JP2976586B2 - カルマン渦流量計 - Google Patents
カルマン渦流量計Info
- Publication number
- JP2976586B2 JP2976586B2 JP3136884A JP13688491A JP2976586B2 JP 2976586 B2 JP2976586 B2 JP 2976586B2 JP 3136884 A JP3136884 A JP 3136884A JP 13688491 A JP13688491 A JP 13688491A JP 2976586 B2 JP2976586 B2 JP 2976586B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flange
- piezoelectric element
- karman vortex
- side wall
- balance weight
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、カルマン渦によって
渦発生体に作用する交番力を渦信号として取り出して流
体の流速流量を測定する流量計であって、とくに振動や
衝撃の影響を補償するとともに、圧電素子をダイヤフラ
ムに固定するときの作業性，耐熱性の向上を図ったカル
マン渦流量計に関する。
渦発生体に作用する交番力を渦信号として取り出して流
体の流速流量を測定する流量計であって、とくに振動や
衝撃の影響を補償するとともに、圧電素子をダイヤフラ
ムに固定するときの作業性，耐熱性の向上を図ったカル
マン渦流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来例について、その要部の断面図であ
る図３を参照しながら説明する。図３において、従来例
の要部は、概略的に言えば、管路１の側壁にネジ固定さ
れる基台２と、この基台２にネジ固定される検出体３と
からなる。基台２は主として、管路１の側壁外周への固
定部としての基板２a と、基板２a の中心にある突出部
で側壁に嵌挿される支承部２b と、この支承部２b から
管路１の内部に突出するカルマン渦発生支援用の柱状体
２c と、この柱状体２c の先端に位置し管路１の側壁の
対向箇所に嵌挿される支承部２d とからなる。各支承部
２b,２d の、管路１の側壁への嵌挿は、柱状体２c に対
する防振のために各Ｏリング５，６を介してなされる。
る図３を参照しながら説明する。図３において、従来例
の要部は、概略的に言えば、管路１の側壁にネジ固定さ
れる基台２と、この基台２にネジ固定される検出体３と
からなる。基台２は主として、管路１の側壁外周への固
定部としての基板２a と、基板２a の中心にある突出部
で側壁に嵌挿される支承部２b と、この支承部２b から
管路１の内部に突出するカルマン渦発生支援用の柱状体
２c と、この柱状体２c の先端に位置し管路１の側壁の
対向箇所に嵌挿される支承部２d とからなる。各支承部
２b,２d の、管路１の側壁への嵌挿は、柱状体２c に対
する防振のために各Ｏリング５，６を介してなされる。
【０００３】検出体３は主として、基板２a の表面にネ
ジ固定されるフランジ部３a と、このフランジ部３a か
ら管路１の内部側に伸びる支柱部３b と、カルマン渦発
生体としての柱状体３c と、この柱状体３c の先端に位
置し基台２の支承部２d の中心部にＯリング７を介して
嵌挿される支承部３d と、フランジ部３a から管路１の
外方に伸びる支柱部３e と、支柱部３e の先端部に位置
調整可能に固定されるウェイト３f とからなる。検出体
３を構成する前記の各部分は全て同軸である。なお、Ｏ
リング７は、柱状体３c に対する防振用である。また、
フランジ部３aは、発明におけるダイヤフラムとしての
フランジに相当する。
ジ固定されるフランジ部３a と、このフランジ部３a か
ら管路１の内部側に伸びる支柱部３b と、カルマン渦発
生体としての柱状体３c と、この柱状体３c の先端に位
置し基台２の支承部２d の中心部にＯリング７を介して
嵌挿される支承部３d と、フランジ部３a から管路１の
外方に伸びる支柱部３e と、支柱部３e の先端部に位置
調整可能に固定されるウェイト３f とからなる。検出体
３を構成する前記の各部分は全て同軸である。なお、Ｏ
リング７は、柱状体３c に対する防振用である。また、
フランジ部３aは、発明におけるダイヤフラムとしての
フランジに相当する。
【０００４】さて、図４は図３におけるＡ−Ａ断面図で
