、連続式電気脱イオン装
置の脱塩機構上最も重要な部分である電極室の陽極側に
Ｆ−が引かれ、陽極の近傍に腐食性の高いフッ酸（Ｈ
Ｆ）が濃縮され、これにより陽極が腐食するという問題
がある。
電気脱イオン装置を混床式イオン交換純水装置の代替と
して、上記の方法におけるＲＯ膜分離装置の後段に設
けた場合、ＲＯ膜分離装置を透過した数ｐｐｍのフッ素
イオンは、中和剤として用いた水酸化ナトリウム（Ｎａ
ＯＨ）との反応では、フッ化ナトリウム（ＮａＦ）の型
で連続式電気脱イオン装置に通水されることとなり、こ
のＮａＦのＦは連続式電気脱イオン装置の脱塩工程にお
いて、Ｆ−として移動するため、連続式電気脱イオン装
置の脱塩機構上最も重要な部分である電極室の陽極側に
Ｆ−が引かれ、陽極の近傍に腐食性の高いフッ酸（Ｈ
Ｆ）が濃縮され、これにより陽極が腐食するという問題
がある。
【００１１】本発明は、このようにフッ素含有排水の処
理に連続式電気脱イオン装置を適用した場合のＨＦによ
る陽極の腐食の問題を解決し、フッ素含有排水を連続式
電気脱イオン装置により安定かつ効率的に処理する装置
及び方法を提供することを目的とする。
理に連続式電気脱イオン装置を適用した場合のＨＦによ
る陽極の腐食の問題を解決し、フッ素含有排水を連続式
電気脱イオン装置により安定かつ効率的に処理する装置
及び方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明のフッ素含有排水
の処理装置は、逆浸透膜分離装置と、該逆浸透膜分離装
置の後段に配置された連続式電気脱イオン装置とを備え
るフッ素含有排水の処理装置において、該逆浸透膜分離
装置の前段又は該逆浸透膜分離装置と連続式電気脱イオ
ン装置との間にフッ素吸着樹脂装置を設けたことを特徴
とする。
の処理装置は、逆浸透膜分離装置と、該逆浸透膜分離装
置の後段に配置された連続式電気脱イオン装置とを備え
るフッ素含有排水の処理装置において、該逆浸透膜分離
装置の前段又は該逆浸透膜分離装置と連続式電気脱イオ
ン装置との間にフッ素吸着樹脂装置を設けたことを特徴
とする。
【００１３】本発明のフッ素含有排水の処理方法は、フ
ッ素含有排水を逆浸透膜分離装置に通水して処理した
後、連続式電気脱イオン装置に通水して処理するフッ素
含有排水の処理方法において、逆浸透膜分離装置に通水
する水又は連続式電気脱イオン装置に通水する水をフッ
素吸着樹脂塔に通水して処理することを特徴とする。
ッ素含有排水を逆浸透膜分離装置に通水して処理した
後、連続式電気脱イオン装置に通水して処理するフッ素
含有排水の処理方法において、逆浸透膜分離装置に通水
する水又は連続式電気脱イオン装置に通水する水をフッ
素吸着樹脂塔に通水して処理することを特徴とする。
【００１４】本発明では、連続式電気脱イオン装置の給
水はフッ素吸着樹脂装置でフッ素イオンが高度に吸着除
去されているため、連続式電気脱イオン装置の陽極近傍
でのＨＦの濃縮の問題がなく、陽極の腐食は防止され
る。
水はフッ素吸着樹脂装置でフッ素イオンが高度に吸着除
去されているため、連続式電気脱イオン装置の陽極近傍
でのＨＦの濃縮の問題がなく、陽極の腐食は防止され
る。
【００１５】本発明において、フッ素吸着樹脂として
は、Ｃｅを担持したフッ素キレート樹脂が好適である。
は、Ｃｅを担持したフッ素キレート樹脂が好適である。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を詳細
に説明する。
に説明する。
【００１７】図１は本発明のフッ素含有排水の処理装置
及び処理方法の実施の形態を示す系統図である。
及び処理方法の実施の形態を示す系統図である。
【００１８】図１（ａ）においては、フッ素含有排水を
まずＲＯ膜分離装置１で処理し、濃縮水は系外へ排出
し、透過水を次いでフッ素吸着樹脂塔２に通水してフッ
素を吸着除去する。このフッ素吸着樹脂塔２の処理水を
連続式電気脱イオン装置３に通水して処理し、濃縮水を
系外に排出し、脱イオン水を処理水として取り出す。
まずＲＯ膜分離装置１で処理し、濃縮水は系外へ排出
し、透過水を次いでフッ素吸着樹脂塔２に通水してフッ
素を吸着除去する。このフッ素吸着樹脂塔２の処理水を
連続式電気脱イオン装置３に通水して処理し、濃縮水を
系外に排出し、脱イオン水を処理水として取り出す。
【００１９】このような装置により、例えば、フッ素含
有回収水を処理する場合、通常、フッ素含有回収水中の
Ｆ濃度は数１０〜数１００ｐｐｍ程度であるため、この
ようなフッ素含有回収水をＲＯ膜分離装置１で処理する
ことにより、Ｆ濃度は数ｐｐｍ以下に低減される。
有回収水を処理する場合、通常、フッ素含有回収水中の
Ｆ濃度は数１０〜数１００ｐｐｍ程度であるため、この
ようなフッ素含有回収水をＲＯ膜分離装置１で処理する
ことにより、Ｆ濃度は数ｐｐｍ以下に低減される。
【００２０】従って、フッ素吸着樹脂塔２に流入する水
のＦ濃度は数ｐｐｍ以下と比較的低濃度であるため、こ
のフッ素吸着樹脂塔２は現場にて再生が不要な非再生式
のもので良く、再生に伴う問題を完全に排除することが
できる。
のＦ濃度は数ｐｐｍ以下と比較的低濃度であるため、こ
のフッ素吸着樹脂塔２は現場にて再生が不要な非再生式
のもので良く、再生に伴う問題を完全に排除することが
できる。
【００２１】なお、このフッ素吸着樹脂塔２のフッ素吸
着樹脂としては、Ｃｅを担持したフッ素キレート樹脂が
好適に用いられ、本発明では、このようなフッ素吸着樹
脂塔２に通水してフッ素を吸着除去することにより、連
続式電気脱イオン装置３の給水のＦ濃度が１ｐｐｍ以
下、例えば０．２〜０．５ｐｐｍとなるようにＦ濃度を
低減することが、連続式電気脱イオン装置３における陽
極の腐食を確実に防止する上で好ましい。
着樹脂としては、Ｃｅを担持したフッ素キレート樹脂が
好適に用いられ、本発明では、このようなフッ素吸着樹
脂塔２に通水してフッ素を吸着除去することにより、連
続式電気脱イオン装置３の給水のＦ濃度が１ｐｐｍ以
下、例えば０．２〜０．５ｐｐｍとなるようにＦ濃度を
低減することが、連続式電気脱イオン装置３における陽
極の腐食を確実に防止する上で好ましい。
【００２２】なお、本発明では、処理するフッ素含有排
水が、Ｆ濃度数ｐｐｍ以下の希薄フッ素含有排水である
場合には、図１（ｂ）に示す如く、ＲＯ膜分離装置１の
前段にフッ素イオン吸着樹脂塔２を配置し、フッ素含有
排水をフッ素イオン吸着樹脂塔２に通水してフッ素を吸
着除去した後、ＲＯ膜分離装置１及び連続式電気脱イオ
ン装置３に順次通水して処理しても良い。
水が、Ｆ濃度数ｐｐｍ以下の希薄フッ素含有排水である
場合には、図１（ｂ）に示す如く、ＲＯ膜分離装置１の
前段にフッ素イオン吸着樹脂塔２を配置し、フッ素含有
排水をフッ素イオン吸着樹脂塔２に通水してフッ素を吸
着除去した後、ＲＯ膜分離装置１及び連続式電気脱イオ
ン装置３に順次通水して処理しても良い。
【００２３】この場合においても、連続式電気脱イオン
装置３の給水のＦ濃度を低減することにより、連続式電
気脱イオン装置３における陽極の腐食を防止して、長期
に亙り安定な脱イオン処理を行うことが可能となる。
装置３の給水のＦ濃度を低減することにより、連続式電
気脱イオン装置３における陽極の腐食を防止して、長期
に亙り安定な脱イオン処理を行うことが可能となる。
【００２４】なお、本発明において用いるフッ素含有排
水の処理装置は、複数のアニオン交換膜及びカチオン交
換膜を交互に配列して濃縮室と脱塩室とを交互に形成し
た一般的なものであり、脱塩室にアニオン交換樹脂とカ
チオン交換樹脂との混合樹脂が充填されたものであって
も、充填されていないものであっても良いが、処理水の
水質の向上の面からは、脱塩室にアニオン交換樹脂とカ
チオン交換樹脂の混合樹脂が充填されているものが好ま
しい。
水の処理装置は、複数のアニオン交換膜及びカチオン交
換膜を交互に配列して濃縮室と脱塩室とを交互に形成し
た一般的なものであり、脱塩室にアニオン交換樹脂とカ
チオン交換樹脂との混合樹脂が充填されたものであって
も、充填されていないものであっても良いが、処理水の
水質の向上の面からは、脱塩室にアニオン交換樹脂とカ
チオン交換樹脂の混合樹脂が充填されているものが好ま
しい。
【００２５】また、ＲＯ膜分離装置としては、ＮａＣｌ
除去率９８％以上の高脱塩率のＲＯ膜を用いたものが好
ましい。
除去率９８％以上の高脱塩率のＲＯ膜を用いたものが好
ましい。
【００２６】このような本発明のフッ素含有排水の処理
装置及び処理方法は、電子産業分野等のフッ素含有回収
水の処理に極めて有効であり、再生不要の連続式電気脱
イオン装置を用いて効率的な処理を行える。
装置及び処理方法は、電子産業分野等のフッ素含有回収
水の処理に極めて有効であり、再生不要の連続式電気脱
イオン装置を用いて効率的な処理を行える。
【００２７】
【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。
り具体的に説明する。
【００２８】実施例１ Ｆ濃度で１００ｐｐｍのＨＦを含むフッ素含有回収水に
中和槽（容量３ｍ３，滞留時間１０分）でＮａＯＨを添
加してｐＨ６．０〜７．０に調整した水を、図１（ａ）
に示す方法で処理した。
中和槽（容量３ｍ３，滞留時間１０分）でＮａＯＨを添
加してｐＨ６．０〜７．０に調整した水を、図１（ａ）
に示す方法で処理した。
【００２９】各装置の仕様及び各部の流量は以下の通り
とした。 〔装置仕様〕 ＲＯ膜分離装置：栗田工業（株）製ＰＡ系ＲＯ膜エレメ
ント「ＫＲＯＡ−９８−４Ｈ」（ＮａＣｌ脱塩率＞９
９．７％）使用 フッ素吸着樹脂塔：旭エンジニアリング（株）製Ｃｅ担
持フッ素キレート樹脂「ＲＥＡＤ−Ｆ」を充填。ＳＶ＝
５で通水 連続式電気脱イオン装置：栗田工業（株）製「ピュアエ
ース」（処理能力１０ｍ３／ｈｒ） 〔各部の流量〕 ＲＯ膜分離装置の給水： １３ｍ３／ｈｒ 透過水： １１ｍ３／ｈｒ 濃縮水： ２ｍ３／ｈｒ フッ素吸着樹脂塔流入水： １１ｍ３／ｈｒ 流出水： １１ｍ３／ｈｒ 連続式電気脱イオン装置の給水： １１ｍ３／ｈｒ 脱塩水（処理水）： １０ｍ３／ｈｒ 濃縮水： １ｍ３／ｈｒ その結果、約６ヶ月間運転を継続しても連続式電気脱イ
オン装置の陽極の腐食は起こらず、連続式電気脱イオン
装置からは比抵抗１５ＭΩ・ｃｍ以上の高水質処理水を
安定に得ることができた。
とした。 〔装置仕様〕 ＲＯ膜分離装置：栗田工業（株）製ＰＡ系ＲＯ膜エレメ
ント「ＫＲＯＡ−９８−４Ｈ」（ＮａＣｌ脱塩率＞９
９．７％）使用 フッ素吸着樹脂塔：旭エンジニアリング（株）製Ｃｅ担
持フッ素キレート樹脂「ＲＥＡＤ−Ｆ」を充填。ＳＶ＝
５で通水 連続式電気脱イオン装置：栗田工業（株）製「ピュアエ
ース」（処理能力１０ｍ３／ｈｒ） 〔各部の流量〕 ＲＯ膜分離装置の給水： １３ｍ３／ｈｒ 透過水： １１ｍ３／ｈｒ 濃縮水： ２ｍ３／ｈｒ フッ素吸着樹脂塔流入水： １１ｍ３／ｈｒ 流出水： １１ｍ３／ｈｒ 連続式電気脱イオン装置の給水： １１ｍ３／ｈｒ 脱塩水（処理水）： １０ｍ３／ｈｒ 濃縮水： １ｍ３／ｈｒ その結果、約６ヶ月間運転を継続しても連続式電気脱イ
オン装置の陽極の腐食は起こらず、連続式電気脱イオン
装置からは比抵抗１５ＭΩ・ｃｍ以上の高水質処理水を
安定に得ることができた。
【００３０】なお、この処理において、ＲＯ膜分離装置
の透過水のＦ濃度は２ｐｐｍであったが、この透過水を
フッ素吸着樹脂塔で処理することにより、Ｆ濃度は０．
１ｐｐｍに低減され、連続式電気脱イオン装置の給水に
は殆どＦが含まれていなかった。
の透過水のＦ濃度は２ｐｐｍであったが、この透過水を
フッ素吸着樹脂塔で処理することにより、Ｆ濃度は０．
１ｐｐｍに低減され、連続式電気脱イオン装置の給水に
は殆どＦが含まれていなかった。
【００３１】比較例１ 実施例１において、フッ素吸着樹脂塔を用いず、ＲＯ膜
分離装置の透過水を直接連続式電気脱イオン装置に通水
したこと以外は同様にして処理を行った。
分離装置の透過水を直接連続式電気脱イオン装置に通水
したこと以外は同様にして処理を行った。
【００３２】その結果、約６ヶ月間の運転を継続したと
ころ、運転開始当初比抵抗１５ＭΩ・ｃｍ以上であった
処理水が、陽極の腐食のために、約６ヶ月後には１０Ｍ
Ω・ｃｍ以下に水質が低下した。
ころ、運転開始当初比抵抗１５ＭΩ・ｃｍ以上であった
処理水が、陽極の腐食のために、約６ヶ月後には１０Ｍ
Ω・ｃｍ以下に水質が低下した。
【００３３】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、フ
ッ素含有排水の処理に当たり、イオン交換樹脂のように
再生や再生排液の処理の問題がなく、長期連続運転が可
能な連続式電気脱イオン装置を用いて、安定かつ効率的
な処理を行うことができる。
ッ素含有排水の処理に当たり、イオン交換樹脂のように
再生や再生排液の処理の問題がなく、長期連続運転が可
能な連続式電気脱イオン装置を用いて、安定かつ効率的
な処理を行うことができる。
【図１】本発明のフッ素含有排水の処理装置及び処理方
法の実施の形態を示す系統図である。
法の実施の形態を示す系統図である。
１ ＲＯ膜分離装置 ２ フッ素吸着樹脂塔 ３ 連続式電気脱イオン装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大谷 高広 東京都新宿区西新宿三丁目４番７号 栗田 工業株式会社内 Ｆターム(参考） 4D006 GA03 GA16 KA02 KA52 KA55 KA57 KA71 KB12 KD30 KE02P KE03P KE04P KE12P KE13P KE15Q KE19P MA13 MA14 MB06 PA01 PB08 PB28 PC01 4D038 AA08 AB40 BA02 BA04 BB06 BB08 BB09 BB10 BB13 4D061 DA08 DB13 DB19 DC13 EA02 EB01 EB13 EB19 FA06 FA09
Claims (3)
- 【請求項１】 逆浸透膜分離装置と、該逆浸透膜分離装
置の後段に配置された連続式電気脱イオン装置とを備え
るフッ素含有排水の処理装置において、 該逆浸透膜分離装置の前段又は該逆浸透膜分離装置と連
続式電気脱イオン装置との間にフッ素吸着樹脂装置を設
けたことを特徴とするフッ素含有排水の処理装置。 - 【請求項２】 請求項１において、該フッ素吸着樹脂装
置に充填されたフッ素吸着樹脂がＣｅを担持したフッ素
キレート樹脂であることを特徴とするフッ素含有排水の
処理装置。 - 【請求項３】 フッ素含有排水を逆浸透膜分離装置に通
水して処理した後、連続式電気脱イオン装置に通水して
処理するフッ素含有排水の処理方法において、 逆浸透膜分離装置に通水する水又は連続式電気脱イオン
装置に通水する水をフッ素吸着樹脂塔に通水して処理す
ることを特徴とするフッ素含有排水の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35905099A JP3714076B2 (ja) | 1999-12-17 | 1999-12-17 | フッ素含有排水の処理装置及び処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35905099A JP3714076B2 (ja) | 1999-12-17 | 1999-12-17 | フッ素含有排水の処理装置及び処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001170658A true JP2001170658A (ja) | 2001-06-26 |
| JP3714076B2 JP3714076B2 (ja) | 2005-11-09 |
Family
ID=18462485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35905099A Expired - Fee Related JP3714076B2 (ja) | 1999-12-17 | 1999-12-17 | フッ素含有排水の処理装置及び処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3714076B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005347231A (ja) * | 2003-10-01 | 2005-12-15 | Kurita Water Ind Ltd | 燃料電池用水処理装置 |
| WO2006038325A1 (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Kurita Water Industries Ltd. | 燃料電池用水処理装置 |
| WO2006100716A1 (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Kurita Water Industries Ltd. | 燃料電池用水処理装置 |
| JP2014226642A (ja) * | 2013-05-24 | 2014-12-08 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 超純水製造装置及び超純水製造方法 |
| CN114212914A (zh) * | 2021-12-14 | 2022-03-22 | 宁波职业技术学院 | 一种石化废水回收利用的方法与系统 |
-
1999
- 1999-12-17 JP JP35905099A patent/JP3714076B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| CN114212914A (zh) * | 2021-12-14 | 2022-03-22 | 宁波职业技术学院 | 一种石化废水回收利用的方法与系统 |
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