JP2929731B2 - カルマン渦流量計及びその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被測定流体の流れの中
に配置した渦発生体の両側面に発生するカルマン渦列の
周波数を検出して流体の流速流量を測定するカルマン渦
流量計に係り、とくに外部振動や衝撃の影響を除去する
ようにしたカルマン渦流量計およびその製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】この種のカルマン渦流量計の従来例とし
て、特公昭５８−４９６７号公報に記載されているよう
な、圧電素子からなる応力検出部をガラス材料等の封着
体により渦発生体内に絶縁封着して、カルマン渦による
交番力の作用により渦発生体の断面に生じる圧力変化を
検出する構造のものが周知である。係るカルマン渦流量
計においては、応力検出部と被測定流体とが接触しない
ことから該応力検出部が汚れたり劣化したりしにくいと
いう利点があるものの、管路を伝わってくる各種の外部
振動ノイズが存在する場合には、渦発生体に渦の圧力と
同じモードの振動が生じるため、Ｓ／Ｎ比が小さく精度
の良好な測定ができないという欠点があった。

【０００３】この欠点を解消するものとして、特公昭６
３−３２１２７号公報に記載されているような振動補償
装置を備えたカルマン渦流量計がある。このカルマン渦
流量計は、被測定流体が流れる管路の側壁を貫通して管
路内部に伸びる渦発生体に管路外側へ伸びる振動補償部
を設けるとともに、前記渦発生体の管路内側に位置する
部分には第１の振動センサを、また管路外側に位置する
振動補償部には第２の振動センサをそれぞれ埋設して成
り、第２の振動センサの出力信号に基づいて前記第１の
振動センサの出力信号中に含まれる外部振動ノイズ成分
を電気的に消去して、前記渦発生体のカルマン渦による
振動数のみに対応した周波数の信号を検出しようとする
ものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
振動補償装置を備えたカルマン渦流量計にあっては、管
路内側の第１の振動センサおよび管路外側の第２の振動
センサという複数のセンサからの出力信号を用いて所定
の演算を行うことにより電気的に外部振動ノイズを消去
しているわけであるから、各振動センサや後段の測定回
路のもつ特性が測定精度に及ぼす影響が大きく、したが
って、これらのセンサ特性や回路特性のバラツキを考慮
した上で出力を補正してやる必要がある。そのため、実
際に管路内に被測定流体を流して渦発生体を振動させな
がらセンサの出力を調整する、いわゆる実流調整をしな
ければならない。この実流調整の作業は、非常に煩雑で
あるとともに熟練を必要とし、結果としてカルマン渦流
量計の調整コストが非常に高くつくという問題がある。

【０００５】本発明は上述の問題点に鑑みなされたもの
で、その目的とするところは、外部振動や衝撃の影響を
受けることなく被測定流体の流速流量を高精度で測定す
るとのできる、しかも実流調整の不要なカルマン渦流量
計及びその製造に用いるに好適な製造方法を提供するこ
とにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に、本発明に係るカルマン渦流量計は、支柱部と、この
支柱部の一端に管路の内部に伸びる形で設けられた柱状
の受力部と、前記支柱部の他端部にこの支柱部の軸線に
沿って位置調整可能に設けられたバランスウェイトと、
前記支柱部のほぼ中央部に設けられ歪検出素子が貼着さ
れる自由面を有する第１のフランジとからなり、この第
１のフランジの端部が第２のフランジを介して前記管路
に固定される渦検出体を備えたことを特徴とする。

