JPH06229793A - 流量計 - Google Patents
流量計Info
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- JPH06229793A JPH06229793A JP1734693A JP1734693A JPH06229793A JP H06229793 A JPH06229793 A JP H06229793A JP 1734693 A JP1734693 A JP 1734693A JP 1734693 A JP1734693 A JP 1734693A JP H06229793 A JPH06229793 A JP H06229793A
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- Japan
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- strain
- detecting
- orifice plate
- strain gauges
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- Measuring Volume Flow (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 導圧管、差圧計を必要とせず、かつ高感度、
高精度の流量計測ができる流量計とする。 【構成】 流体が搬送される管体１１と、その周端が管
体１１に固定され開口１２ａを有する弾性板からなるオ
リフィス板１２と、オリフィス板１２に取り付けられオ
リフィス板１２の歪量を検出する複数の歪ゲージ１３
と、該複数の歪ゲージ１３よりの信号を差動増幅し流量
に換算する処理部１７とを有する。
高精度の流量計測ができる流量計とする。 【構成】 流体が搬送される管体１１と、その周端が管
体１１に固定され開口１２ａを有する弾性板からなるオ
リフィス板１２と、オリフィス板１２に取り付けられオ
リフィス板１２の歪量を検出する複数の歪ゲージ１３
と、該複数の歪ゲージ１３よりの信号を差動増幅し流量
に換算する処理部１７とを有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、流体の流量を計測する
流量計に関し、特に歪ゲージを利用した流量計に関す
る。
流量計に関し、特に歪ゲージを利用した流量計に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の流量計として差圧式流量計が知ら
れている。この差圧式流量計では、図９に示すように、
流体が流れる管体１の中にオリフィス２が設けられると
共に、オリフィス２の上流側と下流側にそれぞれ導圧管
３，４が設けられ、差圧計５へと導かれる。
れている。この差圧式流量計では、図９に示すように、
流体が流れる管体１の中にオリフィス２が設けられると
共に、オリフィス２の上流側と下流側にそれぞれ導圧管
３，４が設けられ、差圧計５へと導かれる。
【０００３】このような構成の流量計では、差圧計５に
てオリフィスの前後で生じる圧力降下を検出することに
よって流量を計測する。オリフィスの前後の圧力差をΔ
Ｐとすると、流量Ｑは、 Ｑ＝ＣＡ√（２ｇΔＰ／γ） で表される。ここでＡはオリフィスの断面積、Ｃは流量
係数、ｇは重力加速度、γは比重量である。
てオリフィスの前後で生じる圧力降下を検出することに
よって流量を計測する。オリフィスの前後の圧力差をΔ
Ｐとすると、流量Ｑは、 Ｑ＝ＣＡ√（２ｇΔＰ／γ） で表される。ここでＡはオリフィスの断面積、Ｃは流量
係数、ｇは重力加速度、γは比重量である。
【０００４】しかしながら、このような従来の流量計で
は、オリフィスの断面積を小さく差圧を大きくして流量
の精度を上げようとすれば、流体回路のエネルギーロス
が大きくなるという問題がある。一方、流体がポンプ等
を使用して内圧が高い状態で圧送された場合には、高レ
ンジの圧力センサを使用しなくてはならないため低差圧
での計測は誤差が大きくなるという問題がある。さらに
は、導圧管を設けなければならないため、手間と費用が
かかるといった問題もある。
は、オリフィスの断面積を小さく差圧を大きくして流量
