JP3765380B2 - 渦流量計 - Google Patents
渦流量計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3765380B2 JP3765380B2 JP2000153494A JP2000153494A JP3765380B2 JP 3765380 B2 JP3765380 B2 JP 3765380B2 JP 2000153494 A JP2000153494 A JP 2000153494A JP 2000153494 A JP2000153494 A JP 2000153494A JP 3765380 B2 JP3765380 B2 JP 3765380B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vortex
- detection sensor
- vortex generator
- torsion
- force
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、S/N比が向上された渦流量計に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図13は、従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、例えば、特開昭53−148470号公報に示されている。図14は図13の要部斜視図である。
【0003】
図13,図14において、1は測定流体の流れる管路である。
2は管路1に直角に挿入された柱状の渦発生体で、この場合は両端が管路1に固定された断面三角形状のものを示したが、他の形状、例えば断面矩形状等でもよい。
【0004】
21は渦発生体2に連結された支持部で、この場合は円筒状に構成されている。
22は支持部21を介して渦発生体2を支持する取付けフランジである。
31は円筒状の検出センサ部で、支持部21の円筒内に設けられ、せん断応力に対して感度の大きい性格を有するものが用いられている。
【0005】
この場合は、ニオプ酸リチウム(LiNbO3)よりなる圧電素子が使用されている。
32は封着体で、絶縁材よりなり、検出センサ部31を支持部21の円筒内に周囲より絶縁して封着するもので、この場合はガラス材が用いられている。
而して、検出センサ部31と封着体32により応力検出部3が構成される。
【0006】
以上の構成において、管路1内に測定流体が矢印Xの方向に流れ、渦発生体2に流れがあたると、その後、流速に渦が発生する。
この渦により、渦発生体2に生ずる交番の揚力により、渦発生体2には曲げモーメントMとねじりモーメントQが働く。
【0007】
支持部21には、このねじりモーメントQによりせん断応力が生じ、検出センサ部31により内部応力の変化(この場合は電圧の変化)が検出される。
【0008】
この変化の回数を検出する事により渦発生周波数が検出できる。
今、検出センサ部として圧電素子を便用した場合について、その検出原理を説明すると、圧電素子は応力σ1を受けると圧電効果により電圧△V1を発生する。
【0009】
式で示すと次の如くなる。
ΔV1=d・σ1・t (1)
σ1=n1(F/A1) (2)
【0000】
ここで、d:圧電定数
t:電極間距離
n1:定数
A1:センサ部の剛性
F:渦放出による交番力
【0010】
本発明の内部応力検出方式では、渦発生体2内に生じる応力を直接検出するものであり、小さな応力でも充分な出力が得られる。
この結果、センサ部の剛性を大きくすることができる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような装置において、振動ノイズを積極的に吸収する手段を有しない。
従って、振動ノイズの影響を更に小さくすることが出来ず、S/N比が良好な渦流量計を得ることが出来ない。
【0012】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、感度が向上された渦流量計を提供することにある。
即ち、センサ部での捻れ応カ以外の感度除去が十分でない場合でも、振動ノイズを積極的に除去する様にしたものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明では、請求項1の渦流量計においては、
カルマン渦により柱状の渦発生体あるいは受力体に作用する捻じりの交番力を検出して流速流量を測定する渦流量計において、測定流体の流れる管路に挿入された渦発生体あるいは受力体と、この渦発生体あるいは受力体に作用する捻じりの交番力を検出する捻じり検出センサと、この捻じり検出センサの前記渦発生体あるいは受力体の軸方向の少なくとも一面に一平面が接して設けられた柱状の本体とこの柱状の本体の前記平面に平行に四方から順次に所定寸法を残して切り込み形成された溝とを有し前記軸を中心とする捻じれ剛性は十分高く曲げ剛性や圧縮方向の剛性は小さい継ぎ手とを具備した事を特徴とする。
【0014】
本発明の請求項2においては、請求項1記載の渦流量計において、
前記捻じり検出センサとして剪断応力検出形圧電素子が使用されたことを特徴とする。
【0015】
本発明の請求項3においては、請求項1又は請求項2記載のカルマン渦流量計において、
前記渦発生体あるいは受力体の軸方向の重心軸を対称軸として配置された捻じり検出センサを具備したことを特徴とする。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図、図2は図1のO−O断面図、図3は図1の要部詳細説明図、図4は図3の要部詳細説明図、図5は図3の要部詳細説明図、図6は図5のA−A断面図、図7は図5のB−B断面図、図8は図5のC−C断面図、図9は図5のD−D断面図である。
【0017】
図において、図13と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図13と相違部分のみ説明する。
捻じり検出センサ41は、渦発生体2に作用する捻じりの交番力を検出する。
【0018】
この場合は、捻じり検出センサ41として、剪断応力検出形圧電素子が使用されている。
また、捻じり検出センサ41は、渦発生体2の軸方向の重心軸を対称軸として配置されている。
【0019】
捻じり検出センサ41自体は、図4に示す如く、例えば、書名:超音波エレクトロニクス振動論P118〜P123、発行日:1998年2月20日、著者:富川義朗、発行所:朝倉書店、に示されている。
図において、Aは分極方向、Bは捻じりひずみを示す。
【0020】
この場合は、捻じり検出センサ41は、円環をいくつかに分割し、この場合は4個、周方向に電界をかけ分極Aする。ねじり力Bが働くとせん断応力が周方向に加わるため、圧電素子のすべり(せん断)モードにより電荷が発生する。
【0021】
また、捻じり検出センサ41の軸周り以外のせん断応力に関しては、応力方向の左右でキヤンセルされる。
また、振動による曲げや検出素子の軸方向の振動による圧縮は、厚さ方向の応力として捻じり検出センサ41に加わるが、分極方向と直交するため、出力は発生しない構造となっている。
【0022】
継ぎ手42は、この捻じり検出センサ41の渦発生体2の軸方向の少なくとも一面に設けられ、軸を中心とする捻じれ剛性は十分高く、曲げ剛性や圧縮方向の剛性は小さくされている。
【0023】
このために、外部振動により、曲げや圧縮方向の応力が検出部分に加わっても、捻じり検出センサ41に外部振動による応カを伝え難くすることが出来る。
【0024】
この場合は、図5〜図9に示す如く、継ぎ手42は、円柱本体421と、円柱本体421の平面422に平行に四方から順次、所定寸法423を残して切り込み形成された溝424〜427とを有する。
【0025】
以上の構成において、カルマン渦の生成により渦発生体2に、交番のねじれ応力が働き、それに伴い捻じり検出センサ41に交番の出力が生ずる。
この出力変動の周波数を測定する事により、渦周波数すなわち流量を測定する事が出来る。
【0026】
捻じり検出センサ41の中心軸を、渦発生体2の軸方向の重心軸上におくことにより、外部振動が働いても、捻じり検出センサ41にはトルクが働かず、振動により捻じり検出センサ41に曲げや軸方向の応力が働いても、この捻じり検出センサ41は厚さ方向の応力には出力しない。
【0027】
この結果、
捻じり検出センサ41の上部に組み込まれた継ぎ手42が、外部振動による応力を吸収するため、ノイズが出力され難くなる。このことにより、簡潔な構成で、なおかつ、堅牢で、外部振動に対してきわめてS/N比の良い渦流量計が得られる。
【0028】
捻じり検出センサ41として、剪断応力検出形圧電素子が使用されたので、剪断応力検出形圧電素子は市場性が有り、安価な渦流量計が得られる。
【0029】
捻じり検出センサ41が、渦発生体2の軸方向の重心軸を対称軸として配置されたので、外部振動が働いても、捻じり検出センサ41にはトルクが働かず、振動により捻じり検出センサ41に曲げや軸方向の応力が働いても、この捻じり検出センサ41は厚さ方向の応力には出力しない。
【0030】
この結果、外部振動に対して、きわめてS/N比の良い検出部を構成することができる渦流量計が得られる。
【0031】
図10は本発明の他の実施例の要部構成説明図、図11は図10のE−E断面図、図12は図10の底面図である。
本実施例においては、受力体51に捻じり検出センサ41と継ぎ手42とが配置された実施例である。
【0032】
なを、前述の実施例においては、捻じり検出センサ51の上部に継ぎ手42が設けられた実施例について説明したが、これに限る事は無く、捻じり検出センサ51の下部に継ぎ手42が設けられても良く、要するに、少なくとも1個設けられれば良い。
【0033】
また、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、次のような効果がある。
(1)捻じり検出センサの渦発生体あるいは受力体の軸
方向の少なくとも一面に設けられた継ぎ手が、外部振動による応力を吸収するため、ノイズが出力され難くなる。このことにより、簡潔な構成で、なおかつ、堅牢で、外部振動に対してきわめてS/N比の良い渦流量計が得られる。
【0035】
(2)捻じり検出センサとして、剪断応力検出形圧電素子が使用されたので、剪断応力検出形圧電素子は市場性が有り、安価な渦流量計が得られる。
【0036】
(3)捻じり検出センサが、渦発生体あるいは受力体の軸方向の重心軸を対称軸として配置されたので、外部振動が働いても、捻じり検出センサにはトルクが働かず、振動により捻じり検出センサに曲げや軸方向の応力が働いても、この捻じり検出センサは厚さ方向の応力には出力しない。
【0037】
この結果、外部振動に対して、きわめてS/N比の良い検出部を構成することができる渦流量計が得られる。
【0038】
従って、本発明によれば、S/N比が向上された渦流量計を実現することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図2】 図1のO−O断面図である。
【図3】 図1の要部詳細説明図である。
【図4】 図3の要部詳細説明図である。
【図5】 図3の要部詳細説明図である。
【図6】 図5のA−A断面図である。
【図7】 図5のB−B断面図である。
【図8】 図5のC−C断面図である。
【図9】 図5のD−D断面図である。
【図10】 本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図11】 図10のE−E断面図である。
【図12】 図10の底面図である。
【図13】 従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
【図14】 図13の斜視図である。
【符号の説明】
1 管路
2 渦発生体
41 捻じり検出センサ
42 継ぎ手
421 円柱本体
422 平面
423 所定寸法
424 溝
425 溝
426 溝
427 溝
51 受力体
A 分極方向
B 捻じりひずみ
X 測定流体
Claims (3)
- カルマン渦により柱状の渦発生体あるいは受力体に作用する捻じりの交番力を検出して流速流量を測定する渦流量計において、
測定流体の流れる管路に挿入された渦発生体あるいは受力体と、
この渦発生体あるいは受力体に作用する捻じりの交番力を検出する捻じり検出センサと、
この捻じり検出センサの前記渦発生体あるいは受力体の軸方向の少なくとも一面に一平面が接して設けられた柱状の本体とこの柱状の本体の前記平面に平行に四方から順次に所定寸法を残して切り込み形成された溝とを有し前記軸を中心とする捻じれ剛性は十分高く曲げ剛性や圧縮方向の剛性は小さい継ぎ手と
を具備した事を特徴とする渦流量計。 - 前記捻じり検出センサとして剪断応力検出形圧電素子が使用されたことを特徴とする請求項1記載の渦流量計。
- 前記渦発生体あるいは受力体の軸方向の重心軸を対称軸として配置された捻じり検出センサを具備したことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の渦流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000153494A JP3765380B2 (ja) | 2000-05-24 | 2000-05-24 | 渦流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000153494A JP3765380B2 (ja) | 2000-05-24 | 2000-05-24 | 渦流量計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001330484A JP2001330484A (ja) | 2001-11-30 |
JP3765380B2 true JP3765380B2 (ja) | 2006-04-12 |
Family
ID=18658741
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000153494A Expired - Fee Related JP3765380B2 (ja) | 2000-05-24 | 2000-05-24 | 渦流量計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3765380B2 (ja) |
-
2000
- 2000-05-24 JP JP2000153494A patent/JP3765380B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001330484A (ja) | 2001-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4258565A (en) | Force detector | |
US4546658A (en) | Piezoelectric force/pressure sensor | |
US7259574B2 (en) | Sensor device for measuring frequency and amplitude of varying force signals | |
US5813280A (en) | Acoustic resonator for measuring force | |
JPH0520692B2 (ja) | ||
KR101727593B1 (ko) | 피에조 소자를 이용한 유체 점도 측정 장치 | |
JP3765380B2 (ja) | 渦流量計 | |
GB2379506A (en) | Vibratory gyroscope | |
JPS5897610A (ja) | 捩り−周波数変換器 | |
JPS58160813A (ja) | 渦流量計 | |
EP2201387B1 (en) | Flexural pivot for micro-sensors | |
JP2001317973A (ja) | 渦流量計 | |
JP3281704B2 (ja) | 振動インテンシティ検出器 | |
JPS63243828A (ja) | 回転軸のトルク検出装置 | |
JP2001330483A (ja) | 渦流量計 | |
JPS6032809B2 (ja) | 流速流量測定装置 | |
JPS5928342Y2 (ja) | 力検出器 | |
JPS5953489B2 (ja) | 流速流量測定装置 | |
JPH0719918A (ja) | 渦流量計および渦センサ | |
JPS584967B2 (ja) | 流速流量測定装置 | |
JPS6244338Y2 (ja) | ||
JPS592324B2 (ja) | 流速流量測定装置 | |
KR830000453Y1 (ko) | 유속유량 측정장치 | |
JPH0658226B2 (ja) | 角速度センサ | |
JPH11295118A (ja) | 渦流量計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040810 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050927 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051205 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060118 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100203 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110203 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110203 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120203 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120203 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130203 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140203 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |