JPH0627773B2 - 回路基板検査装置における基準データ作成方法 - Google Patents
回路基板検査装置における基準データ作成方法Info
- Publication number
- JPH0627773B2 JPH0627773B2 JP62332147A JP33214787A JPH0627773B2 JP H0627773 B2 JPH0627773 B2 JP H0627773B2 JP 62332147 A JP62332147 A JP 62332147A JP 33214787 A JP33214787 A JP 33214787A JP H0627773 B2 JPH0627773 B2 JP H0627773B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- measurement
- defective
- reference data
- average value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は回路基板検査装置における基準データ作成方
法に関するものである。
法に関するものである。
一般にインサーキットテスタにおいては、良品とされる
基板から良品データを吸収し、同良品データをもって良
否判定の基準データとしている。これによれば、プログ
ラム上で基準エータ等を設定する必要がなく便利ではあ
るが、次のような欠点がある。
基板から良品データを吸収し、同良品データをもって良
否判定の基準データとしている。これによれば、プログ
ラム上で基準エータ等を設定する必要がなく便利ではあ
るが、次のような欠点がある。
すなわち、従来では良品とされる基板がすべて真の良品
であるという前提にたって、それらの基板からデータを
吸収し、平均化して基準データとしており、そのデータ
について特にチェックは行っていない。また、仮にそれ
が良品基板であったとしても、リレーやスィッチ、半固
定抵抗等が実装されている場合、それらの部品が何等か
の原因で同一状態に揃えられていないこともありうる。
であるという前提にたって、それらの基板からデータを
吸収し、平均化して基準データとしており、そのデータ
について特にチェックは行っていない。また、仮にそれ
が良品基板であったとしても、リレーやスィッチ、半固
定抵抗等が実装されている場合、それらの部品が何等か
の原因で同一状態に揃えられていないこともありうる。
したがって、良品基板から良品データを得て基準データ
を作成するにしても、その信頼性は余り高いとはいえな
い。
を作成するにしても、その信頼性は余り高いとはいえな
い。
上記した従来の問題点を解決するため、この発明におい
ては、基板検査に先立って、複数枚の良品基板から各測
定ポイントについての良品データを吸収し、その良品デ
ータから良否判定基準としての基準データを得るに際し
て、上記各良品基板についてその測定ポイントのデータ
を測定して、同測定データを加算するとともに、測定に
供された上記良品基板の枚数をカウントし、上記測定デ
ータの加算値と上記基板の枚数カウント値とから仮平均
値を算出し、該仮平均値と上記測定データとを比較し、
その差が所定値以内の測定データのみを対象として真の
平均値を演算し、該平均値に基づいて良否判定基準とし
ての基準データを得るようにしている。
ては、基板検査に先立って、複数枚の良品基板から各測
定ポイントについての良品データを吸収し、その良品デ
ータから良否判定基準としての基準データを得るに際し
て、上記各良品基板についてその測定ポイントのデータ
を測定して、同測定データを加算するとともに、測定に
供された上記良品基板の枚数をカウントし、上記測定デ
ータの加算値と上記基板の枚数カウント値とから仮平均
値を算出し、該仮平均値と上記測定データとを比較し、
その差が所定値以内の測定データのみを対象として真の
平均値を演算し、該平均値に基づいて良否判定基準とし
ての基準データを得るようにしている。
上記の方法によれば、良品基板といえども例えば基板に
実装されているスイッチや半固定抵抗のセッティングミ
ス等により、仮平均値から大幅にずれている、データが
除外されるため、信頼性の高い基準データが作成され
る。
実装されているスイッチや半固定抵抗のセッティングミ
ス等により、仮平均値から大幅にずれている、データが
除外されるため、信頼性の高い基準データが作成され
る。
以下、この発明の実施例を添付図面を参照しながら詳細
に説明する。
に説明する。
まず、第１図に示されている４つの抵抗Ｒ１〜Ｒ４から
なる回路網を例にとって、その各測定ポイントＡ〜Ｄに
おけるデータの測定装置について説明する。
なる回路網を例にとって、その各測定ポイントＡ〜Ｄに
おけるデータの測定装置について説明する。
この測定装置は、各測定ポイントＡ〜Ｄに対応する４つ
のプローブ１〜４を備えている。すなわち、プローブ１
は測定ポイントＡに、２はＢに、３はＣにそして４はＤ
にそれぞれ対応するように図示しないフィクスチャーの
ピンボードに植設されている。各プローブ１〜４には、
それぞれ２つの切替えスイッチ１ａ，１ｂ；２ａ，２
ｂ；３ａ，３ｂ；４ａ，４ｂが並列的に接続されてい
る。各プローブ１〜４はその一方のスイッチ１ａ，２
ａ，３ａ，４ａを介して測定信号源である例えば交流電
圧源５に接続されている。また、各プローブ１〜４は他
方のスイッチ１ｂ，２ｂ，３ｂ，４ｂを介して信号検出
部６に接続されている。この実施例において同信号検出
部６は電流−電圧変換器からなる。この信号検出部６の
出力側には、増幅器７を介してＡ／Ｄ変換器８が接続さ
れており、その変換データはＣＰＵ(中央処理手段)９に
て処理され、また、スイッチ１ａ〜４ｂもこのＣＰＵ９
により制御されるようになっている。
のプローブ１〜４を備えている。すなわち、プローブ１
は測定ポイントＡに、２はＢに、３はＣにそして４はＤ
にそれぞれ対応するように図示しないフィクスチャーの
ピンボードに植設されている。各プローブ１〜４には、
それぞれ２つの切替えスイッチ１ａ，１ｂ；２ａ，２
ｂ；３ａ，３ｂ；４ａ，４ｂが並列的に接続されてい
る。各プローブ１〜４はその一方のスイッチ１ａ，２
ａ，３ａ，４ａを介して測定信号源である例えば交流電
圧源５に接続されている。また、各プローブ１〜４は他
方のスイッチ１ｂ，２ｂ，３ｂ，４ｂを介して信号検出
部６に接続されている。この実施例において同信号検出
部６は電流−電圧変換器からなる。この信号検出部６の
出力側には、増幅器７を介してＡ／Ｄ変換器８が接続さ
れており、その変換データはＣＰＵ(中央処理手段)９に
て処理され、また、スイッチ１ａ〜４ｂもこのＣＰＵ９
により制御されるようになっている。
この測定装置によれば次のようにして各測定ポイントＡ
〜Ｄにおける測定データが吸収される。まず、良品基板
を図示しないフィクスチャーにセットし、同じく図示し
ないプレス装置を動作させて各プローブ１〜４をその良
品基板の測定ポイントＡ〜Ｄに接触させる。そして、交
流電圧源５側のスイッチ１ａ〜４ａの内、スイッチ１ａ
を「開」、その他のスイッチ２ａ〜４ａを「開」とする
とともに、信号検出器６側のスイッチ１ｂ〜４ｂの内、
スイッチ１ｂを「閉」、その他のスイッチ２ｂ〜４ｂを
「開」とする。これにより、測定ポイントＢ，Ｃ，Ｄは
同電位で、測定ポイントＡのみがそれらに対して低電位
となるため、この例の場合測定ポイントＢとＤから測定
ポイントＡに向けて電流が流れ込むことになる。この電
流は信号検出器６にて例えば電圧に変換され、増幅器７
で所定に増幅されたのち、Ａ／Ｄ変換器８にてディジタ
ルのデータに変換される。このようにして得られたデー
タは測定ポイントＡにおけるインピーダンスである。次
に、交流電圧源５側のスイッチ１ａ〜４ａの内、スイッ
チ２ａを「開」、その他のスイッチ１ａ，３ａ，４ａを
「閉」とするとともに、信号検出器６側のスイッチ１ｂ
〜４ｂの内、スイッチ２ｂを「閉」、その他のスイッチ
１ｂ，３ｂ，４ｂを「開」とする。これにより、測定ポ
イントＢのインピーダンスが測定される。以後同様にし
て測定ポイントＣ，Ｄのインピーダンスが求められる。
なお、ＣＰＵ９は各測定ポイント毎に例えば信号検出器
６の最適レンジを設定し、そのレンジデータはメモリ10
に記憶される。すなわち、最初の良品基板からのデータ
吸収時に最適レンジが設定され、２枚目以降の測定ポイ
ントについても同レンジが適用されるようになってい
る。このようにレンジを１枚目のものに固定すること
は、高速処理を行う上で好ましいが、場合によってはオ
ートレンジにて各基板毎にレンジ処理を行うようにして
もよい。
〜Ｄにおける測定データが吸収される。まず、良品基板
