JPH0626810Y2 - 渦流量計 - Google Patents
渦流量計Info
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- JPH0626810Y2 JPH0626810Y2 JP3478188U JP3478188U JPH0626810Y2 JP H0626810 Y2 JPH0626810 Y2 JP H0626810Y2 JP 3478188 U JP3478188 U JP 3478188U JP 3478188 U JP3478188 U JP 3478188U JP H0626810 Y2 JPH0626810 Y2 JP H0626810Y2
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- vortex
- diaphragm
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、二つのダイヤフラムが信号出力には和動、
ノイズには差動として作動し、かつノイズ出力の差を零
にするようにした渦流量計に関するものである。
ノイズには差動として作動し、かつノイズ出力の差を零
にするようにした渦流量計に関するものである。
渦圧力検出には各種の方式があるが、渦圧力を左右の室
に導びき、左右室の隔壁にダイヤフラムを設けて、渦圧
力を差圧で検出する流量計は、例えば特公昭５０−３６
７７６号公報や実公昭５４−３７２５号公報に示されて
いる。
に導びき、左右室の隔壁にダイヤフラムを設けて、渦圧
力を差圧で検出する流量計は、例えば特公昭５０−３６
７７６号公報や実公昭５４−３７２５号公報に示されて
いる。
このような従来の流量計において、微流量域での渦圧を
検出しようとするとダイヤフラムは極めて高感度化せね
ばならないが、このようにすれば渦圧力外のダイヤフラ
ムに印加する力、例えば振動に応動してしまう問題点が
あった。
検出しようとするとダイヤフラムは極めて高感度化せね
ばならないが、このようにすれば渦圧力外のダイヤフラ
ムに印加する力、例えば振動に応動してしまう問題点が
あった。
この考案は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、微少な渦圧を生成する微流量の計測が可能
でかつ耐振性の高い流量計を得ることを目的とする。
れたもので、微少な渦圧を生成する微流量の計測が可能
でかつ耐振性の高い流量計を得ることを目的とする。
この考案に係る渦流量計は、第１と第２の圧力室の隔壁
部に設けた第１のダイヤフラムと、第３と第４の圧力室
の隔壁部に設けた第２のダイヤフラムと、この第１，第
２のダイヤフラムの出力を受けて作動する第１，第２の
ブリッジ回路と、この第１，第２のブリッジ回路の出力
を増幅する第１，第２の可変増幅回路と、互いに正負で
ほぼ同等の第１，第２の可変増幅回路の出力を入力する
差動増幅回路とを設けたものである。
部に設けた第１のダイヤフラムと、第３と第４の圧力室
の隔壁部に設けた第２のダイヤフラムと、この第１，第
２のダイヤフラムの出力を受けて作動する第１，第２の
ブリッジ回路と、この第１，第２のブリッジ回路の出力
を増幅する第１，第２の可変増幅回路と、互いに正負で
ほぼ同等の第１，第２の可変増幅回路の出力を入力する
差動増幅回路とを設けたものである。
この発明における第１と第２、第３と第４の圧力室にカ
ルマン渦の渦圧の圧力の変化を導びき、第１，第２のダ
イヤフラムでそれぞれ第１と第２、第３と第４の圧力室
の渦圧の差圧を検出し、この第１，第２のダイヤフラム
の出力に応じて、第１，第２のブリッジ回路が出力し、
この第１，第２のブリッジ回路の出力を第１，第２の可
変増幅回路で増幅し、第１，第２の可変増幅回路の増幅
率が第１，第２のダイヤフラムの振動等の外力に応動し
て出力する出力値を互いに相等しくなるように調整し、
この第１，第２の可変増幅回路の出力を差動増幅回路で
差動増幅する。
ルマン渦の渦圧の圧力の変化を導びき、第１，第２のダ
イヤフラムでそれぞれ第１と第２、第３と第４の圧力室
の渦圧の差圧を検出し、この第１，第２のダイヤフラム
の出力に応じて、第１，第２のブリッジ回路が出力し、
この第１，第２のブリッジ回路の出力を第１，第２の可
変増幅回路で増幅し、第１，第２の可変増幅回路の増幅
率が第１，第２のダイヤフラムの振動等の外力に応動し
て出力する出力値を互いに相等しくなるように調整し、
この第１，第２の可変増幅回路の出力を差動増幅回路で
差動増幅する。
以下、この考案の渦流量計の実施例について図面に基づ
き説明する。第１図はその一実施例の構成を示す断面
図、第２図は第１図における渦発生部の拡大断面図であ
る。
き説明する。第１図はその一実施例の構成を示す断面
図、第２図は第１図における渦発生部の拡大断面図であ
る。
この第１図，第２図の両図において、１は被測定流体、
２は被測定流体１の流れる導管、３は導管２の中の被測
定流体１の流れに対し直角に設置れた渦発生体、４は渦
発生体３の後方に発生したカルマン渦、５，６はカルマ
ン渦４の渦圧を検出するために渦発生体３の下流側の導
管２の側壁に設けられた圧力取得口である。
２は被測定流体１の流れる導管、３は導管２の中の被測
定流体１の流れに対し直角に設置れた渦発生体、４は渦
発生体３の後方に発生したカルマン渦、５，６はカルマ
ン渦４の渦圧を検出するために渦発生体３の下流側の導
管２の側壁に設けられた圧力取得口である。
８は圧力取得口５，６に通ずるように設けられた渦圧力
検出器である。第３図，第４図はこの渦圧力検出器８の
構造を示す断面図である。第３図は第４図の正面方向の
断面図であり、この第３図，第４図の両図において、８
５，８６は第１図，第２図の圧力取得口５，６に通じた
導圧管部、８１，８２，８３，８４はそれぞれ第１〜第
４の圧力室で、第１，第４の圧力室８１，８４は導圧管
部８５に連通し、第２，第３の圧力室８２，８３は導圧
管部８６に連通している。
検出器である。第３図，第４図はこの渦圧力検出器８の
構造を示す断面図である。第３図は第４図の正面方向の
断面図であり、この第３図，第４図の両図において、８
５，８６は第１図，第２図の圧力取得口５，６に通じた
導圧管部、８１，８２，８３，８４はそれぞれ第１〜第
４の圧力室で、第１，第４の圧力室８１，８４は導圧管
部８５に連通し、第２，第３の圧力室８２，８３は導圧
管部８６に連通している。
第３図，第４図に示すように、第１，第２の圧力室８１
と８２間、第３，第４の圧力室８３と８４間には基板８
８がパッケージ部材８９，９０で保持されている。この
基板８８に半導体チップ８７が設けられており、半導体
チップ８７にそれぞれ第１，第２のダイヤフラム８７
ａ，８７ｂが設けられている。
と８２間、第３，第４の圧力室８３と８４間には基板８
８がパッケージ部材８９，９０で保持されている。この
基板８８に半導体チップ８７が設けられており、半導体
チップ８７にそれぞれ第１，第２のダイヤフラム８７
ａ，８７ｂが設けられている。
第１のダイヤフラム８７ａは第１，第２の圧力室８１，
８２間の隔壁をなしており、第２のダイヤフラム８７ｂ
は第３，第４の圧力室の隔壁をなしている。
８２間の隔壁をなしており、第２のダイヤフラム８７ｂ
は第３，第４の圧力室の隔壁をなしている。
また、上記パッケージ部材８９，９０は上記基板８８の
保持機能の外に、導圧管部８５，８６および第１〜第４
の圧力室８１〜８４を形成している。
保持機能の外に、導圧管部８５，８６および第１〜第４
の圧力室８１〜８４を形成している。
９１は第１，第２のダイヤフラム部８７ａ，８７ｂの表
面に設けられた第３図，第４図では図示しないそれぞれ
の半導体ブリッジ回路の４端子を導出するリードターミ
ナル、９２はこのリードターミナル９１と図示しない半
導体回路４端子を接続するワイヤである。
面に設けられた第３図，第４図では図示しないそれぞれ
の半導体ブリッジ回路の４端子を導出するリードターミ
ナル、９２はこのリードターミナル９１と図示しない半
導体回路４端子を接続するワイヤである。
第５図はこの考案の渦流量計の制御部の電気回路図であ
る。この第５図において、１０１，１０２は第４図の第
１，第２のダイヤフラム８７ａ，８７ｂにそれぞれ設け
られた四つのピエゾ抵抗素子からなる第１，第２のブリ
ッジ回路、１０３，１０４は第１のブリッジ回路１０１
と第２のブリッジ回路１０２の出力を受けて作動する第
１，第２の差動増幅回路、１０５は第１の差動増幅回路
１０３の出力を調整する第１の可変増幅回路、１０６は
第２の差動増幅回路１０４の出力を調整する第２の可変
増幅回路、１０５ａ，１０５ｂはそれぞれ第１，第２の