【０００７】なお、カルマン渦流量計が取り付けられる
管路の口径が小さい場合には、渦検出体の受力部を、上
流側柱状体と下流側柱状体とからなる渦発生体の下流側
柱状体として用いることができる。そして、カルマン渦
流量計が取り付けられる管路の口径が大きい場合には、
下流側柱状体に、その両側面を貫通する開口部とこの開
口部に連通する挿入孔とを形成し、前記渦検出体の受力
部を前記挿入孔に挿入するようにして、渦検出体を渦発
生体から独立させておくことが望ましい。さらに、渦検
出体の歪検出素子は、互いに対向する一対の電極を備
え、その一方が前記受力部と管路の各軸線を含む平面に
関して対象に配置された二つの分電極であり、他方がこ
の分電極に対応する一つの共通電極であり、この共通電
極と前記各分電極との間でそれぞれ出力を取り出すよう
に構成することができる。

【０００８】また、本発明に係るカルマン渦流量計の製
造方法は、支柱部と、この支柱部の一端に管路の内部に
伸びる形で設けられる柱状の受力部と、前記支柱部の他
端に設けられるバランスウェイトと、歪検出素子が貼着
される自由面を有する第１のフランジとからなる渦検出
体と、一端に前記第１のフランジが固定される第２のフ
ランジを有する上流側柱状体とを具備するカルマン渦流
量計の製造方法であって、前記第１のフランジの端部に
突起を設け、この突起を前記上流側柱状体のフランジに
接触させ、前記第１のフランジと前記第２のフランジと
をブロック状電極で挟持して、この電極を介して前記第
１のフランジと前記第２のフランジを押圧し、前記電極
間に通電して、前記第２のフランジの突起と前記第２の
フランジの接触部分を発熱溶解させ、前記第１のフラン
ジと前記第２のフランジとを溶接することを特徴とす
る。

【０００９】

【作用】本発明に係るカルマン渦流量計において、外部
振動が渦検出体に加わった場合を考えると、渦検出体の
軸と垂直方向の外部振動による慣性力は、渦検出体のバ
ランスウェイト側と受力部側の両方に同時に作用するこ
とになる。したがって、渦検出体の第１のフランジの自
由面に関する前記バランスウェイト側の慣性曲げモーメ
ントと前記受力部側の慣性曲げモーメントとが同じ大き
さでかつ逆向きとなるように、渦検出体を前記第１のフ
ランジの端部で支持すれば、前記自由面に貼着された歪
検出素子からの出力信号は、外部振動ノイズ成分をキャ
ンセルしたものとなる。一方、カルマン渦による圧力
は、渦検出体の受力部のみに作用するので、第１のフラ
ンジの自由面に貼着された歪検出素子から、カルマン渦
の発生に対応した正確な渦周波数を検出することができ
る。

【００１０】また、本発明に係るカルマン渦流量計の製
造方法によれば、渦検出体の第１のフランジの端部に設
けられた突起とこの突起に接触する第２のフランジの一
部とに電流が集中するので、短時間で溶接を完了するこ
とができる。このため、歪検出素子が貼着される渦検出
体の第１のフランジの自由面に、溶接時の発熱に起因す
る残留応力を生じることがない。したがって、渦検出体
の自由面は、確実にカルマン渦による圧力変化に応動す
る。

【００１１】

【実施例】本発明に係るカルマン渦流量計の第１の実施
例について、図１乃至図６を用いて説明する。図１は第
１の実施例の概略構成図である。同図において、１は被
測定流体の流れる管路、２は管路１の側壁にネジ固定さ
れる基台、３はこの基台２を介して管路１の側壁に固定
される渦検出体である。基台２は主として、管路１の側
壁外周への固定部としての第２のフランジ２１と、第２
のフランジ２１の中心に設けられ側壁に嵌挿される支承
部２２と、この支承部２２から管路１の内部に伸びる形
で設けられたカルマン渦発生支援用の上流側柱状体２３
と、この上流側柱状体２３の先端に位置し、管路１の側
壁の対向箇所に嵌挿される支承部２４とからなる。各支
承部２２，２４の、管路１の側壁への嵌挿は、上流側柱
状体２３に対する防振のために各Ｏリング４，５を介し
てなされる。

【００１２】渦検出体３は、主として、第２のフランジ
２１の表面に固定される第１のフランジ３１、この第１
のフランジ３１から管路１の内外方向に伸びる支柱部３
２と、カルマン渦発生体および検出体としての機能をも
つ受力部３３、この受力部３３の先端に位置し基台２の
支承部２４の中心部にＯリング６を介して嵌挿される支
承部３４と、受力部３３とほぼ等しい質量を有し、支柱
部３２の先端部に軸線方向に沿って位置調整可能に設け
られるバランスウェイト３５とからなる。なお、渦検出
体３を構成する前記の各構成部材は全て同軸である。ま
た、Ｏリング６は受力部３３の端部に対する防振用であ
る。また、第１のフランジ３１は、ダイヤフラムとして
の自由面３１ａを有しており、しかもその固定端部３１
ｂの全周が第２のフランジ２１に気密に溶接固定されて
いる。したがって、センサとしての歪検出素子１２と被
測定流体との接触を防止でき、センサの汚れや劣化等が
少ない。

【００１３】さて、図２は図１におけるＡ−Ａ断面図で
あり、同図に示すように、基台２の上流側柱状体２３
は、その断面が等辺三角形で、渦検出体３の受力部３３
の断面の等辺台形の長底辺とは、ほぼ同じ長さで近接対
向している。これら上流側柱状体２３と受力部３３と
は、広義のカルマン発生体を構成し、受力部３３が渦発
生の主部に、上流側柱状体２３が渦発生を支援する副部
に相当する。なお、矢印Ｑは被測定流体の流れ方向を示
す。ここで、重要なことは、渦検出体３が外部の振動や
衝撃（以下、単に外部振動という）を受けたときの慣性
力による自由面３１ａに関するバランスウェイト３５側
の曲げモーメント（以下、慣性曲げモーメントという）
と、受力部３３側の慣性力による曲げモーメントとが、
互いに同じ大きさで逆方向になるように構成されている
点である。言いかえれば、前記の条件が成り立つよう
に、予め概略的に決められた寸法，重さのバランスウェ
イト３５が微細に位置調整されるわけである。これによ
り、渦検出体３が外部振動を受けたときの自由面３１ａ
に関する慣性曲げモーメントをキャンセルすることがで
きる。

【００１４】図３は以上のことを示す模式図で、同図に
おいて、自由面３１ａに関する慣性曲げモーメントＭ１
は、支柱部３２の下側部分と受力部３３に作用する矢印
表示した各部の慣性力によるもの、同じく慣性曲げモー
メントＭ２は、支柱部３２の上側部分とバランスウェイ
ト３５に作用する矢印表示した各部の慣性力によるもの
で、各慣性曲げモーメントＭ１，Ｍ２は自由面３１ａに
関して大きさが同じで方向が逆になる。なお、図４は受
力部３３のみに作用する矢印表示したカルマン渦による
力（渦力）の、自由面３１ａに関する曲げモーメントＭ
の模式図である。図示したところから明らかなように、
自由面３１ａに固着された歪検出素子１２の出力は、外
部振動の影響が除去されてカルマン渦の振動数だけに対
応した周波数になる。

【００１５】再び図１に戻り、歪検出素子１２はリング
状の圧電素子であり、自由面３１ａの上面に貼着され
る。この歪検出素子は、その表面図である図５と、その
裏面図である図６に示すように、圧電物質を中間に挟む
形で構成されハッチング表示された各電極１２ａ，１２
ｂ，１２ｃ，１２ｄからなる。各電極１２ａ，１２ｂ
は、支柱部３２と管路１との各軸線を含む平面、つま
り、Ｘ−Ｘを含む紙面に直角な平面に関して対象に配置
された二つの分電極で、外側の表面に固着される。ま
た、電極１２ｄは分電極である各電極１２ａ，１２ｂに
対応する一つの共通電極で、内側の表面に固着される。
なお、図５における外側の表面に固着される電極１２ｃ
は、共通電極である電極１２ｄと一体化されて出力取出
し部の役目をする。すなわち、出力取出しは、内側の電
極１２ｄの部分からは困難なので、電気的に等価な外側
の電極１２ｃを介して電極１２ｄとの間からそれぞれ取
り出すようにしている。以上の説明から明らかなよう
に、圧電素子１２からは、図２に示した受力部３３に作
用する、この受力部３３の軸線と流れ方向Ｑとに直角な
Ｙ−Ｙ方向（揚力方向）の交番力だけ、言いかえれば、
外部振動の影響が除去された流体の流速流量だけに対応
する出力信号が、周知の電子回路によって２倍される形
で取り出されることになる。このことは測定の感度，精
度の向上に役立つ。

【００１６】次に、本発明に係るカルマン渦流量計の第
２の実施例について、図７乃至図９に基づいて説明す
る。この第２の実施例は、とくに渦流量計が取り付けら
れる管路の口径が大きい場合に好適のものである。前述
した第１の実施例は、簡単な構造で外部振動ノイズを除
去することができるという優れた効果を得られるもので
あり、被測定流体の流れる管路口径が小さい場合には極
めて有用なものである。しかしながら、管路口径が極端
に大きくなると、それにともなって渦検出体の受力部寸
法も長くなるので、その固有振動数が低下し、周波数の
高い外部振動が加わると共振を生じて誤動作してしまう
恐れがある。これは、渦検出体の受力部に渦発生体とし
ての機能を持たせていることに起因する。

【００１７】そこで、第２の実施例においては、渦検出
体の受力部を渦発生体から独立させることにより、大口
径管路への適用を可能にするようにした。図７は第２の
実施例の概略構成図、図８はこの第２の実施例を図７の
Ｂ−Ｂ方向から見た断面図、図９は基台の渦発生体部の
断面図である。なお、第１の実施例で説明した部材と同
様の構成部材については、同一番号を付して説明を省略
する。

【００１８】図７及び図８において、７は２つの柱状体
からなる渦発生体を有する基台、９は回路ボックス固定
部材であり、それぞれ管路１に固定されている。基台７
は、管路１にネジ固定される第２のフランジ７１と、管
路１の側壁に嵌挿される支承部７２と、この支承部７２
から管路１の内部に伸びる形で設けられ渦発生体を構成
する断面三角形状の上流側柱状体７３と断面等脚台形状
の下流側柱状体７５と、管路１の側壁の支承部７２と対
向する箇所に嵌挿されるとともにネジ固定される支承部
７４とからなる。そして、基台７の第２のフランジ７１
の表面には、渦検出体３の第１のフランジ３１の端部が
溶接固定されるとともにこの渦検出体３を取り囲む回路
ボックス７６が設けられている。さらに、回路ボックス
７６の上部には、渦検出体３の歪検出素子１２から信号
を取り出すためのリードが接続された回路基板８が設置
されている。なお、回路ボックス７６の側面と回路ボッ
クス固定部材９の側面との間にはＯリング１０が挿入さ
れており、回路部分を気密にしている。とくに、渦発生
体の主部ともいえる下流側柱状体７５には、その両側面
を貫通する開口部７５ｂ，７５ｃと、該柱状体７５の軸
線に沿って、これら開口部７５ｂ，７５ｃと連通する挿
入孔７５ａとが設けられている。また、渦検出体３は、
その第１のフランジ３１の端部が基台７の第２のフラン
ジ７１の表面側にに溶接されており、かつ、管路１の中
央部まで到達する程度の長さ寸法を有するその受力部３
３が下流側柱状体７５の挿入孔７５ａ内に挿入されてい
る。なお、受力部３３の下端はＯリング５により挿入孔
７５ａ内で支持固定されている。

【００１９】上記の如く構成された第２の実施例におい
て、カルマン渦は次のようにして検出される。すなわ
ち、基台７の渦発生体部分の断面図である図９に示すよ
うに、上流側柱状体７３と下流側柱状体７５によってカ
ルマン渦１３が発生すると、下流側柱状体７５の開口部
７５ｃ側の圧力に比べて開口部７５ｂ側の圧力が低くな
り、渦検出体３の受力部３３は開口部７５ｂ側に変形す
る。カルマン渦は下流側柱状体７５の両側面近傍に交互
に発生するので、これに対応して受力部３３は図のＹ−
Ｙ方向に振動することになる。この受力部３３の振動が
渦検出体３の自由面３１ａを変形させるので、自由面３
１ａの表面に貼着された歪検出素子１２から渦周波数に
対応した電圧信号を得ることができる。なお、外部振動
が加わった場合についても、前述の第１の実施例と同様
に、渦検出体３の自由面３１ａより上側の部分に作用す
る慣性力による曲げモーメントで外部振動ノイズをキャ
ンセルすることができる。

【００２０】以上の説明から明らかなように、本発明に
係るカルマン渦流量計の第２の実施例によれば、渦検出
体３の受力部３３を下流側柱状体７５の挿入孔７５ａに
挿入するとともにカルマン渦による圧力変化を下流側柱
状体７５の開口部から導入するようにして、渦検出体３
を独立させたので、管路１の口径が大きい場合でも、渦
検出体３の受力部３３寸法を小さくして、検出部の固有
振動数を高く設定することが可能となり、周波数の高い
外部振動が加わっても誤動作することがないという利点
がある。さらに、口径の異なる複数の菅路に関して流量
の測定を行う場合でも、１つの渦検出体３を共用するこ
とができるので、菅路口径毎に大きさの異なる渦検出体
を製作する必要がなくなり、したがって、製造コストの
低減を図ることができる。

【００２１】次に、本発明に係るカルマン渦流量計の製
造方法について、図１０，図１１及び前述の図１に基づ
いて説明する。なお、図１０は渦検出体の第１のフラン
ジの要部断面図、図１１は製造方法の概略を説明するた
めの図である。本発明の製造方法が適用されるカルマン
渦流量計の一つとして、図１に示した構成のもの、すな
わち、上流側柱状体２３と第２のフランジ２１を有する
基台２と、下流側柱状体としての機能をもつ受力部３３
と第１のフランジ３１を有する渦検出体３とを備え、第
１のフランジ３１を第２のフランジ２１に溶接すること
により、渦検出体３を固定するようにしたものがある。

【００２２】上記の如く構成されたカルマン渦流量計に
おいて、第１のフランジ３１と第２のフランジ２１とを
溶接するにあたり考慮すべき点を、従来行われている全
周アーク溶接を用いた場合を例にして説明する。第１
に、全周アーク溶接の場合には、渦検出体３の第１のフ
ランジ３１の固定部３１ｂ周辺を、１周するように順次
溶接していくことになるので、第１のフランジ３１と第
２のフランジ２１との溶接部に局部的な熱歪を生じ、そ
の結果、上流側柱状体２３の軸線と下流側柱状体として
の機能をもつ受力部３３の軸線とが傾き易いという問題
がある。この軸線の傾きがあるとカルマン渦の発生に悪
影響を及ぼすばかりか、渦周波数と流速との比例関係が
くずれてしまう恐れがある。第２に、溶接に要する時間
も長いので、歪検出素子１２が貼着される第１のフラン
ジ３１の自由面３１ａにも残留応力を生じ易く、センサ
出力がばらつく原因となりかねない。

【００２３】そこで、本発明に係るカルマン渦流量計の
製造方法においては、渦検出体３の第１のフランジ３１
の固定部３１ｂに突起を設け、渦検出体３がこの突起の
みで上流側柱状体２３の第２のフランジ２１とに配置し
て、この突起を用いた抵抗溶接を行うようにする。図１
０は渦検出体３の第１のフランジ３１の要部断面図であ
る。図示のように第１のフランジ３１の固定部３１ａの
下面側には、断面が台形状の環状の突起３１ｃが設けら
れている。この突起３１ｃを用いた抵抗溶接を行うに
は、図１１に示すように、まず溶接装置のガイド１４の
内側に、分割構造となっている下部電極１５の下部電極
部材１５ａを配置し、その上部に位置決めピン１６とス
プリング１７を挿入するとともに下部電極部材１５ｂを
取りつける。次に、位置決めピン１６をガイドにして上
流側柱状体２３の第２のフランジ２１を下部電極部材１
５ｂの上に配置し、さらに、渦検出体３をその第１のフ
ランジ３１の突起部３１ｃだけが第２のフランジ２１と
接するように配置し、その上部に上部電極部材１８ｂと
上部電極１８ａを取りつける。これらの作業により、溶
接時における渦検出体３の第１のフランジ３１と上流側
柱状体２３の第２のフランジ２１の水平度が保たれるた
め、上流側柱状体２３と下流側柱状体としての機能をも
つ受力部３３との傾きがなくなる。この状態で、上下方
向から電極１８と１５に例えば、３００ｋｇｆの力を２
秒間加え、その加圧中に１２．５ｋＡの電流を２０ｍｓ
ｅｃ流すことで渦検出体３の第１のフランジ３１の突起
３１ｃと上流側柱状体２３の第２のフランジ２１に電流
と加圧力が集中し、その接触抵抗により、発熱溶融が起
こり、２秒間という短い時間で溶接が完了する。なお、
本実施例においては、第１のフランジ３１の突起３１ｃ
の断面形状を台形としているが、この突起３１ｃに電流
と加圧力が集中しさえすれば、どんな断面形状でも良
く、例えば、半円や三角形でも良い。

【００２４】以上の説明から明らかなように、本発明に
係るカルマン渦流量計の製造方法によれば、渦検出体３
の第１のフランジ３１に加工による歪を生じない溶接が
できるため、軸の傾きが小さく抑えられ、したがって、
渦の発生および渦周波数と流速の比例定数のばらつき
を、ある範囲に抑えることができる。また、渦の圧力に
より第１のフランジ３１の自由面３１ａに発生する歪を
検出するときにも、残留応力や歪が残っていないので、
左右対称な歪が発生し、左右の出力のばらつきが小さ
い。また、溶接時の発熱時間が短く、熱の伝わりが小さ
いので、例えば、圧電素子等の歪検出素子を第１のフラ
ンジ３１の自由面３１ａに接着してから溶接を行うこと
ができるので、接合作業がし易く歩留りがよいという効
果がある。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るカルマ
ン渦流量計においては、従来の技術に比べ次のようなす
ぐれた効果がある。 (1) 外部振動や衝撃の影響を受けない正確な流速流量を
測定することができる。 (2) 実流調整が不要になるから、作業上の面倒さが省
け、かつコスト低減が図れる。 (3) 歪検出素子の出力が流速流量だけに対応するから、
振動補償用の電子回路が不要になるなど流量計の構造が
簡単になり、高信頼性と低コスト化が図れる。また、本
発明に係るカルマン渦流量計の製造方法を用いることに
より、歪検出素子が貼着される渦検出体の自由面に残留
応力を生じることがなくなるので、より高精度の流速流
量測定が可能なカルマン渦流量計を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るカルマン渦流量計の第１の実施例
の概略構成図

【図２】第１図におけるＡ−Ａ断面図

【図３】外部振動による慣性曲げモーメントの模式図

【図４】渦力による曲げモーメントの模式図

【図５】第１の実施例における圧電素子の表面図

【図６】第１の実施例における圧電素子の裏面図

【図７】本発明に係るカルマン渦流量計の第２の実施例
の概略構成図

【図８】第７図におけるＢ−Ｂ断面図

【図９】第７図におけるＡ−Ａ断面図

【図１０】本発明に係るカルマン渦流量計の製造方法に
おいて用いられる渦検出体の要部断面図

【図１１】本発明に係るカルマン渦流量計の製造方法を
説明するための図

【符号の説明】

１ 管路 ２ 基台 ２１ 第２のフランジ ２３ 上流側柱状体 ３ 渦検出体 ３１ 第１のフランジ ３１ａ 自由面 ３１ｂ 固定端部 ３１ｃ 突起 ３２ 支柱部 ３３ 受力部 ３５ バランスウェイト ７ 基台 ７１ 第２のフランジ ７３ 上流側柱状体 ７５ 下流側柱状体 ７５ａ 挿入孔 ７５ｂ 開口部 ７５ｃ 開口部 １２ 歪検出素子 １２ａ 電極 １２ｂ 電極 １２ｃ 電極 １２ｄ 電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鴻巣 直広 神奈川県川崎市川崎区田辺新田１番１号 富士電機株式会社内 (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01F 1/32

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被測定流体が流れる管路に垂直に挿入され
   た渦発生体の下流に発生するカルマン渦列を検出して流
   体の流速流量を測定するカルマン渦流量計において、支
   柱部と、この支柱部の一端に前記管路の内部に伸びる形
   で設けられた柱状の受力部と、前記支柱部の他端部にこ
   の支柱部の軸線に沿って位置調整可能に設けられたバラ
   ンスウェイトと、前記支柱部のほぼ中央部に設けられ歪
   検出素子が貼着される自由面を有する第１のフランジと
   からなり、この第１フランジの端部が第２のフランジを
   介して前記管路に固定される渦検出体を備えたことを特
   徴とするカルマン渦流量計。
2. 【請求項２】請求項１に記載のカルマン渦流量計におい
   て、渦発生体は、一端に前記第１フランジが固定される
   第２フランジを有し、他端に前記受力部の一端が挿入さ
   れる上流側柱状体と、前記受力部からなる下流側柱状体
   とを備えたことを特徴とするカルマン渦流量計。
3. 【請求項３】請求項１に記載のカルマン渦流量計におい
   て、前記第１フランジが固定される前記第２フランジ
   と、この第２フランジから前記管路の内部に伸びる形で
   設けられた上流側柱状体と下流側柱状体とを具備し、こ
   の下流側柱状体には、その両側面を貫通する開口部と、
   前記下流側柱状体の軸線に沿って、前記開口部に連通す
   る挿入孔とが設けられ、前記渦検出体の受力部が、前記
   挿入孔に挿入されることを特徴とするカルマン渦流量
   計。
4. 【請求項４】請求項１に記載のカルマン渦流量計におい
   て、前記渦検出体の歪検出素子は互いに対向する一対の
   電極を備え、その一方が前記受力部と管路の各軸線を含
   む平面に関して対象に配置された二つの分電極であり、
   他方がこの分電極に対応する一つの共通電極であり、こ
   の共通電極と前記各分電極との間でそれぞれ出力を取り
   出すようにしたことを特徴とするカルマン渦流量計。
5. 【請求項５】支柱部と、この支柱部の一端に管路の内部
   に伸びる形で設けられる柱状の受力部と、前記支柱部の
   他端に設けられるバランスウェイトと、歪検出素子が貼
   着される自由面を有する第１のフランジとからなる渦検
   出体と、一端に前記第１のフランジが固定される第２の
   フランジを有する上流側柱状体と、を具備するカルマン
   渦流量計の製造方法であって、前記第１のフランジの端
   部に突起を設け、この突起を前記第２のフランジに接触
   させ、前記第１のフランジと前記第２のフランジとをブ
   ロック状電極で挟持して、この電極を介して前記第１の
   フランジと前記第２のフランジを押圧し、前記電極間に
   通電して、前記第１のフランジの突起と前記第２のフラ
   ンジの接触部分を発熱溶解させ、前記第１のフランジと
   前記第２のフランジとを溶接するようにしたことを特徴
   とするカルマン渦流量計の製造方法。