あり、同図に示すように、基台２の柱状体２c は、その
断面が等辺三角形で、検出体３の柱状体３c は、その断
面が等辺台形である。柱状体２c の断面の等辺三角形の
底辺と、柱状体３c の断面の等辺台形の長底辺とは、ほ
ぼ同じ長さで近接対向している。これら各柱状体２c,３
c は広義のカルマン渦発生体を構成し、柱状体３c が渦
発生の主部に、柱状体２c が渦発生を支援する副部に相
当する。なお、矢印Ｑは流れ方向を示す。
あり、同図に示すように、基台２の柱状体２c は、その
断面が等辺三角形で、検出体３の柱状体３c は、その断
面が等辺台形である。柱状体２c の断面の等辺三角形の
底辺と、柱状体３c の断面の等辺台形の長底辺とは、ほ
ぼ同じ長さで近接対向している。これら各柱状体２c,３
c は広義のカルマン渦発生体を構成し、柱状体３c が渦
発生の主部に、柱状体２c が渦発生を支援する副部に相
当する。なお、矢印Ｑは流れ方向を示す。
【０００５】ここで重要なことは、主な渦発生体として
の柱状体３c が、外部の振動や衝撃（以下、単に外部振
動という）を受けたときの慣性力によるフランジ部３a
の箇所に関する曲げモーメント（以下、慣性曲げモーメ
ントという）と、支柱部３eおよびウェイト３f が、同
じ外部振動を受けたときのフランジ部３a の箇所に関す
る慣性曲げモーメントとが、互いに同じ大きさで逆方向
になるように構成される点である。なお、支柱部３e お
よびウェイト３f が、発明におけるバランスウェイトに
相当する。言いかえれば、前記の条件が成り立つよう
に、予め概略的に決められた寸法，重さのウェイト３f
が微細に位置調整されるわけである。したがって、支柱
部３b および主な渦発生体としての柱状体３c が外部振
動を受けたときのフランジ部３a の箇所に関する慣性曲
げモーメントは、バランスウェイトとしての支柱部３e
およびウェイト３f が同じ外部振動を受けたときのフラ
ンジ部３a の箇所に関する慣性曲げモーメントによって
相殺される。
の柱状体３c が、外部の振動や衝撃（以下、単に外部振
動という）を受けたときの慣性力によるフランジ部３a
の箇所に関する曲げモーメント（以下、慣性曲げモーメ
ントという）と、支柱部３eおよびウェイト３f が、同
じ外部振動を受けたときのフランジ部３a の箇所に関す
る慣性曲げモーメントとが、互いに同じ大きさで逆方向
になるように構成される点である。なお、支柱部３e お
よびウェイト３f が、発明におけるバランスウェイトに
相当する。言いかえれば、前記の条件が成り立つよう
に、予め概略的に決められた寸法，重さのウェイト３f
が微細に位置調整されるわけである。したがって、支柱
部３b および主な渦発生体としての柱状体３c が外部振
動を受けたときのフランジ部３a の箇所に関する慣性曲
げモーメントは、バランスウェイトとしての支柱部３e
およびウェイト３f が同じ外部振動を受けたときのフラ
ンジ部３a の箇所に関する慣性曲げモーメントによって
相殺される。
【０００６】図６(b) は以上のことを示す模式図で、同
図において、フランジ部３a の箇所に関する慣性曲げモ
ーメントＭ1 は、支柱部３b,柱状部３c に係る矢印表示
した各部の慣性力によるもの、同じくその慣性モーメン
トＭ2 は、支柱部３e,ウェイト３f に係る矢印表示した
各部の慣性力によるものであって、各慣性モーメントＭ
1,Ｍ2 は大きさが同じで方向が逆になる。なお、図６
(a) は柱状部３c の各部に作用する矢印表示したカルマ
ン渦による力（渦力）の、フランジ部３a の箇所に関す
る曲げモーメントＭの模式図である。その結果、フラン
ジ部３a に固着された圧電素子４の出力は、外部振動の
影響が除去されてカルマン渦の振動数だけに対応した周
波数になる。
図において、フランジ部３a の箇所に関する慣性曲げモ
ーメントＭ1 は、支柱部３b,柱状部３c に係る矢印表示
した各部の慣性力によるもの、同じくその慣性モーメン
トＭ2 は、支柱部３e,ウェイト３f に係る矢印表示した
各部の慣性力によるものであって、各慣性モーメントＭ
1,Ｍ2 は大きさが同じで方向が逆になる。なお、図６
(a) は柱状部３c の各部に作用する矢印表示したカルマ
ン渦による力（渦力）の、フランジ部３a の箇所に関す
る曲げモーメントＭの模式図である。その結果、フラン
ジ部３a に固着された圧電素子４の出力は、外部振動の
影響が除去されてカルマン渦の振動数だけに対応した周
波数になる。
【０００７】再び図３に戻り、４は圧電素子であり、フ