可変増幅回路１０５，１０６のゲイン調整抵抗である。
る。この第５図において、１０１，１０２は第４図の第
１，第２のダイヤフラム８７ａ，８７ｂにそれぞれ設け
られた四つのピエゾ抵抗素子からなる第１，第２のブリ
ッジ回路、１０３，１０４は第１のブリッジ回路１０１
と第２のブリッジ回路１０２の出力を受けて作動する第
１，第２の差動増幅回路、１０５は第１の差動増幅回路
１０３の出力を調整する第１の可変増幅回路、１０６は
第２の差動増幅回路１０４の出力を調整する第２の可変
増幅回路、１０５ａ，１０５ｂはそれぞれ第１，第２の
可変増幅回路１０５，１０６のゲイン調整抵抗である。
１０７は第１の可変増幅回路１０５と第２の可変増幅回
路１０６の出力を受けて作動する第３の差動増幅回路、
１０８は第３の差動増幅回路１０７の出力を受けて作動
する波形整形回路、１０９は第１のブリッジ回路１０１
と第２のブリッジ回路１０２の電源回路である。
路１０６の出力を受けて作動する第３の差動増幅回路、
１０８は第３の差動増幅回路１０７の出力を受けて作動
する波形整形回路、１０９は第１のブリッジ回路１０１
と第２のブリッジ回路１０２の電源回路である。
次に動作について説明する。いま、導管２に被測定流体
１が流れると、渦発生体３の後流には第２図に図示する
ごとく、右巻および左巻の渦が交互に発生する。これを
一般にカルマン渦列と呼ぶ。
１が流れると、渦発生体３の後流には第２図に図示する
ごとく、右巻および左巻の渦が交互に発生する。これを
一般にカルマン渦列と呼ぶ。
このカルマン渦４の発生は圧力の変化を伴うことは周知
のことである。したがって、カルマン渦４の通路に沿っ
た導管２の壁面においても圧力変化が生じるため、カル
マン渦４の通路に面した導管２に設けられた圧力取得口
５，６には、左右渦の発生によって、交互に圧力変化が
生ずる。なお、渦圧力は一般に負圧である。
のことである。したがって、カルマン渦４の通路に沿っ
た導管２の壁面においても圧力変化が生じるため、カル
マン渦４の通路に面した導管２に設けられた圧力取得口
５，６には、左右渦の発生によって、交互に圧力変化が
生ずる。なお、渦圧力は一般に負圧である。
いま、右巻き渦が発生しているときは、圧力取得口５の
部分に負圧が生じ、この負圧は導圧管部８５を介して第
１の圧力室８１および第４の圧力室８４に導びかれる。
部分に負圧が生じ、この負圧は導圧管部８５を介して第
１の圧力室８１および第４の圧力室８４に導びかれる。
したがって、第１のダイヤフラム８７ａおよび第２のダ
イヤフラム８７ｂはそれぞれ第１の圧力室８１側および
第４の圧力室８４側に歪む。
イヤフラム８７ｂはそれぞれ第１の圧力室８１側および
第４の圧力室８４側に歪む。
次に左巻き渦が発生すると、今度は圧力取得口６の部分
に負圧が生じるため、導圧管８６を介して第２の圧力室
８２および第３の圧力室８３が負圧になる。
に負圧が生じるため、導圧管８６を介して第２の圧力室
８２および第３の圧力室８３が負圧になる。
したがって、第１のダイヤフラム８７ａおよび第２のダ
イヤフラム８７ｂはそれぞれ第２の圧力室８２側および
第３の圧力室８３側に歪む。
イヤフラム８７ｂはそれぞれ第２の圧力室８２側および
第３の圧力室８３側に歪む。
ここで、第１のダイヤフラム８７ａおよび第２のダイヤ
フラム８７ｂがそれぞれ第１の圧力室８１側および第３
の圧力室８３側に歪んだとき、第５図の制御回路図にお
いて、ブリッジ回路１０１，１０２の出力が矢印ｖＢの
方向であるとすると、右巻き渦の発生時はブリッジ回路
１０１の出力は＋ｖＢ１０１、ブリッジ回路１０２の出
力は−ｖＢ１０２であり、左巻き渦の発生時はブリッジ
回路１０１の出力は−ｖＢ１０１、ブリッジ回路１０２
の出力は＋ｖＢ１０２となる。
フラム８７ｂがそれぞれ第１の圧力室８１側および第３
の圧力室８３側に歪んだとき、第５図の制御回路図にお
いて、ブリッジ回路１０１，１０２の出力が矢印ｖＢの
方向であるとすると、右巻き渦の発生時はブリッジ回路
１０１の出力は＋ｖＢ１０１、ブリッジ回路１０２の出
力は−ｖＢ１０２であり、左巻き渦の発生時はブリッジ
回路１０１の出力は−ｖＢ１０１、ブリッジ回路１０２
の出力は＋ｖＢ１０２となる。
第１，第２の差動増幅回路１０３，１０４の増幅率をα
１０３，α１０４とし、第１，第２の可変増幅回路１０
５，１０６の増幅率をβ１０５，β１０６とすると、第