の精度を上げようとすれば、流体回路のエネルギーロス
が大きくなるという問題がある。一方、流体がポンプ等
を使用して内圧が高い状態で圧送された場合には、高レ
ンジの圧力センサを使用しなくてはならないため低差圧
での計測は誤差が大きくなるという問題がある。さらに
は、導圧管を設けなければならないため、手間と費用が
かかるといった問題もある。
【０００５】そこで、上記問題を回避するものとしてオ
リフィスに歪ゲージを備えたものが実開昭５８−６２２
６号にて提案されており、これは流路に金属からなる薄
肉有孔板を設け、この板に歪ゲージを固着した流量計を
開示する。
リフィスに歪ゲージを備えたものが実開昭５８−６２２
６号にて提案されており、これは流路に金属からなる薄
肉有孔板を設け、この板に歪ゲージを固着した流量計を
開示する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、金属か
らなる薄肉有孔板では、ある程度の線膨張係数を持つた
め、流体の温度変化によって伸縮を起こし、歪ゲージに
その影響が出るという問題がある。この影響は、計測時
に歪ゲージからの出力に電位的なドリフトとして現れる
ため、高精度の流量測定ができないという問題がある。
また、感度も低いという問題もある。
らなる薄肉有孔板では、ある程度の線膨張係数を持つた
め、流体の温度変化によって伸縮を起こし、歪ゲージに
その影響が出るという問題がある。この影響は、計測時
に歪ゲージからの出力に電位的なドリフトとして現れる
ため、高精度の流量測定ができないという問題がある。
また、感度も低いという問題もある。
【０００７】本発明は、かかる問題点に鑑み、流量を高
精度、高感度で安定して計測することができる流量計を
提供することを目的とする。
精度、高感度で安定して計測することができる流量計を
提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の流量計は、流体が搬送される管体と、その
周端が管体に固定され開口を有する弾性板体と、該板体
に取り付けられ該板体の歪量を検出する複数の歪ゲージ
と、該複数の歪ゲージよりの信号を差動増幅し流量に換
算する処理手段とを有する。
に、本発明の流量計は、流体が搬送される管体と、その
周端が管体に固定され開口を有する弾性板体と、該板体
に取り付けられ該板体の歪量を検出する複数の歪ゲージ
と、該複数の歪ゲージよりの信号を差動増幅し流量に換
算する処理手段とを有する。
【０００９】また、前記複数の歪ゲージは、前記板体の
周方向の歪量を検出する１つ以上の周方向歪検出用歪ゲ
ージと、前記板体の径方向の歪量を検出する１つ以上の
径方向歪検出用歪ゲージとからなる。さらに、前記開口
は前記板体のほぼ中心部に設けられると共に、前記周方
向歪検出用歪ゲージは、前記弾性板体の外径と前記開口
の径の平均値の径を有する仮想円より内側に取り付けら
れ、前記径方向歪検出用歪ゲージは、前記弾性板体の外
径と前記開口の径の平均値の径を有する仮想円より外側
に取り付けられる。
周方向の歪量を検出する１つ以上の周方向歪検出用歪ゲ
ージと、前記板体の径方向の歪量を検出する１つ以上の
径方向歪検出用歪ゲージとからなる。さらに、前記開口
は前記板体のほぼ中心部に設けられると共に、前記周方
向歪検出用歪ゲージは、前記弾性板体の外径と前記開口
の径の平均値の径を有する仮想円より内側に取り付けら
れ、前記径方向歪検出用歪ゲージは、前記弾性板体の外
径と前記開口の径の平均値の径を有する仮想円より外側
に取り付けられる。
【００１０】また、前記周方向歪検出用歪ゲージと前記
径方向歪検出用歪ゲージをそれぞれ２個ずつ備えること
とすることができる。
径方向歪検出用歪ゲージをそれぞれ２個ずつ備えること
とすることができる。
【００１１】
【作用】管体を搬送される流体が開口を有する弾性板体
を通過することにより、その上流側と下流側に差圧が発
生する。この差圧によって、弾性板体は差圧の大きさに
比例した歪を生じる。この歪を弾性板体に取り付けた複
数の歪ゲージで検出する。複数の歪ゲージを使用してい
るため、これらの歪ゲージからの信号を差動増幅しさら
に流量に換算する演算を行う。
を通過することにより、その上流側と下流側に差圧が発
生する。この差圧によって、弾性板体は差圧の大きさに