を図示しないフィクスチャーにセットし、同じく図示し
ないプレス装置を動作させて各プローブ１〜４をその良
品基板の測定ポイントＡ〜Ｄに接触させる。そして、交
流電圧源５側のスイッチ１ａ〜４ａの内、スイッチ１ａ
を「開」、その他のスイッチ２ａ〜４ａを「開」とする
とともに、信号検出器６側のスイッチ１ｂ〜４ｂの内、
スイッチ１ｂを「閉」、その他のスイッチ２ｂ〜４ｂを
「開」とする。これにより、測定ポイントＢ，Ｃ，Ｄは
同電位で、測定ポイントＡのみがそれらに対して低電位
となるため、この例の場合測定ポイントＢとＤから測定
ポイントＡに向けて電流が流れ込むことになる。この電
流は信号検出器６にて例えば電圧に変換され、増幅器７
で所定に増幅されたのち、Ａ／Ｄ変換器８にてディジタ
ルのデータに変換される。このようにして得られたデー
タは測定ポイントＡにおけるインピーダンスである。次
に、交流電圧源５側のスイッチ１ａ〜４ａの内、スイッ
チ２ａを「開」、その他のスイッチ１ａ，３ａ，４ａを
「閉」とするとともに、信号検出器６側のスイッチ１ｂ
〜４ｂの内、スイッチ２ｂを「閉」、その他のスイッチ
１ｂ，３ｂ，４ｂを「開」とする。これにより、測定ポ
イントＢのインピーダンスが測定される。以後同様にし
て測定ポイントＣ，Ｄのインピーダンスが求められる。
なお、ＣＰＵ９は各測定ポイント毎に例えば信号検出器
６の最適レンジを設定し、そのレンジデータはメモリ10
に記憶される。すなわち、最初の良品基板からのデータ
吸収時に最適レンジが設定され、２枚目以降の測定ポイ
ントについても同レンジが適用されるようになってい
る。このようにレンジを１枚目のものに固定すること
は、高速処理を行う上で好ましいが、場合によってはオ
ートレンジにて各基板毎にレンジ処理を行うようにして
もよい。
上記のようにして、良品基板の各測定ポイントにおける
良品データ(インピーダンス)が得られるのであるが、こ
の発明においては、その良品データから次のようにして
基準データを得ており、第２図にはそのフローチャート
が示されている。
良品データ(インピーダンス)が得られるのであるが、こ
の発明においては、その良品データから次のようにして
基準データを得ており、第２図にはそのフローチャート
が示されている。
例えば良品基板が10枚用意されたとすると、まずそのす
べての基板からデータを吸収する。すなわち、１枚目か
らは(Ａ１，Ｂ１，Ｃ１，Ｄ１)なる各測定ポイントのイ
ンピーダンスデータが得られ、同様に２枚目からは(Ａ
２，Ｂ２，Ｃ２，Ｄ２)……10枚目からは(Ａ10，Ｂ10，
Ｃ10，Ｄ10)というデータが得られ、、ＣＰＵ９はこれ
らの各測定データをメモリ10に格納する。また、それに
伴って使用された良品基板の枚数(この実施例では10枚)
がＣＰＵ９にてカウントされる。
べての基板からデータを吸収する。すなわち、１枚目か
らは(Ａ１，Ｂ１，Ｃ１，Ｄ１)なる各測定ポイントのイ
ンピーダンスデータが得られ、同様に２枚目からは(Ａ
２，Ｂ２，Ｃ２，Ｄ２)……10枚目からは(Ａ10，Ｂ10，
Ｃ10，Ｄ10)というデータが得られ、、ＣＰＵ９はこれ
らの各測定データをメモリ10に格納する。また、それに
伴って使用された良品基板の枚数(この実施例では10枚)
がＣＰＵ９にてカウントされる。
次に、ＣＰＵ９は上記データから測定ポイントにおける
仮の平均値を算出する。各測定ポイントの仮平均値を
で表記すると、Ａ＝（Ａ１＋Ａ２＋…Ａ10）／10，Ｂ
＝（Ｂ１＋Ｂ２＋…Ｂ10）／10，……Ｄ＝（Ｄ１＋
Ｄ２＋…Ｄ10）／10となる。そして、この仮の平均値と
各測定データの比較判定が行われ、大幅にずれているデ
ータは除外される。その判定基準としては、例えば１枚
目の良品基板からデータを吸収する際に設定されたレン
ジをオーバーもしくはアンダーとしているか、仮の平均
値からの単純な変化量（下限−50％、上限100％）、も
しくは偏差値および標準偏差値が用いられる。この判定
結果、例えば２枚目の基板の測定ポイントＡのデータＡ
２がＡから大幅にずれている場合には、そのデータＡ
２のみならず、同基板から得たデータＢ２〜Ｄ２も除外
される。これは複合回路のインサーキットテスタでは、
通常１ポイントでも不良があると他のポイントにも影響
がでるという理由による。
仮の平均値を算出する。各測定ポイントの仮平均値を
で表記すると、Ａ＝（Ａ１＋Ａ２＋…Ａ10）／10，Ｂ
＝（Ｂ１＋Ｂ２＋…Ｂ10）／10，……Ｄ＝（Ｄ１＋
Ｄ２＋…Ｄ10）／10となる。そして、この仮の平均値と
各測定データの比較判定が行われ、大幅にずれているデ
ータは除外される。その判定基準としては、例えば１枚
目の良品基板からデータを吸収する際に設定されたレン
ジをオーバーもしくはアンダーとしているか、仮の平均
値からの単純な変化量（下限−50％、上限100％）、も
しくは偏差値および標準偏差値が用いられる。この判定
結果、例えば２枚目の基板の測定ポイントＡのデータＡ
２がＡから大幅にずれている場合には、そのデータＡ
２のみならず、同基板から得たデータＢ２〜Ｄ２も除外
される。これは複合回路のインサーキットテスタでは、
通常１ポイントでも不良があると他のポイントにも影響
がでるという理由による。
しかるのち、ＣＰＵ９において残されたデータから各測
定ポイントについての真の平均値を求める演算が行わ
れ、同平均値をもって良否判定基準としての基準データ
が作成される。
定ポイントについての真の平均値を求める演算が行わ
れ、同平均値をもって良否判定基準としての基準データ
が作成される。
上記のようにして基準データが設定されたのち、被検査
回路基板をフィクスチャートにセットして、その基板検
査が行われる。すなわち、上記のスイッチ切替え順序と
同じ順序にしたがった交流圧源５側のスイッチ１ａ〜４
ａと、信号検出器６側のスイッチ１ｂ〜４ｂとが切替え
られて、被検査回路基板の各測定ポイントＡ〜Ｄについ
てのイピーダンスが測定され、ＣＰＵ９においてその測
定インピーダンスと上記基準データとが比較される。こ
の場合、基準データは所定の範囲を有し、測定データが
その範囲内であればＣＲＴ等の表示装置11に検査合格を
示す『ＧＯ』が表示され、その範囲を逸脱していれば不
良品の表示、例えば『ＮＧ』と表示される。
回路基板をフィクスチャートにセットして、その基板検
査が行われる。すなわち、上記のスイッチ切替え順序と
同じ順序にしたがった交流圧源５側のスイッチ１ａ〜４
ａと、信号検出器６側のスイッチ１ｂ〜４ｂとが切替え
られて、被検査回路基板の各測定ポイントＡ〜Ｄについ
てのイピーダンスが測定され、ＣＰＵ９においてその測
定インピーダンスと上記基準データとが比較される。こ
の場合、基準データは所定の範囲を有し、測定データが
その範囲内であればＣＲＴ等の表示装置11に検査合格を
示す『ＧＯ』が表示され、その範囲を逸脱していれば不
良品の表示、例えば『ＮＧ』と表示される。
以上説明したようにこの発明によれば、良品基板から良
品データを吸収する際、その良品データ自体を特定の比
較基準データと比較して、良品基板を選別しているた
め、信頼性の高い基準データが得られる。
品データを吸収する際、その良品データ自体を特定の比
較基準データと比較して、良品基板を選別しているた
め、信頼性の高い基準データが得られる。
第１図はこの発明の実施に供される測定装置の模式図、
第２図はこの発明の動作フローチャートである。 図中、１〜４はプローブ、５は測定信号源、６は信号検
出器、８はＡ／Ｄ変換器、９はＣＰＵ、10はメモリであ
る。
第２図はこの発明の動作フローチャートである。 図中、１〜４はプローブ、５は測定信号源、６は信号検
出器、８はＡ／Ｄ変換器、９はＣＰＵ、10はメモリであ
る。
Claims (1)
- 【請求項１】基板検査に先立って、複数枚の良品基板か
ら各測定ポイントについての良品データを吸収し、その
良品データから良否判定基準としての基準データを得る
回路基板検査装置における基準データ作成方法におい
て、 上記各良品基板についてその測定ポイントのデータを測
定して、同測定データを加算するとともに、測定に供さ
れた上記良品基板の枚数をカウントし、上記測定データ
の加算値と上記基板の枚数カウント値とから仮平均値を
算出し、該仮平均値と上記測定データとを比較し、その
差が所定値以内の測定データのみを対象として真の平均
値を演算し、該平均値に基づいて良否判定基準としての
基準データを得る回路基板検査装置における基準データ
作成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62332147A JPH0627773B2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 回路基板検査装置における基準データ作成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62332147A JPH0627773B2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 回路基板検査装置における基準データ作成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01172768A JPH01172768A (ja) | 1989-07-07 |
| JPH0627773B2 true JPH0627773B2 (ja) | 1994-04-13 |
Family
ID=18251670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62332147A Expired - Fee Related JPH0627773B2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 回路基板検査装置における基準データ作成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0627773B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007051966A (ja) * | 2005-08-19 | 2007-03-01 | Hioki Ee Corp | 検査装置 |
-
1987
- 1987-12-28 JP JP62332147A patent/JPH0627773B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01172768A (ja) | 1989-07-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0627773B2 (ja) | 回路基板検査装置における基準データ作成方法 | |
| JP3717578B2 (ja) | 四端子測定法による接続不良リードの有無判別方法 | |
| JPH01156681A (ja) | 回路基板検査方法 | |
| JPH0627772B2 (ja) | 回路基板検査装置における基準データ作成方法 | |
| JPH10170585A (ja) | 回路基板検査方法 | |
| JPH0352247A (ja) | 半導体試験装置 | |
| JPH0296672A (ja) | 集積回路の検査方法 | |
| JP2580064Y2 (ja) | 四端子測定回路 | |
| JPS59228729A (ja) | 半導体測定装置 | |
| JP2952641B2 (ja) | 集積回路装置の試験装置およびその試験方法 | |
| JP2521165B2 (ja) | インサ―キットテスタによる不良デ―タの出力表示方法 | |
| JP2001194407A (ja) | パターン配線基板用電気検査方法及び装置 | |
| JPH04205899A (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPH05164803A (ja) | インサーキットテスタ用オープンテスト装置 | |
| JPS6170473A (ja) | 波形解析装置 | |
| JP3209753B2 (ja) | 半導体素子の検査方法 | |
| JPH0758313B2 (ja) | 回路基板検査方法 | |
| JPH0574024B2 (ja) | ||
| JPH05211213A (ja) | 半導体ｉｃの検査方法 | |
| JPH01100474A (ja) | 回路基板検査装置 | |
| JPH0737954A (ja) | コンタクト不良検出装置 | |
| JPH01313781A (ja) | 半導体ウェハの特性測定装置 | |
| JPH04177855A (ja) | 集積回路装置の検査方法 | |
| JPS61155873A (ja) | 半導体素子の測定装置 | |
| JPH03212948A (ja) | マーク装置付ハンドラー装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |