JPH06274846A

JPH06274846A - 磁気ヘッド及びその製造方法

Info

Publication number: JPH06274846A
Application number: JP8531593A
Authority: JP
Inventors: Shinya Kubo; 真也窪
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1993-03-18
Filing date: 1993-03-18
Publication date: 1994-09-30

Abstract

(57)【要約】【構成】本発明に基づく磁気ヘッドは、コアとこのコ
アを挟むスライダとを有し、磁気記録媒体に対する摺接
面に形成されたエアグルーブの実質的深さが 100μｍ以
下である。上記エアグルーブは、砥石車と所定間隔を以
てセットされた一対の幅狭の砥石車とを用い、又はサン
ドブラスト、パウダービームエッチング若しくはイオン
ミリングによって形成される。【効果】エアグルーブの実質的深さを 100μｍ以下と
小さくしているので、スライダ底壁部の厚さを充分な厚
さにでき、その剛性の低下が極めて少なく、主コア−ス
ライダ結合体に生ずる歪みが極めて小さい。その結果、
磁気記録媒体との摺接面（レール）の平坦度が良好な
り、良好な電磁変換特性（モジュレーション）が保証さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッド及びその製
造方法に関し、例えば、フロッピーディスク等に対して
情報信号を書込み或いは読出しを行うのに好適な磁気ヘ
ッド及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、フロッピーディスク用の磁気ヘッ
ドとして、例えば図19に分解斜視図で、図20に断面図で
示すように構成されたものが提案されている。この磁気
ヘッドは、記録再生用磁気ギャップと消去用磁気ギャッ
プを有する主コア10と、断面略Ｅ字状をなす補助コア11
と、駆動コイル29、30が巻装された一対のコイルボビン
12、13とにより磁気回路部が構成される磁気ヘッド素子
が、フロッピーディスクとの当たり特性を確保するため
断面略Ｌ字状をなす一対のスライダ43、94によって挟み
込まれてなっている。

【０００３】そして、上記主コア10と補助コア11とは、
コイルボビン12、13内で所謂段重ね状態で重ね合わさ
れ、これら主コア10と補助コア11と共に挿入されるコの
字形の金属板ばね39によって押圧支持され磁気的結合が
図られるようになされている。

【０００４】このようにして構成された磁気ヘッドは、
例えば、ジンバルを介してフロッピーディスク駆動装置
に搭載されるヘッド支持部材であるキャリッジ及び可動
アームにそれぞれ取付けられる。そして、これら上下に
設けられた磁気ヘッド間に挿入されたフロッピーディス
クの両面に対して、当該一対の磁気ヘッドによって記録
再生が行われる。

【０００５】ところで、この種の磁気ヘッドでは、フロ
ッピーディスクの磁気ヘッドに対する摺動抵抗を小さく
するため、両者の接触面間に空気が這入るよう、エアグ
ルーブと呼ばれる溝ＡＧ５が磁気ヘッドの一方のスライ
ダ94に設けられている。エアグルーブＡＧ５の存在のた
め、この底壁部分94ａが薄肉となってその剛性を充分に
は高くできず、図24に示すように、スライダ43、94で主
コア10を挟み、これに補助コア11を貼付してこれらを互
いに固定した状態で、フロッピーディスクとの摺接面に
高精度の平坦度が得られ難い。

【０００６】そのため、捩れ（図24（ａ））が起こった
り、下反りによる中央の盛り上がり（同図（ｂ））が起
こったり、上反りによる窪み（同図（ｃ））が起こった
りし易く、これが出力波形に歪みを生じさせて電磁変換
特性（モジュレーション）不良に繋がる。図24（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）のような変形は、組合されて起こること
が多い。なお、４ＭＢという高容量の磁気ヘッドにあっ
ては、上記摺接面の平坦度規格は30nm以下とされている
が、この規格から外れるものがあって、これが歩留低下
の一因となっている。また、上記平坦度の劣化は、磁気
記録媒体を傷付け、更に磁気ヘッドの耐久性劣化に繋が
る。

【０００７】エアグルーブは次のように研削加工によっ
て設けられる。図21（ａ）に示すように、両端縁部に斜
面（チャンファ）を形成させるための一対の砥石車92、
92と、これらの間に位置するエアグルーブ形成用砥石車
91とにより同時に加工され、同図（ｂ）のようになる。
そして、エアグルーブＡＧ５とその両側に一対の摺接面
（レールと呼ばれる）ＲＡ５、ＲＡ６とが形成される。

【０００８】図22は研削加工後の主コア−スライダ結合
体の断面図、図23は図22の部分拡大図である。

【０００９】レールＲＡ５、ＲＡ６の幅は高い寸法精度
が要求されている。砥石車90には両隅に半径 150〜200
μｍの丸みＲが付されているので、上記レール幅の精度
を保証するためには、エアグルーブＡＧ５の深さd₂は 1
00〜200 μｍを必要とすることになる。このため、前述
したような剛性不足による歪みがスライダに生じ、レー
ルの平坦度が悪くなってモジュレーションが不安定にな
ってしまう。図25はこの磁気ヘッドを使用してのモジュ
レーションの一例を示すグラフである。モジュレーショ
ンは、同一強さの記録信号についての最大出力の幅Ａに
対する最小出力の幅Ｂの比、Ｂ／Ａで表される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の事情
に鑑みてなされたものであって、高い寸法精度によって
良好な電磁変換特性を高い信頼性を以て保証する磁気ヘ
ッド及びその製造方法を提供することを目的としてい
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するため、次のような構成としている。

【００１２】本発明は、コアと、このコアを挟むスライ
ダとを有し、磁気記録媒体に対する摺接面に形成された
エアグルーブの実質的深さが 100μｍ以下である磁気ヘ
ッドに係る。

【００１３】上記「実質的深さ」とは、エアグルーブの
大部分を占める底面の深さ、即ち、エアグルーブとして
機能する面の深さを指す。

【００１４】本発明において、エアグルーブの底面が、
第一の加工によって形成された第一の面と、第二の加工
によって形成されかつ第一の面よりも深い第二の面とか
らなることが好ましい。

【００１５】また、本発明は、磁気ヘッドを製造するに
際し、スライダ素材でコア素材を挟んで接合する工程
と、このコア−スライダ素材接合体の磁気記録媒体に対
する摺接面側を加工して実質的深さが 100μｍ以下のエ
アグルーブとなる溝を形成する工程とを有する、磁気ヘ
ッドの製造方法に係る。

【００１６】本発明の方法において、第一の面と第二の
面とを、夫々第一の加工と第二の加工とによって形成す
ることができる。

【００１７】本発明の方法において、粒子の照射によっ
てスライダ素材の表面層を選択的に除去し、エアグルー
ブを形成することができる。

【００１８】本発明の方法において、粒子の照射をサン
ドブラスト、パウダービームエッチング又はイオンミリ
ングによって行うことができる。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。以下の実
施例は、 3.5インチのフロッピーディスクに対して情報
信号の記録再生を行うフロッピーディスク用の磁気ヘッ
ドに本発明を適用した例である。

【００２０】最初に、主コアが一対のスライダに挟まれ
てなる主コア−スライダ結合体の作製手順を、図６〜図
13によって説明する。

【００２１】先ず、図６に示すように、一対のスライダ
素材43Ａ、44Ａの間に主コア素材10Ａを位置させる。ス
ライダ素材43Ａ、44Ａは非磁性材料（例えばチタン酸カ
ルシウム又はチタン酸バリウム等）からなる略直方体で
ある。

【００２２】スライダ素材43Ａの一面には水平方向に幅
広の浅い溝43Ａａ、43Ａａが設けられ、溝43Ａａ、43Ａ
ａには低融点のガラス52が嵌入している。スライダ素材
44Ａの一面の上側部分には幅広で浅い溝44Ａａが水平方
向に設けられ、溝44Ａａにガラス52が嵌入し、溝44Ａａ
に近い下側のスライダ素材部分に深い溝44Ａｂが水平に
設けられている。

【００２３】主コア素材10Ａは、非磁性材料14Ａを挟ん
だ細長のコア部15、16と、コア部15、16の両側に非磁性
材料14Ｂ、14Ｃを挟んだ板状のコア部17Ａ、18Ａとから
なり、板状コア部17Ａ、18Ａには、後の加工で磁気ギャ
ップのデプス長を決めるための貫通孔17Ａａ、18Ａａが
夫々設けられている。非磁性材料14Ａ、14Ｂ、14Ｃは、
高融点ガラス（例えは融点 700℃）からなり、これらに
よる融着によって主コア素材10Ａが作製される。この主
コア素材は先行イレーズ型主コア用の素材である。

【００２４】スライダ素材43Ａ、44Ａはガラス52側の面
が互いに向合うように対向し、これらの間に主コア素材
10Ａが位置する。

【００２５】次に、図７に示すように、スライダ素材43
Ａ、主コア素材10Ａ、スライダ素材44Ａを突合わせ、例
えば 500℃に加熱してガラス52を熔融させ、次いで冷却
して固化させる。このようにして、スライダ素材43Ａ、
フロントコア素材10Ａ、スライダ素材44Ａを接合し、磁
気ヘッド素材ブロック53Ａとする。

【００２６】次に、磁気ヘッド素材ブロック53Ａを上下
反転し、図８に示すように底面を研削加工してエアグル
ーブ及びチャンファ（面取り）を形成する。この研削加
工に本例の特徴がある。これについては後に詳述する。
なお、この工程において、底盤上にＸ、Ｙ方向に固定さ
れたコの字形の多数の治具を用い、各治具の２辺に素材
を突当てて位置決めし、同時加工を行う。

【００２７】次いで、スライダ素材43Ａ、44Ａの部分を
主コア素材10Ａの面に平行に研削加工して図９に示す形
状にする。次に、主コア素材10Ａの面に直交する方向に
スライダ素材43Ａ、44Ａの部分及びフロントコア素材10
Ａを研削加工して図10のコア−スライダ結合体53Ｂとす
る。この互いに直交する方向の研削加工の２工程は、上
記の順序とは逆の順序として良い。この場合、図８の工
程の次に図18の工程、次いで図９の工程を経て図10のコ
ア−スライダ結合体53Ｂとする。

【００２８】次に、主コア−スライダ結合体53Ｂを図11
に示すように再び上下反転して表面の研削仕上げを行
い、次いで図12に示すように表面のポリッシュ仕上げを
施し、最後に、図13に示すように表面両側縁部の斜面取
り加工を施す。

【００２９】以上のようにして作製されたコア−スライ
ダ結合体61Ｂは、次のような構造を有する。

【００３０】一対のスライダ43、44が突合わされ、両ス
ライダの間に、非磁性材料14を挟んだセンタコア部15、
16及びサイドコア部17、18（これらコア部によって主コ
ア10が構成される）が挟まれる。

【００３１】一方のスライダ43には、サイドコア部17、
18及びセンタコア部15、16に夫々接触してこれらコア部
の機械的強度を補強する補強脚部45、46、47が立設して
いる。他方のスライダ40には、センタコア部15、16とサ
イドコア部17、18に夫々対応する位置に、ジンバル（図
示省略）との接合を図るための接合用脚部48、49、50が
立設している。

【００３２】図２、図４のスライダ素材44Ａに設けた溝
44ｂは、図10のセンタコア部15、16及びサイドコア部1
7、18の根元の補強部44ａを形成するのを容易ならしめ
ている。図８には、スライダ素材44Ａの研削によって除
去される部分を仮想線で示してある。

【００３３】次に、前述した図８の工程でエアグルーブ
を設ける要領を説明する。

【００３４】先ず、図３（ａ）に示すように、砥石車90
によって深さd₁が 100μｍ以下の溝ＡＧ２を形成する。
砥石車90には両端に半径 150〜200 μｍの丸みＲが付さ
れているので、このような浅い溝ＡＧ２の幅を高精度の
寸法にすることは極めて困難であり、溝ＡＧ２をその儘
エアグルーブとすることはできない。そこで、溝ＡＧ２
の幅を、形成しようとするエアグルーブの幅に極く近い
寸法としておく。

【００３５】そして、図３（ｂ）に示すように、所定間
隔でセットされた一対の幅狭の砥石車91、91により、形
成しようとするエアグルーブよりも僅か深い溝ＡＧ３、
ＡＧ３を溝ＡＧ２の両端部に設け、溝ＡＧ２とその両側
の溝ＡＧ３、ＡＧ３とからなるエアグルーブＡＧ１を形
成する。

【００３６】かくして、エアグルーブＡＧ１両端はその
両側のレールＲＡ１、ＲＡ２の面と垂直になり、エアグ
ルーブＡＧ１は高精度の幅を以て形成される。また、エ
アグルーブＡＧ１の大部分を占める溝ＡＧ２は、 100μ
ｍ以下の深さd₁になる。このように、エアグルーブＡＧ
１の実質的深さd₁が 100μｍ以下という僅かなものにな
り、スライダ44の底壁部44ａを充分な厚さとすることが
できる。従って、主コア−スライダ結合体53Ｂの剛性不
足による歪み（図24で示した歪み）が起こることがな
く、レールＲＡ１、ＲＡ２の平坦度が良好なものにな
る。

【００３７】エアグルーブＡＧ１の形成には、図３の順
序とは逆に、図４のようにしても良い。即ち、図４
（ａ）に示すように、一対の幅狭の溝ＡＧ３、ＡＧ３を
先に設け、次いで、同図（ｂ）のように溝ＡＧ３、ＡＧ
３の間に深さd₁が 100μｍ以下（20〜30μｍ以上が実用
的）の溝ＡＧ２を設け、エアグルーブＡＧ１を形成す
る。

【００３８】エアグルーブの実質的深さ（溝ＡＧ２の深
さ）を変化させ、その他は前記のようにして作製された
コア−スライダ結合体について、レール平坦度を測定
し、エアグルーブの実質的深さとレール平坦度との関係
を求めた。その結果は、図１に示す通りである。

【００３９】上記「平坦度」とは、レール設計上の表面
に対するレール表面の外れ寸法の最大値である。

【００４０】図１から次のことが理解できる。エアグル
ーブの実質的深さが大きくなる程平坦度が大きく（悪
く）なり、深さ 100μｍ以下では平坦度が４nm程度で小
さい（良好である）。ところが、深さが 100μｍを越え
ると平坦度の増大が急激になる。従って、エアグルーブ
の実質的深さは 100μｍ以下とするのが良い。

【００４１】前記のようにして、エアグルーブの実質的
深さを 100μｍ以下にして作製された主コア−スライダ
結合体を用いて組立てられた磁気ヘッドについて、モジ
ュレーションを調べたところ、図２に示す結果が得られ
た。図25に示したＡとＢとは、図２では殆ど同じであっ
て、極めて良好なモジュレーションを示している。

【００４２】図３又は図４で説明した砥石車によるエア
グルーブ形成に替えて、図５に示すように、サンドブラ
スト又はパウダービームエッチング若しくはイオンミリ
ング（イオンエッチング）によってエアグルーブを形成
することができる。

【００４３】先ず、両側のチャンファを形成しておい
て、主コア−スライダ結合体の表面にレジストを被着さ
せる。このレジストは、サンドブラストやイオンミリン
グに対して耐性を有するものであって、例えば東京応化
工業社製のラミネートフィルム：オーディルＢＦ200(ネ
ガ型レジスト）が使用可能である。

【００４４】このレジストは、塗布法とは全く異なっ
て、主コア−スライダ結合体に対して例えば80〜100 ℃
で加熱しながら接着する。従って、主コア−スライダ結
合体と同様に融着により被着することになる。

【００４５】次いで、図５（ａ）のように、所定のパタ
ーンに露光（パターン露光）し、更に現像を経てパター
ンを定着させ、レジスト93をパターニングする。このパ
ターニングにより、エアグルーブとなるべき面が露出す
る。

【００４６】次いで、レジスト93をマスクとして、サン
ドブラスト法又はパウダービームエッチング法若しくは
イオンミリング法によって下地のスライダを加工し、図
５（ｂ）のように、レジスト93と同一パターンにエアグ
ルーブＡＧ４を形成する。

【００４７】ここで、適用可能なサンドブラスト法とし
ては、特開昭60−76961 号公報等に示されたアルミナ微
粒子等を使用する方法（例えば、粒度1500メッシュ以上
の研削粉を５Kg重／cm²以下のノズル噴射圧で噴出さ
せ、歪みやクラックの発生なしに加工できる方法）が挙
げられる。パウダービームエッチング法としては、特開
平４−19070 号や同４−115869号公報等に示された粒径
１μｍ以上のシリコンカーバイド粉等を使用する方法が
挙げられる。また、イオンミリング法としては、特開昭
51−71597 号や同52−126174号公報等に示されたプラズ
マによってエッチングする方法が挙げられる。

【００４８】次いで、レジスト93を除去、図５（ｃ）の
ように主コア−スライダ結合体として完成させる。

【００４９】前記のようにして作製された主コア−スラ
イダ結合体は、図14のようにして組立てられ、図15及び
図15の XVI−XVI 線断面図である図16に示す磁気ヘッド
となる。なお、これらの図では、図３又は図４に示した
方法によってエアグルーブＡＧ１を設けた主コア−スラ
イダ結合体53Ｂを使用している。

【００５０】磁気ヘッド３は、図14、図15及び図16に示
すように、主として磁気ギャップを介して閉磁路を構成
する磁気コアとなる主コア10及び補助コア11と、主コア
10及び補助コア11に嵌合配設される駆動コイルが巻装さ
れた一対のコイルボビン12、13よりなる。

【００５１】一対のスライダ43、44が突合わされ、両ス
ライダの間に、非磁性材料14を挟んだセンタコア部15、
16及びサイドコア部17、18（これらコア部によって主コ
ア10が構成される）が挟まれる。

【００５２】一方のスライダ44には、センタコア部15、
16及びサイドコア部17、18に夫々接触してこれらコア部
の機械的強度を補強する補強脚部45、46、47が立設し、
これら補助脚部に夫々対応する位置に、ジンバル（図示
省略）との接合を図るための接合用脚部48、49、50が立
設している。

【００５３】主コア10は、磁気的に干渉しないように非
磁性材14を介して接合された一対の棒状のセンターコア
部15、16の両側に、夫々略Ｌ字状をなすサイドコア部1
7、18が突き合わされ、当該突合わせ面に夫々第一の磁
気ギャップと第二の磁気ギャップ（いずれも図示は省略
する。）を有している。この第一の磁気ギャップは、記
録再生用磁気ギャップとして動作し、第二の磁気ギャッ
プは消去用磁気ギャップとして動作するようになされて
いる。

【００５４】他方、補助コア11は、上記主コア10のコア
形状に対応して形成された一対のコア部材19、20が非磁
性材55を介して側面側で接合されることによって構成さ
れている。

【００５５】コア部材19、20は、上記主コア10のセンタ
ーコア部15、16及びサイドコア部17、18と対向する位置
に夫々センター脚部21、22及びサイド脚部23、24を有
し、連結部材25、26にて連結され平面形状が略コ字状と
されている。従って、センター脚部21、22とサイド脚部
23、24を設けることにより、主コア10の奥行き方向での
長さを長くするコア同士の接合面積を確保することが可
能となり、電磁変換特性の向上が図れる。

【００５６】コイルボビン12、13は、フープ材を打ち抜
き加工して形成した外部端子27、28にインサート成型し
て作製されてなるもので、駆動コイル29、30を巻装する
胴体部と、この胴体部に巻装される駆動コイル29、30の
巻装位置を高さ方向で規制する上下一対のフランジ部3
1、32、33、34とを有してなる。

【００５７】消去用磁気ギャップが構成される側の主コ
ア10のサイドコア部17を挿通させるコイルボビン12に
は、一本の駆動コイル29が所定数巻回され、その巻始め
と巻終わりが外部端子27に夫々巻き付けられている。

【００５８】他方、記録再生用磁気ギャップが構成され
る側の主コア10のサイドコア部18を挿通させるコイルボ
ビン13には、２本の駆動コイル30が所定数それぞれ巻回
され、巻始めと巻終わり及び共通部（コモン）が夫々３
本の外部端子28に巻き付けられている。

【００５９】一方、後述する可動アーム側に取付けられ
るフランジ部31、33には、これらコイルボビン12、13の
対向側と反対側の一側縁に沿って外部端子27、28を支持
する端子支持部35、36が肉厚状の突起として設けられて
いる。端子支持部35、36には、外部端子27、28が夫々所
定間隔で植立されるようになっている。

【００６０】そして、主コア10と補助コア11とは、コイ
ルボビン12、13に設けられる貫通孔12ａ、13ａ内で主コ
ア10のサイドコア部17、18と補助コア11のサイド脚部2
3、24とが接触して所謂段重ね状態で重ね合わされる。
即ち、サイドコア部17の一側面17ａとサイド脚部23の一
側面23ａとが接触されて磁気的結合が図られるととも
に、サイドコア部18の一側面18ａとサイド脚部24の一面
側24ａとが接触されて磁気的結合が図られ、閉磁路が構
成される。

【００６１】従って、主コア10、補助コア11、コイルボ
ビン12、13によって、記録再生用磁気ギャップとして動
作する第一の磁気ギャップを有した磁気ヘッド素子、つ
まり記録再生ヘッドと、消去用磁気ギャップとして動作
する第二の磁気ギャップを有した磁気ヘッド素子、つま
り消去ヘッドが構成される。

【００６２】また、コイルボビン12、13の貫通孔12ａ、
13ａ内には、主コア10と補助コア11とを磁気的に結合さ
せるためのコア押え部材39が挿入されている。コア押え
部材39は、板厚の薄い金属板ばねよりなり、主コア10の
サイドコア部17、18及び補助コア11のサイド脚部23、24
と共にコイルボビン12、13内に挿入されるコア押え片部
40、41と、これらを連結する連結部42とを有してなって
いる。

【００６３】コア押え片部40、41は、連結部42の長手方
向の両端部より主コア10方向に垂下して設けられ、連結
部材42に一体的に設けられている。なお、コア押え片部
40、41の先端側は、くの字状に折曲され、その屈曲部40
ａ、41ａの弾性力で補助コア11を主コア10に押圧するよ
うになっている。

【００６４】上記のように形成されたコア押え部材39
は、コイルボビン12、13の貫通孔12ａ、13ａ内でコア押
え片部40、41の先端が貫通孔12ａ、13ａの内壁に当接
し、屈曲部40ａ、41ａが補助コア11と接触すると共に、
連結部42の一部が貫通孔12ａ、13ａの外周縁と接触して
撓み、補助コア11のサイド脚部23、24を主コア10のサイ
ド部17、18へ押圧支持せしめる。

【００６５】この結果、サイドコア部17、18とサイド脚
部23、24とが押圧支持され、サイドコア部17、18とサイ
ド脚部23、24間の磁気的、機械的結合が確実なものとな
る。従って、主コア10と補助コア11間には、隙間が生じ
ることがなく、而も磁気ヘッドの駆動時に上記隙間が不
所望なギャップとして動作するという不都合が生ずるこ
ともない。

【００６６】そして、上記構成の磁気ヘッド部３におい
ては、記録再生用磁気ギャップ及び消去用磁気ギャップ
が設けられる側に一対のスライダ43、44が取付けられて
フロッピーディスクとの当たり特性を確保するようにな
されている。

【００６７】上記各構成部分は、四角形の枠状を呈する
磁気シールド部材51に収容される。磁気シールド部材51
は、例えばフェライトからなっている。

【００６８】図14に示した磁気ヘッド組立てに際して
も、エアグルーブの実質的深さを 100μｍ以下にしてい
るので、コア−スライダ結合体に歪みが生じることがな
く、レールの平坦度が良好に保たれる。

【００６９】次に、磁気ヘッドの使用状態を説明する。
なお、磁気ヘッドは、図17に示すように、図示しないフ
ロッピーディスク駆動装置本体のガイドバー等に固定さ
れるヘッド支持部材を構成するキャリッジ１及びキャリ
ッジ１に対して同図中矢印Ｘ方向に回動自在に取付けら
れる可動アーム２とを備え、これらキャリッジ１、可動
アーム２の先端側に夫々設けられた磁気ヘッド部３、４
によってフロッピーディスク５の両面に対して記録再生
が行われるように構成されてなる。

【００７０】磁気ヘッド部３、４は、夫々可撓性を有す
る金属板ばねよりなるジンバル６、７を介してキャリッ
ジ１または可動アーム２にディスクの周方向或いは径方
向に可動な状態で取付けられ、ディスクの動きに対して
良好な追従性を示すようになっている。図中の86、87
は、フレキシブルプリントサーキット（ＦＰＣ）
で、夫々ジンバル６、７に一端が固定されている。

【００７１】また、可動アーム２に取付けられる磁気ヘ
ッド部３は、ピボット８を介して可動アーム２とキャリ
ッジ１とに亘り張架される引っ張りばねにより加圧さ
れ、ディスク５をフォローし上下に動くようになってい
る。即ち、ピボット８を支点として磁気ヘッド部３が前
後左右及び上下動され、上記ディスク５に対する接触状
態が常に一定に保たれる。なお、同様にキャリッジ１に
もピボット９が設けられ、上記磁気ヘッド部４のディス
ク５に対する接触状態が常に一定に保たれている。

【００７２】上述の構成の磁気ヘッドにおいて、フロッ
ピーディスク５のチャッキング動作時には、上記可動ア
ーム２は引っ張りばねによりキャリッジ１方向に引きつ
けられ、相対向する磁気ヘッド部３、４間に当該フロッ
ピーディスク５を挟み付けることになる。

【００７３】以上、本発明の実施例を説明したが、本発
明の技術的思想に基いて種々の変形を前記の実施例に加
えることができる。

【００７４】例えば、本発明に基づく磁気ヘッドは、
3.5インチフロッピーディスク用のほか、他のサイズの
フロッピーディスク用、或いはフロッピーディスク以外
の磁気記録媒体用として好適である。また、磁気ヘッド
アセンブリを構成する部分の材料には、前記とは異なる
適宜の材料を使用して良い。

【００７５】

【発明の作用効果】本発明に基づく磁気ヘッドでは、エ
アグルーブの実質的深さを 100μｍ以下にしているの
で、コアとこのコアを挟むスライダとからなるコア−ス
ライダ結合体は、エアグルーブ形成に起因する剛性低下
が極めて小さい。

【００７６】従って、コア−スライダ結合体作製や磁気
ヘッド組立てに際し、コア−スライダ結合体には不所望
な歪みが生ずることがなく、磁気記録媒体に対する摺接
面の平坦度が良好に保たれる。その結果、磁気ヘッド
は、高い寸法精度が保証され、良好な電磁変換特性が保
証されることになり、信頼生の高いものになる。また、
当然のことながら、歩留も向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例によるエアグルーブの実質的深さとレー
ル平坦度との関係を示すグラフである。

【図２】同磁気ヘッドの電磁変換特性（モジュレーショ
ン）を示すグラフである。

【図３】同エアグルーブ形成の要領を示す正面図であ
り、同図（ａ）は第一工程を、同図（ｂ）は第二工程を
示す。

【図４】他の実施例によるエアグルーブ形成の要領を示
す正面図であり、同図（ａ）は第一工程を、同図（ｂ）
は第二工程を示す。

【図５】更に他の実施例によるエアグルーブ形成の要領
を示す正面図であり、同図（ａ）は第一工程を、同図
（ｂ）は第二工程を、同図（ｃ）は第三工程を示す。

【図６】図１〜図３の実施例による主コア−スライダ結
合体作製の第一ステップを示す斜視図である。

【図７】同主コア−スライダ結合体作製の第二ステップ
を示す斜視図である。

【図８】同主コア−スライダ結合体作製の第三ステップ
を示す斜視図である。

【図９】同主コア−スライダ結合体作製の第四ステップ
を示す斜視図である。

【図10】同主コア−スライダ結合体作製の第五ステップ
を示す斜視図である。

【図11】同主コア−スライダ結合体作製の第六ステップ
を示す斜視図である。

【図12】同主コア−スライダ結合体作製の第七ステップ
を示す斜視図である。

【図13】同主コア−スライダ結合体作製の第八ステップ
を示す斜視図である。

【図14】同磁気ヘッド部の分解斜視図である。

【図15】実施例による磁気ヘッド部の斜視図である。

【図16】同磁気ヘッド部の断面図（図15の XVI−XVI 線
断面図）である。

【図17】同磁気ヘッドアセンブリの使用状態を示す概略
斜視図である。

【図18】他の実施例による磁気ヘッド部の図２と同様の
斜視図である。

【図19】従来例による磁気ヘッド部の分解斜視図であ
る。

【図20】同磁気ヘッドの断面図である。

【図21】同エアグルーブ形成の要領を示す正面図であ
り、同図（ａ）は第一工程を、同図（ｂ）は第二工程を
示す。

【図22】同主コア−スライダ結合体の正面図である。

【図23】同図22の部分拡大図である。

【図24】同主コア−スライダ結合体の変形を示す斜視図
である。

【図25】同磁気ヘッドの電磁変換特性（モジュレーショ
ン）を示すグラフである。

【符号の説明】

３、４・・・磁気ヘッド 10・・・主コア 11・・・補助コア 43、44・・・スライダ 44ａ・・・スライダの底壁部 52・・・接合用ガラス 53Ｂ・・・主コア−スライダ結合体 90、91・・・砥石車 93・・・レジストＡＧ１、ＡＧ４・・・エアグルーブＡＧ２、ＡＧ３・・・溝ＲＡ１、ＲＡ２、ＲＡ３、ＲＡ４・・・レール d₁・・・エアグルーブの実質的深さ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】コアと、このコアを挟むスライダとを有
し、磁気記録媒体に対する摺接面に形成されたエアグル
ーブの実質的深さが 100μｍ以下である磁気ヘッド。
【請求項２】エアグルーブの底面が、第一の加工によ
って形成された第一の面と、第二の加工によって形成さ
れかつ第一の面よりも深い第二の面とからなる、請求項
１に記載された磁気ヘッド。
【請求項３】磁気ヘッドを製造するに際し、スライダ素材でコア素材を挟んで接合する工程と、このコア−スライダ素材接合体の磁気記録媒体に対する
摺接面側を加工して実質的深さが 100μｍ以下のエアグ
ルーブとなる溝を形成する工程とを有する、請求項１に
記載された磁気ヘッドの製造方法。
【請求項４】第一の面と第二の面とを、夫々第一の加
工と第二の加工とによって形成する、請求項２に記載さ
れた磁気ヘッドの製造方法。
【請求項５】粒子の照射によってスライダ素材の表面
層を選択的に除去し、エアグルーブを形成する、請求項
３又は４に記載された製造方法。
【請求項６】粒子の照射をサンドブラスト、パウダー
ビームエッチング又はイオンミリングによって行う、請
求項５に記載された製造方法。