JPH06275756A - リード・フレーム形成用材の作製方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 均一な品質のリード・フレームを同時に多数
作製できるリード・フレーム形成用材の作製方法を提供
すること。 【構成】 リード・フレーム形成用帯状金属板を順次連
続的に、脱脂処理及び酸洗浄処理し、得られる処理済リ
ード・フレーム形成用金属板上に、感光材を塗布し、乾
燥させた後、そのリード・フレーム形成用金属板を長手
方向に沿って、一定長毎に切断し、複数枚のリード・フ
レーム形成用材を作製する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、リード・フレーム形
成用材の作製方法に関し、さらに詳しくは、均一な品質
のリード・フレームを大量に作製できるリード・フレー
ム形成用材の作製方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】リード・フレームはプラスチックモール
ドＩＣや、セラミックスパッケージＩＣ等において用い
られる半導体ペレットを固定するダイパッド（Ｄｉｅ
）と引き出し配線リード端子を形成する金属フレーム
である。金属フレームは、材料として、銅又は銅―ニッ
ケルを主体とする合金製のリード・フレーム形成用金属
板が使われる。近年、チタン、クロム等活性金属系の元
素を添加した材料も使用され始めている。いずれにして
も、機械的強度があり、導電率が高く軟化温度が高く、
さらに半導体ペレットやパッケージ材料の熱膨脹係数と
マッチした熱膨脹係数をもち、リードの平面性確保、曲
げ異方性が小さく、放熱性がよく、低コストの材料が使
用され、打ち抜きプレス又はエッチングによりリード・
フレーム形成用金属板に対しエッチング液でパターン形
成している。打ち抜きは低コストででき、エッチング液
による方法は正確なパターン形成ができる。近年、半導
体や、これを使用し集積回路の発達に伴い、リード・フ
レームを使用する電子部品の需要も高まり、均一な品質
のリード・フレームを大量に作製する必要性が高まって
きた。

【０００３】リード・フレームを作製するには、従来
は、例えば銅を主体とする合金板、又は銅―ニッケルを
主体とする合金板を購入し、合金板上に設けてある防錆
材を除去するため、順次脱脂処理及び酸洗浄処理を施し
て合金板表面を処理した後、合金板表面にホイラー塗布
法により液状レジストを塗布又はドライタイプで例えば
ネガ形の感光材層を溶着し乾燥させて感光材層を設け、
所定のエッチングパターンを露光後現像処理し、露光部
分の感光材を除去した後、合金板をエッチング液中に浸
漬し、合金板面に所定のエッチングパターンを形成させ
ていた。このようなパターンを形成した均一な品質のリ
ード・フレームを大量に作製するための従来リード・フ
レーム形成用材を作製するには、例えば、上述した合金
板を多数枚購入し、これら多数枚の合金板を順次バッチ
処理で、合金板上の防錆材を脱脂処理及び酸洗浄処理を
施した上、得られる合金板上に感光材を塗布し、乾燥し
て多数枚のリード・フレーム形成用金属板を作製してい
た。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した従
来のリード・フレーム形成用材の作製方法は、多数のリ
ード・フレーム形成用金属板を、バッチ処理で、順次脱
脂処理及び酸洗浄処理した後、得られる各脱脂処理・酸
洗浄処理済リード・フレーム形成用金属板上に感光材を
塗布し、乾燥させるから、リード・フレーム形成用金属
板と感光材層間に異物が混入しやすく、パターン形成後
のリード・フレームが断線不良を生じることがあり、同
時に大量に均一品質のリード・フレームを作製すること
が困難であった。そこで、この発明は、このような従来
のリード・フレーム形成用材の作製方法の難点を除去
し、均一な品質のリード・フレームを大量に作製できる
リード・フレーム形成用材の作製方法を提供しようとす
るものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
め、この発明にかかるリード・フレーム形成用材の作製
方法は、リード・フレーム形成用帯状金属板を順次、脱
脂処理及び酸洗浄処理を施し、得られた処理済リード・
フレーム形成用金属板上に、感光材を塗布し、乾燥させ
るとともに、当該リード・フレーム形成用金属板を長手
方向に沿って一定長毎に切断又は巻取ることを特徴とす
るものである。前記リード・フレーム形成用帯状金属板
は、銅又は銅―ニッケルを主体とする合金あるいはこれ
らにさらにチタン、クロム等の活性金属元素を添加した
合金で作られた薄板、又は帯状で長寸の合金板であるこ
とが望ましい。

【０００６】また、脱脂処理に使用する脱脂材には酸、
アルカリが使用でき、具体的には炭酸ナトリウム、燐
酸、硫酸、塩酸、硝酸、水酸化ナトリウム、メタケイ酸
ナトリムウ、二号ケイ酸ナトリウム、ヘキサメタリン酸
ナトリウム、第２燐酸ナトリムウ、トリポリン酸ナトリ
ウム、ピロリン酸ナトリウム等の燐酸水溶液が用いられ
る。処理条件は、濃度０．０１％〜５０％、温度２０℃
〜９０℃、処理時間５秒〜５分で行う。以上の条件でリ
ード・フレーム形成用帯状金属板の脱脂処理は、上記の
処理以外に、電気化学的方法を組合わせる電解脱脂処理
法で行ってもよい。また脱脂処理前に粗面化を行っても
良い。粗面化方法としてはブラシ等を用いた粗面化方法
が一般である。このような処理を行うと、スマットが発
生する。そこで、その残渣物を除去する必要がある。こ
のスタットは燐酸、硝酸、硫酸、クロム酸等により、ま
たはこれら混合物により除去することが出来る。本発明
において、残渣物のない清浄な面が必要である。また各
工程の後に水洗を行い残液が残らない様にすることも必
要である。その後感光層を塗布する。塗布方法としては
連続的に、しかも均一に塗布できることが必要である。
感光液としては、ネガ型とポジ型があり、ネガ型として
は、重クロム酸塩類＋ポリマー、芳香族ビスアジド化合
物＋環化ゴム、アジド系ポリマー、けい皮酸ビニル系ポ
リマー、光重合性モノマー・オリゴマー等がある。また
ポジ型では、ｏ−ナフトキノンジアジド系、等も用いら
れる。ネガ型、ポジ型共、柔軟性と密着性が必要であ
る。

【０００７】また、米国特許第２，９４６，６３８号明
細書に記載されている弗化ジルコニウム酸カリウム処
理、米国特許第３，２０１，２４７号明細書に記載され
ているホスホモリブデート処理、英国特許第１，１０
８，５５９号に記載されているアルキルチタネート処
理、独国特許第１，０９１，４３３号明細書に記載され
ているポリアクリル酸処理、独国特許第１，１３４，０
９３号明細書や英国特許第１，２３０，４４７号明細書
に記載されているポリビニルホスホン酸処理、特公昭４
４−６４０９号公報に記載されているホスホン酸処理、
米国特許第３，３０７，９５１号明細書に記載されてい
るフィチン酸処理、特開昭５８−１６８９３号や特開昭
５８−１８２９１号の各公報に記載されている親油性有
機高分子化合物と２価の金属との塩による処理や、米国
特許第３，８６０，４２６号明細書に記載されているよ
うに、水溶性金属塩（例えば酢酸亜鉛など）を含む親水
性セルロース（例えばカルボキシメチルセルロースな
ど）の下塗り層を設けたり、特開昭５９−１０１６５１
号公報に記載されているスルホン酸基を有する水溶性重
合体の下塗りによって親水化処理を行ったものや、特開
昭６２−０１９４９４号公報に記載されているリン酸
塩、特開昭６２−０３３６９２号公報に記載されている
水溶性エポキシ化合物、特開昭６２−０９７８９２号公
報に記載のリン酸変性デンプン、特開昭６３−０５６４
９８号公報に記載のジアミン化合物、特開昭６３−１３
０３９１号公報記載のアミノ酸の無機または有機酸、特
開昭６３−１４５０９２号公報に記載の−ＣＯＯＨまた
は−ＯＨを含む有機ホスホン酸、特開昭６３−１６５１
８３号公報に記載のアミノ基とホスホン酸基を有する化
合物、特開平２−３１６２９０号公報に記載の特定のカ
ルボン酸誘導体、特願平１−２７２５９４号明細書に記
載のリン酸エステル、特願平２−５９５９２号明細書に
記載の１個のアミノ基とリンの酸素酸基１個を持つ化合
物、特願平２−２６５８４５号明細書に記載のリン酸エ
ステル、特願平３−１０６０４号明細書に記載のフェニ
ルホスホン酸などの脂肪族または芳香族ホスホン酸、特
開平１−３０７７４５号公報に記載のチオサリチル酸の
ようなＳ原子を含む化合物、特願平３−４６９３２号明
細書に記載のリンの酸素酸のグループを持つ化合物など
の下塗りや、特開昭６０−６４３５２号公報に記載され
ている酸性汚染による着色を行なう事もできる。

