KR830000453Y1 - 유속유량 측정장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

유속유량 측정장치

제1도는 본 고안의 1실시예의 구성 설명도.

제2도-제4도는 진동에 의한 노이즈의 영향의 설명도.

제5도-제11도는 본 고안의 다른 실시예의 설명도.

본 고안은 칼멘 와류(渦流)를 이용한 유속유량 측정장치에 관한 것이다.

일반적으로 유체중에 물체 예를 들면 봉(棒)을 삽입하면 물체의 하류에 흐름에 향하여서 좌우 교대로 안정하고 규칙적인 와류가 발생한다.

이 와류는 물체와 유체와의 경계층의 박리(박 리)에 따라서 생기며 소위 칼멘 와류라고 칭호되는 것이다.

이 경우 물체의 우측면에 단위시간에 생성되는 와류의 수(와류의 발생주파수)는 유체의 유속에 비례되는 것이 종래부터 잘 알려져 있었다.

따라서 단위시간에 생성되는 와류의 수가 알려지면 유체의 유속 혹은 유량을 알 수가 있다.

본 고안은 상술한 칼멘 와류에 의해서 와류 발생체에 생기는 교번력을 검출하여서 와류신호로서 취출하여 유속유량을 측정장치에 관한 것이다.

종래부터 일반적으로 사용되어 있는 와류 신호의 검출방법으로는 감열방식, 왜곡검출방식, 용량방식 전자(電磁)방식, 초음파방식 등이 있으나 각각 여러 문제점을 갖고 있다. 감열방식은 더미스터 혹은 백금선 등의 감열소자에 약간의 먼지라도 부착하면 급격한 감도의 저학 생긴다. 또 왜곡검출 방식은 칼맨와류에 의한 약간의 교번력로 왜곡을 감도좋게 생기게 하기 위해서는 와류 발생체를 가요재(可撓材)로 만들든지 와류발생체를 관로(管路)에 지지하는 도중에 가요재로 된 부분을 설치하고 이들의 가요부에 왜곡검출소자를 점착할 필요가 있다. 그리고 충분한 검출감도를 얻기 위해서는 물체 표면상의 왜곡이 큰 것이 필요하고 센서부의 강성을 적게하지 않으면 안된다. 용량방식은 예를 들면 다이어프램과 같은 가요부가 필요하고 가요부를 진동시키지 않으면 안되기 때문에 기계적인 견고한 센서의 구성이 곤란하다.

또 댐퍼로서 실리콘 오일 등의 봉입액이 필요하며 고온에서는 사용할 수 없는 제약이 있다.

전자방식은 와류에 의한 압력변화에 따른 볼의 진동 혹은 진동판을 이용하는 것이고 도압공이 유체중의 먼지 등에 따라서 막히기 쉽다. 특히 진동판을 이용하는 것은 상술한 용량방식과 같이 기계적으로 약하다.

초음파 방식은 와류 발생체와 초음파 송수신자가 분리되어 있으며 구성이 복잡하게 된다.

또 종래부터 사용되어 온 와류량게에 있어서는 그 사용되어 있는 소자나 접착제가 실리콘 오일 등의 제약에 따라 사용가능 온도는 120℃ 정도까지이며 그 이상의 온도로는 사용할 수 없는 결점을 가지고 있다.

본 고안은 이와 같은 문제점을 해결하고자 한 것이다.

본 고안의 목적은 간단한 구성으로, 감도, 안정성이 우수하며 견고하고 내구성이 있고, 사용 가능 온도 범위가 넓은 유속유량 측정장치를 제공함에 있다.

이하 도면에 따라 본 고안을 설명한다.

제1도는 본 고안의 1실시예의 구성 설명도이다.

도면에서 (1)은 피측정류체가 흐르는 원통상의 관로, (2)는 관로(1)에 직각으로 삽입된 주상의 와류발생체이고 이 경우에는 양단이 관로(1)에 고정되고 스텐레스 재료로 된다. (21)은 플랜지(flange) 모양의 와류발생체의 지지부이다. (22)는 와류발생체(2)의 지지부이다. 검출센서부(31)는 원판상으로 되고 공(22)내에 배치되며, 이 경우에는 와류발생체(2)의 중심축을 끼고 대향되게 2개 배치되고 니오브산리튬(LiNbO₃)로 된 압전소자가 사용되어 있다. 봉착체(32)는 절연재료로 되고 검출센서부(31)는 공(22)내에 와류발생체(2)에서 절연시켜서 봉착하는 것이고 이 경우에는 유리재가 사용되고 있다.

이상의 구성에서, 관로(1)내에 측정류체가 흐르면 와류발생체(2)에는 칼맨와류에 따라 제1도에 도시한 화살표 ×와 같은 교번력이 작용하고 이 교번력에 따라 응력 검출부(3)에는 교번의 응력이 발생하며 검출센서부(31)에 따라 응력의 변화가 전기신호의 변화로서 검출된다. 이 변화가 전기신호의 변화로서 검출된다. 이 변화의 회수를 검출하는 것에 따라 와류발생 주파수가 검출될 수 있다.

지금 검출센서부로 하여서 압전소자를 사용한 경우에 대하여 그 검출원리를 설명하면 압전소자는 응력(61)을 받으며 압전효과에 따라 전기신호를 발생시킨다. 전기신호로서 전압 ΔV₁을 고려하면 식으로 표시하여 다음과 같다.

본 고안의 응력검출 방식으로는 와류 발생체내에 생기는 응력을 직접 검출하는 것이고 작은 응력으로도 충분한 출력이 얻어진다. 이 결과 센서부의 강성을 크게 할 수 있다.

종래부터 일반적으로 사용되어온 왜곡게이지를 사용한 왜곡검출방식으로는 와류발생체내에 생긴 응력을 물체의 표면상의 왜곡으로 변화시키어 이것을 검출시키는 것이고 그 발생전압 ΔV₂를 브리지 회로에 조입시킨 왜곡 게이지 한개당으로는

충분한 검출감도를 얻기 위해서는 물체 표면상의 왜곡이 큰 것이 필요하며, 센서부의 강성을 작게 하지 않으면 안된다. 왜곡검출소자로서 압전소자를 사용할 경우에 있어서도 물체표면에 생긴 왜곡에 의해 압전소자가 응력을 받아 전기적 출력이 얻어진다. 이 경우에 있어서도 큰 출력을 얻기 위해서는 큰 왜곡을 물체표면상에 생기게 할 필요가 있다.

이상과 같이 왜곡검출식으로는 본질적으로 견고한 센서를 만들기가 어렵다.

또 구체적인 예를 들어서 설명하면 와류발생체로 작용하는 교번력은 측정유체의 유속의 2승에 비례된다.

따라서 왜곡도 유속의 2승에 비례된다. 칼멘 와류를 이용한 유속유량 측정장치의 특징의 하나로서 측정 범위가 넓은 것에 있다. 지금 예를 들어 0.3m/s-10m/s의 유속범위를 측정하려고 하면 왜곡은 약 1000배의 변화 범위로 된다. 금속의 경우 반복하여 왜곡에 견디어내는 안전사용한계는 100-200마이크로 스트레인(micro strain) 정도이다. 이것을 최대유속 10m/s에 대응시키면 최소유속 0.3m/s에 대하여 발생되는 왜곡은 0.1-0.2마이크로 스트레인 정도로 되며 왜곡의 검출이 곤란하다. 측정범위를 예를 들면 1m/s-6m/s와 같이 작은 폭으로 나누면 좋으나 하나의 센서로 카버할 수 있는 측정범위가 좁아지는 결점이 있다.

본 고안에 있어서는 0.3m/s-10m/s의 유속실험에 있어서 충분한 감도가 있으며 이 경우의 왜곡을 추정해서 계산하면 0.3m/s로 0.0048마이크로 스트레인, 10m/s로 5.3마이크로 스트레인으로 되고 통상의 왜곡검출소자는 도저히 검출할 수 없는 것으로 거의 변위하지 않는 정도이다.

이상 설명한 것처럼 왜곡검출 방식으로는 감도를 올리기 위해서는 강성을 작게하지 않으면 안되고 견고히 하지 못하는 본질적인 결점이 있고 또 강성을 작게 하려고 해도 한계가 있다.

이것에 비해서 본 고안에 의한 장치에서는 센서부의 강성은 크게 되어도 좋으므로 견고히 된다.

또 봉착체(32)에 의해서 검출센서(31) 전체는 와류발생체(2)내에 고정되어 있기 때문에,

(1) 힘전달 특성이 우수하고 와류발생체에 작용하는 교번력을 확실히 압전소자에 감도좋게 전한다.

(2) 접착제의 경년 변화에 따른 접착기능의 저하에 의한 박리등의 불안정성이 없고 장기에 걸쳐 안정한 것이 얻어진다.

(3) 통기성이 적으므로 습기 등에 의한 절연의 저하는 없다. 압전소자는 본래 절연재료이기 때문에 습기 등에 의한 약간의 절연저하라도 출력 전기신호는 큰 영향을 받는다.

(4) 특히 유리는 그 용융온도가 500℃ 이상의 것이 선정되어 내열성이 높다.

(5) 절연내압이 충분히 크기 때문에 봉착처리시에 압전소자의 큐리점(Curie point)을 넘어서 압전효과가 없어지는 경우에는 봉착후에 분극(혹은 재분극) 처리를 하고 압전효과를 희복시킬 수 있다.

(6) 봉착상태에 재현성이 있으며 불균형이 없고 압전소자의 특성에 영향을 주지 않는다.

(7) 절연과 봉착이 동시에 된다.

(8) 압전소자부의 전극과 인출 리이드선과의 접합부의 보강을 할 수 있다.

(9) 코스트가 낮다.

등의 장점을 가지고 있다.

또 봉착체(32)와 와류발생체(2) 또는 검출 센서부(31) 사이에는 소간격이 부분적으로 생겨도 힘의 전달효율이 낮아진다. 따라서 특히 유리의 경우는 봉착처리시에 용융유리가 냉가, 굳어질 때의 열수축시에 응력의 불균일 부분이 생기고 유리에 금이 가지 않도록 각 구성부분은 원형성의 압전소자부를 중심으로 동심원상으로 구성하는 것이 바람직하다. 또 각 구성부품에 과중의 응력이 가해지지 않도록 부품 상호의 접합면이 열팽창계수의 다름에 의해 이격되지 않도록 서로의 칫수는 신중히 결정된다. 각 접합면은 차라리 상호 압축력이 작용된 봉입상태로 있는 것이 바람직하다.

이 경우 칼맨와류의 방출에 따라 생기는 교번력에 따라 와류발생체(2)에는 제1도에 도시한 것처럼 왜곡모우멘트(M)와 꼬인 모우멘트(Q)가 가동하고, 왜곡 모우멘트 M에 의하여 신축응력 δ₀가 꼬인 모우멘트Q에 의하여 절단응력 τ₀이 와류발생체에 생긴다.

상술한 (1)식의 응력 δ₁은 신축응력 δ₀혹은 절단응력 τ₀이고 일반적으로 압전소자는 이 양자에 대해서 감도를 갖는다. 이 때문에 이 양 응력에 대해서 감도가 얻어지도록 압전소자를 와류발생체에 장착하면 된다. 따라서 압전소자의 장착위치는 와류방출에 대응해서 응력이 발생되는 장소라면 어디든지 좋다.

압전소자를 사용할 경우, 그 출력감도는 예를 들면 전압으로 나타내면 하기의 (5)식의 압전정수 d에 의해서 지배된다.

지금 압전소자에 힘이 작용하면 압전소자의 XYZ축 방향으로 응력이 발생하고 (5)식의 매트릭스에 나타낼 수 있다.

소자에 따라서 dij는 상이하고 0이 항이 일반적으로 포함된다. 유량을 계측할 경우에, 소자에 가동되는 응력은 신호로 되는 성분만이 아니고 일반적으로는 노이즈로 응력이 포함되어 있으며, 노이즈로 되는 응력성분에 대해서 출력이 나오지 않으면 S/N비가 좋아진다. 즉, 노이즈로 되는 응력성분에 대해서는 d 정수가 0으로 되도록 압전소자를 잘라서 사용하거나 혹은 잘라진 소자의 XYZ축의 방향을 정해서 장착함에 따라 S/N비를 양호하게 할 수 있고 적은 유량까지 계측을 할 수 있다.

다음에 제1도에 도시한 것처럼 본 고안의 응력검출 방식과 센서부의 강성을 적게한 예를 들면 제2도에 도시한 것같이 와류발생체(4)에 가요부(41)를 설치하고 그 가요부(41)에 1쌍의 왜곡검출소자(42)를 와류발생체(4)의 중심축에 끼우고 교번력이 작용하는 방향에 대칭으로 설치하여 와류발생체(4)의 진동에 따라 와류신호를 취출하는 방식(이하 이것을 "왜곡검출방식"이라 함)과의 진도에 의한 노이즈의 영향에 따라 실험비교한 것에 대해서 기술하고저 한다.

이 경우, 제1도, 제2도의 1쌍의 검출소자중 도면의 우측에 설치된 검출소자를 제1검출소자, 좌측에 설치된 검출소자를 제2검출소자라고 한다.

관로의 진도이 문제로 되는 것은 그 주파수 f_p가 와류신호의 주파수 f_v의 대역에 포함되며 그 관로진동의 출력이 와류신호의 출력에 중첩될 경우이다. 이 경우에 전기적으로 관로 진동 노이즈의 주파수 성분 f_p를 제거하면 와류신호 f_v의 성분도 제거해 버리므로 전기적으로 이 노이즈 성분을 제거할 수가 없어서 계측이 불가능하다(와류신호의 주파수 대역보다 높은 주파수의 노이즈에 대해서는 전기적으로 용이하게 제거할 수가 있다).

지금 이 관로진동 노이즈의 주파수 f_p가 와류신호의 주파수 f_v의 대역에 포함될 경우에 대해서 고찰한다.

일반적으로 와류발생체의 고유진동수 f_n는 와류신호의 주파수 f_v의 대역으로 되도록 높은 값을 취하도록 설계되지만 왜곡검출 방식으로는 상술한 것처럼 센서부의 강성이 작기 때문에 그 고유진동수 f_n이 작고, 관로 진동 노이즈의 주파수 f_p에 가까운 값을 취하고 이 관로 진동 노이즈 주파수 f_p로 와류발생체가 진동되기 쉽고, 이 진동은 제3(a)도, 제3(B)도의 도시와 같이 와류신호와 동일하게 제3(c)도, 제3(d)도에 도시된 제1검출소자와 제2검출소자에 역위상의 출력으로 되어서 나타나고 와류신호와 관로 진동 노이즈 각각의 차동 출력은 제3(e)도, 제3(f)도와 같게 된다. 따라서 출력신호는 제3(g)도와 같은 S/N비의 불량한 신호로 된다.

이 영향은 관로진동 노이즈의 래벨이 와류신호에 대해서 상대적으로 커지는 저유량에서 현저하게 되며, 저유량의 측정은 얼렵게 된다.

응력검출 방식으로서는 센서부가 와류발생체와 전부 일체구조이고 강성이 크기 때문에 그 고유진동수 f_n이 크며 관료진종에 따른 와류발생체의 진동은 대단히 적고 오히려 센서 전체가 관과 함께 진동된다.

이 진동은 센서부에는 가속도로서 나타나고 제4(a)도, 제4(b)도에 도시된 와류신호에 대해서 제1, 제2검출소자의 출력은 제4(c)도, 제4(d)도에 도시한 것 같이 동상의 출력으로 되고 와류신호와 관로진동노이즈 각각의 차동출력은 제4(e)도, 제4(f)도와 같이 된다. 따라서 총합출력신호와 와류신호출력안에서 취출시킬 수 있으며 저유량에 있어서도 제4(g)도의 도시와 같이 S/N비가 좋은 신호가 얻어지고, 저유량의 측정이 가능하게 된다.

이상 설명한 것처럼 왜곡검출 방식에 비해서 응력검출 방식으로는 관로진동의 노이즈에 대하여 거이 그 영향을 받지 않으며 넓은 유량범위를 계측할 수 있다.

제5도는 본 고안의 또 다른 실시예의 요부 구성 설명도이다.

도면에서 검출센서부(31)는 와류발생체(2)의 공(22)에 고착되어 있다. 이 경우에는 접착제에 의해 접착되어 있다. 고착방법으로는 예를 들면 접착, 용접, 압입 등을 사용할 수 있다.

제6도는 본 고안의 실시예의 구성 설명도이다.

도면에서 (31)은 원판상의 검출센서부이고 와류 발생체(2)의 공(22)내에 착탈 가능하게 삽입되어 있다.

(5)는 플랜지를 가진 원주상의 고정체이고 볼트(51)를 죄어서 공(22)에 삽입된 검출센서부(31)를 와류발생체에 압압고정되도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성하면 보수시 등에는 와류발생체(2)는 관로(1)에 취부된 채로 검출센서부(31)를 와류발생체(2)에서 제거할 수가 있으므로, 측정유체의 흐름을 정지하지 않고 검출센서부(31)의 보수점검이 용이하게 된다.

제7(a)도, 제7(b)도, 제7(c)도는 본 발명의 다른 실시예의 요부 구성의 설명도이다.

도면에 있어서, (6)은 검출센서이고 공(22)에 삽입되며, 봉착체(32)에 의해 공(22)에 봉착되어 있는 것이고 검출센서부(6)를 와류 발생체(2)와 별개로 미리 만들 수 있어서 제작이 용이하게 된다. (A)는 검출센서부(6)를 저면에 가진 원통상의 용기(61)와, 그 용기(61)내에 착탈자유로 삽입된 니오브산 리튬으로 된 원판장의 압전소자부(62)와 그 압전소자부(62)를 용기(61)내에 볼트(631)를 사용해서 압압고정하는 플랜지(632)를 가진 원주상의 고정체(63)로 구성한 것이고, (B)는 검출센서부(6)를 용기(61)와 그 용기(61)내에 삽입 고착된 (64) 원판상의 압전소자부(62)로 구성된 것이고, 고착방법으로서는 예를 들면 접착, 용접, 압압 등을 사용할 수 있다. (C)는 검출센서부(6)를 용기(61)와 그 용기(61)내에 삽입된 원판상의 압전소자부(62)와 그 압전소자부(62)를 용기(61)내에 봉착시키는 유리재료로된 봉착체(65)로 구성한 것이다.

제8도는 본 고안의 다른 실시예의 요부 구성 설명도이고, 제9도는 제8도의 요부의 구성 설명도이다.

제9도는 제8도의 요부의 구성 설명도이다.

제8도, 제9도에 있어서 압전소자부(62)는 제9도에 도시한 것과 같이 원판상으로 되어 있고, 그 중심은 와류 발생체(2)의 중심축상에 있다. 그리고 압전소자부(62)는 원판상의 소자본체(621)와 전극(622), (623), (624)로 된다. 전극 (622)는 얇은 원판상을 하고 있고 소자본체(621)의 일면측에 설치되어 있다.

한편 전극 (623), (624)는 대략 궁형(弓形)으로 되어 있고, 소자본체(621)의 타면측에 소자본체(621)의 중심을 협지하고 대칭형으로 설치되어 있다. 이와 같이 구성하면 전극(622)-전극(623), 전극(622)-전극(624)간에 검출되는 와류신호는 제4(a)도, 제4(b)도에 도시한 것처럼 역위상으로 되며, 이 출력을 차동적으로 취출하면 제4(e)도와 같이 제4(a)도, 제4(b)도에 비해서 2배의 출력이 얻어진다.

그리고 와류신호의 주파수 대역에 포함된 노이즈, 예를 들면 관로진동노이즈는 제4(c)도, 제4(d)도에 표시한 것처럼 동위상의 출력으로 해서 검출되며 이것을 차동적으로 취출하면 노이즈는 서로 말소되고, 양호한 S/N비의 와류신호가 얻어진다. 이 경우 검출소자는 1개라도 되기 때문에 코스트 다운이 도모되고, 작은 스페이스로 구성할 수 있기 때문에 콤팩트한 것이 얻어진다.

더욱 제10도에 도시한 것처럼, 전극 (623), (624)가 소자본체(621)의 중심을 끼고 교번력이 작용방향에 대칭이 되도록 설치하면 흐름방향의 유체맥동 등의 유체진도등에 의한 노이즈에 따라 압전소자부(62)에 발생되는 전압은 제10도에 약시한 것처럼 예를 들면 어떠한 순간에 있어서는 +-같은 것이 생기지만 내부에서 서로 소멸하여서 출력으로 나타나지는 않는다. 즉, 유체진동 노이즈는 소멸되어서 좋은 S/N비의 와류신호를 얻을 수 있다.

또 제9도에 나타난 압전소자부(62)는 제11(a)도에 도시된 것처럼 원통형상, 제11(b)도와 같은 장방체상 혹은 제11(c)도와 같은 도우너트 반상으로 구성되어도 좋다.

또 상술한 실시예에 있어서는 와류발생체의 양단은 관로 1에 고정되어 있다고 설명하였으나 고정단-자유단, 혹은 고정단-지지단의 조합이라도 좋다.

또 와류발생체 2의 고정방법은 용접, 나사조이기, 볼트조이기 등 어느 것이던 양호한 것은 물론이다.

또 응력검출부(3)는 상술한 실시예에 있어서는 와류발생체 2의 지지부(21)측에 설치된 공(22)에 취부되어 있다고 설명하였으나 와류 발생체의 타단측에 취부되어도 좋고 요컨대 응력이 검출되는 장소이기만 하면 어느 개소에 취부하여도 좋다.

검출 센서부(31) 또는 압전소자부(62)는 상술한 실시예에 있어서는 니오브산 리튬으로 된 압전소자라고 설명하였으나, 니오브산리튬이나 수정 등의 안정성 결정, 혹은 질콘, 티탄산 납(PZT)이나 티탄산납 등의 세라믹계 압전자기(자 기) 혹은 감압소자도 좋고, 요컨대 응력을 검지할 수 있는 것이라면 좋다. 단, 세라믹계 압전자기는 그것을 봉착 고정하는 봉착재의 봉착-작업온도가 세라믹계 압전자기의 큐리온도보다 높을 경우도 있으나, 이 경우에는 봉착종료후 재분극처리를 한다. 봉착재는 절연내압은 충분히 크기 때문에 재분극하는 것은 용이하다.

또 봉착체(32), (65)는 유리가 아니고 예를 들면 에폭시계난 셀라믹계 혹은 시멘트계의 봉착재라도 좋고 요컨대 와류발생체(2)에 생기는 응력이 응력검출소자에 확실히 감도좋게 전달되며, 전기적으로 절연되고 화학적으로 안정한 것이면 좋다.

또 본 고안에 의한 장치에 있어서는 측정유체와의 접액부를 모두 내식성 재료로 선택할 수도 있다. 또 접액부를 내식재로 코우팅한 경우에 있어서도 종래 장치의 다이어프램이나 감열소자 등을 사용할 경우와 같이 감도가 저하될 우려는 없으므로 고부식성의 측정유체에 사용할 수 있고 내식성이 우수한 장치가 얻어진다.

이상 설명한 것처럼 본 고안은 칼맴와류에 의해 와류발생체에 작용되는 교번의 응력을 와류발생체 내부에 설치된 응력검출부에 의해서 검출하며 이 교번의 회수를 측정하고 와류 주파수를 측정하여 측정류체의 유속 혹은 유량을 측정하도록 하였다.

이 결과 응력검출부는 와류방생체와 일체로 구성되며, 가동부, 도압공 등이 없고 구조가 직긋히 간단하게 되고 견뢰하고 또 감도좋고, 와류발생체 등에 먼지가 부착되어도 감도가 저하되지 않는 것이 얻어진다.

또 측정유체와의 접액부문에는 내식성 재료가 자유로이 선택되고 또 코우팅에 대한 제약도 없기 때문에 고부식성의 측정 유체이도 적용할 수 있다.

특히 응력검출소자의 와류발생체에서의 봉착재에 내열성이 높은 예를 들면 유리 등을 사용하면 더욱 내열성이 좋은 것이 얻어진다. 따라서 종래 장치에 사용이 곤란하였던 고온 고부식성의 측정유체 영역의 측정도 가능하게 된다.

또 관로진도동에 의한 노이즈 등도 용이하게 제거할 수 있는 유속유량 측정장치를 실현시킬 수 있다.

Claims (1)

1. 칼멘와류에 의해 와류발생체에 작용하는 교번력을 검출하여 유속 유량을 측정하는 유속유량 측정장치에 있어서, 와류발생체(2)의 단면내에 발생하는 교번의 응력을 검출하기 위해 검출센서부(31)와 봉착체(32)로 구성된 응력검출부(3)를 설치하고, 상기 검출 센서부(31)는 와류 발생체(2)의 중심축에 서로 대향되게 배치된 한쌍의 압전소자로 구성되고, 상기 응력 검출부(3)는 봉착체(32)에 의해 와류발생체(2)와 절연시켜서 봉착되며, 와류 발생체(2) 내부에서 와류 발생체와 응력 검출부가 일체의 구성으로 되도록 견고히 고정 봉입하고 상기 응력 검출부(3)에 의해서 상기 교번응력을 직접 검출하도록 한 것을 특징으로 하는 유속유량 측정장치.