比例した歪を生じる。この歪を弾性板体に取り付けた複
数の歪ゲージで検出する。複数の歪ゲージを使用してい
るため、これらの歪ゲージからの信号を差動増幅しさら
に流量に換算する演算を行う。
【００１２】従って、圧力や温度によるドリフト等のノ
イズを補正し、電気的ノイズを低減することができる。
イズを補正し、電気的ノイズを低減することができる。
【００１３】
【実施例】以下、図を用いて本発明の実施例を説明す
る。図１は本発明の第１実施例の構造を示す断面図であ
る。図１において、流体が搬送される管体１１の中に
は、ほぼ中心部に開口１２ａを有し弾性体材料から形成
されるオリフィス板１２が設けられる。オリフィス板１
２の周端は管体１１に固定されている。オリフィス板１
２の表面には、複数の歪ゲージ１３が貼着されており、
各歪ゲージ１３は、リード線を介して管体１１の側面に
設けられた各端子１５と接続される。端子１５間には、
絶縁板１４が介挿されている。各端子１５は、管体１１
の外側に配置される処理部１７へと接続される。処理部
１７は、詳細にはブリッジ回路１８、増幅回路１９、演
算回路２０及び表示部２１から構成される。尚、１６は
流体シール用のＯリングである。
る。図１は本発明の第１実施例の構造を示す断面図であ
る。図１において、流体が搬送される管体１１の中に
は、ほぼ中心部に開口１２ａを有し弾性体材料から形成
されるオリフィス板１２が設けられる。オリフィス板１
２の周端は管体１１に固定されている。オリフィス板１
２の表面には、複数の歪ゲージ１３が貼着されており、
各歪ゲージ１３は、リード線を介して管体１１の側面に
設けられた各端子１５と接続される。端子１５間には、
絶縁板１４が介挿されている。各端子１５は、管体１１
の外側に配置される処理部１７へと接続される。処理部
１７は、詳細にはブリッジ回路１８、増幅回路１９、演
算回路２０及び表示部２１から構成される。尚、１６は
流体シール用のＯリングである。
【００１４】図２には、オリフィス板１２に歪ゲージ１
３が貼着された状態の一例を示し、図２（ａ）では、オ
リフィス板１２の中心に対して対向する２つの歪ゲージ
を貼着しており、図２（ｂ）では、オリフィス板１２の
同一半径上に２つの歪ゲージを貼着している。一方の歪
ゲージ１３ａは、その歪量検出方向がオリフィス板１２
の円周方向を向くように、また他方の歪ゲージ１３ｂ
は、その歪量検出方向がオリフィス板１２の半径方向を
向くように配置される。さらに、周方向歪検出用歪ゲー
ジ１３ａは、なるべく開口１２ａの近くに、即ち開口１
２ａの径とオリフィス板１２の外径との平均値の径を持
つ円（仮想線で表す）より内側に貼着され、一方径方向
歪検出用歪ゲージ１３ｂは、なるべくオリフィス板１２
の周端の近くに、即ち開口１２ａの径とオリフィス板１
２の外径との平均値の径を持つ仮想円より外側に貼着さ
れると良い。
３が貼着された状態の一例を示し、図２（ａ）では、オ
リフィス板１２の中心に対して対向する２つの歪ゲージ
を貼着しており、図２（ｂ）では、オリフィス板１２の
同一半径上に２つの歪ゲージを貼着している。一方の歪
ゲージ１３ａは、その歪量検出方向がオリフィス板１２
の円周方向を向くように、また他方の歪ゲージ１３ｂ
は、その歪量検出方向がオリフィス板１２の半径方向を
向くように配置される。さらに、周方向歪検出用歪ゲー
ジ１３ａは、なるべく開口１２ａの近くに、即ち開口１
２ａの径とオリフィス板１２の外径との平均値の径を持
つ円（仮想線で表す）より内側に貼着され、一方径方向
歪検出用歪ゲージ１３ｂは、なるべくオリフィス板１２
の周端の近くに、即ち開口１２ａの径とオリフィス板１
２の外径との平均値の径を持つ仮想円より外側に貼着さ
れると良い。
【００１５】歪ゲージ１３は、周知のように一般に樹脂
からなるベース上に薄膜抵抗線が張られており、その歪
によって抵抗線の長さ及びその断面積が変化し、抵抗値
が変化することによって歪を検出するものである。処理
部１７のブリッジ回路１８及び増幅回路１９の回路図を
図３に示す。ブリッジ回路１８は、抵抗Ｒ１、Ｒ２、Ｒ
３、Ｒ４で構成され、抵抗Ｒ１とＲ４及び抵抗Ｒ２とＲ
３の接点には入力電圧ｅが供給される。この中の抵抗Ｒ
１とＲ２又はＲ１とＲ４は、歪ゲージ１３ａと１３ｂに
対応する。増幅回路１９は、周知の差動増幅回路を構成
しており、抵抗Ｒ１とＲ２によって決まる電圧ｅの分圧
と、抵抗Ｒ３とＲ４によって決まる分圧との差電圧を増
幅する。
からなるベース上に薄膜抵抗線が張られており、その歪
によって抵抗線の長さ及びその断面積が変化し、抵抗値
が変化することによって歪を検出するものである。処理
部１７のブリッジ回路１８及び増幅回路１９の回路図を
図３に示す。ブリッジ回路１８は、抵抗Ｒ１、Ｒ２、Ｒ
３、Ｒ４で構成され、抵抗Ｒ１とＲ４及び抵抗Ｒ２とＲ
３の接点には入力電圧ｅが供給される。この中の抵抗Ｒ
１とＲ２又はＲ１とＲ４は、歪ゲージ１３ａと１３ｂに
対応する。増幅回路１９は、周知の差動増幅回路を構成
しており、抵抗Ｒ１とＲ２によって決まる電圧ｅの分圧
と、抵抗Ｒ３とＲ４によって決まる分圧との差電圧を増
幅する。
【００１６】このように構成された流量計において、管
体１１を通過してきた流体がオリフィス板１２を通過す
る際に、その上流側と下流側で差圧ΔＰを発生し、弾性
体オリフィス板１２に作用する。これによってオリフィ
ス板１２に発生する微小な歪を、歪ゲージ１３ａ、１３
ｂが検出する。このときオリフィス板１２に発生する歪
のうち、円周方向の歪量は引張り方向の歪であり、その
絶対値は開口１２ａに近づく程増大するのに対し、半径
方向の歪量は圧縮方向の歪であり、その絶対値はオリフ
ィス板１２の外周に近づく程増大する。一方、図４
（ａ）の実線で示したように、周方向歪検出用歪ゲージ
１３ａと径方向歪検出用歪ゲージ１３ｂの差圧ΔＰに対
する特性の極性は逆であり（図４（ａ））、増幅回路１
９から出力される電圧差Ｅo は、図４（ｂ）で明らかな
ように増大されたものとなる。即ち、差圧ΔＰによる歪
量に対する感度が増大されて出力されることになる。
体１１を通過してきた流体がオリフィス板１２を通過す
る際に、その上流側と下流側で差圧ΔＰを発生し、弾性
体オリフィス板１２に作用する。これによってオリフィ
ス板１２に発生する微小な歪を、歪ゲージ１３ａ、１３
ｂが検出する。このときオリフィス板１２に発生する歪
のうち、円周方向の歪量は引張り方向の歪であり、その
絶対値は開口１２ａに近づく程増大するのに対し、半径
方向の歪量は圧縮方向の歪であり、その絶対値はオリフ
ィス板１２の外周に近づく程増大する。一方、図４
（ａ）の実線で示したように、周方向歪検出用歪ゲージ
１３ａと径方向歪検出用歪ゲージ１３ｂの差圧ΔＰに対
する特性の極性は逆であり（図４（ａ））、増幅回路１
９から出力される電圧差Ｅo は、図４（ｂ）で明らかな
ように増大されたものとなる。即ち、差圧ΔＰによる歪
量に対する感度が増大されて出力されることになる。
【００１７】一方、図４（ａ）の破線で示したように温
度などによる歪ゲージのドリフト及び電気的ノイズがオ
フセットとして現れても、周方向歪検出用歪ゲージ１３
ａと径方向歪検出用歪ゲージ１３ｂとで同極性であるの
で、これらは図４（ｂ）で明らかなように増幅回路１９
にてキャンセルされ、又、増幅回路１９から出力される
差電圧Ｅo は差圧ΔＰに比例したものとなる。従って、
高精度で歪を検出することができる。
度などによる歪ゲージのドリフト及び電気的ノイズがオ
フセットとして現れても、周方向歪検出用歪ゲージ１３
ａと径方向歪検出用歪ゲージ１３ｂとで同極性であるの
で、これらは図４（ｂ）で明らかなように増幅回路１９
にてキャンセルされ、又、増幅回路１９から出力される
差電圧Ｅo は差圧ΔＰに比例したものとなる。従って、
高精度で歪を検出することができる。
【００１８】増幅回路１９からの信号は、演算回路２０
で流量に換算される。即ち、増幅回路１９からの出力を
ｅo とすると、（１）式に代入して流量Ｑは、 Ｑ＝Ｃ1 ＣＡ√（２ｇｅo ／γ） （２） で表される。ここでＣ1 は、ゲージ定数、ヤング率等の
関数である。演算手段２０で求められた流量値は、表示
部２１にて表示される。
で流量に換算される。即ち、増幅回路１９からの出力を
ｅo とすると、（１）式に代入して流量Ｑは、 Ｑ＝Ｃ1 ＣＡ√（２ｇｅo ／γ） （２） で表される。ここでＣ1 は、ゲージ定数、ヤング率等の
関数である。演算手段２０で求められた流量値は、表示
部２１にて表示される。
【００１９】このように本実施例によれば、歪ゲージか
ら出力される電位的ドリフトや電気的ノイズの影響を受