ランジ部３a の上面に支柱部３e を貫通させる形で接着
される。圧電素子４は、その表面図である図５(a) と、
その裏面図である図５(b) とに示したように、圧電物質
を中間に挟む形で構成され、ハッチング表示された各電
極４a,４b,４c,４d からなる。各電極４a,４b は、柱状
部３c と管路１との各軸線を含む平面、つまりＸ−Ｘを
含む紙面に直角な平面に関して対称に配置された二つの
分電極で、外側の表面に固着される。また電極４d は、
分電極である各電極４a,４b に対応する一つの共通電極
で、内側の表面に固着される。なお、図５(a) における
外側の表面に固着される電極４c は、共通電極である電
極４d と一体化されて出力取出し部の役目をする。出力
取出しは、内側の電極４d の部分からは困難なので、電
気的に等価な外側の電極４c からおこなうわけである。
このようにして出力信号は、各電極４a,４b と、電極４
cを介して電極４d との間からそれぞれ取り出される。
ランジ部３a の上面に支柱部３e を貫通させる形で接着
される。圧電素子４は、その表面図である図５(a) と、
その裏面図である図５(b) とに示したように、圧電物質
を中間に挟む形で構成され、ハッチング表示された各電
極４a,４b,４c,４d からなる。各電極４a,４b は、柱状
部３c と管路１との各軸線を含む平面、つまりＸ−Ｘを
含む紙面に直角な平面に関して対称に配置された二つの
分電極で、外側の表面に固着される。また電極４d は、
分電極である各電極４a,４b に対応する一つの共通電極
で、内側の表面に固着される。なお、図５(a) における
外側の表面に固着される電極４c は、共通電極である電
極４d と一体化されて出力取出し部の役目をする。出力
取出しは、内側の電極４d の部分からは困難なので、電
気的に等価な外側の電極４c からおこなうわけである。
このようにして出力信号は、各電極４a,４b と、電極４
cを介して電極４d との間からそれぞれ取り出される。
【０００8 】しかも、図５(a),(b) を参照しながら説明
したように、圧電素子４からは、図４に示した柱状体３
c に作用する、この柱状体３c の軸線と流れ方向Ｑとに
直角なＹ−Ｙ方向（揚力方向）の交番力だけ、言いかえ
れば、流体の流速流量だけに対応する出力信号が、周知
の電子回路によって２倍される形で取り出されることに
なる。このことは測定の感度，精度の向上に役立つ。
したように、圧電素子４からは、図４に示した柱状体３
c に作用する、この柱状体３c の軸線と流れ方向Ｑとに
直角なＹ−Ｙ方向（揚力方向）の交番力だけ、言いかえ
れば、流体の流速流量だけに対応する出力信号が、周知
の電子回路によって２倍される形で取り出されることに
なる。このことは測定の感度，精度の向上に役立つ。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】さて従来例では、圧電
素子４をフランジ部３a の表面に固定するのに、接着方
式がとられた。接着方式は、小さい部品ではあるし、加
圧し加熱するため、作業性が悪く、工数もかかりコスト
も増す。また、有機系の接着剤を用いることが多いの
で、高温の流体を測定する場合には、接着剤の剛性が低
下し、感度が低くなるという問題も起こす。要するに、
耐熱性の点で種々問題がある。
素子４をフランジ部３a の表面に固定するのに、接着方
式がとられた。接着方式は、小さい部品ではあるし、加
圧し加熱するため、作業性が悪く、工数もかかりコスト
も増す。また、有機系の接着剤を用いることが多いの
で、高温の流体を測定する場合には、接着剤の剛性が低
下し、感度が低くなるという問題も起こす。要するに、
耐熱性の点で種々問題がある。
【００１０】この発明の課題は、従来の技術がもつ以上
の問題点を解消し、振動や衝撃の影響を補償するととも
に、圧電素子をダイヤフラムに固定するときの作業性，
耐熱性の向上を図るカルマン渦流量計を提供することに
ある。
の問題点を解消し、振動や衝撃の影響を補償するととも
に、圧電素子をダイヤフラムに固定するときの作業性，
耐熱性の向上を図るカルマン渦流量計を提供することに
ある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に、請求項１に係るカルマン渦流量計は、被測定流体が
流れる管路の側壁の表面に固定されるダイヤフラムとし
てのフランジと；このフランジの前記側壁表面からこの
側壁を貫通して前記管路の内部に伸びる形で設けられる
渦発生体と；前記フランジの前記側壁とは逆側に設けら
れるバランスウェイトと；このバランスウェイトによっ
て前記フランジにネジ固定される圧電素子と；を有する
検出体を備え、前記渦発生体が外部振動を受けたときの
前記フランジの箇所に関する慣性曲げモーメントと、前
記バランスウェイトが前記外部振動を受けたときの前記
フランジの箇所に関する慣性曲げモーメントとが互いに
同じ大きさで逆方向になるとともに、前記圧電素子の出
力に基づいて前記被測定流体の流速流量が測定される構
成にしたことを特徴とするカルマン渦流量計。請求項２
に係るカルマン渦流量計は、請求項１に記載の流量計に
おいて、圧電素子のフランジへのネジ固定が、このフラ
ンジ側おネジ部とナットとしてのバランスウェイトとの
弾性座金を介してのネジ締結による。請求項３に係るカ
ルマン渦流量計は、請求項１または２に記載の流量計に
おいて、圧電素子が、本体と、その各電極を引き出すた
めの電極リードとからなり、これらの各対応電極がネジ
締結によって当接する構成である。
に、請求項１に係るカルマン渦流量計は、被測定流体が
流れる管路の側壁の表面に固定されるダイヤフラムとし
てのフランジと；このフランジの前記側壁表面からこの
側壁を貫通して前記管路の内部に伸びる形で設けられる
渦発生体と；前記フランジの前記側壁とは逆側に設けら
れるバランスウェイトと；このバランスウェイトによっ
て前記フランジにネジ固定される圧電素子と；を有する
検出体を備え、前記渦発生体が外部振動を受けたときの
前記フランジの箇所に関する慣性曲げモーメントと、前
記バランスウェイトが前記外部振動を受けたときの前記
フランジの箇所に関する慣性曲げモーメントとが互いに
同じ大きさで逆方向になるとともに、前記圧電素子の出
力に基づいて前記被測定流体の流速流量が測定される構
成にしたことを特徴とするカルマン渦流量計。請求項２
に係るカルマン渦流量計は、請求項１に記載の流量計に
おいて、圧電素子のフランジへのネジ固定が、このフラ
ンジ側おネジ部とナットとしてのバランスウェイトとの
弾性座金を介してのネジ締結による。請求項３に係るカ
ルマン渦流量計は、請求項１または２に記載の流量計に
おいて、圧電素子が、本体と、その各電極を引き出すた
めの電極リードとからなり、これらの各対応電極がネジ
締結によって当接する構成である。
【００１２】
【作用】請求項１ないし３のいずれかに係るカルマン渦
流量計では、渦発生体が外部振動を受けたときのフラン
ジの箇所に関する慣性曲げモーメントが、バランスウェ
イトが外部振動を受けたときのそれによって相殺される
から、たとえば請求項２のように、ナットとしてのバラ
ンスウェイトによりフランジにネジ固定された圧電素子
の出力は、外部振動の影響が除去されてカルマン渦の振
動数だけに対応する周波数になる。
流量計では、渦発生体が外部振動を受けたときのフラン
ジの箇所に関する慣性曲げモーメントが、バランスウェ
イトが外部振動を受けたときのそれによって相殺される
から、たとえば請求項２のように、ナットとしてのバラ
ンスウェイトによりフランジにネジ固定された圧電素子
の出力は、外部振動の影響が除去されてカルマン渦の振
動数だけに対応する周波数になる。
【００１３】
【実施例】本発明に係るカルマン渦流量計の実施例につ
いて、以下に図を参照しながら説明する。実施例が従来
例と異なる点は、圧電素子の構造と固定方式とにある。
その外については従来例と同様であるから、説明を省略
する。図１は実施例の要部の断面図、図２は同じくその
電極リードの表面図である。図１において、検出体８
は、その本体を構成するフランジ部８a 、各支柱部８b,
８e およびネジ部８fと、支柱部８e に嵌挿しながらフ
ランジ部８a の表面に順次積み重ねていく次の部品、す
なわち絶縁板１１、圧電素子４、電極リード９、押さえ
板１２および皿バネ１３と、終わりにネジ部８f に嵌め
て全体をネジ締結するウェイト１０とからなる。なお、
ウェイト１０は、支柱部８e とネジ部８f との段差部に
突き当たるように完全に締め付ける必要がある。なお、
ウェイトは、実施例におけるように、ナットとして構成
する代わりに、おネジの頭部として構成し、フランジ側
にネジ込む方式にすることもできる。なお、図１におい
て、従来例における検出体３の柱状部３c 、支承部３d
に相当する柱状部８c 、支承部８d の図示は省略してあ
る。
いて、以下に図を参照しながら説明する。実施例が従来
例と異なる点は、圧電素子の構造と固定方式とにある。
その外については従来例と同様であるから、説明を省略
する。図１は実施例の要部の断面図、図２は同じくその
電極リードの表面図である。図１において、検出体８
は、その本体を構成するフランジ部８a 、各支柱部８b,
８e およびネジ部８fと、支柱部８e に嵌挿しながらフ
ランジ部８a の表面に順次積み重ねていく次の部品、す
なわち絶縁板１１、圧電素子４、電極リード９、押さえ
板１２および皿バネ１３と、終わりにネジ部８f に嵌め
て全体をネジ締結するウェイト１０とからなる。なお、
ウェイト１０は、支柱部８e とネジ部８f との段差部に
突き当たるように完全に締め付ける必要がある。なお、
ウェイトは、実施例におけるように、ナットとして構成
する代わりに、おネジの頭部として構成し、フランジ側
にネジ込む方式にすることもできる。なお、図１におい
て、従来例における検出体３の柱状部３c 、支承部３d
に相当する柱状部８c 、支承部８d の図示は省略してあ
る。
【００１４】ここで、電極リード９は、圧電素子４の各
電極を引き出すもので、図２に示すように、図５(a) に
おける圧電素子４の表面側に対向する表面に、各接触膜
９a,９b,９c と保護膜９d が設けられる。各接触膜９a,
９b,９c は、ウェイト１０でネジ締結されたとき圧電素
子４の各電極４a,４b,４c と接触して電気的に接続さ
れ、保護膜９d は、引き出される各接触膜９a,９b,９c
を被覆し保護する。このように、実施例では、圧電素子
４のフランジ部８a への固定と、圧電素子４の各電極の
引出しとが同時におこなわれ、組立作業が簡単かつ迅速
にできる。しかも皿バネ１３の弾性変位によって、高温
による各部の熱膨脹や、急激な温度変化に基づく各部の
熱膨脹差が、吸収されて計器感度への影響が抑えられ
る。
電極を引き出すもので、図２に示すように、図５(a) に
おける圧電素子４の表面側に対向する表面に、各接触膜
９a,９b,９c と保護膜９d が設けられる。各接触膜９a,
９b,９c は、ウェイト１０でネジ締結されたとき圧電素
子４の各電極４a,４b,４c と接触して電気的に接続さ
れ、保護膜９d は、引き出される各接触膜９a,９b,９c
を被覆し保護する。このように、実施例では、圧電素子
４のフランジ部８a への固定と、圧電素子４の各電極の
引出しとが同時におこなわれ、組立作業が簡単かつ迅速
にできる。しかも皿バネ１３の弾性変位によって、高温
による各部の熱膨脹や、急激な温度変化に基づく各部の
熱膨脹差が、吸収されて計器感度への影響が抑えられ
る。
【００１５】
【発明の効果】請求項１ないし３のいずれかに係るカル
マン渦流量計では、渦発生体が外部振動を受けたときの
フランジの箇所に関する慣性曲げモーメントが、バラン
スウェイトが外部振動を受けたときのそれによって相殺
されるから、フランジにネジ固定された圧電素子の出力
は、外部振動の影響が除去されてカルマン渦の振動数だ
けに対応する周波数になる。したがって、作業性の向
上とともに、圧電素子固定部の耐熱性の向上、特に
請求項２によれば、高温による各部の熱膨脹や、急激な
温度変化に基づく各部の熱膨脹差が、弾性座金の変位で
吸収されて計器感度への影響が抑えられ、特に請求項
３によれば、圧電素子の各電極の引出しが容易，迅速に
できる──などの効果がある。なお、従来例における効
果の、振動や衝撃の影響を受けない正確な流速流量を測
定することができること；実流調整が不要になるから、
調整作業の面倒さが省け、コスト低減が図れること；圧
電素子出力が流速流量だけに対応するから、振動補償用
の電子回路が不要になるなど流量計の構造が簡単にな
り、高信頼性と低コスト化が図れること；などはそのま
ま維持される。
マン渦流量計では、渦発生体が外部振動を受けたときの
フランジの箇所に関する慣性曲げモーメントが、バラン
スウェイトが外部振動を受けたときのそれによって相殺
されるから、フランジにネジ固定された圧電素子の出力
は、外部振動の影響が除去されてカルマン渦の振動数だ
けに対応する周波数になる。したがって、作業性の向
上とともに、圧電素子固定部の耐熱性の向上、特に
請求項２によれば、高温による各部の熱膨脹や、急激な
温度変化に基づく各部の熱膨脹差が、弾性座金の変位で
吸収されて計器感度への影響が抑えられ、特に請求項
３によれば、圧電素子の各電極の引出しが容易，迅速に
できる──などの効果がある。なお、従来例における効
果の、振動や衝撃の影響を受けない正確な流速流量を測
定することができること；実流調整が不要になるから、
調整作業の面倒さが省け、コスト低減が図れること；圧
電素子出力が流速流量だけに対応するから、振動補償用
の電子回路が不要になるなど流量計の構造が簡単にな
り、高信頼性と低コスト化が図れること；などはそのま
ま維持される。
【図１】本発明に係る実施例の要部の断面図
【図２】この実施例における電極リードの表面図
【図３】従来例の断面図
【図４】図３におけるＡ−Ａ断面図
【図５】従来例における圧電素子に関し、(a) はその表
面図、(b)はその裏面図
面図、(b)はその裏面図
【図６】従来例において作用する曲げモーメントに関
し、(a) は渦力による曲げモーメントの模式図、(b) は
外部振動による慣性曲げモーメントの模式図
し、(a) は渦力による曲げモーメントの模式図、(b) は
外部振動による慣性曲げモーメントの模式図
１ 管路 ４ 圧電素子 ８ 検出体 ８ａ フランジ部 ８ｂ 支柱部 ８ｅ 支柱部 ８ｆ ネジ部 ９ 電極リード ９ａ，９ｂ，９ｃ 接触膜 ９ｄ 保護膜 １０ ウェイト １１ 絶縁板 １２ 押さえ板 １３ 皿バネ
Claims (3)
- 【請求項１】被測定流体が流れる管路の側壁の表面に固
定されるダイヤフラムとしてのフランジと；このフラン
ジの前記側壁表面からこの側壁を貫通して前記管路の内
部に伸びる形で設けられる渦発生体と；前記フランジの
前記側壁とは逆側に設けられるバランスウェイトと；こ
のバランスウェイトによって前記フランジにネジ固定さ
れる圧電素子と；を有する検出体を備え、前記渦発生体
が外部振動を受けたときの前記フランジの箇所に関する
慣性曲げモーメントと、前記バランスウェイトが前記外
部振動を受けたときの前記フランジの箇所に関する慣性
曲げモーメントとが互いに同じ大きさで逆方向になると
ともに、前記圧電素子の出力に基づいて前記被測定流体
の流速流量が測定される構成にしたことを特徴とするカ
ルマン渦流量計。 - 【請求項２】請求項１に記載の流量計において、圧電素
子のフランジへのネジ固定は、このフランジ側おネジ部
とナットとしてのバランスウェイトとの弾性座金を介し
てのネジ締結によることを特徴とするカルマン渦流量
計。 - 【請求項３】請求項１または２に記載の流量計におい
て、圧電素子は、本体と、その各電極を引き出すための
電極リードとからなり、これらの各対応電極がネジ締結
によって当接する構成にしたことを特徴とするカルマン
渦流量計。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3136884A JP2976586B2 (ja) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | カルマン渦流量計 |
| US07/865,208 US5313843A (en) | 1990-01-29 | 1992-04-08 | Karman vortex flow meter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3136884A JP2976586B2 (ja) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | カルマン渦流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04361120A JPH04361120A (ja) | 1992-12-14 |
| JP2976586B2 true JP2976586B2 (ja) | 1999-11-10 |
Family
ID=15185803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3136884A Expired - Fee Related JP2976586B2 (ja) | 1990-01-29 | 1991-06-10 | カルマン渦流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2976586B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100697347B1 (ko) * | 2005-08-31 | 2007-03-20 | 화천기공 주식회사 | 공작기계용 이송체 이송장치 |
| DE102022105199A1 (de) * | 2022-03-04 | 2023-09-07 | Endress+Hauser Flowtec Ag | Sensor sowie damit gebildetes Meßsystem |
-
1991
- 1991-06-10 JP JP3136884A patent/JP2976586B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04361120A (ja) | 1992-12-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2925319B2 (ja) | フロースルーの測定能力を装備した圧力トランスジューサ | |
| US4258565A (en) | Force detector | |
| US4074565A (en) | Vibratory-wire strain gage | |
| US20060173639A1 (en) | Precise pressure measurement by vibrating an oval conduit along different cross-sectional axes | |
| JPH08233852A (ja) | 半導体装置 | |
| JP2976586B2 (ja) | カルマン渦流量計 | |
| JP3598297B2 (ja) | Ｆｂｇ式変換器における温度補償構造 | |
| US4410825A (en) | Piezoelectric pressure transducer with threaded damper bar | |
| US6450032B1 (en) | Vibrating beam force sensor having improved producibility | |
| US7584665B2 (en) | Combustion transducer apparatus employing pressure restriction means | |
| US5197336A (en) | Karman vortex flow meter | |
| US5313843A (en) | Karman vortex flow meter | |
| JP2976592B2 (ja) | カルマン渦流量計 | |
| JP2929731B2 (ja) | カルマン渦流量計及びその製造方法 | |
| JP3123307B2 (ja) | カルマン渦流量計 | |
| Willmarth | Unsteady force and pressure measurements | |
| JPS6032808B2 (ja) | 流速流量測定装置 | |
| JPH04204060A (ja) | 半導体加速度検出装置 | |
| JPH0545191A (ja) | カルマン渦流量計 | |
| Schiffer et al. | A new height-adjustable aeroMEMS surface fence probe fabricated in SOI technology for high resolution wall shear stress measurement in turbulent flows | |
| JPH03238322A (ja) | カルマン渦流量計 | |
| RU2160428C2 (ru) | Пьезопленочный датчик многократного применения для измерения динамических деформаций | |
| Handbook | Pressure & Temperature Measurement | |
| JPS62211526A (ja) | 曲げモ−メントが生じないように分割された板ばねを有する、力又は圧力を受容するための機構 | |
| JP3114401B2 (ja) | カルマン渦流量計 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070910 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080910 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080910 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090910 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |