JP2522427B2 - カルマン渦流量計 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

この発明は、カルマン渦を利用した流量計であって、
とくにカルマン渦によって渦発生体に生じる交番力を応
力センサとしての圧電素子を用いて感度よく、かつ振動
の影響を受けない形で取り出して測定精度の向上を図っ
たカルマン渦流量計に関する。

【従来の技術】

従来例について第21図の断面図を参照しながら説明す
る。第21図において、測定流体が流れる円筒状管路１
に、その軸線に直角な軸線をもつステンレス鋼の渦発生
体50が挿設される。この渦発生体50は、測定流体内にカ
ルマン渦を発生させる柱状の渦発生部51と、この渦発生
部51の上端面と固着され管体１に固定されるとともに検
出部を内蔵するステンレス鋼の支持部52とからなる。検
出部は圧電素子55であって、支持部52の上端部にあけら
れた穴にガラスである封着剤53を介して絶縁的に埋設さ
れる。すなわち、２個の半円形の圧電素子55が、渦発生
部50と管路１との各軸線のなす平面に対称的に配置され
る。 管路１を流れる流体内に渦発生部51によって発生した
カルマン渦は、渦発生部51に管路１の軸線のまわりの曲
げモーメントを交番的に加える。この曲げモーメントに
基づく渦発生部51の曲げ応力が圧電素子55によって検出
されるから、この応力の向きの変化の回数を測定するこ
とによって、カルマン渦の周波数、ひいては流体の流速
流量（以下、単に流量という）が測定できる。なお、圧
電素子５の出力を差動的に処理することによって、渦信
号とは関係ない、流れ方向の抗力による曲げモーメント
に基づく応力に対応した同相成分の信号を相殺して２倍
の渦信号を得ることができる。 ところで、この圧電素子を用いた応力検出方式は、他
の感度検出方式や歪み検出方式，容量検出方式などに比
べて、簡単な構造で堅牢、耐久性，安定性の点ですぐれ
る。

【発明が解決しようとする課題】

以上説明したような従来の技術では、渦発生部51に生
じた応力の変化が圧電素子55に迅速，正確に伝達される
ことを必要とする。そのため、封着剤53は高剛性である
とともに、支持部52と封着剤53の間、および封着剤53と
圧電素子55の間にわずかの空隙も許されない。空隙があ
ると、各部材間の応力の伝達効率が下がり出力電圧の低
下、ひいては測定感度の低下をもたらすことになる。し
たがって、封着剤53のガラスは溶融した状態から冷却，
凝固する際に「ひび」が生じないようにするため、材料
自体および厚さが厳しく制限され、それだけ渦発生体50
の製作を困難にする。 この発明の課題は、従来の技術がもつ以上の問題点を
解消し、カルマン渦に基づく応力変化を感度よく検出で
きるカルマン渦流量計を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

この課題を解決するために、第１の発明に係るカルマ
ン渦流量計は、 被測定流体の流れる管路内に挿設されたカルマン渦発
生体の内部に、 応力センサとしての一以上の圧電素子が、 熱膨脹係数がこの圧電素子より大きく前記カルマン渦
発生体より小さい、高温充填され冷却硬化後に高剛性を
もつ絶縁性の封着剤を介して埋設される構成である。 第２の発明に係るカルマン渦流量計は、 被測定流体の流れる管路内に挿設されたカルマン渦発
生体の内部に、 応力センサとしての圧電素子が筒体内に熱膨脹係数が
前記圧電素子より大きく前記筒体より小さい、高温充填
され冷却硬化後に高剛性をもつ絶縁性の封着剤を介して
埋設された一以上の検出ユニットが、挿設される構成で
ある。 第３の発明に係るカルマン渦流量計は、 被測定流体の流れる管路内に挿設されたカルマン渦発
生体の内部に、 応力センサとしての一以上の圧電素子が前記カルマン
渦発生体と同じ材料からなるブロックの外周に接合され
た検出ブロックが、 熱膨脹係数が前記圧電素子より大きく前記カルマン渦
発生体より小さい、高温充填され冷却硬化後に高剛性を
もつ絶縁性の封着剤を介して埋設される構成である。

【作用】

第１発明に係るカルマン渦流量計において、封着剤
は、その熱膨脹係数がカルマン渦発生体より小さく圧電
素子より大きいから、高温充填され冷却硬化させたとき
にカルマン渦発生体，圧電素子とそれぞれ十分密着し、
それぞれとの間に空隙が生じることがなく、かつ冷却硬
化後に高剛性をもつ。 第２発明に係るカルマン渦流量計において、封着剤
は、その熱膨脹係数がカルマン渦発生体と同じ材料から
なる筒体より小さく圧電素子より大きいから、高温充填
され冷却硬化させたときに筒体，圧電素子とそれぞれ十
分密着し、それぞれとの間に空隙が生じることがなく、
かつ冷却硬化後に高剛性をもつ。 第３発明に係るカルマン渦流量計において、封着剤
は、その熱膨脹係数がカルマン渦発生体と同じ材料から
なるブロックより小さく圧電素子より大きいから、高温
充填され冷却硬化させたときにカルマン渦発生体，ブロ
ック，圧電素子とそれぞれ十分密着し、それぞれとの間
に空隙が生じることがなく、かつ冷却硬化後に高剛性を
もつ。 したがって、第1,第2,第３いずれの発明に係るカルマ
ン渦流量計においても、カルマン渦発生体におけるカル
マン渦に基づく応力変化は、圧電素子に効率よく伝達さ
れる。

【実施例】

本発明に係るカルマン渦流量計の実施例について以下
に図面を参照しながら説明する。 第１図は第１の発明に係る実施例（以下、第１実施例
という）の断面図である。第１図において、２はステン
レス鋼からなる一体構造の渦発生体であり、柱状の渦発
生部2aとこの上端部のフランジ部2bとからなる。渦発生
体２は、そのフランジ部2bによって管路１にねじ固定さ
れ、上端面に各穴21,22があけられる。この各穴21,22は
直径１〜2mmで、管路１の軸線と渦発生体２の軸線との
なす平面に関して対称的に配置される。５は圧電素子
で、巾0.8,厚さ0.2,長さ４（単位mm）程度の寸法をもつ
方形体であり、その軸線を各穴21,22の軸線に一致させ
て挿入される。６はガラス材料からなる絶縁性封着剤
で、溶融状態で圧電素子５の周囲に充填され、冷却硬化
させて渦発生体２に埋設する。 ここで熱膨脹係数は、渦発生体２が10〜13、圧電素子
５が３、封着剤６が８である。なお、単位はいずれもが
10^-6/℃である。したがって、冷却硬化の際に圧電素子
５は封着剤６によって、また封着剤６は渦発生体２によ
ってそれぞれ締めつけられて密着し、各部材間に空隙が
生じることがない。しかも封着剤６は冷却硬化後には高
剛性である。その結果、渦発生体２におけるカルマン渦
に基づく応力変化は、圧電素子５に効率よく伝達され
る。 なお、圧電素子５の個数は、第１実施例におけるよう
に２個に限定されることはなく、一般には１個または２
個以上であればよい。 第２図は第２の発明に係る実施例（以下、第２実施例
という）の要部、つまり渦発生体上端部の断面図であ
る。この第２実施例において、渦発生体３は、その外形
が第１実施例の渦発生体２と同じであるが、上端面にお
ける各穴31,32の直径が第１実施例のそれより若干大き
い。さて、圧電素子５と、封着剤６と、これらが封着さ
れるステンレス鋼のパイプ７とによって第２発明におけ
る検出ユニットが構成される。この検出ユニットは渦発
生体３の各穴31,32に焼ばめによって挿設される。 したがって、第２実施例においては、第１実施例にお
けると同様に、各部材間に空隙が生じることがなく、し
かも封着剤６は冷却硬化後には高剛性である。その結
果、渦発生体３におけるカルマン渦に基づく応力変化
は、圧電素子５に効率よく伝達される。さらに、とくに
第２実施例では、圧電素子５が検出ユニットとしてまと
められるから、製作が容易であり、かつカルマン渦発生
体に対して交換しやすいとめ保守性が良い、という長所
がある。 ところで、渦発生体３をプラスチック成形品とし、こ
れにパイプ７を含む検出ユニットを超音波によって埋込
み固定することができる。こうすることによって、製作
がさらに容易になる。また、検出ユニットの個数は、第
２実施例におけるように２個に限定されることはなく、
一般には１個または２個以上であればよい。 第３図は第３の発明に係る実施例（以下、第３実施例
という）の要部つまり渦発生体上端部の断面図、第４図
は同じくその平面図である。この第３実施例において、
渦発生体４は、その外形が第１実施例の渦発生体２と同
じであるが、上端面にあけられる穴41が方形断面である
点が異なる。さて、ステンレス鋼のブロック８と、その
左右各側に予備接合された圧電素子５とによって第３発
明における検出ブロックが構成される。なお、圧電素子
５は２個に限定されることはなく、一般には１個または
２個以上であればよい。この検出ブロックは渦発生体４
の穴41に封着剤６によって封着される。 したがって、第３実施例においては、第１実施例にお
けると同様に、各部材間に空隙が生じることがなく、し
かも封着剤６は冷却硬化後には高剛性である。その結
果、渦発生体４におけるカルマン渦に基づく応力変化
は、圧電素子５に効率よく伝達される。とくに第３実施
例では、圧電素子５が検出ブロックとしてまとめられ、
カルマン渦発生体の埋設用穴が１個ですみ、封着剤の充
填，硬化処理が１回ですむとともに、圧電素子が予め位
置決めできるから、製作がさらに容易になる、という長
所がある。 さて、第１ないし第３の各実施例においては、次のよ
うな若干の問題がある。この問題について、第１実施例
で代表して説明する。第５図は第１実施例の圧電素子埋
設部の詳細側断面図、第６図は同じくその横断面図であ
る。第６図において、渦発生部2aは、その断面が等辺台
形であり、その長底辺に近接対向して流れ方向Ｑの上流
側に、ほぼ同じ長さの底辺が位置するように、等辺三角
形の断面をもつ柱状体９が設置される。さて、渦発生部
2aおよび柱状体９は、広義のカルマン渦発生体を構成
し、渦発生部2aが渦発生の主部に、柱状体９が渦発生を
支援する副部に相当する。 第５図において、渦発生体２のフランジ部2bは、管路
１の側壁にＯリング14を介して密閉的に嵌挿され、表面
側の端部に、その軸線と、管路１の軸線とを含む平面に
関して対称に配置される２個の圧電素子５が封着剤６に
よって埋設される。各圧電素子５は、圧電素子を挟んで
互いに対向する各電極5a,5bが前記の対称面に平行にな
るように位置決めされる。この各圧電素子５は、一般に
は特性上のバラツキがあるから、出力の差動処理をする
ために予め補正し整合させる必要がある。また、一対の
圧電素子５をスペース上の制約のある箇所に埋設するた
めに、その作業がやりにくい、という問題もある。 以上の問題点を改善する手段は、第4,第５の各発明と
して次のようになる。 第４の発明に係るカルマン渦流量計には、 被測定流体の流れる管路内に挿設されたカルマン渦発
生体の内部に、応力センサとしての圧電素子が埋設され
る流量計において、 前記圧電素子は、互いに対向する一対の電極を備え、
この電極の一方が、前記カルマン渦発生体と前記管路と
の各軸線を含む平面に関して対称に配置された二つの分
電極であり、前記電極の他方が、この各分電極に対応す
る一つの共通電極であるとともに、この共通電極と、前
記各分電極との間でそれぞれ出力が取り出される構成で
ある。 第５の発明に係るカルマン渦流量計は、 被測定流体の流れる管路内に挿設されたカルマン渦発
生体の内部に、応力センサとしての圧電素子が埋設され
る流量計において、 前記圧電素子は、互いに対向する一対の電極を備え、
この電極の一方が、前記カルマン渦発生体と前記管路と
の各軸線を含む平面に関して対称に配置された二つの分
電極と、振動補償用電極とからなり、前記電極の他方
が、前記分電極および振動補償用電極に対応する一つの
共通電極であるとともに、この共通電極と、前記各分電
極および振動補償用電極との間でそれぞれ出力が取り出
される構成である。 また、第4,第５の各発明の作用は次のようになる。 第４発明に係るカルマン渦流量計において、共通電極
と、各分電極との間でそれぞれ取り出された出力に基づ
いて、カルマン渦による交番力に対応する信号が２倍さ
れる形で得られ、抗力に対応する信号が相殺される。 第５発明に係るカルマン渦流量計において、共通電極
と、各分電極との間でそれぞれ取り出された出力に基づ
いて、カルマン渦による交番力に対応する信号が２倍さ
れる形で得られ、抗力に対応する信号が相殺されるとと
もに、共通電極と、各分電極との間でそれぞれ取り出さ
れた出力、および共通電極と、振動補償用電極との間で
取り出された出力に基づいて、外部振動の影響が補償さ
れる。 第７図は第４発明に係る実施例（以下、第４実施例と
いう）の詳細側断面図、第８図は同じくその横断面図、
第９図は圧電素子の表面図、第10図は同じくその裏面図
である。 第４実施例では、圧電素子は１個で、その電極に工夫
がある。第７図において、渦発生体11は、渦発生部12と
フランジ部13とからなり、フランジ部13に隣接する箇所
の外周面で、Ｏリング14を介して管路１の側壁に密閉的
に嵌挿される。フランジ部13の表面からあけられた有底
孔に、圧電素子15が封着剤６を介して埋設される。 圧電素子15の、流れ方向Ｑに関して直角で互いに対向
する各面には、第８図に示すように２個の各電極15a,15
bと、１個の電極15dとが配置され、各電極15a,15bは、
渦発生部12と管路１との各軸線を含む平面に関して対称
に配置される。なお、柱状体９は第１実施例の第６図に
おけるのと同じ部材である。 圧電素子15の各電極について、第９図，第10図を参照
しながらさらに詳しく説明する。第９図におけるハッチ
ング表示の各電極15a,15bは、発明における分電極に相
対し、また第10図におけるハッチング表示の電極15d
は、発明における共通電極に相当する。なお、各電極の
上端部が細く絞られている部分は、出力取出し用リード
線が接続される箇所で、下方に位置し応力を受ける広い
面積の部分と区別されている。 各電極15d,15a間の出力と、各電極15d,15b間の出力と
は、カルマン渦に基づく揚力方向、つまり第８図におけ
る横方向の渦力による曲げモーメントに対応する部分
が、互いに大きさが同じで方向が逆になるから、周知の
電子回路による差動処理によって２倍の出力として取り
出すことができ、抗力方向つまり第８図における縦方向
の抗力による曲げモーメントに対応する部分が、互いに
相殺されるから、S/N比が大きくなり測定の感度，精度
向上に役立つ。 さらに、振動の影響を補償することが可能なように改
善したのが、第５発明である。この第５発明に係る実施
例（以下第５実施例という）について、以下に説明す
る。第11図は第５実施例の詳細側断面図、第12図は同じ
くその横断面図、第13図は圧電素子の表面図、第14図は
同じくその裏面図である。 第５実施例では、その電極に工夫がある。第11図にお
いて、第４実施例におけるのと同様に渦発生体11のフラ
ンジ部13の表面からあけられた有底孔に、圧電素子17が
封着剤６を介して埋設される構造をとる。 第12図に示すように、圧電素子17の流れ方向Ｑに関し
て直角で互いに対向する各面には、詳しくは後述するよ
うな３個の電極と、１個の電極とが配置される。なお、
柱状体９は既に第６図で述べたのと同じ部材である。 圧電素子17の各電極について、第13図，第14図を参照
しながらさらに詳しく説明する。第13図におけるハッチ
ング表示の各電極17a,17bは、渦発生部12と管路１との
各軸線を含む平面に関して対称に配置され、発明におけ
る分電極に相当する。同じくハッチング表示の電極17c
は、発明における振動補償用電極にそれぞれ相当し、第
14図におけるハッチング表示の電極17dは、発明におけ
る共通電極に相当する。なお、各電極の上端部が細く絞
られている部分は、既に述べたと同じく出力取出し用リ
ード線が接続される箇所で、下方に位置し応力を受ける
広い面積の部分と区別されている。 各電極17d,17a間の出力と、各電極17d,17b間の出力と
は、既に述べたと同じように、揚力方向の渦力に係るも
のは２倍に、抗力方向に係るものは相殺されて取り出す