【０００８】本発明のリード・フレーム形成用帯状金属
板には、以下に例示する感光層を設けて感光性平版印刷
板とすることができる。 〔Ｉ〕ｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルお
よびフェノール・クレゾール混合のノボラック樹脂を含
有する感光層を設ける場合。 ｏ−キノンジアジド化合物はｏ−ナフトキノンジアジド
化合物であり、例えば、米国特許第２，７６６，１１８
号、同第２，７６７，０９２号、同第２，７７２，９７
２号、同第２，８５９，１１２号、同第３，１０２，８
０９号、同第３，１０６，４６５号、同第３，６３５，
７０９号、同第３，６４７，４４３号の各明細書をはじ
め、多数の刊行物に記されており、これらは、好適に使
用することができる。

【０００９】これらの内でも、特に芳香族ヒドロキシ化
合物のｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルま
たはｏ−ナフトキノンジアジドカルボン酸エステル、及
び芳香族アミン化合物のｏ−ナフトキノンジアジドスル
ホン酸アミドまたはｏ−ナフトキノンジアジドカルボン
酸アミドが好ましく、特に米国特許第３，６３５，７０
９号明細書に記されているビロガロールとアセトンとの
縮合物にｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸をエステ
ル反応せさたもの、米国特許第４，０２８，１１１号明
細書に記されている末端にヒドロキシ基を有するポリエ
ステルにｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸、または
ｏ−ナフトキノンジアジドカルボン酸をエステル反応さ
せたもの、英国特許第１，４９４，０４３号明細書に記
されているようなｐ−ヒドロキシスチレンのホモポリマ
ーまたはこれと他の共重合し得るモノマーとの共重合体
にｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸、またはｏ−ナ
フトキノンジアジドカルボン酸をエステル反応せさたも
の、米国特許第３，７５９，７１１号明細書に記されて
いるようなｐ−アミノスチレンと他の共重合し得るモノ
マーとの共重合体にｏ−ナフトキノンジアジドスルホン
酸、またはｏ−ナフトキノンジアジドカルボン酸をアミ
ド反応させたものは非常に優れている。

【００１０】これらのｏ−キノンジアジド化合物は、単
独で使用することができるが、アルカリ可溶性樹脂と、
混合して用いた方が好ましい。好適なアルカリ可溶性樹
脂には、ノボラック型フェノール樹脂が含まれ、具体的
には、フェノールホルムアルデヒド樹脂、ｏ−クレゾー
ルホルムアルデヒド樹脂、ｍ−クレゾールホルムアルデ
ヒド樹脂、などが含まれる。さらに米国特許第４，０２
８，１１１号明細書に記されているように上記のような
フェノール樹脂と共に、ｔ−ブチルフェノールホルムア
ルデヒド樹脂のような炭素数３〜８のアルキル基で置換
されたフェノールまたはクレゾールとホルムアルデヒド
との縮合物を併用すると、より一層好ましい。また、露
光により可視像を形成するために、ｏ−ナフトキノンジ
アジド−４−スルホニルクロライド、ｐ−ジアゾジフェ
ニルアミンの無機アニオン塩、トリハロメチルオキサジ
アゾール化合物、ベンゾフラン環を有するトリハロメチ
ルオキサジアゾール化合物等の化合物などが添加され
る。一方画像の着色剤としては、ビクトリアブルーＢＯ
Ｈ、クリスタルバイオレット、オイルブルー等のトリフ
ェニルメタン染料が用いられる。また、特開昭６２−２
９３２４７号公報に記載されている染料は特に好まし
い。

【００１１】さらに、感脂化剤として特公昭５７−２３
２５３号公報に記載されているような炭素数３〜１５の
アルキル基で置換されたフェノール、例えばｔ−ブチル
フェノール、Ｎ−オクチルフェノール、ｔ−ブチルフェ
ノールとホルムアルデヒドとを縮合させたノボラック樹
脂、または、このようなノボラック樹脂のｏ−ナフトキ
ノンジアジド−４−または−５−スルホン酸エステル
（例えば、特開昭６１−２４２４４６号公報に記載され
ている）を含有させることができる。また、現像性能を
良くするためにさらに特開昭６２−２５１７４０号公報
に記載されているような非イオン界面活性剤を含有させ
ることができる。以上の組成物は、上記各成分を溶解す
る溶媒に溶かして支持体上に塗布する。ここで使用する
溶媒としては、エチレンジクロライド、シクロヘキサノ
ン、メチルエチルケトン、エチレングリコールモノメチ
ルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、
２−メトキシエチルアセテート、１−メトキシ−２−プ
ロパノール、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、
乳酸メチル、乳酸エチル、ジメチルスルホキシド、ジメ
チルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、水、Ｎ−メ
チルピロリドン、テトラヒドロフルフリルアルコール、
アセトン、ジアセトンアルコール、メタノール、エタノ
ール、イソプロパノール、ジエチレングリコールジメチ
ルエーテルなどがあり、これらの溶媒を単独あるいは混
合して使用する。これらの成分からなる感光性組成物
が、固形分として０．５〜３．０ｇ／ｍ²設けられる。

【００１２】〔II〕ジアゾ樹脂と水不溶性かつ親油性高
分子化合物を含有する感光層を設ける場合。 ジアゾ樹脂としては、例えばｐ−ジアゾジフェニルアミ
ンとホルムアルデヒドまたはアセトアルデヒドの縮合物
と、ヘキサフルオロリン酸塩、テトラフルオロホウ酸塩
との有機溶媒可溶の反応生成物であるジアゾ樹脂無機
塩、また米国特許第３，３００，３０９号明細書に記載
されているような、前記縮合物とスルホン酸類例えばパ
ラトルエンスルホン酸またはその塩、ホスフィン酸類例
えばベンゼンホスフィン酸またはその塩、ヒドロキシル
基含有化合物、例えば、２，４−ジヒドロキシベンゾフ
ェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン
−５−スルホン酸またはその塩等の反応生成物である有
機溶媒可溶性ジアゾ樹脂有機酸塩等が挙げられる。本発
明においては、好適に用いることができる他のジアゾ樹
脂は、カルボキシル基、スルホン酸基、スルフィン酸
基、リンの酸素酸基およびヒドロキシル基のうち少なく
とも一つの有機基を有する芳香族化合物と、ジアゾニウ
ム化合物、好ましくは芳香族ジアゾニウム化合物とを構
造単位として含む共縮合体である。そして上記の芳香族
環としては、好ましくはフェニル基、ナフチル基を挙げ
ることができる。

【００１３】前述のカルボキシル基、スルホン酸基、ス
ルフィン酸基、リンの酸素酸基、及びヒドロキシル基の
うち少なくとも一つを含有する芳香族化合物としては種
々のものが挙げられるが、好ましいのは、４−メトキシ
安息香酸、３−クロロ安息香酸、２，４−ジメトキシ安
息香酸、ｐ−フェノキシ安息香酸、４−アニリノ安息香
酸、フェノキシ酢酸、フェニル酢酸、ｐ−ヒドロキシ安
息香酸、２，４−ジヒドロキシ安息香酸、ベンゼンスル
ホン酸、ｐ−トルエンスルフィン酸、１−ナフタレンス
ルホン酸、フェニルリン酸、フェニルホスホン酸であ
る。前述の共縮合ジアゾ樹脂の構成単位をなす芳香族ジ
アゾニウム化合物には、例えば特公昭４９−４８００１
号に挙げられているようなジアゾニウム塩を用いること
ができるが、特に、ジフェニルアミン−４−ジアゾニウ
ム塩類が好ましい。ジフェニルアミン−４−ジアゾニウ
ム塩類は、４−アミノ−ジフェニルアミン類から誘導さ
れるが、このような４−アミノ−ジフェニルアミン類と
しては、４−アミノ−ジフェニルアミン、４−アミノ−
３−メトキシ−ジフェニルアミン、４−アミノ−２−メ
トキシ−ジフェニルアミン、４′−アミノ−２−メトキ
シ−ジフェニルアミン、４′−アミノ−４−メトキシ−
ジフェニルアミン、４−アミノ−３−メチルジフェニル
アミン、４−アミノ−３−エトキシ−ジフェニルアミ
ン、４−アミノ−３−β−ヒドロキシエトキシジフェニ
ルアミン、４−アミノ−ジフェニルアミン−２−スルホ
ン酸、４−アミノ−ジフェニルアミン−２−カルボン
酸、４−アミノ−ジフェニルアミン−２′−カルボン酸
等が挙げられ、特に好ましくは、３−メトキシ−４−ア
ミノ−４−ジフェニルアミン、４−アミノ−ジフェニル
アミンである。

【００１４】また、酸基を有する芳香族化合物との共縮
合ジアゾ樹脂以外のジアゾ樹脂として、特願平１−１３
０４９３号、特願平１−３０３７０５号、及び特願平２
−５３１０１号に記載された酸基を含有するアルデヒド
またはそのアセタール化合物で縮合したジアゾ樹脂も好
ましく用いることができる。ジアゾ樹脂の対アニオンと
しては、ジアゾ樹脂と安定に塩を形成し、かつ該樹脂を
有機溶媒に可溶となすアニオンを含む。これらは、デカ
ン酸及び安息香酸等の有機カルボン酸、フェニルリン酸
等の有機リン酸及びスルホン酸を含み、典型的な例とし
ては、メタンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン
酸などのフルオロアルカンスルホン酸、ラウリルスルホ
ン酸、ジオクチルスルホコハク酸、ジシクロヘキシルス
ルホコハク酸、カンファースルホン酸、トリルオキシ−
３−プロパンスルホン酸、ノニルフェノキシ−３−プロ
パンスルホン酸、ノニルフェノキシ−４−ブタンスルホ
ン酸、ジブチルフェノキシ−３−プロパンスルホン酸、
ジアミルフェノキシ−３−プロパンスルホン酸、ジノニ
ルフェノキシ−３−プロパンスルホン酸、ジブチルフェ
ノキシ−４−ブタンスルホン酸、ジノニルフェノキシ−
４−ブタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トルエン
スルホン酸、メシチレンスルホン酸、ｐ−クロロベンゼ
ンスルホン酸、２，５−ジクロロベンゼンスルホン酸、
スルホサリチル酸、２，５−ジメチルベンゼンスルホン
酸、ｐ−アセチルベンゼンスルホン酸、５−ニトロ−ｏ
−トルエンスルホン酸、２−ニトロベンゼンスルホン
酸、３−クロロベンゼンスルホン酸、３−ブロモベンゼ
ンスルホン酸、２−クロロ−５−ニトロベンゼンスルホ
ン酸、ブチルベンゼンスルホン酸、オクチルベンゼンス
ルホン酸、デシルベンゼンスルホン酸、ドデシルベンゼ
ンスルホン酸、ブトキシベンゼンスルホン酸、ドデシル
オキシベンゼンスルホン酸、２−ヒドロキシ−４−メト
キシベンゾフェノン−５−スルホン酸、イソプロピルナ
フタレンスルホン酸、ブチルナフタレンスルホン酸、ヘ
キシルナフタレンスルホン酸、オクチルナフタレンスル
ホン酸、ブトキシナフタレンスルホン酸、ドデシルオキ
シナフタレンスルホン酸、ジブチルナフタレンスルホン
酸、ジオクチルナフタレンスルホン酸、トリイソプロピ
ルナフタレンスルホン酸、トリブチルナフタレンスルホ
ン酸、１−ナフトール−５−スルホン酸、ナフタリン−
１−スルホン酸、ナフタリン−２−スルホン酸、１，８
−ジニトロ−ナフタレン−３，６−ジスルホン酸、ジメ
チル−５−スルホイソフタレート等の脂肪族並びに芳香
族スルホン酸、２，２′，４，４′−テトラヒドロキシ
ベンゾフェノン、１，２，３−トリヒドロキシベンゾフ
ェノン、２，２′，４−トリヒドロキシベンゾフェノン
等の水酸基含有芳香族化合物、ヘキサフルオロリン酸、
テトラフルオロホウ酸等のハロゲン化ルイス酸、ＣｌＯ
₄ ，ＩＯ₄ 等の過ハロゲン酸等が挙げられるが、これに
限られるものではない。これらの中で、特に好ましいも
のは、ブチルナフタレンスルホン酸、ジブチルナフタレ
ンスルホン酸、ヘキサフルオロリン酸、２−ヒドロキシ
−４−メトキシベンゾフェノン−５−スルホン酸、ドデ
シルベンゼンスルホン酸である。

【００１５】本発明に使用するジアゾ樹脂は、各単量体
のモル比及び縮合条件を種々変えることにより、その分
子量は任意の値として得ることができるが、本発明の目
的とする使途に有効に供するためには分子量が約４００
〜１００，０００のもの、好ましくは、約８００〜８，
０００のものが適当である。水不溶性かつ親油性高分子
化合物としては、下記（１）〜（１５）に示すモノマー
をその構造単位とする通常１〜２０万の分子量をもつ共
重合体が挙げられる。

【００１６】（１）芳香族水酸基を有するアクリルアミ
ド類、メタクリルアミド類、アクリル酸エステル類、メ
タクリル酸エステル類及びヒドロキシスチレン類、例え
ばＮ−（４−ヒドロキシフェニル）アクリルアミドまた
はＮ−（４−ヒドロキシフェニル）メタクリルアミド、
ｏ−，ｍ−，ｐ−ヒドロキシスチレン、ｏ−，ｍ−，ｐ
−ヒドロキシフェニル−アクリレートまたはメタクリレ
ート。 （２）脂肪族水酸基を有するアクリル酸エステル類、及
びメタクリル酸エステル類、例えば２−ヒドロキシエチ
ルアクリレートまたは２−ヒドロキシエチルメタクリレ
ート、４−ヒドロキシブチルメタクリレート。 （３）アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸、イ
タコン酸等の不飽和カルボン酸。 （４）アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル
酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸アミル、ア
クリル酸ヘキシル、アクリル酸シクロヘキシル、アクリ
ル酸オクチル、アクリル酸ベンジル、アクリル酸−２−
クロロエチル、グリシジルアクリレート、Ｎ−ジメチル
アミノエチルアクリレート等の（置換）アルキルアクリ
レート。

【００１７】（５）メチルメタクリレート、エチルメタ
クリレート、プロピルメタクリレート、ブチルメタクリ
レート、アミルメタクリレート、シクロヘキシルメタク
リレート、ベンジルメタクリレート、グリシジルメタク
リレート、Ｎ−ジメチルアミノエチルメタクリレート等
の（置換）アルキルメタクリレート。 （６）アクリルアミド、メタクリルアミド、Ｎ−メチロ
ールアクリルアミド、Ｎ−メチロールメタクリルアミ
ド、Ｎ−エチルアクリルアミド、Ｎ−ヘキシルメタクリ
ルアミド、Ｎ−シクロヘキシルアクリルアミド、Ｎ−ヒ
ドロキシエチルアクリルアミド、Ｎ−フェニルアクリル
アミド、Ｎ−ニトロフェニルアクリルアミド、Ｎ−エチ
ル−Ｎ−フェニルアクリルアミド等のアクリルアミドも
しくはメタクリルアミド類。 （７）エチルビニルエーテル、２−クロロエチルビニル
エーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、プロピル
ビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、オクチルビニ
ルエーテル、フェニルビニルエーテル等のビニルエーテ
ル類。 （８）ビニルアセテート、ビニルクロロアセテート、ビ
ニルブチレート、安息香酸ビニル等のビニルエステル
類。 （９）スチレン、α−メチルスチレン、クロロメチルス
チレン等のスチレン類。

【００１８】（１０）メチルビニルケトン、エチルビニ
ルケトン、プロピルビニルケトン、フェニルビニルケト
ン等のビニルケトン類。 （１１）エチレン、プロピレン、イソブチレン、ブタジ
エン、イソプレン等のオレフィン類。 （１２）ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカルバゾール、
４−ビニルピリジン、アクリロニトリル、メタクリロニ
トリル等。 （１３）マレイミド、Ｎ−アクリロイルアクリルアミ
ド、Ｎ−アセチルメタクリルアミド、Ｎ−プロピオニル
メタクリルアミド、Ｎ−（ｐ−クロロベンゾイル）メタ
クリルアミド等の不飽和イミド。 （１４）Ｎ−（ｏ−アミノスルホニルフェニル）メタク
リルアミド、Ｎ−（ｍ−アミノスルホニルフェニル）メ
タクリルアミド、Ｎ−（ｐ−アミノ）スルホニルフェニ
ルメタクリルアミド、Ｎ−（１−（３−アミノスルホニ
ル）ナフチル）メタクリルアミド、Ｎ−（２−アミノス
ルホニルエチル）メタクリルアミド等のメタクリル酸ア
ミド類、及び上記と同様の置換基を有するアクリルアミ
ド類、また、ｏ−アミノスルホニルフェニルメタクリレ
ート、ｍ−アミノスルホニルフェニルメタクリレート、
ｐ−アミノスルホニルフェニルメタクリレート、１−
（３−アミノスルホニルナフチル）メタクリレート等の
メタクリル酸エステル類、及び上記と同様の置換基を有
するアクリル酸エステル類などの不飽和スルホンアミ
ド。

【００１９】（１５）Ｎ−（２−（メタクリロイルオキ
シ）−エチル）−２，３−ジメチルマレイミド、ビニル
シンナメート、などの、側鎖に、架橋性基を有する不飽
和モノマー。更に、上記モノマーと共重合し得るモノマ
ーを共重合させてもよい。 （１６）米国特許第３，７５１，２５７号明細書に記載
されているフェノール樹脂およひ例えばポリビニルフォ
ルマール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂のようなポリ
ビニルアセタール樹脂。 （１７）ポリウレタンをアルカリ可溶化した特公昭５４
−１９７７３号、特開昭５７−９４７４７号、同６０−
１８２４３７号、同６２−５８２４２号、同６２−１２
３４５２号、同６２−１２３４５３号、同６３−１１３
４５０号、特開平２−１４６０４２号に記載された高分
子化合物。 上記共重合体の好ましい分子量は１〜２０万である。ま
た上記共重合体には必要に応じて、ポリビニルブチラー
ル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ
樹脂、ノボラック樹脂、天然樹脂等を添加してもよい。

【００２０】本発明の感光性組成物には、露光による可
視画像と現像後の可視画像を得ることを目的としてさら
に色素を用いることができる。該色素としては、例え
ば、ビクトリアピュアブルーＢＯＨ〔保土谷化学社
製〕、オイルブルー＃６０３〔オリエント化学工業社
製〕、パテントビュアブルー〔住友三国化学社製〕、ク
リスタルバイオレット、ブリリアントグリーン、エチル
バイオレット、メチルバイオレット、メチルグリーン、
エリスロシンＢベイシックフクシン、マラカイトグリー
ン、オイルレッド、ｍ−クレゾールパープル、ローダミ
ンＢ、オーラミン、４−ｐ−ジエチルアミノフェニルイ
ミナフトキノン、シアノ−ｐ−ジエチルアミノフェニル
アセトアニリド等に代表されるトリフェニルメタン系、
ジフェニルメタン系、オキサジン系、キサンテン系、イ
ミノナフトキノン系、アゾメチン系またはアントラキノ
ン系の色素が有色から無色あるいは異なる有色の色調へ
変化する変色剤の例として挙げられる。

【００２１】一方、無色から有色に変化する変色剤とし
ては、ロイコ色素及び、例えばトリフェニルアミン、ジ
フェニルアミン、ｏ−クロロアニリン、１，２，３−ト
リフェニルグアニジン、ナフチルアミン、ジアミノジフ
ェニルメタン、ｐ，ｐ′−ビス−ジメチルアミノジフェ
ニルアミン、１，２−ジアニリノエチレン、ｐ，ｐ′，
ｐ″−トリス−ジメチルアミノトリフェニルメタン、
ｐ，ｐ′−ビス−ジメチルアミノジフェニルメチルイミ
ン、ｐ，ｐ′，ｐ″−トリアミノ−ｏ−メチルトリフェ
ニルメタン、ｐ，ｐ′−ビス−ジメチルアミノジフェニ
ル−４−アニリノナフチルメタン、ｐ，ｐ′，ｐ″−ト
リアミノトリフェニルメタンに代表される第１級または
第２級アリールアミン系色素が挙げられる。特に好まし
くは、トリフェニルメタン系、ジフェニルメタン系色素
が有効に用いられ、さらに好ましくはトリフェニルメタ
ン系色素であり、特にビクトリアピュアブルーＢＯＨで
ある。

【００２２】本発明の感光性組成物には、更に種々の添
加物を加えることができる。例えば、塗布性を改良する
ためのアルキルエーテル類（例えばエチルセルロース、
メチルセルロース）、フッ素系界面活性剤類や、ノニオ
ン系界面活性剤（特にフッ素系界面活性剤が好まし
い）、塗膜の柔軟性、耐摩耗性を付与するための可塑剤
（例えばブチルフタリル、ポリエチレングリコール、ク
エン酸トリブチル、フタル酸ジエチル、フタル酸ジブチ
ル、フタル酸ジヘキシル、フタル酸ジオクチル、リン酸
トリクレジル、リン酸トリブチル、リン酸トリオクチ
ル、オレイン酸テトラヒドロフルフリル、アクリル酸ま
たはメタクリル酸のオリゴマー及びポリマー、この中で
特にリン酸トリクレジルが好ましい）、画像部の感脂性
を向上させるための感脂化剤（例えば特開昭５５−５２
７号公報記載のスチレン―無水マレイン酸共重合体のア
ルコールによるハーフエステル化物、ｐ−ｔ−ブチルフ
ェノール―ホルムアルデヒド樹脂などのノボラック樹
脂、ｐ−ヒドロキシスチレンの５０％脂肪酸エステル
等）、安定剤｛例えば、リン酸、亜リン酸、有機酸（ク
エン酸、シュウ酸、ジピコリン酸、ベンゼンスルホン
酸、ナフタレンスルホン酸、スルホサリチル酸、４−メ
トキシ−２−ヒドロキシベンゾフェノン−５−スルホン
酸、酒石酸等）｝、現像促進剤（例えば高級アルコー
ル、酸無水物等）等が好ましく用いられる。

【００２３】上述の感光性組成物を支持体上に設けるに
は、感光性ジアゾ樹脂、親油性高分子化合物、及び必要
に応じて種々の添加剤の所定量を適当な溶媒（メチルセ
ロソルブ、エチルセロソルブ、ジメトキシエタン、ジエ
チルグリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコ
ールジメチルエーテル、１−メトキシ−２−プロパノー
ル、メチルセロソルブアセテート、アセトン、メチルエ
チルケトン、メタノール、ジメチルホルムアミド、ジメ
チルアセトアミド、シクロヘキサノン、ジオキサン、テ
トラヒドロフラン、乳酸メチル、乳酸エチル、エチレン
ジクロライド、ジメチルスルホキシド、水またはこれら
の混合物等）中に溶解させ感光性組成物の塗布液を調整
し、これを支持体上に塗布、乾燥すればよい。用いられ
る溶媒は単独でもよいが、メチセロソルブ、１−メトキ
シ−２−プロパノール、乳酸メチルのような高沸点溶媒
と、メタノール、メチルエチルケトンのような低沸点溶
媒との混合物をするとさらに好ましい。

【００２４】塗布する際の感光性組成物の固形分濃度は
１〜５０重量％の範囲とすることが望ましい。この場
合、感光性組成物の塗布量は、おおむね、０．２〜１０
０ｇ／ｍ² （乾燥重量）程度とすればよく、さらに好ま
しくは０．５〜２０ｇ／ｍ² とするとよい。 〔III 〕光二量化型感光性組成物及び光重合性感光性組
成物を含む感光層を設ける場合。 光二重化型感光性組成物としてはマレイミド基やシンナ
ミル基、シンナモイル基、シンナミリデン基、シンナミ
リデンアセチル基やカルコン基などを側鎖、または主鎖
に有するポリマーが挙げられ、マレイミド基を側鎖に有
するポリマーとして、特開昭５２−９８８号（対応米国
特許第４，０７９，０４１号）公報や、独国特許第２，
６２６，７６９号明細書、ヨーロッパ特許第２１，０１
９号明細書、ヨーロッパ特許第３，５５２号明細書や、
ディー・アンゲバンドゥテ・マクロモレクラーレ・ケミ
ー（Die Angewandte Makromolekulare Chemie)１１５
（１９８３）の１６３〜１８１頁に記載されているポリ
マーや、特開昭４９−１２８９９１号、同４９−１２８
９９２号、同４９−１２８９９３号、同５０−５３７６
号、同５０−５３７７号、同５０−５３７９号、同５０
−５３７８号、同５０−５３８０号、同５３−５２９８
号、同５３−５２９９号、同５３−５３００号、同５０
−５０１０７号、同５１−４７９４０号、同５２−１３
９０７号、同５０−４５０７６号、同５２−１２１７０
０号、同５０−１０８８４号、同５０−４５０８７号、
独国特許第２，３４９，９４８号、同第２，６１６，２
７２号各公報に記載されているポリマーなどを挙げるこ
とができる。

【００２５】これらのポリマーを、アルカリ水に可溶性
または膨潤性とするためには、カルボン酸、スルホン
酸、リン酸、ホスホン酸、及びこれらのアルカリ金属塩
やアンモニウム塩、及びアルカリ水に対し解離するｐＫ
ａが６〜１２の酸基などを、ポリマー中に含めたものが
有用である。必要により上記酸基を有するモノマー１〜
３種類と、マレイミド基を有するモノマーを共重合させ
ることもできる。酸基を有するマレイミドポリマーの酸
価は３０〜３００の範囲が好ましく、このような酸価を
有するポリマーの中でも、ディー・アンゲバンドゥテ・
マクロモレクラーレ・ケミー（（Die Angewandte Makro
molekulare Chemie)１２８（１９８４）の７１〜９１頁
に記載されているような、Ｎ−〔２−（メタクリロイル
オキシ）エチル〕−２，３−ジメチルマレイミドとメタ
クリル酸あるいはアクリル酸との共重合体が有用であ
る。更にこの共重合体の合成に際して第３成分のビニル
モノマーを共重合することによって目的に応じた多元共
重合体を容易に合成することができる。例えば、第３成
分のビニルモノマーとして、そのホモポリマーのガラス
転移点が室温以下のアルキルメタアクリレートやアルキ
ルアクリレートを用いることによって、共重合体に柔軟
性を与えることができる。

【００２６】シンナミル基、シンナモイル基、シンナミ
リデン基、シンナミリデンアセチル基やカルコン基など
を側鎖、または主鎖に有する光架橋性ポリマーとして
は、米国特許第３，０３０，２０８号、米国特許出願第
７０９，４９６号、同第８２８，４５５号の各明細書に
記載されている感光性ポリエステルがある。これらの光
架橋性ポリマーをアルカリ水可溶化したものとしては、
次のようなものが挙げられる。すなわち、特開昭６０−
１９１２４４号明細書中に記載されているような感光性
ポリマーを挙げることができる。さらに、特開昭６２−
１７５７２９号、特開昭６２−１７５７３０号、特開昭
６３−２５４４３号、特開昭６３−２１８９４４号、特
開昭６３−２１８９４５号の各明細書に記載されている
感光性ポリマーを挙げることができる。また、これらを
含む感光層には増感剤を使用することが出来るが、その
ような増感剤としては、ベンゾフェノン誘導体、ベンズ
アンスロン誘導体、キノン類、芳香族ニトロ化合物、ナ
フトチアゾリン誘導体、ベンゾチアゾリン誘導体、チオ
キサントン類、ナフトチアゾール誘導体、ケトクマリン
化合物、ベンゾチアゾール誘導体、ナフトフラノン化合
物、ビリリウム塩、チアビリリウム塩などを挙げること
が出来る。このような感光層には必要に応じて塩素化ポ
リエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリアクリル酸ア
ルキルエステル、アクリル酸アルキルエステル、アクリ
ロニトリル、塩化ビニル、スチレン、ブタジエンなどの
モノマーの少なくとも一種との共重合体、ポリアミド、
メチルセルロース、ポリビニルホルマール、ポリビニル
ブチラール、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合
体、イタコン酸共重合体、などの結合剤や、ジブチルフ
タレート、ジヘキシルフタレートなどのフタル酸ジアル
キルエステル、オリゴエチレングリコールアルキルエス
テル、リン酸エステルなどの可塑剤などを使用すること
が出来る。また、感光層の着色を目的として、染料もし
くは顔料や焼出し剤としてｐＨ指示薬等を添加するのも
好ましい。

【００２７】光重合性感光性組成物としては、不飽和カ
ルボン酸及びその塩、不飽和カルボン酸と脂肪族多価ア
ルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪
族多価アミン化合物とのアミドなどが挙げられる。光重
合開始剤としては、ビシナールポリケタルドニル化合
物、α−カルボニル化合物、アシロインエーテル、α−
位が炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、多
核キノン化合物、トリアリルイミダゾールダイマー／ｐ
−アミノフェニルケトンの組み合わせ、ベンゾチアゾー
ル系化合物、トリハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、
アクリジン及びフェナジン化合物、オキサジアゾール化
合物などが含まれ、これらとともに、アルカリ水可溶性
または膨潤性で、かつフィルム形成可能な高分子重合体
としては、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）ア
クリル酸／必要に応じてその他の付加重合性ビニルモノ
マー共重合体、メタクリル酸／メタクリル酸メチル（ま
たはメタクリル酸エステル）共重合体、無水マレイン酸
共重合体にペンタエリスリトールトリアクリレートを半
エステル化で付加させたものや酸性ビニル共重合体など
が挙げられる。

【００２８】〔IV〕電子写真用感光層 例えば、米国特許第３，００１，８７２号明細書に開示
されているＴｎＯ感光層を用いることもできる。また、
特開昭５６−１６１５５０号、特開昭６０−１８６８４
７号、特開昭６１−２３８０６３号公報などに記載され
ている電子写真感光体を用いた感光層を用いてもよい。
支持体上に設けられる感光層の量は、塗布後の乾燥重量
で、約０．１〜約７ｇ／ｍ² 、好ましくは０．５〜４ｇ
／ｍ² の範囲である。本発明法においては、支持体と感
光層との密着性を高めるためや、現像後に感光層が残ら
ないようにするため、またはハレーションを防止するな
どの目的で、必要に応じて中間層を設けてもよい。密着
性向上のためには、一般に中間層は、ジアゾ樹脂や、例
えばアルミに吸着するリン酸化合物、アミノ化合物、カ
ルボン酸化合物などからなっている。現像後に感光層が
残存しないように溶解性の高い物質からなる中間層は、
一般に溶解性の良好なポリマーや、水溶性ポリマーから
なっている。更にハレーション防止のためには、中間層
は一般染料やＵＶ吸収剤を含む。中間層の厚さは任意で
あり、露光した時に、上層の感光層と均一な結合形成反
応を行い得る厚みでなければならない。通常、乾燥個体
で約１〜１００ｍｇ／ｍ² の塗布割合がよく、５〜４０
ｍｇ／ｍ² が特に良好である。

【００２９】塗布された感光層上には相互に独立して設
けられた突起物により構成されるマット層を設けること
もできる。マット層の目的は、密着露光におけるネガ画
像フィルムと感光性平版印刷版との真空密着性を改良す
ることにより、真空引き時間を短縮し、さらに密着不良
による露光時の微小網点のつぶれを防止することであ
る。マット層の塗布方法としては、特開昭５５−１２９
７４号に記載されているパウダリングされた固体粉末を
熱融着する方法、特開昭５８−１８２６３６号に記載さ
れているポリマー含有水をスプレーし乾燥させる方法な
どがあり、どの方法でもよいが、マット層自体が実質的
に有機溶剤を含まない水性アルカリ現像液に溶解する
か、あるいはこれにより除去可能な物が望ましい。

【００３０】以上のようにして作成された感光性平版印
刷版は、画像露光された後、常法により現像を含む処理
によって樹脂画像が形成される。例えば、前記〔Ｉ〕の
感光層を有する感光性平版印刷版の場合は、画像露光
後、米国特許第４，２５９，４３４号明細書に記載され
ているようなアルカリ水溶液で現像することにより露光
部分が除去されて、平版印刷版が得られ、〔II〕の感光
層を有する感光性平版印刷版の場合には、画像露光後、
米国特許第４，１８６，００６号明細書に記載されてい
るような現像液で、未露光部の感光層が現像により除去
されて平版印刷版が得られる。また、特開昭５９−８４
２４１号、特開昭５７−１９２９５２号、及び特開昭６
２−２４２６３号公報に記載されているようなポジ型平
版印刷版を現像する際に用いられる水性アルカリ現像液
組成物を使用してもよい。

【００３１】

【作 用】この発明によれば、リード・フレーム形成用
帯状金属板を順次連続的に、脱脂処理及び酸洗浄処理を
施し、得られた処理済リード・フレーム形成用金属板上
に、感光材を塗布し、乾燥させるから、リード・フレー
ム形成用金属板と感光材層間に異物混入の余地はない。
また、リード・フレーム形成用帯状金属板上に感光材を
塗布し、乾燥させた後、リード・フレーム形成用金属板
の長手方向に沿って一定長毎に切断するから、均一の品
質の複数枚のリード・フレーム形成用金属板を同時に多
数作製することができる。

【００３２】

【実施例】以下、この発明の一実施例について説明す
る。板厚ｔ＝０．１５ｍｍ、幅４００ｍｍの銅合金帯状
板、Ｆｅ ０．２％、Ｐ０．１％、Ｍｎ ０．０１％、
Ｓｎ ０．５％、残部Ｃｕ）を「送り出し機」にセット
し、「送り出し機」の操作により、水酸化ナトリウム１
５％、温度６０℃で、３００ｓｅｃ処理し、水洗した
後、硫酸１０％、温度６０℃、２０ｓｅｃ処理し、水洗
し、下記感光液を塗布後、乾燥し、連続的に処理し、５
００ｍ巻取った。これらをサンプル〔Ａ〕とし、長さ５
００ｍｍにカットし、１０００枚作製した。（Ａ₁ 〜Ａ
₁₀₀₀）、ただしこのとき塗布した感光液の組成：

【００３３】 Ｎ−（４−ヒドロキシロフェニル）メタクリルアミド／
２−ヒドロキシルメタクリレート／アクリロニトリル／
メチルメタクリレート／メタクリル酸（＝１０：２０：
２５：３５：１０モル比）の共重合体（平均分子量６０
０００）……５．０ｇ ４−ジアゾジフェニルアミンとホルムアルデヒドの縮合
物の六弗化燐酸塩……０．５ｇ 亜燐酸 ……０．０５ｇ ビクトリアピュアブルーＢＯＨ ………０．１ｇ 水 ………５．０ｇ １−メトキシ−２−プロパノール ……４５．０ｇ メチルエチルケトン ５０．０ｇ

【００３４】得られた感光液塗布、乾燥済サンプル（Ａ
₁ 〜Ａ₁₀₀₀）を使用し、リード・フレーム形成用金属板
の感光層上にエッチングパター像形成フイルム原版を密
着させ、露光後現像し、非露光部の感光材を除いた後、
リード・フレーム形成用金属板をエッチング液（塩化第
２鉄液）中に浸漬し、エッチング部分を除去して、所望
のリード・フレームを１，０００枚作製した。

【００３５】〔比較例〕板厚ｔ＝０．１５ｍｍ、幅４０
０ｍｍ、長さ５００ｍｍの銅合金板（Ｆｅ ０．２％、
Ｐ ０．１％、Ｍｎ ０．０１％、Ｓｎ ０．５％、Ｃ
ｕ残り）を１０００枚用意し、バッチ処理にて１枚ずつ
水酸化ナトリウム１５％、温度６０℃で３００ｓｅｃ処
理し、水洗した後、硫酸１０％、温度６０℃で２０ｓｅ
ｃ処理し、水洗し、下記感光材を１枚ずつ塗布した。こ
れらをサンプルＢ₁ 〜Ｂ₁₀₀₀とする。

【００３６】感光液：Ｎ−（４−ヒドロキシロフェニ
ル）メタクリルアミド／２−ヒドロキシルメタクリレー
ト／アクリロニトリル／メチルメタクリレート／メタク
リル酸（＝１０：２０：２５：３５：１０モル比）の共
重合体（平均分子量６００００）……５．０ｇ ４−ジアゾジフェニルアミンとホルムアルデヒドの縮合
物の六弗化燐酸塩……０．５ｇ 亜燐酸 ……０．０５ｇ ビクトリアピュアブルーＢＯＨ ………０．１ｇ 水 ………５．０ｇ １−メトキシ−２−プロパノール ……４５．０ｇ メチルエチルケトン ５０．０ｇ

