JPH03212948A - マーク装置付ハンドラー装置 - Google Patents
マーク装置付ハンドラー装置Info
- Publication number
- JPH03212948A JPH03212948A JP2009376A JP937690A JPH03212948A JP H03212948 A JPH03212948 A JP H03212948A JP 2009376 A JP2009376 A JP 2009376A JP 937690 A JP937690 A JP 937690A JP H03212948 A JPH03212948 A JP H03212948A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- product
- defective
- products
- nondefective
- mark
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、半導体製造工程におけるハンドラー装置に
関するものである。
関するものである。
第４図は従来のハンドラーの構成を示す回路図である。
図において（１）は未測定の製品を保管する特機部、（
２）は製品を測定するためにテスター（５） と接続を
行なう接続部、（４）はテスター（５）からの制御信号
（１１）を受けて良・不良の振り分けを行なう掘り分け
部、（６）は良品の製品を収納する良品収納部、（７）
は不良品の製品を収納する不良品収納部、（ｌＯ）はケ
ーブルである。
２）は製品を測定するためにテスター（５） と接続を
行なう接続部、（４）はテスター（５）からの制御信号
（１１）を受けて良・不良の振り分けを行なう掘り分け
部、（６）は良品の製品を収納する良品収納部、（７）
は不良品の製品を収納する不良品収納部、（ｌＯ）はケ
ーブルである。
次に動作について説明する。特機部（１）から接続部（
２）に送られた製品は、テスター（５） によって検査
を実行し、その結果を制御信号（１１）によって振り分
け部（４）に伝える。振り分け部（４）ではテスト結果
によって製品の流れを良品収納部（６）と不良品収納部
（７）に振り分けて製品をつぎつぎと収納する。
２）に送られた製品は、テスター（５） によって検査
を実行し、その結果を制御信号（１１）によって振り分
け部（４）に伝える。振り分け部（４）ではテスト結果
によって製品の流れを良品収納部（６）と不良品収納部
（７）に振り分けて製品をつぎつぎと収納する。
従来のハンドラーは以上のように構成されているので、
ハンドラーの不具合や、作業者のミスにより良品の製品
と不良品の製品の混入が発生すると良・不良の見分けが
つかず、再度検査をやり直す必要が生じるなどの問題点
があった。
ハンドラーの不具合や、作業者のミスにより良品の製品
と不良品の製品の混入が発生すると良・不良の見分けが
つかず、再度検査をやり直す必要が生じるなどの問題点
があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、良品の製品と不良品の製品に外観上の区別を
持たせることができるマーク装置付ハンドラーを得るこ
とを目的とする。
たもので、良品の製品と不良品の製品に外観上の区別を
持たせることができるマーク装置付ハンドラーを得るこ
とを目的とする。
（課題を解決するための手段）
この発明に係るハンドラー装置は、テスターによって良
品と判定された製品たけにマーカーによるマーク付けを
行ない、不良品と判定された製品と、外観上の異りを持
たせるようにしたものである。
品と判定された製品たけにマーカーによるマーク付けを
行ない、不良品と判定された製品と、外観上の異りを持
たせるようにしたものである。
この発明におけるハンドラー装置は、テスターの判定結
果を７−り装置によって、製品の外面にマーク付けする
。
果を７−り装置によって、製品の外面にマーク付けする
。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はマーク装置付ハンドラーの構成を示す回路図である
。図（］）〜（２） （４）〜（７）（ｌＯ）、（
ＩＩ）は第２図の従来例に示したものと同等であるので
説明を省略する。（３）は製品の測定結果を受けて製品
にマーク付けを行なうマーク装置である。
図はマーク装置付ハンドラーの構成を示す回路図である
。図（］）〜（２） （４）〜（７）（ｌＯ）、（
ＩＩ）は第２図の従来例に示したものと同等であるので
説明を省略する。（３）は製品の測定結果を受けて製品
にマーク付けを行なうマーク装置である。
第２図は第１図のハンドラーによって良品と判定された
製品の正面図で、（９）は良品の製品、（１２）はマー
クである。
製品の正面図で、（９）は良品の製品、（１２）はマー
クである。
第３図は第１図のハンドラーによって不良品と判定され
た製品の正面図で、（８）は不良品の製品である。
た製品の正面図で、（８）は不良品の製品である。
次に動作について説明する。特機部（１）から接続部（
２）に送られた製品は、テスター（５）によって検査を
実行し、その結果が良品であれば、制御信号（１１）を
発生しマーク装置（３）を稼動させ、良品の製品（９）
にマーク（１２）を施す。その後、良品の製品（９）は
振り分け部（４）を通って、良品収納部（６）へ収納さ
れる。テスター（５）による検査の結果、不良品と判定
された場合には制御信号（１１）は発生されず、マーク
装置（３）も動作しない。又、振り分け部（４）は制御
信号（１１）が出ない状態では、製品は不良品収納部（
７）に向うように作られているため、不良品収納部（７
）に収納されていく。その後、連続して特機部？１）か
ら接続部（２）に製品が送り込まれ、テスト結果に対応
してマーク（１２）付けの有無を実行し良品、不良品の
振り分けを続けていく。未測定の製品には不良品の製品
（８）と同様、マーク（１２）はない。
２）に送られた製品は、テスター（５）によって検査を
実行し、その結果が良品であれば、制御信号（１１）を
発生しマーク装置（３）を稼動させ、良品の製品（９）
にマーク（１２）を施す。その後、良品の製品（９）は
振り分け部（４）を通って、良品収納部（６）へ収納さ
れる。テスター（５）による検査の結果、不良品と判定
された場合には制御信号（１１）は発生されず、マーク
装置（３）も動作しない。又、振り分け部（４）は制御
信号（１１）が出ない状態では、製品は不良品収納部（
７）に向うように作られているため、不良品収納部（７
）に収納されていく。その後、連続して特機部？１）か
ら接続部（２）に製品が送り込まれ、テスト結果に対応
してマーク（１２）付けの有無を実行し良品、不良品の
振り分けを続けていく。未測定の製品には不良品の製品
（８）と同様、マーク（１２）はない。
なお、上記実施例では良品の製品（９）にマーク（Ｉ２
）を施すようにしたが、不良品の製品（８）にマーク（
１２）を打つようにしても同様の効果が得られる。又、
マーク装置（３）を２ヶ設けて良品の製品（９）と不良
品の製品（８）に異るマーク（１２）を付けてもよい。
）を施すようにしたが、不良品の製品（８）にマーク（
１２）を打つようにしても同様の効果が得られる。又、
マーク装置（３）を２ヶ設けて良品の製品（９）と不良
品の製品（８）に異るマーク（１２）を付けてもよい。
以上のように、この発明によればテスターによフて良・
不良の判定された製品の測定結果によって、製品の外面
にマーキングするようにしたので、外観からの判定結果
判断が確実に実行される効果がある。
不良の判定された製品の測定結果によって、製品の外面
にマーキングするようにしたので、外観からの判定結果
判断が確実に実行される効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるマーク装置付ハンド
ラーの構成を示す回路図、第２図は第１図のハンドラー
によって良品と判定された製品の正面図、第３図は第１
図のハンドラーによって不良品と判定された製品の正面
図、第４図は従来のハンドラーの構成を示す回路図であ
る。 図に都いて、（１）は特機部、（２）は接続部、（３）
はマーク装置、（４）は振り分け部、（５）はテスター
、（δ）は良品収納部、（７）は不良品収納部、（８）
は不良品の製品、（９）は良品の製品、（ｌＯ）はケー
ブル、（１１）は制御信号、（１２）はマークである。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
ラーの構成を示す回路図、第２図は第１図のハンドラー
によって良品と判定された製品の正面図、第３図は第１
図のハンドラーによって不良品と判定された製品の正面
図、第４図は従来のハンドラーの構成を示す回路図であ
る。 図に都いて、（１）は特機部、（２）は接続部、（３）
はマーク装置、（４）は振り分け部、（５）はテスター
、（δ）は良品収納部、（７）は不良品収納部、（８）
は不良品の製品、（９）は良品の製品、（ｌＯ）はケー
ブル、（１１）は制御信号、（１２）はマークである。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- テスト装置と連動した、製品の良・不良振り分け作業の
途中で、良品の製品にマークを施して不良品の製品と外
観の異りを持たせることを特徴とするマーク装置付ハン
ドラー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009376A JPH03212948A (ja) | 1990-01-17 | 1990-01-17 | マーク装置付ハンドラー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009376A JPH03212948A (ja) | 1990-01-17 | 1990-01-17 | マーク装置付ハンドラー装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03212948A true JPH03212948A (ja) | 1991-09-18 |
Family
ID=11718738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009376A Pending JPH03212948A (ja) | 1990-01-17 | 1990-01-17 | マーク装置付ハンドラー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03212948A (ja) |
-
1990
- 1990-01-17 JP JP2009376A patent/JPH03212948A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH03212948A (ja) | マーク装置付ハンドラー装置 | |
| JPH09203765A (ja) | ビジュアル併用型基板検査装置 | |
| JPS62187258A (ja) | 回路板の検査方法 | |
| JP3717578B2 (ja) | 四端子測定法による接続不良リードの有無判別方法 | |
| JPH0352247A (ja) | 半導体試験装置 | |
| JPH01156681A (ja) | 回路基板検査方法 | |
| JP3150414B2 (ja) | 半導体装置の再検査方法及び半導体装置の検査装置 | |
| JPH01100474A (ja) | 回路基板検査装置 | |
| JPH04315068A (ja) | プリント回路板の検査装置 | |
| JPS6399541A (ja) | 半導体ウエハプロ−バ装置 | |
| JPH05264676A (ja) | 故障検出方法及び検出装置 | |
| JPH10107109A (ja) | 半導体素子及びその評価方法 | |
| JPH03197880A (ja) | インサーキットテスタによる不良データの出力表示方法 | |
| JP2994305B2 (ja) | 物品分類判定装置及びその判定方法 | |
| JPH07140084A (ja) | ウェーハの表面検査方法および検査機 | |
| JPH05326653A (ja) | 不良ｉｃの区別方法及びその検査装置 | |
| KR0177987B1 (ko) | 복수 개의 반도체 칩 테스트 방법 | |
| JP3168813B2 (ja) | 半導体集積回路試験装置 | |
| JPH04355378A (ja) | コンタクトプローブ接触確認法 | |
| JPH03197881A (ja) | インサーキットテスタにおける不良データの出力表示方法 | |
| JPH0627773B2 (ja) | 回路基板検査装置における基準データ作成方法 | |
| JPS59121944A (ja) | 半導体素子の検査装置 | |
| Judi et al. | Visualising automatic product inspection of PCB units | |
| JPS62115838A (ja) | ウエハ−マ−ク検出方法 | |
| JPH04113279A (ja) | 半導体集積回路試験装置 |