ことができ、S/N比が大きくなって測定の感度，精度向
上に役立つ。しかも、渦発生部12が外部振動を受けたと
き、その慣性力による曲げモーメントに応じた信号が、
各電極17d,17c間の出力として取り出すことができる。
したがって、この出力分を、同じ慣性力による曲げモー
メントに基づく応力に対応する出力分を含む、各電極17
d,17a間の出力と、各電極17d,17b間の出力とから、それ
ぞれ差し引くことによって、外部振動の影響の補償をお
こなうことができる。この第５実施例では、渦力に係る
差動演算と、外部振動補償に係る減算とをおこなうため
の演算回路が、圧電素子17に接続されることになる。 さて、第５実施例における外部振動の影響補償をさら
に効果的に達成することが望まれ、そのための手段と作
用とは、第６発明として次のようになる。 第６発明に係るカルマン渦流量計は、 被測定流体が流れる管路の側壁の表面に固定されるダ
イヤフラムとしてのフランジと； このフランジの前記側壁側表面からこの側壁を貫通し
て前記管路の内部に伸びる形で設ける渦発生体と； 前記フランジの前記側壁とは逆側に設けられるバラン
スウェイトと； 前記フランジに固着される圧電素子と；を有する検出
体を備え、 前記渦発生体が外部振動を受けたときの前記フランジ
の箇所に関する慣性曲げモーメントと、前記バランスウ
ェイトが外部振動を受けたときの前記フランジの箇所に
関する慣性曲げモーメントとが互いに同じ大きさで逆方
向になるとともに、前記圧電素子の出力に基づいて前記
被測定流体の流速流量が測定される構成である。 とくに圧電素子は、互いに対向する一対の電極を備
え、その一方が、渦発生体と管路との各軸線を含む平面
に関して対称に配置された二つの分電極であり、他方が
この各分電極に対応する一つの共通電極であり、この共
通電極と前記各分電極との間でそれぞれ出力が取り出さ
れる構成にすることができる。 第６発明に係るカルマン渦流量計において、渦発生体
が外部振動を受けたときのフランジの箇所に関する慣性
曲げモーメントが、バランスウェイトが外部振動を受け
たときのフランジの箇所に関する慣性曲げモーメントに
よって相殺されるから、フランジに固着された圧電素子
の出力は、外部振動の影響が除去されてカルマン渦の振
動数だけに対応した周波数になる。 第６発明に係るカルマン渦流量計の実施例（以下、第
６実施例という）について、その要部の断面図である第
15図を参照しながら説明する。第15図において、実施例
の要部は、概略的に言えば、管路１の側壁にネジ固定さ
れる基台22と、この基台22にネジ固定される検出体23と
からなる。 基台22は主として、管路１の側壁外周への固定部とし
ての基板22aと、基板22aの中心にある突出部で側壁に嵌
挿される支承部22bと、この支承部22bから管路１の内部
に突出するカルマン渦発生支援用の柱状体22cと、この
柱状体22cの先端に位置し管路１の側壁の対向箇所に嵌
挿される支承部22dとからなる。各支承部22b,22dの、管
路１の側壁への嵌挿は、柱状体22cに対する防振のため
に各Ｏリング25,26を介してなされる。 検出体23は主として、基板22aの表面にネジ固定され
るフランジ部23aと、このフランジ部23aから管路１の内
部側に伸びる支柱部23bと、カルマン渦発生体としての
柱状体23cと、この柱状体23cの先端に位置し基台22の支
承部22dの中心部にＯリング27を介して嵌挿される支承
部23dと、フランジ部23aから管路１の外方に伸びる支柱
部23eと、支柱部23eの先端部に位置調整可能に固定され
るウェイト23fとからなる。検出体23を構成する前記の
各部分は全て同軸である。なお、Ｏリング27は柱状体23
cに対する防振用である。また、フランジ部23aは、発明
におけるダイヤフラムとしてのフランジに相当する。 さて、第16図は第15図におけるＡ−Ａ断面図であり、
同図に示すように、基台22の柱状体22cは、その断面が
等辺三角形で、検出体23の柱状体23cは、その断面が等
辺台形である。柱状体22cの断面の等辺三角形の底辺
と、柱状体23cの断面の等辺台形の長底辺とは、ほぼ同
じ長さで近接対向している。これら各柱状体22c,23cは
広義のカルマン渦発生体を構成し、柱状体23cが渦発生
の主部に、柱状体22cが渦発生を支援する副部に相当す
る。なお、矢印Ｑは流れ方向を示す。 ここで重要なことは、主な渦発生体としての柱状体23
cが、外部の振動や衝撃（以下、単に外部振動という）
を受けたときの慣性力によるフランジ部23aの箇所に関
する曲げモーメント（以下、慣性曲げモーメントとい
う）と、支柱部23eおよびウェイト23fが、同じ外部振動
を受けたときのフランジ部23aの箇所に関する慣性曲げ
モーメントとが、互いに同じ大きさで逆方向になるよう
に構成される点である。なお、支柱部23eおよびウェイ
ト23fが、発明におけるバランスウェイトに相当する。
言いかえれば、前記の条件が成り立つように、予め概略
的に決められた寸法，重さのウェイト23fが微細に位置
調整されるわけである。 したがって、支柱部23bおよび主な渦発生体としての
柱状体23cが外部振動を受けたときのフランジ部23aの箇
所に関する慣性曲げモーメントは、バランスウェイトと
しての支柱部23eおよびウェイト23fが同じ外部振動を受
けたときのフランジ部23aの箇所に関する慣性曲げモー
メントによって相殺される。 第20図は以上のことを示す模式図で、同図において、
フランジ部23aの箇所に関する慣性曲げモーメントM1
は、支柱部23b,柱状部23cに係る矢印表示した各部の慣
性力によるもの、同じくその慣性モーメントM2は、支柱
部23e,ウェイト23fに係る矢印表示した各部の慣性力に
よるもるで、各慣性モーメントM1,M2は大きさが同じで
方向が逆になる。なお、第19図は柱状部23cの各部に作
用する矢印表示したカルマン渦による力（渦力）の、フ
ランジ部23aの箇所に関する曲げモーメントＭの模式図
である。その結果、フランジ部23aに固着された圧電素
子24の出力は、外部振動の影響が除去されてカルマン渦
の振動数だけに対応した周波数になる。 再び第15図に戻り、24は圧電素子であり、フランジ部
23aの上面に支柱部23eを貫通させる形で固着される。圧
電素子24は、その表面図である第17図と、その裏面図で
ある第18図に示すように、圧電物質を中間に挟む形で構
成されハッチング表示された各電極24a,24b,24c,24dか
らなる。各電極24a,24bは、柱状部23cと管路１との各軸
線を含む平面、つまりＸ−Ｘを含む紙面に直角な平面に
関して対称に配置された二つの分電極で、外側の表面に
固着される。また電極24dは、分電極である各電極24a,2
4bに対応する一つの共通電極で、内側の表面に固着され
る。なお、第17図における外側の表面に固着される電極
24cは、共通電極である電極24dと一体化されて出力取出
し部の役目をする。出力取出しは、内側の電極24dの部
分からは困難なので、電気的に等価な外側の電極24cか
らおこなうわけである。このようにして出力信号は、各
電極24a,24bと、電極24cを介して電極24dとの間からそ
れぞれ取り出される。 しかも、第17図，第18図を参照しながら説明したよう
に、圧電素子24からは、第16図に示した柱状体23cに作
用する、この柱状体23cの軸線と流れ方向Ｑとに直角な
Ｙ−Ｙ方向（揚力方向）の交番力だけ、言いかえれば、
流体の流速流量だけに対応する出力信号が、周知の電子
回路によって２倍される形で取り出されることになる。
このことは測定の感度，精度の向上に役立つ。

【発明の効果】

以上説明したように、第1,第2,第３いずれの発明に係
るカルマン渦流量計においても、カルマン渦発生体にお
けるカルマン渦に基づく応力変化は、圧電素子に効率よ
く伝達される。 したがって、いずれの発明においても共通に、従来の
技術に比べ、圧電素子に基づく応力変化の検出感度、
ひいては流量の測定感度が良い、構造が簡単である、
実施が容易で、かつコスト低減が図れる、等のすぐれ
た効果がある。 とくに第２発明によれば、圧電素子が検出ユニットと
してまとめられる。したがって、製作が容易で、カルマ
ン渦発生体に対して交換しやすいため保守性が良い。 とくに第３発明によれば、圧電素子が検出ブロックと
してまとめられ、カルマン渦発生体の埋設用穴が１個で
すみ、封着剤の充填，硬化処理が１回ですむとともに、
圧電素子が予め位置決めできるから、さらに製作が容易
である。 第４発明においては、圧電素子が１個であるから、特
性上のバラツキを補正し整合させる必要がなく、かつ埋
設作業が容易になる。また、出力の差動処理によって流
量に対応する信号が２倍になるから、測定の感度，精度
の向上が図れる。 第５発明においては、第４発明の効果に加えて、外部
振動の影響を補償することができ、さらに測定精度の向
上が図れる。 第６発明においては、渦発生体が外部振動を受けたと
きのフランジの箇所に関する慣性曲げモーメントが、バ
ランスウェイトが外部振動を受けたときのフランジの箇
所に関する慣性曲げモーメントによって相殺されるか
ら、フランジに固着された圧電素子の出力は、外部振動
の影響が除去されたカルマン渦の振動数だけに対応した
周波数になる。 したがって、この第６発明によれば、従来の技術に比
べ次のようなすぐれうた効果がある。 （１） 振動や衝撃の影響を受けない正確な流速流量を
測定することができる。 （２） 実機加振調整が不要になり、予備調整に基づく
一律設定ですむから、作業上の面倒さが省け、かつコス
ト低減が図れる。 （３） 圧電素子の出力が流速流量だけに対応するか
ら、振動補償用の電子回路が不要になるなど流量計の構
造が簡単になり、高信頼性と低コスト化が図れる。 （４） 実施例によれば、圧電素子はその出力信号が２
倍される形で取り出されて測定感度，精度の向上が図
れ、かつその構造が簡単で低コスト化が図れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る第１実施例の側断面図、 第２図は同じくその第２実施例の側断面図、 第３図は同じくその第３実施例の側断面図、 第４図は第３実施例の要部の横断面図、 第５図は第１実施例の詳細な側断面図、 第６図は同じくその詳細な横断面図、 第７図は第４実施例の詳細な側断面図、 第８図は同じくその詳細な横断面図、 第９図は第４実施例における圧電素子の表面図、 第10図は同じくその圧電素子の裏面図、 第11図は第５実施例の詳細な側断面図、 第12図は同じくその詳細な横断面図、 第13図は第５実施例における圧電素子の表面図、 第14図は同じくその圧電素子の裏面図、 第15図は第６実施例の要部の側断面図、 第16図は第15図におけるＡ−Ａ断面図、 第17図は第６実施例における圧電素子の表面図、 第18図は同じくその圧電素子の裏面図、 第19図は第６実施例での渦力による曲げモーメントの模
式図、 第20図は第６実施例での外部振動による慣性曲げモーメ
ントの模式図、 第21図従来例の断面図である。 符号説明 1:管路、2,3,4,11:渦発生体、 2a,3a,4a,12:渦発生部、 2b,3b,4b,13:フランジ部、 2c,2d,3c,3d,4c:穴、 5,15,17,24:圧電素子、6:封着剤、7:パイプ、 8:ブロック、9:柱状体、 5a,5b,15a,15b,15d,17a,17b,17c,17d:電極、 24a,24b,24c,24d:電極、22:基台、 22a:基板、22b,22d,23d:支承部、 22c,23c:柱状体、23:検出体、 23a:フランジ部、23b,23e:支柱部、 23f:ウェイト。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鴻巣 直広 神奈川県川崎市川崎区田辺新田１番１号 富士電機株式会社内 (56)参考文献 実開 昭60−154822（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−190423（ＪＰ，Ｕ)

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被測定流体の流れる管路内に挿設されたカ
   ルマン渦発生体の内部に、応力センサとしての一以上の
   圧電素子が、熱膨脹係数がこの圧電素子より大きく前記
   カルマン渦発生体より小さい、高温充填され冷却硬化後
   に高剛性をもつ絶縁性の封着剤を介して埋設される構成
   であることを特徴とするカルマン渦流量計。
2. 【請求項２】被測定流体の流れる管路内に挿設されたカ
   ルマン渦発生体の内部に、応力センサとしての圧電素子
   が筒体内に熱膨脹係数が前記圧電素子より大きく前記筒
   体より小さい、高温充填され冷却硬化後に高剛性をもつ
   絶縁性の封着剤を介して埋設された一以上の検出ユニッ
   トが、挿設される構成であることを特徴とするカルマン
   渦流量計。
3. 【請求項３】被測定流体の流れる管路内に挿設されたカ
   ルマン渦発生体の内部に、応力センサとしての一以上の
   圧電素子が前記カルマン渦発生体と同じ材料からなるブ
   ロックの外周に接合された検出ブロックが、熱膨脹係数
   が前記圧電素子より大きく前記カルマン渦発生体より小
   さい、高温充填され冷却硬化後に高剛性をもつ絶縁性の
   封着剤を介して埋設される構成であることを特徴とする
   カルマン渦流量計。
4. 【請求項４】被測定流体の流れる管路内に挿設されたカ
   ルマン渦発生体の内部に、応力センサとしての圧電素子
   が埋設される流量計において、前記圧電素子は、互いに
   対向する一対の電極を備え、この電極の一方が、前記カ
   ルマン渦発生体と前記管路との各軸線を含む平面に関し
   て対称に配置された二つの分電極であり、前記電極の他
   方が、この各分電極に対応する一つの共通電極であり、
   かつこの共通電極と、前記各分電極との間でそれぞれ出
   力が取り出される構成であることを特徴とするカルマン
   渦流量計。
5. 【請求項５】被測定流体の流れる管路内に挿設されたカ
   ルマン渦発生体の内部に、応力センサとしての圧電素子
   が埋設される流量計において、前記圧電素子は、互いに
   対向する一対の電極を備え、この電極の一方が、前記カ
   ルマン渦発生体と前記管路との各軸線を含む平面に関し
   て対称に配置された二つの分電極と、振動補償用電極と
   からなり、前記電極の他方が、前記分電極および振動補
   償用電極に対応する一つの共通電極であり、かつこの共
   通電極と、前記各分電極および振動補償用電極との間で
   それぞれ出力が取り出される構成であることを特徴とす
   るカルマン渦流量計。
6. 【請求項６】被測定流体が流れる管路の側壁の表面に固
   定されるダイヤフラムとしてのフランジと；このフラン
   ジの前記側壁側表面からこの側壁を貫通して前記管路の
   内部に伸びる形で設けられる渦発生体と：前記フランジ
   の前記側壁とは逆側に設けられるバランスウェイトと：
   前記フランジに固着される圧電素子と；を有する検出体
   を備え、前記渦発生体が外部振動を受けたときの前記フ
   ランジの箇所に関する慣性曲げモーメントと、前記バラ
   ンスウェイトが外部振動を受けたときの前記フランジの
   箇所に関する慣性曲げモーメントとが互いに同じ大きさ
   で逆方向になるとともに、前記圧電素子の出力に基づい
   て前記被測定流体の流速流量が測定される構成であるこ
   とを特徴とするカルマン渦流量計。
7. 【請求項７】特許請求の範囲第６項記載の流量計におい
   て、圧電素子は、互いに対向する一対の電極を備え、そ
   の一方が、渦発生体と管路との各軸線を含む平面に関し
   て対称に配置された二つの分電極であり、他方が、この
   各分電極に対応する一つの共通電極であり、この共通電
   極と前記各分電極との間でそれぞれ出力が取り出される
   構成であることを特徴とするカルマン渦流量計。