JPH01172768A - 回路基板検査装置における基準データ作成方法 - Google Patents
回路基板検査装置における基準データ作成方法Info
- Publication number
- JPH01172768A JPH01172768A JP62332147A JP33214787A JPH01172768A JP H01172768 A JPH01172768 A JP H01172768A JP 62332147 A JP62332147 A JP 62332147A JP 33214787 A JP33214787 A JP 33214787A JP H01172768 A JPH01172768 A JP H01172768A
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 36
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は回路基板検査装置における基準データ作成方
法に関するものである。
法に関するものである。
一般にインサーキットテスタにおいては、良品とされる
基板から良品データを吸収し、同良品データをもって良
否判定の基準データとしている。
基板から良品データを吸収し、同良品データをもって良
否判定の基準データとしている。
これによれば、プログラム上で基準データ等を設定する
必要がなく便利ではあるが、次のような欠点がある。
必要がなく便利ではあるが、次のような欠点がある。
すなわち、従来では良品とされる基板がすべて真の良品
であるという前提にたって、それらの基板からデータを
吸収し、平均化して基準データとしており、そのデータ
について特にチエツクは行っていない。また、仮にそれ
が良品基板であったとしても、リレーやスイッチ、半固
定抵抗等が実装されている場合、それらの部品が何等が
の原因で同一状態に揃えられていないこともありうる。
であるという前提にたって、それらの基板からデータを
吸収し、平均化して基準データとしており、そのデータ
について特にチエツクは行っていない。また、仮にそれ
が良品基板であったとしても、リレーやスイッチ、半固
定抵抗等が実装されている場合、それらの部品が何等が
の原因で同一状態に揃えられていないこともありうる。
したがって、良品基板から良品データを得て基準データ
を作成するにしても、その信頼性は余り高いとはいえな
い。
を作成するにしても、その信頼性は余り高いとはいえな
い。
上記した従来の問題点を解決するため、この発明におい
ては、基板検査に先立って、複数枚の良品基板から各測
定ポイントについての良品データを吸収し、その良品デ
ータから良否判定基準としての基準データを得るに際し
て、上記各良品基板についてその測定ポイントのデータ
を測定して、同謂定データを加算するとともに、測定に
供された上記良品基板の枚数をカウントし、上記測定デ
ータの加算値と上記基板の枚数カウント値とから仮平均
値を算出し、該仮平均値と上記測定データとを比較し、
その差が所定値以内の測定データのみを対象として真の
平均値を演算し、該平均値に基づいて良否判定基準とし
ての基準データを得るようにしている。
ては、基板検査に先立って、複数枚の良品基板から各測
定ポイントについての良品データを吸収し、その良品デ
ータから良否判定基準としての基準データを得るに際し
て、上記各良品基板についてその測定ポイントのデータ
を測定して、同謂定データを加算するとともに、測定に
供された上記良品基板の枚数をカウントし、上記測定デ
ータの加算値と上記基板の枚数カウント値とから仮平均
値を算出し、該仮平均値と上記測定データとを比較し、
その差が所定値以内の測定データのみを対象として真の
平均値を演算し、該平均値に基づいて良否判定基準とし
ての基準データを得るようにしている。
上記の方法によれば、良品基板といえども例えば基板に
実装されているスイッチや半固定抵抗のセツティングミ
ス等により、仮平均値から大幅にずれているデータが除
外されるため、信頼性の高い基準データが作成される。
実装されているスイッチや半固定抵抗のセツティングミ
ス等により、仮平均値から大幅にずれているデータが除
外されるため、信頼性の高い基準データが作成される。
以下、この発明の実施例を添付図面を参照しながら詳細
に説明する。
に説明する。
まず、第１図に示されている４つの抵抗Ｒ１〜Ｒ４から
なる回路網を例にとって、その各測定ポイントＡ−Ｄに
おけるデータの測定装置について説明する。
なる回路網を例にとって、その各測定ポイントＡ−Ｄに
おけるデータの測定装置について説明する。
この測定装置は、各測定ポイントＡ−Ｄに対応する４つ
のプローブ１〜４を備えている。すなわち、プローブ１
は測定ポイントＡに、２はＢに、３はＣにそして４はＤ
にそれぞれ対応するように図示しないフィクスチャーの
ビンボードに植設されている。各プローブ１〜４には、
それぞれ２つの切替えスイッチｌａ、１ｂ：２ａ、２ｂ
；３ａ。
のプローブ１〜４を備えている。すなわち、プローブ１
は測定ポイントＡに、２はＢに、３はＣにそして４はＤ
にそれぞれ対応するように図示しないフィクスチャーの
ビンボードに植設されている。各プローブ１〜４には、
それぞれ２つの切替えスイッチｌａ、１ｂ：２ａ、２ｂ
；３ａ。
３ｂ ；４ａ、４ｂが並列的に接続されている。各プロ
ーブ１〜４はその一方のスイッチｌａ、２ａ。
ーブ１〜４はその一方のスイッチｌａ、２ａ。
３ａ、４ａを介して測定信号源である例えば交流電圧源
５に接続されている。−また、各プローブ１〜４は他方
のスイッチｌｂ、２ｂ、３ｂ、４ｂを介して信号検出部
６に接続されている。この実施例において同信号検出部
６は電流−電圧変換器からなる。この信号検出部６の出
力側には、増幅器７を介してＡ／Ｄ変換器８が接続され
ており、その変換データはＣＰＵ（中央処理手段）９に
て処理され、また、スイッチ１８〜４ｂもこのＣＰＵ９
により制御されるようになっている。
５に接続されている。−また、各プローブ１〜４は他方
のスイッチｌｂ、２ｂ、３ｂ、４ｂを介して信号検出部
６に接続されている。この実施例において同信号検出部
６は電流−電圧変換器からなる。この信号検出部６の出
力側には、増幅器７を介してＡ／Ｄ変換器８が接続され
ており、その変換データはＣＰＵ（中央処理手段）９に
て処理され、また、スイッチ１８〜４ｂもこのＣＰＵ９
により制御されるようになっている。
この測定装置によれば次のようにして各測定ポイントＡ
−Ｄにおける測定データが吸収される。
−Ｄにおける測定データが吸収される。
まず、良品基板を図示しないブイクスチャーにセットし
、同じく図示しないプレス装置を動作させて各プローブ
１〜４をその良品基板の測定ポイントＡ−Ｄに接触させ
る。そして、交流電圧源５側のスイッチ１ａ〜４ａの内
、スイッチ１ａを「開」、その他のスイッチ２８〜４ａ
を「閉」とするとともに、信号検出器６側のスイッチ１
ｂ〜４ｂの内、スイッチ１ｂを「閉」、その他のスイッ
チ２ｂ〜４ｂを「開」とする。これにより、測定ポイン
トＢ、Ｃ，Ｄは同電位で、 １１１ｇ定ポイントＡのみ
がそれらに対して低電位となるため、この例の場合測定
ポイントＢとＤから測定ポイントＡに向けて電流が流れ
込むことになる。この電流は信号検出器６にて例えば電
圧に変換され、増幅器７で所定に増幅されたのち、Ａ／
Ｄ変換器８にてディジタルのデータに変換される。この
ようにして得られたデータは測定ポイントＡにおけるイ
ンピーダンスである０次に、交流電圧源５側のスイッチ
１８〜４ａの内、スイッチ２ａを「開」、その他のスイ
ッチｌａ、３ａ、４ａを「閉」とするとともに、信号検
出器６側のスイッチ１ｂ〜４ｂの内、スイッチ２ｂを「
閉」、その他のスイッチｌｂ。
、同じく図示しないプレス装置を動作させて各プローブ
１〜４をその良品基板の測定ポイントＡ−Ｄに接触させ
る。そして、交流電圧源５側のスイッチ１ａ〜４ａの内
、スイッチ１ａを「開」、その他のスイッチ２８〜４ａ
を「閉」とするとともに、信号検出器６側のスイッチ１
ｂ〜４ｂの内、スイッチ１ｂを「閉」、その他のスイッ
チ２ｂ〜４ｂを「開」とする。これにより、測定ポイン
トＢ、Ｃ，Ｄは同電位で、 １１１ｇ定ポイントＡのみ
がそれらに対して低電位となるため、この例の場合測定
ポイントＢとＤから測定ポイントＡに向けて電流が流れ
込むことになる。この電流は信号検出器６にて例えば電
圧に変換され、増幅器７で所定に増幅されたのち、Ａ／
Ｄ変換器８にてディジタルのデータに変換される。この
ようにして得られたデータは測定ポイントＡにおけるイ
ンピーダンスである０次に、交流電圧源５側のスイッチ
１８〜４ａの内、スイッチ２ａを「開」、その他のスイ
ッチｌａ、３ａ、４ａを「閉」とするとともに、信号検
出器６側のスイッチ１ｂ〜４ｂの内、スイッチ２ｂを「
閉」、その他のスイッチｌｂ。
３ｂ、４ｂを「開」とする。これにより、測定ポイント
Ｂのインピーダンスが測定される。以後同様にして測定
ポイントＣ，Ｄのインピーダンスが求められる。なお、
ＣＰＵ９は各測定ポイント毎に例えば信号検出器６の最
適レンジを設定し、そのレンジデータはメモリ１０に記
憶される。すなわち、最初の良品基板からのデータ吸収
時に最適レンジが設定され、２枚目以降の測定ポイント
にっいても同レンジが適用されるようになっている。
Ｂのインピーダンスが測定される。以後同様にして測定
ポイントＣ，Ｄのインピーダンスが求められる。なお、
ＣＰＵ９は各測定ポイント毎に例えば信号検出器６の最
適レンジを設定し、そのレンジデータはメモリ１０に記
憶される。すなわち、最初の良品基板からのデータ吸収
時に最適レンジが設定され、２枚目以降の測定ポイント
にっいても同レンジが適用されるようになっている。
このようにレンジを１枚目のものに固定することは、高
速処理を行う上で好ましいが、場合によってはオートレ
ンジにて各基板毎にレンジ処理を行うようにしてもよい
。
速処理を行う上で好ましいが、場合によってはオートレ
ンジにて各基板毎にレンジ処理を行うようにしてもよい
。
上記のようにして、良品基板の各測定ポイントにおける
良品データ（インピーダンス）が得られるのであるが、
この発明においては、その良品データから次のようにし
て基準データを得ており、第２図にはそのフローチャー
トが示されている。
良品データ（インピーダンス）が得られるのであるが、
この発明においては、その良品データから次のようにし
て基準データを得ており、第２図にはそのフローチャー
トが示されている。
例えば良品基板が１０枚用意されたとすると、まずその
すべての基板からデータを吸収する。すなわち、１枚目
カらは（Ａｌ、Ｂｌ、Ｃ１，Ｄｉ）なる各測定ポイント
のインピーダンスデータが得られ、同様に２枚目からは
（Ａ２．Ｂ２．Ｃ２，Ｄ２）・・・・・・１０枚目から
は（ＡＩＯ，ＢＩＯ，ＣＩＯ，ＤＩＯ）というデータが
得られ１、ＣＰＵ９はこれらの各測定データをメモリ１
０に格納する。また、それに伴って使用された良品基板
の枚数（この実施例では１０枚）がＣＰＵ９にてカウン
トされる。
すべての基板からデータを吸収する。すなわち、１枚目
カらは（Ａｌ、Ｂｌ、Ｃ１，Ｄｉ）なる各測定ポイント
のインピーダンスデータが得られ、同様に２枚目からは
（Ａ２．Ｂ２．Ｃ２，Ｄ２）・・・・・・１０枚目から
は（ＡＩＯ，ＢＩＯ，ＣＩＯ，ＤＩＯ）というデータが
得られ１、ＣＰＵ９はこれらの各測定データをメモリ１
０に格納する。また、それに伴って使用された良品基板
の枚数（この実施例では１０枚）がＣＰＵ９にてカウン
トされる。
次に、ＣＰＵ９は上記データから測定ポイントにおける
仮の平均値を算出する。各測定ポイントの仮平均値をヌ
で表記すると、ＡＸ＝ （Ａ１＋Ａ２＋・・・Ａｌ０）
／１０． Ｂヌ＝（Ｂ１＋Ｂ２＋・・・１３１０）／
１０．・・・・・・ＤＸ＝ （Ｄ１＋Ｄ２＋・・・Ｄ
ＩＯ） ／１０となる。そして、この仮の平均値と各測
定データの比較判定が行われ、大樅にずれているデータ
は除外される。その判定基準としては１例えば１枚目の
良品基板からデータを吸収する際に設定されたレンジを
オーバーもしくはアンダーとしているか、仮の平均値か
らの単純な変化量（下限−５０％、上限１００％）、も
しくは偏差値および標準偏差値が用いられる。この判定
結果１例えば２枚目の基板の７１１１１定ポイントＡの
データＡ２がＡ′ｙ：から大幅にずれている場合には、
そのデータＡ２のみならず、同基板から得たデータＢ２
〜Ｄ２も除外される。
仮の平均値を算出する。各測定ポイントの仮平均値をヌ
で表記すると、ＡＸ＝ （Ａ１＋Ａ２＋・・・Ａｌ０）
／１０． Ｂヌ＝（Ｂ１＋Ｂ２＋・・・１３１０）／
１０．・・・・・・ＤＸ＝ （Ｄ１＋Ｄ２＋・・・Ｄ
ＩＯ） ／１０となる。そして、この仮の平均値と各測
定データの比較判定が行われ、大樅にずれているデータ
は除外される。その判定基準としては１例えば１枚目の
良品基板からデータを吸収する際に設定されたレンジを
オーバーもしくはアンダーとしているか、仮の平均値か
らの単純な変化量（下限−５０％、上限１００％）、も
しくは偏差値および標準偏差値が用いられる。この判定
結果１例えば２枚目の基板の７１１１１定ポイントＡの
データＡ２がＡ′ｙ：から大幅にずれている場合には、
そのデータＡ２のみならず、同基板から得たデータＢ２
〜Ｄ２も除外される。
これは複合回路のインサーキットテスタでは、通常１ポ
イントでも不良があると他のポイントにも影響がでると
いう理由による。
イントでも不良があると他のポイントにも影響がでると
いう理由による。
しかるのち、ＣＰＵ９において残されたデータから各測
定ポイントについての真の平均値を求める演算が行われ
、同平均値をもって良否判定基準としての基準データが
作成される。
定ポイントについての真の平均値を求める演算が行われ
、同平均値をもって良否判定基準としての基準データが
作成される。
上記のようにして基準データが設定されたのち、被検査
回路基板をフローチャートにセットして。
回路基板をフローチャートにセットして。
その基板検査が行われる。すなわち、上記のスイッチ切
替え順序と同じ順序にしたがって交流圧源５側のスイッ
チ１８〜４ａと、信号検出器６側のスイッチ１ｂ〜４ｂ
とが切替えられて、被検査回路基板の各測定ポイントＡ
−Ｄについてのインピーダンスが測定され、ＣＰＵ９に
おいてその測定インピーダンスと上記基準データとが比
較される。
替え順序と同じ順序にしたがって交流圧源５側のスイッ
チ１８〜４ａと、信号検出器６側のスイッチ１ｂ〜４ｂ
とが切替えられて、被検査回路基板の各測定ポイントＡ
−Ｄについてのインピーダンスが測定され、ＣＰＵ９に
おいてその測定インピーダンスと上記基準データとが比
較される。
この場合、基準データは所定の範囲を有し、測定データ
がその範囲内であればＣＲＴ等の表示装置１１に検査合
格を示すＦＧＯＪＪが表示され、その範囲を逸脱してい
れば不良品の表示、例えば［ｉ’Ｎ（ｄｉと表示される
。
がその範囲内であればＣＲＴ等の表示装置１１に検査合
格を示すＦＧＯＪＪが表示され、その範囲を逸脱してい
れば不良品の表示、例えば［ｉ’Ｎ（ｄｉと表示される
。
以上説明したようにこの発明によれば、良品基板から良
品データを吸収する際、その良品データ自体を特定の比
較基準データと比較して、良品基板を選別しているため
、イｄ頼性の高い基準データが得られる。
品データを吸収する際、その良品データ自体を特定の比
較基準データと比較して、良品基板を選別しているため
、イｄ頼性の高い基準データが得られる。
第１図はこの発明の実施に供されるｄｌす窓装置の模式
図、第２図はこの発明の動作フローチャートである。 図中、１〜４はプローブ、５は測定信号源、６は信号検
出器、８はＡ／Ｄ変換器、９はＣＰＵ、１０はメモリで
ある。
図、第２図はこの発明の動作フローチャートである。 図中、１〜４はプローブ、５は測定信号源、６は信号検
出器、８はＡ／Ｄ変換器、９はＣＰＵ、１０はメモリで
ある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基板検査に先立って、複数枚の良品基板から各測定ポイ
ントについての良品データを吸収し、その良品データか
ら良否判定基準としての基準データを得る回路基板検査
装置における基準データ作成方法において、 上記各良品基板についてその測定ポイントのデータを測
定して、同測定データを加算するとともに、測定に供さ
れた上記良品基板の枚数をカウントし、上記測定データ
の加算値と上記基板の枚数カウント値とから仮平均値を
算出し、該仮平均値と上記測定データとを比較し、その
差が所定値以内の測定データのみを対象として真の平均
値を演算し、該平均値に基づいて良否判定基準としての
基準データを得る回路基板検査装置における基準データ
作成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62332147A JPH0627773B2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 回路基板検査装置における基準データ作成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62332147A JPH0627773B2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 回路基板検査装置における基準データ作成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01172768A true JPH01172768A (ja) | 1989-07-07 |
| JPH0627773B2 JPH0627773B2 (ja) | 1994-04-13 |
Family
ID=18251670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62332147A Expired - Fee Related JPH0627773B2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 回路基板検査装置における基準データ作成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0627773B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007051966A (ja) * | 2005-08-19 | 2007-03-01 | Hioki Ee Corp | 検査装置 |
-
1987
- 1987-12-28 JP JP62332147A patent/JPH0627773B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007051966A (ja) * | 2005-08-19 | 2007-03-01 | Hioki Ee Corp | 検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0627773B2 (ja) | 1994-04-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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