【００３７】かくして得られた感光液塗布、乾燥済サン
プル（Ｂ₁ 〜Ｂ₁₀₀₀）を使用し、リード・フレーム形成
用金属板の感光層上にエッチング・パターン像形成フイ
ルム原版を密着させ、露光後現像し、未露光部の感光材
を除去した後、リード・フレーム形成用金属板をエッチ
ング液（塩化第２鉄液）中に浸漬し、エッチング部分を
除去して、所望のリード・フレームを作製した。

【００３８】上述した実施例で作製したサンプル（Ａ₁
〜Ａ₁₀₀₀）と、比較例で作製したサンプル（Ｂ₁ 〜Ｂ
₁₀₀₀）の特性を比較したところ、Ａ₁ 〜Ａ₁₀₀₀では２
枚、Ｂ₁〜Ｂ₁₀₀₀では６８枚発生した。また、サンプル
Ａ₁ 〜Ａ₁₀₀₀を作製に要する時間は２時間であったが、
サンプルＢ₁ 〜Ｂ₁₀₀₀を作製するのに要した時間は１５
時間かかった。上述した実施例では、鋼主体、鋼―ニッ
ケル合金材で形成したリード・フレーム形成用母材を使
用した例について説明したが、これらの合金に限らす、
これらの合金の素材にチタン、クロム等の活性金属元素
を添加した合金材料であってもよい。

【００３９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、リード
・フレーム形成帯状用材を順次連続的に、脱脂処理及び
酸洗浄処理を施し、得られた処理済リード・フレーム形
成用材に感光材を塗布し、乾燥させた後、長手方向に一
定長毎に切断し、複数枚のリード・フレーム形成用材を
作製するので、異物が混入しない、均一な品質のリード
・フレームが多数、同時に作製することができる。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成６年１月１１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００２

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００２】

【従来の技術】リード・フレームはプラスチックモール
ドＩＣや、セラミックスパッケージＩＣ等において用い
られる半導体ペレットを固定するダイパッド（Ｄｉｅ
Ｐａｄ）と引き出し配線リード端子を形成する金属フレ
ームである。金属フレームは、材料として、銅又は銅―
ニッケルを主体とする合金製のリード・フレーム形成用
金属板が使われる。近年、チタン、クロム等活性金属系
の元素を添加した材料も使用され始めている。いずれに
しても、機械的強度があり、導電率が高く軟化温度が高
く、さらに半導体ペレットやパッケージ材料の熱膨脹係
数とマッチした熱膨脹係数をもち、リードの平面性確
保、曲げ異方性が小さく、放熱性がよく、低コストの材
料が使用され、打ち抜きプレス又はエッチングによりリ
ード・フレーム形成用金属板に対しエッチング液でパタ
ーン形成している。打ち抜きは低コストででき、エッチ
ング液による方法は正確なパターン形成ができる。近
年、半導体や、これを使用した集積回路の発達に伴い、
リード・フレームを使用する電子部品の需要も高まり、
均一な品質のリード・フレームを大量に作製する必要性
が高まってきた。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００３

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００３】リード・フレームを作製するには、従来
は、例えば銅を主体とする合金板、又は銅―ニッケルを
主体とする合金板を購入し、合金板上に設けてある防錆
材を除去するため、順次脱脂処理及び酸洗浄処理を施し
て合金板表面を処理した後、合金板表面にホイラー塗布
法により液状レジストを塗布又はドライタイプで例えば
ネガ形の感光材層を溶着し乾燥させて感光材層を設け、
所定のエッチングパターンを露光後現像処理し、露光部
分の感光材を除去した後、合金板をエッチング液中に浸
漬し、合金板面に所定のエッチングパターンを形成させ
ていた。このようなパターンを形成した均一な品質のリ
ード・フレームを大量に生産するため、従来リード・フ
レーム形成用材を作製するには、例えば、上述した合金
板を多数枚購入し、これら多数枚の合金板を順次バッチ
処理で、合金板上の防錆材を脱脂処理及び酸洗浄処理を
施した上、得られる合金板上に感光材を塗布し、乾燥し
て多数枚のリード・フレーム形成用金属板を作製してい
た。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００８

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００８】本発明のリード・フレーム形成用帯状金属
板には、以下に例示する感光層を設けてリード・フレー
ム形成用材とすることができる。 〔Ｉ〕ｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルお
よびフェノール・クレゾール混合のノボラック樹脂を含
有する感光層を設ける場合。 ｏ−キノンジアジド化合物はｏ−ナフトキノンジアジド
化合物であり、例えば、米国特許第２，７６６，１１８
号、同第２，７６７，０９２号、同第２，７７２，９７
２号、同第２，８５９，１１２号、同第３，１０２，８
０９号、同第３，１０６，４６５号、同第３，６３５，
７０９号、同第３，６４７，４４３号の各明細書をはじ
め、多数の刊行物に記されており、これらは、好適に使
用することができる。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１４】また、酸基を有する芳香族化合物との共縮
合ジアゾ樹脂以外のジアゾ樹脂として、特開平４−１８
５５９号公報、特開平３−１６３５５１号公報、及び特
開平３−２５３８５７号公報に記載された酸基を含有す
るアルデヒドまたはそのアセタール化合物で縮合したジ
アゾ樹脂も好ましく用いることができる。ジアゾ樹脂の
対アニオンとしては、ジアゾ樹脂と安定に塩を形成し、
かつ該樹脂を有機溶媒に可溶となすアニオンを含む。こ
れらは、デカン酸及び安息香酸等の有機カルボン酸、フ
ェニルリン酸等の有機リン酸及びスルホン酸を含み、典
型的な例としては、メタンスルホン酸、トリフルオロメ
タンスルホン酸などのフルオロアルカンスルホン酸、ラ
ウリルスルホン酸、ジオクチルスルホコハク酸、ジシク
ロヘキシルスルホコハク酸、カンファースルホン酸、ト
リルオキシ−３−プロパンスルホン酸、ノニルフェノキ
シ−３−プロパンスルホン酸、ノニルフェノキシ−４−
ブタンスルホン酸、ジブチルフェノキシ−３−プロパン
スルホン酸、ジアミルフェノキシ−３−プロパンスルホ
ン酸、ジノニルフェノキシ−３−プロパンスルホン酸、
ジブチルフェノキシ−４−ブタンスルホン酸、ジノニル
フェノキシ−４−ブタンスルホン酸、ベンゼンスルホン
酸、トルエンスルホン酸、メシチレンスルホン酸、ｐ−
クロロベンゼンスルホン酸、２，５−ジクロロベンゼン
スルホン酸、スルホサリチル酸、２，５−ジメチルベン
ゼンスルホン酸、ｐ−アセチルベンゼンスルホン酸、５
−ニトロ−ｏ−トルエンスルホン酸、２−ニトロベンゼ
ンスルホン酸、３−クロロベンゼンスルホン酸、３−ブ
ロモベンゼンスルホン酸、２−クロロ−５−ニトロベン
ゼンスルホン酸、ブチルベンゼンスルホン酸、オクチル
ベンゼンスルホン酸、デシルベンゼンスルホン酸、ドデ
シルベンゼンスルホン酸、ブトキシベンゼンスルホン
酸、ドデシルオキシベンゼンスルホン酸、２−ヒドロキ
シ−４−メトキシベンゾフェノン−５−スルホン酸、イ
ソプロピルナフタレンスルホン酸、ブチルナフタレンス
ルホン酸、ヘキシルナフタレンスルホン酸、オクチルナ
フタレンスルホン酸、ブトキシナフタレンスルホン酸、
ドデシルオキシナフタレンスルホン酸、ジブチルナフタ
レンスルホン酸、ジオクチルナフタレンスルホン酸、ト
リイソプロピルナフタレンスルホン酸、トリブチルナフ
タレンスルホン酸、１−ナフトール−５−スルホン酸、
ナフタリン−１−スルホン酸、ナフタリン−２−スルホ
ン酸、１，８−ジニトロ−ナフタレン−３，６−ジスル
ホン酸、ジメチル−５−スルホイソフタレート等の脂肪
族並びに芳香族スルホン酸、２，２′，４，４′−テト
ラヒドロキシベンゾフェノン、１，２，３−トリヒドロ
キシベンゾフェノン、２，２′，４−トリヒドロキシベ
ンゾフェノン等の水酸基含有芳香族化合物、ヘキサフル
オロリン酸、テトラフルオロホウ酸等のハロゲン化ルイ
ス酸、ＣｌＯ₄ ，ＩＯ₄ 等の過ハロゲン酸等が挙げられ
るが、これに限られるものではない。これらの中で、特
に好ましいものは、ブチルナフタレンスルホン酸、ジブ
チルナフタレンスルホン酸、ヘキサフルオロリン酸、２
−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン−５−スル
ホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸である。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２６】シンナミル基、シンナモイル基、シンナミ
リデン基、シンナミリデンアセチル基やカルコン基など
を側鎖、または主鎖に有する光架橋性ポリマーとして
は、米国特許第３，０３０，２０８号、米国特許出願第
７０９，４９６号、同第８２８，４５５号の各明細書に
記載されている感光性ポリエステルがある。これらの光
架橋性ポリマーをアルカリ水可溶化したものとしては、
次のようなものが挙げられる。すなわち、特開昭６０−
１９１２４４号公報中に記載されているような感光性ポ
リマーを挙げることができる。さらに、特開昭６２−１
７５７２９号、特開昭６２−１７５７３０号、特開昭６
３−２５４４３号、特開昭６３−２１８９４４号、特開
昭６３−２１８９４５号の各公報に記載されている感光
性ポリマーを挙げることができる。また、これらを含む
感光層には増感剤を使用することが出来るが、そのよう
な増感剤としては、ベンゾフェノン誘導体、ベンズアン
スロン誘導体、キノン類、芳香族ニトロ化合物、ナフト
チアゾリン誘導体、ベンゾチアゾリン誘導体、チオキサ
ントン類、ナフトチアゾール誘導体、ケトクマリン化合
物、ベンゾチアゾール誘導体、ナフトフラノン化合物、
ビリリウム塩、チアビリリウム塩などを挙げることが出
来る。このような感光層には必要に応じて塩素化ポリエ
チレン、塩素化ポリプロピレン、ポリアクリル酸アルキ
ルエステル、アクリル酸アルキルエステル、アクリロニ
トリル、塩化ビニル、スチレン、ブタジエンなどのモノ
マーの少なくとも一種との共重合体、ポリアミド、メチ
ルセルロース、ポリビニルホルマール、ポリビニルブチ
ラール、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、
イタコン酸共重合体、などの結合剤や、ジブチルフタレ
ート、ジヘキシルフタレートなどのフタル酸ジアルキル
エステル、オリゴエチレングリコールアルキルエステ
ル、リン酸エステルなどの可塑剤などを使用することが
出来る。また、感光層の着色を目的として、染料もしく
は顔料や焼出し剤としてｐＨ指示薬等を添加するのも好
ましい。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２９】塗布された感光層上には相互に独立して設
けられた突起物により構成されるマット層を設けること
もできる。マット層の目的は、密着露光におけるネガ画
像フィルムとリード・フレーム形成用材との真空密着性
を改良することにより、真空引き時間を短縮し、さらに
密着不良による露光時の微小網点のつぶれを防止するこ
とである。マット層の塗布方法としては、特開昭５５−
１２９７４号に記載されているパウダリングされた固体
粉末を熱融着する方法、特開昭５８−１８２６３６号に
記載されているポリマー含有水をスプレーし乾燥させる
方法などがあり、どの方法でもよいが、マット層自体が
実質的に有機溶剤を含まない水性アルカリ現像液に溶解
するか、あるいはこれにより除去可能な物が望ましい。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３０】以上のようにして作成されたリード・フレ
ーム形成用材は、画像露光された後、常法により現像を
含む処理によって樹脂画像が形成される。例えば、前記
〔Ｉ〕の感光層を有するリード・フレーム形成用材の場
合は、画像露光後、米国特許第４，２５９，４３４号明
細書に記載されているようなアルカリ水溶液で現像する
ことにより露光部分が除去されて、リード・フレーム形
成用材が得られ、〔II〕の感光層を有する感光性平版印
刷版の場合には、画像露光後、米国特許第４，１８６，
００６号明細書に記載されているような現像液で、未露
光部の感光層が現像により除去されてリード・フレーム
材が得られる。また、特開昭５９−８４２４１号、特開
昭５７−１９２９５２号、及び特開昭６２−２４２６３
号公報に記載されているようなポジ型平版印刷版を現像
する際に用いられる水性アルカリ現像液組成物を使用し
てもよい。

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３４】得られた感光液塗布、乾燥済サンプル（Ａ
₁ 〜Ａ₁₀₀₀）を使用し、リード・フレーム形成用金属板
の感光層上にエッチングパターン像形成フイルム原版を
密着させ、露光後現像し、非露光部の感光材を除いた
後、リード・フレーム形成用金属板をエッチング液（塩
化第２鉄液）中に浸漬し、エッチング部分を除去して、
所望のリード・フレームを１，０００枚作製した。

【手続補正９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３８】上述した実施例で作製したサンプル（Ａ₁
〜Ａ₁₀₀₀）と、比較例で作製したサンプル（Ｂ₁ 〜Ｂ
₁₀₀₀）の特性を比較したところ、Ａ₁ 〜Ａ₁₀₀₀では２
枚、Ｂ₁〜Ｂ₁₀₀₀では６８枚故障が発生した。また、サ
ンプルＡ₁ 〜Ａ₁₀₀₀を作製に要する時間は２時間であっ
たが、サンプルＢ₁ 〜Ｂ₁₀₀₀を作製するのに要した時間
は１５時間かかった。上述した実施例では、鋼主体、鋼
―ニッケル合金材で形成したリード・フレーム形成用母
材を使用した例について説明したが、これらの合金に限
らす、これらの合金の素材にチタン、クロム等の活性金
属元素を添加した合金材料であってもよい。 ─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成６年１月１３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３０】以上のようにして作成されたリード・フレ
ーム形成用材は、画像露光された後、常法により現像を
含む処理によって樹脂画像が形成される。例えば、前記
〔Ｉ〕の感光層を有するリード・フレーム形成用材の場
合は、画像露光後、米国特許第４，２５９，４３４号明
細書に記載されているようなアルカリ水溶液で現像する
ことにより露光部分が除去されて、リード・フレーム材
が得られ、〔II〕の感光層を有するリード・フレーム形
成用材の場合には、画像露光後、米国特許第４，１８
６，００６号明細書に記載されているような現像液で、
未露光部の感光層が現像により除去されてリード・フレ
ーム材が得られる。また、特開昭５９−８４２４１号、
特開昭５７−１９２９５２号、及び特開昭６２−２４２
６３号公報に記載されているようなポジ型平版印刷版を
現像する際に用いられる水性アルカリ現像液組成物を使
用してもよい。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 リード・フレーム形成用帯状金属板を順
   次連続的に、脱脂処理及び酸洗浄処理を施し、得られた
   処理済リード・フレーム形成用金属板上に、感光材を塗
   布・乾燥させるとともに、当該リード・フレーム形成用
   金属板を長手方向に沿って一定長毎に切断又は巻取する
   ことを特徴とするリード・フレーム形成用材の作製方
   法。