JPH0469734B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は渦流量計に係り、特に流体を給送する
配管に設けられた流体の流量を計測する渦流量計
に関する。

従来の技術 一般に渦流量計は配管流路内に渦発生柱を設
け、この渦発生柱の下流側に交番的に発生するカ
ルマン渦による圧力変化を、渦発生柱の両側面よ
り差圧導入孔を介して流量検出部に導いて配管流
路内の流量を計測している。また、カルマン渦の
発生に伴う差圧により流量計測信号を出力する流
量検出部を配管外周に直接固定する構成とされて
いた。

このように配管に取付けられて使用される静電
容量式の渦流量計では、第６図に示す如く流量検
出部３１が渦発生柱の両側面の差圧により変位す
る一対の金属ダイヤフラム３２ａ，３２ｂと、金
属ダイヤフラム３２ａ，３２ｂに対向する電極板
３３ａ，３３ｂとよりなる一対のセンサ部３４
ａ，３４ｂとを有している。また、金属ダイヤフ
ラム３２ａ，３２ｂと電極板３３ａ，３３ｂとを
設けた一対のダイヤフラム室３５ａ，３５ｂ間は
連通路３６を介して連通されると共に渦発生に伴
う差圧を差動的に検出し、また配管内の流体の圧
力に耐えるために封入液３７を封入する構成とさ
れていた。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、配管には配管流路内の流体の移
送に伴う振動が生じており、配管に直接固定され
た流量検出部３１にも配管からの振動が伝達され
てしまい、流量検出部３１は配管からの振動を受
けながら流量計測を行つていた。

一般に、渦発生による差圧を検出する一対のセ
ンサ部３４ａ，３４ｂは互いに配管長手方向に対
して直交する水平方向（矢印Ｘ方向）に所定距離
間して設けられていた。封入液３７を充填された
連通路３６は一対のセンサ部間３４ａ，３４ｂ
（寸法ｌ）の水平方向に延在していた。ところが、
配管を伝わる振動として配管長手方向の振動は起
りにくく、発生しても比較的小さくて済むが、配
管長手方向と直交する水平方向及び垂直方向の振
動成分は比較的大である。このため、従来の渦流
量計では、一対のセンサ部３４ａ，３４ｂが配管
長手方向と直交する水平方向に設けてあるので、
配管に水平方向の振動が生じると、一対のセンサ
部３４ａ，３４ｂのダイヤフラム室３５ａ，３５
ｂ及び連通路３６に充填された封入液３７が水平
方向に揺動する。したがつて、従来の渦流量計で
は配管の水平方向の振動が生じることにより連通
路３６の寸法ｌの封入液３７が一対のセンサ部３
４ａ，３４ｂ間において加速度を受け、一対のセ
ンサ部間の連通路３６を水平部分の封入液３７の
慣性により金属ダイヤフラム３２ａ，３２ｂが変
位してしまう。このような配管振動による金属ダ
イヤフラム３２ａ，３２ｂの変位により静電容量
の変化が検知されて信号が出力されてしまうとい
つた欠点があつた。また、金属ダイヤフラム３２
ａ，３２ｂの変位が小さい微小流量を計測すると
き、カルマン渦による差圧で金属ダイヤフラム３
２ａ，３２ｂが変位したのか、配管振動により金
属ダイヤフラム３２ａ，３２ｂが変位したものな
のか判別できないという欠点があつた。

したがつて、低流量の測定時には配管振動に伴
う金属ダイヤフラム３２ａ，３２ｂの変位による
静電容量の変化を検出しない程度に電気回路の増
幅感度を低下させる必要がある。このため、カル
マン渦の発生に伴う金属ダイヤフラム３２ａ，３
２ｂの変位が小さい微小流量を計測できず、流量
計測範囲が狭くなるといつた欠点があつた。

そこで、本発明は上記諸欠点を除去した渦流量
計を提供することを目的とする。

問題点を解決するための手段及び作用 本発明は、配管の流路内に設けられた渦発生体
と、 該渦発生体の一側より渦発生による圧力を導入
する第１の差圧導入孔と、 前記渦発生体の他側より渦発生による圧力を導
入する第２の差圧導入孔と、 前記流路外側に設けられ該第１、第２の差圧導
入孔から導入された圧力に応じて流量を計測する
流量検出部と、を有し、 該流量検出部は、前記一側、他側の各上流側、
下流側に位置するよう設けられ、前記第１、第２
の差圧導入孔からの圧力に応じて変位するダイヤ
フラム部と該ダイヤフラム部の変位を検出する検
出部とよりなる２組のセンサ部と、 該２組のセンサ部のダイヤフラム室のうち上流
側のダイヤフラム室間を連通するように設けられ
封入液が充填された第１の連通路と、 前記２組のセンサ部のダイヤフラム室のうち下
流側のダイヤフラム室間を連通するように設けら
れ封入液が充填された第２の連通路と、 前記２組のセンサ部のダイヤフラム室のうち上
流側の一側に位置するダイヤフラム部と下流側の
他側に位置するダイヤフラム部に前記第１の差圧
導入孔からの圧力を供給するよう前記第１の差圧
導入孔と前記上流側の一側に位置するセンサ部、
下流側の他側に位置するセンサ部とを連通する第
１の通路と、 前記２組のセンサ部のダイヤフラム室のうち上
流側の他側に位置するダイヤフラム部と下流側の
一側に位置するダイヤフラム部に前記第２の差圧
導入孔からの圧力を供給するように前記第２の差
圧導入孔と前記上流側の他側に位置するセンサ
部、下流側の一側に位置するセンサ部とを連通す
る第２の通路とから構成されたことを特徴とす
る。

又、本発明は、配管の流路内に設けられた渦発
生体と、 該渦発生体の一側より渦発生による圧力を導入
する第１の差圧導入孔と、 前記渦発生体の他側より渦発生による圧力を導
入する第２の差圧導入孔と、 前記流路外側に設けられ該第１、第２の差圧導
入孔から導入された圧力に応じて流量を計測する
流量検出部と、を有し、 該流量検出部は、前記一側、他側の各上流側、
下流側に位置するよう設けられ、前記第１、第２
の差圧導入孔からの圧力に応じて変位するダイヤ
フラム部と該ダイヤフラム部の変位を検出する検
出部とよりなる２組のセンサ部と、 該２組のセンサ部のダイヤフラム室のうち上流
側の一側に位置するダイヤフラム室と下流側の他
側に位置するダイヤフラム室間を連通するように
設けられ封入液が充填された第１の連通路と、 前記２組のセンサ部のダイヤフラム室のうち上
流側の他側に位置するダイヤフラム室と下流側の
一側に位置するダイヤフラム室間を連通するよう
に設けられ封入液が充填された第２の連通路と、 前記上流側又は下流側のダイヤフラム部に前記
第１の差圧導入孔からの圧力を供給するよう前記
第１の差圧導入孔と前記上流側又は下流側の一
側、他側に位置するセンサ部とを連通する第１の
通路と、 前記下流側又は上流側のダイヤフラム部に前記
第２の差圧導入孔からの圧力を供給するよう前記
第２の差圧導入孔と前記下流側又は上流側の一
側、他側に位置するセンサ部とを連通する第２の
通路とから構成されてなり、 どの方向の振動が流量検出部に作用しても振動に
より信号が出力されることを防止して正確な流量
計測を行うと共に低流量域でも配管信号による影
響を受けることなく流量計測できるようにして流
量計測範囲を拡げるようにしたものである。

実施例 第１図乃至第３図に本発明になる渦流量計の第
１実施例を示す。各図中、配管１中の流路２には
渦流量計の渦発生体３が設けられている。渦発生
体３は両側より流路２と連通する差圧導入孔４
ａ，４ｂを有している。

５は渦流量計の流量検出部で、静電容量式の２
対のセンサ部６ａ〜６ｄを有している。２対のセ
ンサ部６ａ〜６ｄは配管１の取付部１ａに固定さ
れた取付部材７に設けられている。また、取付部
１ａは所定距離離間する４個の導圧室８ａ〜８ｄ
と、導圧室８ａ〜８ｄに連通する導圧孔９ａ〜９
ｄとを有している。なお、導圧孔９ａ，９ｄは渦
発生体３の一方の側の差圧導入孔４ｂに連通して
いる。また、導圧孔９ｂ，９ｃは異なる側の差圧
導入孔４ａに連通している。１０はＯリングで、
各導圧室８ａ〜８ｄに設けられており、各導圧室
８ａ〜８ｄと取付部材７との間をシールしてい
る。

２対のセンサ部６ａ〜６ｄは夫々可動電極とし
ての２対の金属ダイヤフラム１１ａ〜１１ｄと、
各金属ダイヤフラム１１ａ〜１１ｄに対向する固
定電極としての電極板１２ａ〜１２ｄとよりな
る。各金属ダイヤフラム１１ａ〜１１ｄは夫々各
導圧室８ａ〜８ｄに面して配設されており、差圧
導入孔４ａ，４ｂ及び導圧孔９ａ〜９ｄを介して
導圧室８ａ〜８ｄに導入された差圧に応じて変位
する。また、電極板１２ａ〜１２ｄは夫々絶縁体
１３ａ〜１３ｄに設けられており、金属ダイヤフ
ラム１１ａ〜１１ｄの変位を検出する。即ち、セ
ンサ部６ａ〜６ｄは夫々電極板１２ａ〜１２ｄに
対する金属ダイヤフラム１１ａ〜１１ｄの変位に
より静電容量が変化する可変容量コンデンサを形
成する。

１４及び１５は差圧を差動的に検出するための
連通路で、センサ部６ａ，６ｂのダイヤフラム室
１６ａ，１６ｂ間及びセンサ部６ｃ，６ｄのダイ
ヤフラム室１６ｃ，１６ｄ間を連通している。な
お、連通路１４，１５及び各ダイヤフラム室１６
ａ〜１６ｄには非圧縮性の封入液１７として例え
ばシリコンオイル等が充填されている。

したがつて、流量検出部５は金属ダイヤフラム
１１ａ〜１１ｄと電極板１２ａ〜１２ｄとよりな
る２対のセンサ部６ａ〜６ｄと、差圧導入孔４
ａ，４ｂより導入される差圧を導圧室８ａ〜８ｄ
に供給する導圧孔９ａ〜９ｄと、互いに異なる側
のダイヤフラム室１６ａと１６ｂ，１６ｃと１６
ｄを連通し封入液１７を充填された一対の連通路
１４，１５とよりなる。なお、連通路１４により
連通された一対のセンサ部６ａ，６ｂは下流側に
配設されている。また、連通路１５により連通さ
れた一対のセンサ部６ｃ，６ｄは上流側に配設さ
れている。

第４図に示す如く、各センサ部６ａ〜６ｄの金
属ダイヤフラム１１ａ〜１１ｄ及び電極板１２ａ
〜１２ｄはリード線を介して接続されコイル１８
ａ，１８ｂと共にブリツジ回路１８を形成する。
２対のセンサ部６ａ〜６ｄのうちセンサ部６ａと
６ｄ、及びセンサ部６ｂと６ｃが夫々並列に設け
られている。１９はブリツジ回路に交流を供給す
る交流電源である。

ここで、流路２内を流れる流体の流量を計測す
る場合につき説明する。

流量計測を行うのに際して、流路２内を流れる
被測流体の流量に応じて渦発生体３の下流側に発
生するカルマン渦により差圧が、渦発生体３の差
圧導入孔４ａ，４ｂ、導圧孔９ａ〜９ｄを介して
夫々の導圧室８ａ〜８ｄに導入される。

即ち、一方の側の差圧導入孔４ａに差圧が導入
されると、導圧孔９ｂ，９ｃを介して導圧室８
ｂ，８ｃに供給される。このため、一方のセンサ
部６ｂ，６ｃの金属ダイヤフラム１１ｂ，１１ｃ
が電極板１２ｂ，１２ｃに近接する方向に変位す
る。この金属ダイヤフラム１１ｂ，１１ｃの変位
に伴つて封入液１７が連通路１４，１５を介して
異なる側のセンサ部６ａ，６ｄのダイヤフラム室
１６ａ，１６ｄ側に移動する。したがつて、封入
液１７の移動によりセンサ部６ａ，６ｄの金属ダ
イヤフラム１１ａ，１１ｄが電極板１２ａ，１２
ｄより離間する方向に変位する。

このように、差圧導入孔４ａより差圧が導入さ
れると上記金属ダイヤフラム１１ａ〜１１ｄの変
位する。これにより一方のセンサ部６ｂ，６ｃの
静電容量が増加すると共に他方のセンサ部６ａ，
６ｄの静電容量が減少する。また、他方の差圧導
入孔４ｂより差圧が導されると各金属ダイヤフラ
ム１１ａ〜１１ｄは夫々上記とは逆の動作をす
る。

したがつて、渦発生体３によりカルマン渦が流
体の流量に比例して渦発生体３の両側に交互に発
生すると、逆位相の圧力変化が生じる。この逆位
相の圧力変化は差圧導入孔４ａ，４ｂを介して各
導圧室８ａ〜８ｄに導入される。このため、セン
サ部６ａ，６ｄ及び６ｂ，６ｃの金属ダイヤフラ
ム１１ａ，１１ｄ及び１１ｂ，１１ｃが逆位相の
圧力変化により差動的に変位し、センサ部６ａ，
６ｄと６ｂ，６ｃとの静電容量が夫々逆位相で増
減する。

このセンサ部６ａ〜６ｄの静電容量変化の周波
数は流路２内の流体の流量に比例している。この
ようにして２対のセンサ部６ａ〜６ｄで検出され
た信号に応じてブリツジ回路１８は交流電源１９
の交流信号を流体の流速・流量に比例した周波数
で増幅変調した信号を出力する。さらに、ブリツ
ジ回路１８から出力された信号は増幅回路２０で
増幅され、復調回路２１により復調される。そし
て、復調回路２１からの出力はシユミツト回路２
２より流体の流速・流量に比例した周波数のパル
ス信号２３として出力される。

次に、上記構成になる渦流量計において、配管
振動が生じ、流量検出部５が加振された場合につ
き説明する。流量検出部５に振動が伝達された場
合、連通路１４，１５内の封入液１７が振動によ
る加速度を受け易く金属ダイヤフラム１１ａ〜１
１ｄは加速度を受けた封入液１７の慣性力に影響
される。

まず、第３図中、流量検出部５が配管１の長手
方向に沿う矢印Ｚ方向に振動した場合について説
明する。この場合、封入液１７が連通路１４，１
５を介してダイヤフラム室１６ａ，１６ｂ及び１
６ｃ，１６ｄ間を変位するように加速度を受けな
い。また、金属ダイヤフラム１１ａ〜１１ｄも静
電容量の変化を起す方向（矢印Ｘ方向）に変位し
ない。したがつて、矢印Ｚ方向の振動が生じた場
合、各金属ダイヤフラム１１ａ〜１１ｄは振動の
影響を受けることがなく良好な耐振性を有する。

次に、第１図及び第３図中流量検出部５が配管
１の長手方向に直交する垂直方向（矢印Ｙ方向）
に振動した場合について説明する。この場合一対
の金属ダイヤフラム１１ａ〜１１ｄが夫々同一方
向に振動し、金属ダイヤフラム１１ａ〜１１ｄの
慣性力による変位は同相になる。このため、セン
サ部６ａ，６ｄと６ｂ，６ｃとの同相の静電容量
変化によるブリツジ回路１８の出力は打ち消され
る。また、２対の金属ダイヤフラム１１ａと１１
ｂ及び１１ｃと１１ｄとの間の連通路１４，１５
には封入液１７が充填されているため、各金属ダ
イヤフラム１１ａ〜１１ｄはほとんど変位しな
い。したがつて、矢印Ｙ方向の振動が生じても実
用上各金属ダイヤフラム１１ａ〜１１ｄは矢印Ｙ
方向の振動による影響をほとんど受けることなく
良好な耐振性を有する。

次に、第１図及び第２図中流量検出部５が配管
１の長手方向に直交する水平方向（矢印X₁，X₂
方向）に振動した場合につき説明する。

配管振動のうち矢印X₁方向の振動成分が流量
検出部５に作用すると、連通路１４，１５内の封
入液１７が矢印X₂方向の加速度を受ける。この
ため、封入液１７の慣性力が左側のセンサ部６
ａ，６ｃの各ダイヤフラム室１６ａ，１６ｃに作
用し、金属ダイヤフラム１１ａ，１１ｃが電極板
１２ａ，１２ｃより離間する方向に変位する。ま
た、右側のセンサ部６ｂ，６ｄの金属ダイヤフラ
ム１１ｂ，１１ｄが電極板１２ｂ，１２ｄに近接
する方向に変位する。このため、センサ部６ａ，
６ｃの静電容量が減少すると共にセンサ部６ｂ，
６ｄの静電容量が増加する。

したがつて、第４図に示す如くブリツジ回路１
８において、並列に設けられた一方のセンサ部６
ａの静電容量が減少すると共に他方のセンサ部６
ｄの静電容量が増加するため、センサ部６ａ，６
ｄの静電容量変化が打ち消される。また、別の並
列に設けられた一方のセンサ部６ｂの静電容量が
増加すると共に他方のセンサ部６ｃの静電容量が
減少するため、センサ部６ｂ，６ｃの静電容量変
化が打ち消される。このように、配管振動により
矢印X₁方向に流量検出部５が変位してもブリツ
ジ回路１８の平衡がくずれることがなく、ブリツ
ジ回路１８より信号が出力されない。

また、配管振動の矢印X₂方向の振動成分が流
量検出部５に作用した場合、各金属ダイヤフラム
１１ａ〜１１ｄが上記と動作をするが、上記と同
様にブリツジ回路１８の平衡が保たれ信号は出力
されない。したがつて、流量検出部５に矢印X₁，
X₂方向の振動が作用しても信号が出力されず、
矢印X₁，X₂方向の振動に対しても良好な耐振性
を有している。このように、流量検出部５はどの
方向の振動が生じても、振動の影響によりブリツ
ジ回路１８が信号を出力することがない。即ち、
配管振動発生時においても配管振動の影響を受け
ることなく正確に流量計測を行いうる。

また、配管振動によりブリツジ回路１８が信号
を出力することがないため、検出された信号の出
力が比較的小さい低流量域の流量計測を正確に行
うことができる。即ち、増幅回路２０のゲインを
上げることができるので、低流量域まで広範囲に
亘つて流流量計測しうる。

また、２対のセンサ部６ａ〜６ｄが設けられて
いるため、例えば一方のセンサ部６ａ，６ｂが故
障した場合でも他方のセンサ部６ｃ，６ｄにより
応急的に流量計測できる。したがつて、修理をす
るまでの間流量計測を中断せずに済み、メインテ
ナンスの面でも有利である。

なお、上記説明では差圧導入孔４ａ，４ｂが
夫々分岐して導圧孔９ａ〜９ｄに連通して各導圧
室８ａ〜８ｄに差圧を導入するように説明したが
これに限らず、例えば、各導圧孔９ａ〜９ｄに個
別に連通する４個の差圧導入孔を渦発生体３に設
けるようにしても良い。

第５図に本発明の第２実施例を示す。第５図
中、センサ部６ａ，６ｄには一方の差圧導入孔４
ｂより分岐した導圧孔２４ａ，２４ｄを介して差
圧が供給される。また、センサ部６ｂ，６ｃは他
方の差圧導入孔４ａより分岐した導圧孔２４ｂ，
２４ｃを介して差圧が供給される。

各センサ部６ａ〜６ｄは封入液を充填された連
通路２５，２６が互い違いに交差するように配設
されている。即ち、センサ部６ａと６ｂの各ダイ
ヤフラム室間は連通路２５を介して連通路されて
いる。また、センサ部６ｃと６ｄの各ダイヤフラ
ム室間が連通路２６により連通されている。

このように構成された流量検出部２７は前記第
１実施例と同様矢印X₁，X₂及びＹ方向に対して
良好な耐振性を有している。即ち、上記第５図に
示す流量検出部２７の構成では、矢印Ｚ方向（配
管方向）の振動が印加された場合、矢印Ｚ方向に
対して傾斜する連通路２５，２６内の封入液が配
管方向の加速度を受けることになるが、配管長手
方向の振動は起こりにくく、発生しても比較的小
さくて済むが、配管長手方向と直交する矢印X₁，
X₂方向、矢印Ｙ方向の振動成分は比較的大であ
る。そのため、配管長手方向の振動は計測上影響
が小さいので無視することができる。

又、矢印Ｙ方向の振動は前述した第１実施例と
同様各センサ部６ａ〜６ｄの各金属ダイヤフラム
１１ａ〜１１ｄを夫々同一方向に振動させるが、
金属ダイヤフラム１１ａ〜１１ｄの慣性力により
変位は同相となり、ブリツジ回路１８の出力は打
ち消される。

又、矢印X₁，X₂方向の振動が流量検出部２７
に印加された場合は、上記第１実施例と同様に各
センサ部６ａ〜６ｄの振動に伴う静電容量変化は
打ち消されブリツジ回路１８より信号は出力され
ない。

発明の効果 上述の如く、本発明になる渦流量計によれば、
例えば配管長手方向に直交する水平方向の振動が
生じた場合、従来の如く、信号が出力されてしま
うといつた不都合を無くすことが出来、特に振動
発生に伴つて連通路内で加速度を受ける封入液の
慣性により各金属ダイヤフラムが変位しても２対
のセンサ部の静電容量変化が打ち消されるので信
号が出力されずに済む。さらに、どの方向の配管
振動が生じても振動の影響により信号を出力せ
ず、振動の方向に拘わらず正確に流量計測を行う
ことができる。したがつて、従来のように低流量
計測時に流量検出部からカルマン渦発生により信
号が出力されたのか振動により信号が出力された
ものなのか判別できないといつた不都合を無くし
うる。即ち、従来のものよりも増幅回路のゲイン
を上げて増幅感度の向上を図ることにより微小流
量を精度良く計測することが出来、低流量域まで
流量計測範囲を拡げることができる等の特長を有
する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になる渦流量計の第１実施例を
説明するための縦断面図、第２図は第１図に示す
流量検出部を説明するための平面図、第３図は第
１図の側面図、第４図は回路の概略構成図、第５
図は本発明の第２実施例を説明するための平面
図、第６図は従来の渦流量計を説明するための流
量検出部の断面図である。 ４ａ，４ｂ……差圧導入孔、５，２７……流量
検出部、８ａ〜８ｄ……導圧室、９ａ〜９ｄ，２
４ａ〜２４ｄ……導圧孔、１１ａ〜１１ｄ……金
属ダイヤフラム、１２ａ〜１２ｄ……電極板、１
４，１５，２５，２６……連通路、１６ａ〜１６
ｄ……ダイヤフラム室、１７……封入液、１８…
…ブリツジ回路、２４ａ〜２４ｄ……導圧孔、２
５，２６……連通路。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 配管の流路内に設けられた渦発生体と、 該渦発生体の一側より渦発生による圧力を導入
   する第１の差圧導入孔と、 前記渦発生体の他側より渦発生による圧力を導
   入する第２の差圧導入孔と、 前記流路外側に設けられ該第１、第２の差圧導
   入孔から導入された圧力に応じて流量を計測する
   流量検出部と、を有し、 該流量検出部は、前記一側、他側の各上流側、
   下流側に位置するよう設けられ、前記第１、第２
   の差圧導入孔からの圧力に応じて変位するダイヤ
   フラム部と該ダイヤフラム部の変位を検出する検
   出部とよりなる２組のセンサ部と、 該２組のセンサ部のダイヤフラム室のうち上流
   側のダイヤフラム室間を連通するように設けられ
   封入液が充填された第１の連通路と、 前記２組のセンサ部のダイヤフラム室のうち下
   流側のダイヤフラム室間を連通するように設けら
   れ封入液が充填された第２の連通路と、 前記２組のセンサ部のダイヤフラム室のうち上
   流側の一側に位置するダイヤフラム部と下流側の
   他側に位置するダイヤフラム部に前記第１の差圧
   導入孔からの圧力を供給するよう前記第１の差圧
   導入孔と前記上流側の一側に位置するセンサ部、
   下流側の他側に位置するセンサ部とを連通する第
   １の通路と、 前記２組のセンサ部のダイヤフラム室のうち上
   流側の他側の位置するダイヤフラム部と下流側の
   一側に位置するダイヤフラム部に前記第２の差圧
   導入孔からの圧力を供給するよう前記第２の差圧
   導入孔と前記上流側の他側に位置するセンサ部、
   下流側の一側に位置するセンサ部とを連通する第
   ２の通路とから構成されたことを特徴とする渦流
   量計。 ２ 配管の流路内に設けられた渦発生体と、 該渦発生体の一側より渦発生による圧力を導入
   する第１の差圧導入孔と、 前記渦発生体の他側より渦発生による圧力を導
   入する第２の差圧導入孔と、 前記流路外側に設けられ該第１、第２の差圧導
   入孔から導入された圧力に応じて流量を計測する
   流量検出部と、を有し、 該流量検出部は、前記一側、他側の各上流側、
   下流側に位置するよう設けられ、前記第１、第２
   の差圧導入孔からの圧力に応じて変位するダイヤ
   フラム部と該ダイヤフラム部の変位を検出する検
   出部とよりなる２組のセンサ部と、 該２組のセンサ部のダイヤフラム室のうち上流
   側の一側に位置するダイヤフラム室と下流側の他
   側に位置するダイヤフラム室間を連通するように
   設けられ封入液が充填された第１の連通路と、 前記２組のセンサ部のダイヤフラム室のうち上
   流側の他側に位置するダイヤフラム室と下流側の
   一側に位置するダイヤフラム室間を連通するよう
   に設けられ封入液が充填された第２の連通路と、 前記上流側又は下流側のダイヤフラム部に前記
   第１の差圧導入孔からの圧力を供給するよう前記
   第１の差圧導入孔と前記上流側又は下流側の一
   側、他側に位置するセンサ部とを連通する第１の
   通路と、 前記下流側又は上流側のダイヤフラム部に前記
   第２の差圧導入孔からの圧力を供給するよう前記
   第２の差圧導入孔と前記下流側又は上流側の一
   側、他側に位置するセンサ部とを連通する第２の
   通路とから構成されたことを特徴とする渦流量
   計。