３の差動増幅回路１０７の(+),(-)入力端子に入力され
る値は次式となる。
１０３，α１０４とし、第１，第２の可変増幅回路１０
５，１０６の増幅率をβ１０５，β１０６とすると、第
３の差動増幅回路１０７の(+),(-)入力端子に入力され
る値は次式となる。
(+)入力端子側 ＶＢ１０５＝α１０３×β１０５×ｖＢ１０１ …
(1) (-)入力端子側 ＶＢ１０６＝α１０４×β１０６×ｖＢ１０２ …
(2) この(1)式，(2)式に示す(+)入力端子側の入力電圧Ｖ
Ｂ１０５、(-)入力端子側の入力電圧ＶＢ１０６は上述
したように互いに逆極性であるため、第３の差動増幅回
路１０７の出力は となり、渦圧力に対しては第１，第２の二つのダイヤフ
ラム８７ａ，８７ｂの出力が和動に働き、より微少な渦
圧を検出することができる。ここで、｜ＶＢ１０５｜と
｜ＶＢ１０６｜は等しくある必要はない。
(1) (-)入力端子側 ＶＢ１０６＝α１０４×β１０６×ｖＢ１０２ …
(2) この(1)式，(2)式に示す(+)入力端子側の入力電圧Ｖ
Ｂ１０５、(-)入力端子側の入力電圧ＶＢ１０６は上述
したように互いに逆極性であるため、第３の差動増幅回
路１０７の出力は となり、渦圧力に対しては第１，第２の二つのダイヤフ
ラム８７ａ，８７ｂの出力が和動に働き、より微少な渦
圧を検出することができる。ここで、｜ＶＢ１０５｜と
｜ＶＢ１０６｜は等しくある必要はない。
次に、渦圧以外の外圧が第１，第２のダイヤフラム８７
ａ，８７ｂに印加した場合の作動について述べる。まず
導管２内には被測定流体１の流れの変化に伴った圧力変
動、例えば脈動がある。
ａ，８７ｂに印加した場合の作動について述べる。まず
導管２内には被測定流体１の流れの変化に伴った圧力変
動、例えば脈動がある。
脈動は渦発生体３の上，下流より比較的長い距離を伝搬
してくるため、導管２内にあっては完全な平面進行波と
なっている。
してくるため、導管２内にあっては完全な平面進行波と
なっている。
したがって、二つの圧力取得口５，６は同時に同一量の
圧力変化が発生し、これが導圧管８５，８６を介して第
１の圧力室８１と第４の圧力室８４、そして第２の圧力
室８２と第３の圧力室８３に伝達される。
圧力変化が発生し、これが導圧管８５，８６を介して第
１の圧力室８１と第４の圧力室８４、そして第２の圧力
室８２と第３の圧力室８３に伝達される。
一つのダイヤフラム、例えば、第１のダイヤフラム８７
ａを見ると、第１の圧力室８１と第２の圧力室８２が同
時に同一量圧力が変化する場合は第１のダイヤフラム８
７ａはどちらの方向にも歪むことはない。したがって、
第１のブリッジ回路１０１は出力しない。故に渦流量計
の制御回路は出力しない。
ａを見ると、第１の圧力室８１と第２の圧力室８２が同
時に同一量圧力が変化する場合は第１のダイヤフラム８
７ａはどちらの方向にも歪むことはない。したがって、
第１のブリッジ回路１０１は出力しない。故に渦流量計
の制御回路は出力しない。
次に渦圧力検出器８が加振された場合について述べる。
渦圧力検出器８が第１，第２のダイヤフラム８７ａ，８
７ｂの非可動方向に加振される場合は、当然第１，第２
のダイヤフラム８７ａ，８７ｂは作動することはないた
め、渦流量計の制御回路の出力はない。
渦圧力検出器８が第１，第２のダイヤフラム８７ａ，８
７ｂの非可動方向に加振される場合は、当然第１，第２
のダイヤフラム８７ａ，８７ｂは作動することはないた
め、渦流量計の制御回路の出力はない。
しかし、渦圧力検出器８が第１，第２のダイヤフラム８
７ａ，８７ｂの可動方向に加振されると、第１ダイヤフ
ラム８７ａと第２のダイヤフラム８７ｂは同一方向に歪
む。
７ａ，８７ｂの可動方向に加振されると、第１ダイヤフ
ラム８７ａと第２のダイヤフラム８７ｂは同一方向に歪
む。
したがって、第１のブリッジ回路１０１に出力ｖ
Ｂ１０１が生じ、第２のブリッジ回路１０２にｖ
Ｂ１０２が生じる。第１，第２の差動増幅回路１０３，
１０４および第１，第２の可変増幅回路１０５，１０６
の増幅率は前述の通りであるので、第３の差動増幅回路
１０７の出力は ＶＢ１０７＝（±ＶＢ１０５）−（±ＶＢ１０６） …
…(4) となり、若しＶＢ１０５＝ＶＢ１０６であれば、出力は
零、すなわち振動による出力は全く発生せず、振動によ
るノイズ発生はない。
Ｂ１０１が生じ、第２のブリッジ回路１０２にｖ
Ｂ１０２が生じる。第１，第２の差動増幅回路１０３，
１０４および第１，第２の可変増幅回路１０５，１０６
の増幅率は前述の通りであるので、第３の差動増幅回路
１０７の出力は ＶＢ１０７＝（±ＶＢ１０５）−（±ＶＢ１０６） …
…(4) となり、若しＶＢ１０５＝ＶＢ１０６であれば、出力は
零、すなわち振動による出力は全く発生せず、振動によ
るノイズ発生はない。
しかしながら、生産時には全く同等の寸法・形状やピエ
ゾ抵抗定数の二つの第１，第２のダイヤフラム８７ａ，
８７ｂを得ることはできない。
ゾ抵抗定数の二つの第１，第２のダイヤフラム８７ａ，
８７ｂを得ることはできない。
したがって、 ｖＢ１０１≠ｖＢ１０２ ただし、ｖＢ１０１≒ｖＢ１０２は成立する。
である。
また、第１，第２の差動増幅回路１０３，１０４の増幅
率も同等にすることは不可能である。しかし、ここでＶ
Ｂ１０５＝ＶＢ１０６を成立させるには、第１，第２の
可変増幅回路１０５，１０６の増幅率β１０５，β
１０６を調整することによって可能となる。すなわち、 が成立するよう、第１，第２の可変増幅回路１０５，１
０６の増幅率を設定すればよい。
率も同等にすることは不可能である。しかし、ここでＶ
Ｂ１０５＝ＶＢ１０６を成立させるには、第１，第２の
可変増幅回路１０５，１０６の増幅率β１０５，β
１０６を調整することによって可能となる。すなわち、 が成立するよう、第１，第２の可変増幅回路１０５，１
０６の増幅率を設定すればよい。
このためには、渦圧力検出器８を所定の加振力で加振さ
せ、そのときの第３の差動増幅回路１０７の(+),(-)入
力端子の入力値が同等になるよう、第１，第２の可変増
幅回路１０５，１０６中のゲイン調整抵抗１０５ａ，１
０６ａをトリミングすることができる。
せ、そのときの第３の差動増幅回路１０７の(+),(-)入
力端子の入力値が同等になるよう、第１，第２の可変増
幅回路１０５，１０６中のゲイン調整抵抗１０５ａ，１
０６ａをトリミングすることができる。
以上のように、この考案によれば、第１と第２の圧力室
間の隔壁および第３と第４の圧力室間の隔壁にそれぞれ
第１，第２のダイヤフラムを設け、この第１，第２のダ
イヤフラムがカルマン渦圧力の検出には和動に作用し、
振動等の外力には差動に作用するようにし、かつ第１，
第２の二つのダイヤフラムの外力による出力を等しくす
るように第１，第２の可変増幅回路の増幅率を調整する
ように構成したので、微流量域での渦圧力の検出力を向
上させながら、二つのダイヤフラムや制御回路のバラツ
キを吸収して外力に対して極めて強いという効果があ
る。
間の隔壁および第３と第４の圧力室間の隔壁にそれぞれ
第１，第２のダイヤフラムを設け、この第１，第２のダ
イヤフラムがカルマン渦圧力の検出には和動に作用し、
振動等の外力には差動に作用するようにし、かつ第１，
第２の二つのダイヤフラムの外力による出力を等しくす
るように第１，第２の可変増幅回路の増幅率を調整する
ように構成したので、微流量域での渦圧力の検出力を向
上させながら、二つのダイヤフラムや制御回路のバラツ
キを吸収して外力に対して極めて強いという効果があ
る。
第１図はこの考案の一実施例による渦流量計の断面図、
第２図は同上実施例における渦発生部を示す断面図、第
３図および第４図はそれぞれ同上実施例における渦圧力
検出器の断面図、第５図は同上実施例における制御回路
のブロック図である。 ３……渦発生体、５，６……圧力取得口、８……渦圧力
検出器、８１……第１の圧力室、８２……第２の圧力
室、８３……第３の圧力室、８４……第４の圧力室、８
５，８６……導圧管部、８７ａ……第１のダイヤフラ
ム、８７ｂ……第２のダイヤフラム、１０１……第１の
ブリッジ回路、１０２……第２のブリッジ回路、１０３
……第１の差動増幅回路、１０４……第２の差動増幅回
路、１０５……第１の可変増幅回路、１０６……第２の
可変増幅回路、１０７……第３の差動増幅回路。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。
第２図は同上実施例における渦発生部を示す断面図、第
３図および第４図はそれぞれ同上実施例における渦圧力
検出器の断面図、第５図は同上実施例における制御回路
のブロック図である。 ３……渦発生体、５，６……圧力取得口、８……渦圧力
検出器、８１……第１の圧力室、８２……第２の圧力
室、８３……第３の圧力室、８４……第４の圧力室、８
５，８６……導圧管部、８７ａ……第１のダイヤフラ
ム、８７ｂ……第２のダイヤフラム、１０１……第１の
ブリッジ回路、１０２……第２のブリッジ回路、１０３
……第１の差動増幅回路、１０４……第２の差動増幅回
路、１０５……第１の可変増幅回路、１０６……第２の
可変増幅回路、１０７……第３の差動増幅回路。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】被測流体の流れる導管内に配設された渦発
生体と、上記導管内において上記渦発生体の下流側の上
記被測流体に生ずるカルマン渦の渦圧を検出する第１，
第２の圧力取得口と、上記第１の圧力取得口に生ずる圧
力変化を第１および第４の圧力室に導びく第１の導圧管
と、第２の圧力取得口に生ずる圧力変化を第２および第
３の圧力室に導びく第２の導圧管と、上記第１と第２の
圧力室の隔壁部に設けられ上記渦圧の差圧を検出する第
１のダイヤフラムと、上記第３と第４の圧力室の隔壁部
に設けられ、渦圧の差圧を検出する第２のダイヤフラム
と、上記第１および第２のダイヤフラムに応動して出力
する第１および第２のブリッジ回路と、上記第１のブリ
ッジ回路の出力を受けて作動する第１の可変増幅回路
と、上記第２のブリッジ回路の出力を受けて作動する第
２の可変増幅回路と、互いに正負でほぼ同等の上記第１
と第２の可変増幅回路の出力を差動増幅して脈動周期を
流量計出力とする差動増幅回路と、上記第１，第２の可
変増幅回路の増幅率をそれぞれ上記第１，第２のダイヤ
フラムの振動等の外力に応動して出力する出力値が互い
に相等しくなるように調整するためにそれぞれ上記第
１，第２の可変増幅回路に設けられたゲイン調整抵抗と
を備えた渦流量計。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3478188U JPH0626810Y2 (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 | 渦流量計 |
| KR2019890002646U KR920002274Y1 (ko) | 1988-03-15 | 1989-03-08 | 와 유량계 |
| US07/321,242 US4907459A (en) | 1988-03-15 | 1989-03-09 | Vortex flow meter |
| DE3908464A DE3908464A1 (de) | 1988-03-15 | 1989-03-15 | Wirbelstroemungsmesser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3478188U JPH0626810Y2 (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 | 渦流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01137418U JPH01137418U (ja) | 1989-09-20 |
| JPH0626810Y2 true JPH0626810Y2 (ja) | 1994-07-20 |
Family
ID=31261458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3478188U Expired - Lifetime JPH0626810Y2 (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 | 渦流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0626810Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-03-15 JP JP3478188U patent/JPH0626810Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01137418U (ja) | 1989-09-20 |
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