けない高感度、高精度の流量計とすることができる。図
５にオリフィス板上の歪ゲージの別の構成例を示し、図
６にそのブリッジ回路を示す。本例は、歪ゲージを４つ
使用したもので、図２の周方向歪検出用歪ゲージ１３ａ
と径方向歪検出用歪ゲージ１３ｂに加えて、これら歪ゲ
ージのオリフィス板２の中心点と対称な位置に、それぞ
れ周方向歪検出用歪ゲージ１３ｃと径方向歪検出用歪ゲ
ージ１３ｄを貼着したものである。図６において、ブリ
ッジ回路の中の抵抗Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８は、それぞ
れ歪ゲージ１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄに対応す
る。
ら出力される電位的ドリフトや電気的ノイズの影響を受
けない高感度、高精度の流量計とすることができる。図
５にオリフィス板上の歪ゲージの別の構成例を示し、図
６にそのブリッジ回路を示す。本例は、歪ゲージを４つ
使用したもので、図２の周方向歪検出用歪ゲージ１３ａ
と径方向歪検出用歪ゲージ１３ｂに加えて、これら歪ゲ
ージのオリフィス板２の中心点と対称な位置に、それぞ
れ周方向歪検出用歪ゲージ１３ｃと径方向歪検出用歪ゲ
ージ１３ｄを貼着したものである。図６において、ブリ
ッジ回路の中の抵抗Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８は、それぞ
れ歪ゲージ１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄに対応す
る。
【００２０】このように構成することにより、図１及び
図２の実施例のさらに２倍の感度を得ることができる。
次に、図７に図１の他の実施例の断面図、図８はその分
解図を示す。本例では、歪ゲージと端子とをリード線で
接続する代わりに、歪ゲージ１３ｅ、１３ｆをオリフィ
ス板１２に直接一体に形成し、歪ゲージ１３ｅ、１３ｆ
とコネクタ２５とをオリフィス板１２に形成されたプリ
ント配線によって接続したものである。歪ゲージ１３ｅ
は周方向検出用歪ゲージ、歪ゲージ１３ｆは径方向歪検
出用歪ゲージである。
図２の実施例のさらに２倍の感度を得ることができる。
次に、図７に図１の他の実施例の断面図、図８はその分
解図を示す。本例では、歪ゲージと端子とをリード線で
接続する代わりに、歪ゲージ１３ｅ、１３ｆをオリフィ
ス板１２に直接一体に形成し、歪ゲージ１３ｅ、１３ｆ
とコネクタ２５とをオリフィス板１２に形成されたプリ
ント配線によって接続したものである。歪ゲージ１３ｅ
は周方向検出用歪ゲージ、歪ゲージ１３ｆは径方向歪検
出用歪ゲージである。
【００２１】オリフィス板１２はその両側をオリフィス
支持部材２３によって支持される。オリフィス支持部材
２３は、剛性の高い絶縁材料で構成され、オリフィス板
１２をサンドイッチ状に挟み込むべく接着剤、又は融
着、溶着によってオリフィス板１２を固定する。さら
に、オリフィス支持部材２３の両側には、シール部材２
４がサンドイッチ状に挟み込むべく固着される。これら
は組立られた後、管体１１、１１の間に介挿される。
支持部材２３によって支持される。オリフィス支持部材
２３は、剛性の高い絶縁材料で構成され、オリフィス板
１２をサンドイッチ状に挟み込むべく接着剤、又は融
着、溶着によってオリフィス板１２を固定する。さら
に、オリフィス支持部材２３の両側には、シール部材２
４がサンドイッチ状に挟み込むべく固着される。これら
は組立られた後、管体１１、１１の間に介挿される。
【００２２】管体１の外側には、オリフィス板１２上に
形成された端子１２ｂと接触可能なコネクタ２５が接続
され、コネクタ２５は処理部１７へと接続される。以上
のように構成しても、前記実施例と同様に高感度、高精
度の流量測定を行うことができる。又、歪ゲージ、配線
をオリフィス板１２と一体化しているので、計測中の断
線等の故障を防止でき、さらに流体に対する歪ゲージ、
リード線等による影響を少なくできるという効果を有す
る。
形成された端子１２ｂと接触可能なコネクタ２５が接続
され、コネクタ２５は処理部１７へと接続される。以上
のように構成しても、前記実施例と同様に高感度、高精
度の流量測定を行うことができる。又、歪ゲージ、配線
をオリフィス板１２と一体化しているので、計測中の断
線等の故障を防止でき、さらに流体に対する歪ゲージ、
リード線等による影響を少なくできるという効果を有す
る。
【００２３】尚、以上の実施例ではオリフィス板１２の
片面に歪ゲージを取り付けた例について説明したが、オ
リフィス板１２の両面に歪ゲージを取り付けることも可
能である。このように、上記各実施例による流量計によ
れば、従来の差圧式流量計に比べ導圧管や差圧計を必要
としないので、小型化を図ることができる。また、歪ゲ
ージを複数設けることは１枚だけ貼着するのに比べて、
圧力や温度によるドリフト等のノイズを補正し、電気的
ノイズを低減することができるため、高精度の計測を行
うことができる。従って、測定ノイズに強く、圧送され
る流体の内圧に関係なく流量を電気的に計測することが
できる。
片面に歪ゲージを取り付けた例について説明したが、オ
リフィス板１２の両面に歪ゲージを取り付けることも可
能である。このように、上記各実施例による流量計によ
れば、従来の差圧式流量計に比べ導圧管や差圧計を必要
としないので、小型化を図ることができる。また、歪ゲ
ージを複数設けることは１枚だけ貼着するのに比べて、
圧力や温度によるドリフト等のノイズを補正し、電気的
ノイズを低減することができるため、高精度の計測を行
うことができる。従って、測定ノイズに強く、圧送され
る流体の内圧に関係なく流量を電気的に計測することが
できる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、流体が搬送される管体と、その周端が管体に固定さ
れ開口を有する弾性板体と、該板体に取り付けられ該板
体の歪量を検出する複数の歪ゲージと、該複数の歪ゲー
ジよりの信号を差動増幅し流量に換算する処理手段とを
有することとしたので、高感度で高精度の流量計測を行
うことができる。
ば、流体が搬送される管体と、その周端が管体に固定さ
れ開口を有する弾性板体と、該板体に取り付けられ該板
体の歪量を検出する複数の歪ゲージと、該複数の歪ゲー
ジよりの信号を差動増幅し流量に換算する処理手段とを
有することとしたので、高感度で高精度の流量計測を行
うことができる。
【図１】本発明の第１実施例の構造を示す断面図であ
る。
る。
【図２】図１のオリフィス板に歪ゲージが貼着された状
態を示すオリフィス板の平面図である。
態を示すオリフィス板の平面図である。
【図３】図１の処理部のブリッジ回路と増幅回路の回路
図である。
図である。
【図４】図４（ａ）は歪ゲージの圧力に対する検出歪量
の関係を示す図であり、図４（ｂ）は増幅回路の圧力に
対する出力電圧を示す図である。
の関係を示す図であり、図４（ｂ）は増幅回路の圧力に
対する出力電圧を示す図である。
【図５】オリフィス板上の歪ゲージの別の構成例を示す
オリフィス板の平面図である。
オリフィス板の平面図である。
【図６】図５のブリッジ回路の回路図である。
【図７】本発明の他の実施例の断面図である。
【図８】図７の分解図である。
【図９】従来の差圧式流量計の断面図である。
１１ 管体 １２ オリフィス板 １２ａ 開口 １３ 歪ゲージ １３ａ 周方向歪検出用歪ゲージ １３ｂ 径方向歪検出用歪ゲージ １３ｃ 周方向歪検出用歪ゲージ １３ｄ 径方向歪検出用歪ゲージ １３ｅ 周方向歪検出用歪ゲージ １３ｆ 径方向歪検出用歪ゲージ １７ 処理部
Claims (4)
- 【請求項１】 流体が搬送される管体と、その周端が管
体に固定され開口を有する弾性板体と、該板体に取り付
けられ該板体の歪量を検出する複数の歪ゲージと、該複
数の歪ゲージよりの信号を差動増幅し流量に換算する処
理手段とを有することを特徴とする流量計。 - 【請求項２】 前記複数の歪ゲージは、前記板体の周方
向の歪量を検出する１つ以上の周方向歪検出用歪ゲージ
と、前記板体の径方向の歪量を検出する１つ以上の径方
向歪検出用歪ゲージとからなることを特徴とする請求項
１記載の流量計。 - 【請求項３】 前記開口は前記板体のほぼ中心部に設け
られると共に、前記周方向歪検出用歪ゲージは、前記弾
性板体の外径と前記開口の径の平均値の径を有する仮想
円より内側に取り付けられ、前記径方向歪検出用歪ゲー
ジは、前記弾性板体の外径と前記開口の径の平均値の径
を有する仮想円より外側に取り付けられることを特徴と
する請求項２記載の流量計。 - 【請求項４】 前記周方向歪検出用歪ゲージと前記径方
向歪検出用歪ゲージをそれぞれ２個ずつ備えることを特
徴とする請求項２又は３記載の流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1734693A JPH06229793A (ja) | 1993-02-04 | 1993-02-04 | 流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1734693A JPH06229793A (ja) | 1993-02-04 | 1993-02-04 | 流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06229793A true JPH06229793A (ja) | 1994-08-19 |
Family
ID=11941493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1734693A Pending JPH06229793A (ja) | 1993-02-04 | 1993-02-04 | 流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06229793A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19758462C2 (de) * | 1997-04-22 | 2000-11-30 | Fraunhofer Ges Forschung | Dosiervorrichtungselement |
| JP2001208510A (ja) * | 2000-01-28 | 2001-08-03 | Denso Corp | 回転角検出装置 |
| DE19521381C2 (de) * | 1995-06-12 | 2003-04-03 | Hydrotechnik Gmbh | Volumenstrommeßgerät |
| JP2010270788A (ja) * | 2009-05-19 | 2010-12-02 | Akebono Brake Ind Co Ltd | ディスクブレーキ |
-
1993
- 1993-02-04 JP JP1734693A patent/JPH06229793A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19521381C2 (de) * | 1995-06-12 | 2003-04-03 | Hydrotechnik Gmbh | Volumenstrommeßgerät |
| DE19758462C2 (de) * | 1997-04-22 | 2000-11-30 | Fraunhofer Ges Forschung | Dosiervorrichtungselement |
| DE19758463C2 (de) * | 1997-04-22 | 2000-12-07 | Fraunhofer Ges Forschung | Dosiervorrichtung |
| US6253605B1 (en) | 1997-04-22 | 2001-07-03 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Semiconductive flow proportioner |
| US6443014B1 (en) | 1997-04-22 | 2002-09-03 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E. V. | Proportioner |
| JP2001208510A (ja) * | 2000-01-28 | 2001-08-03 | Denso Corp | 回転角検出装置 |
| JP2010270788A (ja) * | 2009-05-19 | 2010-12-02 | Akebono Brake Ind Co Ltd | ディスクブレーキ |
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