KR920002274Y1 - 와 유량계 - Google Patents

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아끼노리 아까자와
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미쓰비시전기 주식회사
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Abstract

내용 없음.

Description

와 유량계
제 1 도 및 제 2 도는 이 고안에 의한 와유량계의 종단정면도 및 종단측면도.
제 3 도 및 제 4 도는 이 고안에 의한 와압력검출기(渦壓力檢出器)의 종단정면도 및 종단측면도.
제 5 도 및 제 6 도는 이 고안에 의한 와압력검출기의 다른 위치에서의 종단측면도.
제 7 도는 본 고안에 의한 와유량계의 전기회로도의 한 예이고,
제 8 도는 이 고안에 의한 와유량계의 전기회로도의 예이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 피측정유체 2 : 도관
3 : 와 발생체 4 : 카르만와(Karman 渦)
5, 6 : 압력취득구 81 : 제1의 압력실
82 : 제2의 압력실 83 : 제3의 압력실
84 : 제4의 압력실 85, 86 : 도관
87a, 87b : 다이어프램 101, 102 : 브리지회로
105 : 가변차동증폭회로
본 고안은, 두개의 다이어프램이 신호출력에는 화동(和動), 노이즈에는 차동(差動)으로 작동하고, 또 노이즈출력의 차를 영으로 하도록 고안된 와유량계에 관한 것이다.
와압력검출에는 여러가지 방식이 있으나, 와압력을 좌우의 양쪽방으로 인도하여, 이 좌우 방의 격벽에 다이어프램을 설치하여 와압력을 차압으로 검출하는 유량계는, 예컨대, 일본국 특공소 50-3677호, 일본국 실공소 54-3725호의 각 공보에 실려있다.
이와같은 종래의 유량계에 있어서, 미유량영역에서의 와압을 검출하고자 할때는 다이어프램을 지극히 고감도화 시키지 않으면 안되나, 이와같이 고감도화시키면 와압 이외의 다이어프램에 인가되는 힘, 예를들어 진동 같은것에도 응동해 버리는 문제점이 있었다.
본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결키 위하여 이루어진 것이고 미소한 와압을 생성하는 미유량의 계측이 가능함과 동시에 내진성이 높은 와유량계를 얻음을 목적으로 하고있다.
본 고안에 관한 와유량계는, 유체가 흐르는 도관내에 놓인 와발생체의 하류쪽 양측에 만들어진 제1 및 제2의 압력취득구와, 제1의 압력취구와 제1 및 제4의 압력실을 연통시키는 제1의 도입관과, 제2의 압력취득구와 제2 및 제3의 압력실을 연통시키는 제2의 도입관과, 제1과 제2의 압력실의 격벽부에 설치된 제1의 다이어프램과, 제1 및 제2의 다이어프램에 응동하여 출력하는 제1 및 제2의 브리지회로와, 상기 다이어프램에 와압이외의 힘이 가해진 경우에 제1 및 제2의 브리지회로의 출력이 서로 상등하게 되도록 게인(Gain) 조정을 행하는 게인 조정저항을 갖임과 동시에 제1 및 제2의 브리지 회로의 출력을 차동증폭하는 가변차동 증폭회로를 갖고 잇다.
본 고안에 있어서는, 도관내의 와발생체의 하류쪽 양측의 와압은 압력취득구 및 도압관을 통해서 각 입력실에 전달되고, 제1의 브리지 회로의 출력이 서로 상등하게 되도록 게인(Gain) 조정을 행하는 게인조정저항을 갖임과 동시에 제1 및 제2의 브리지회로의 출력을 차동증폭하는 가변차동증폭회로를 갖고 있다.
본 고안에 있어서는, 도관내의 와발생체의 하류쪽 양측의 와압은 압력 취득구 및 도입관을 통해서 압력실에 전달되고, 제1의 다이어프램과 제2의 다이어프램을 서로 역방향으로 작동하고, 제1 및 제2의 브리지회로의 출력은 서로 역극성으로 되어, 가변차동증폭회로에 의해 화동적으로 처리된다.
또 와압 이외의 외력이 가해지면 제1 및 제2의 브리지회로의 출력은 동시에 같은 방향으로 변화하고, 가변차동증폭회로에 의해 상쇄된다.
이때, 각 브리지회로의 출력이 같지 않을때는 게인조정저항에 의해 같게 되도록 조정된다.
또, 본 고안에 있어서, 제1, 제2, 제3 그리고 제4압력실에 카르만와의 와압의 압력의 변화를 인도하여, 제1, 제2의 다이어프램으로 각각 제1과, 제2, 제3과 제4의 압력실의 와압의 차압을 검출하고, 이 제1, 제2의 다이어프램의 출력에 응해서, 제1, 제2의 브리지회로가 출력하고, 이 제1, 제2의 브리지회로의 출력을 제1, 제2의 가변증폭회로로 증폭하고, 제1, 제2의 가변증폭회로의 증폭율이 제1, 제2의 다이어프램의 진동 등 외력에 응동하여 출력하는 출력치를 서로 상등하게 되도록 조정하여, 이 제1, 제2의 가변증폭회로의 출력을 자동 증폭회로로 차동 증폭한다.
다음에, 본 고안의 실시예를 도면과 같이 설명한다.
제 1 도 및 제 2 도는 이 실시예에 의한 와유량계의 종단면도 및 종단측면도를 나타내고, 1은 흡입공기 등의 피측정유체, 2는 피측정유체(1)의 흐르는 도관, 3은 도관(2)내에 피측정유체(1)의 흐름에 대해 직각으로 설치된 와발생체, 4는 와발생체(3)의 후방에 발생한 카르만와, 5, 6은 카르만와(4)의 와압을 검출하기 위하여 와발생체(3)의 하류쪽에 도관(2)의 측벽에 만들어진 제1 및 제2의 압력취득구, 8은 도관(2)의 측벽의 외부쪽에 설치된 와압력검출기이고, 제 3 도 및 제 4 도에 표시된 바와같이 외함부재(89), (90)을 일체화시켜 본체부가 형성되어 있다.
이 외함부재(90)의 내부에는 압력취득구(5), (6)에 연통되는 제1 및 제2의 도압관(85), (86)을 이루고 있음과 동시에 제1 및 제3의 압력실(81), (83)을 알고 있다.
또, 외함부재(89)의 내부에는 제2 및 제4의 압력실(82), (84)가 이루어져 있다.
제 5 도 및 제 6 도에 나타난 바와같이, 제1 및 제4의 압력실(81), (84)는 도입관(85)와 연통되고, 제2 및 제3의 압력실(82), (83)은 도압관(86)과 연통되어 있다.
또, 외함부재(89), (90) 사이에는 반도체칩(87)을 갖는 기판(88)이 설치되어 있고, 반도체칩(87)에는 제1 및 제2의 다이어프램(87a), (87b)가 형성되어 있다.
제1다이어프램(87a)는 제1과 제2의 압력실(81), (82) 사이의 격벽을 이루고 있고, 제2의 다이어프램(87b)는 제3과 제4의 압력실(83), (84) 사이의 격벽을 이루고 있다.
또, 제1 및 제2의 다이어프램(87a), (87b)의 표면에는 반도체브리지회로가 형성되어, 각각의 4단자는 와이어(92)를 통해서 인출단자(91)에 접속되고, 이 인출단자(91)에 의해 외부회로와 접속된다.
제 7 도는 이 실시예에 따른 와유량계의 전기회로도를 나타내고, 101, 102는 다이어프램(87a), (87b)에 부착된 4개의 피에조저항소자로 이루어진 제1 및 제2의 브리지회로, 103, 104는 제1 및 제2의 브리지회로(101), (102)와 출력을 받아 작동하는 제1 및 제2의 차동증폭회로, 105는 제1 및 제2의 차동증폭회로(103), (104)의 출력을 받아 작동하는 가변차동증폭회로이고, 게인조정저항(111), (112)를 갖고있다.
106은 가변차동증폭회로(105)의 출력을 받아 작동하는 파형정형회로(波刑整刑回路), 107은 제1 및 제2의 브리지회로(101), (102)의 전원회로이다.
다음은, 동작에 관해서 설명한다. 지금, 도관(2)에 피측정유체(1)이 흐르게되면, 와발생체(3)의 하류에는 제 2 도에 나타낸 바와같이 우권 또는 좌권의 소용돌이(4)가 교호로 발생한다. 이것을 일반적으로 카르만와열이라 부른다.
이 카르만와(4)의 발생에 의해 유체의 압력변화가 생겨, 카르만와(4)의 유로(流路)에 연해서 도관(2)의 벽면에 있어서도 압력변화가 발생한다.
여기서 도관(2)의 카르만와(4)의 유로에 면한 부분에는 압력취득구(5), (6)이나있고 이 압력취득구(5), (6)에는 좌우와(左右渦)의 발생에 의해 교호로 압력변화가 발생한다.
여기서, 와압력은 일반적으로 부압이다. 지금, 오른쪽으로 도는 소용돌이가 발생되고 있다고 할때는 압력취득구(5)의 부분에 부압이 발생하고, 이 부압은 도압관(85)를 통해서 제1 및 제4의 압력(81), (84)에 도입된다.
따라서, 제1의 다이어프램(87a)는 제1의 압력실(81)쪽으로 휘어지고, 제2의 다이어프램(87b)는 제4의 압력실(84)쪽으로 휜다.
또, 왼쪽으로 도는 소용돌이가 발생되면 압력취득구(6)의 부분에 부압이 발생하고 도입관(86)을 통해서 제2 및 제3의 압력실(82), (83)이 부압으로되고, 제1의 다이어프램(87a)는 제2의 압력실(82)쪽으로 휘어지고, 제2의 다이어프램(87b)는 제3의 압력실(83)쪽으로 휜다.
여기서, 제1의 다어프램(87a)가 제1의 압력실(81)쪽으로 휜 경우, 및 제2의 다이어프램(87b)가 제3의 압력실(83)쪽으로 휜 경우에, 브리지회로(101), (102)가 출력하는 전압(VB)가 제 7 도의 화살표 방향이라 하면, 오른쪽으로 도는 소용돌이가 발생된 예의 브리지회로(101)의 출력전압은 +VB101'브리지회로(102)의 출력전압은 -VB102'로 되고, 왼쪽으로 도는 소용돌이가 발생된 경우의 브리지회로(101)의 출력은 VB101'브리지회로(102)의 출력은 -VB102로 된다. 차동증폭회로(103), (104)의 증폭율을 α103, α104라 하면, 가변차동증폭회로(105)의 (+), (-)입력단자에 입력되는 값은 다음식과 같이된다.
(-) 입력단자 측
VB103=α103 × VB101………………………………………………(1)
(+) 입력단자 측
VB104=α104 × VB102………………………………………………(2)
VB103과 VB104는 역극성이고, 가변차동증폭회로(105)의 출력은
VB105=(±VB104) - (VB103)………………………………………(3)
로 되고, 와압력에 대해서는 제1 및 제2의 다이어프램(87a), (87b)의 출력이 화동적으로 작용하여, 미소한 와압을 검출할수 있다.
여기서, |VB103|과 |VB104|는 같지 않아도 좋다.
다음에는, 와압 이외의 외압이 제1 및 제2의 다이어프램(87a), (87b)에 인가된 경우의 작용에 대해 설명한다. 와압 이외의 와압으로서는, 우선 피측정유체(1)의 흐름의 변화에 수반한 압력변동, 예를들어 맥동을 생각할 수 있다. 맥동은 와 발생체(3)의 상, 하류에서 비교적 긴 거리를 전파해 나가기 때문에, 도관내에서는 완전한 평면 진행파로 되어있다.
따라서, 압력취득구(5), (6)에서는 동시에 동일 량의 압력변화가 발생하고, 이 압력변화가 도압관(85), (86)을 통해서 제1-제4의 압력실(81)-(84)에 전달된다.
여기서, 한개의 다이어프램 예를들어 제1의 다이어프램(87a)에 관해 생각하면, 제1의 압력실(81)과 제2의 압력실(82)가 동시에 같은 양의 압력변화를 받을 경우에는 제1의 다이어프램(87a)는 어느쪽으로도 휘지 않는다.
따라서, 제1의 브리지회로(101)은 출력 하지 않고, 제2의 브리지회로(102)도 같은 이유로 출력치 않으며, 와유량계는 출력을 발생치 않는다.
다음에는, 와압력검출기(8)이 진동을 받을 경우에 대해서 설명한다.
와 압력검출기(8)이 제1 및 제2의 다이어프램(87a), (87b)의 비가동방향으로 진동을 받을 경우에는 당연히 제1 및 제2의 다이어프램(87a), (87b)는 작동치 않으며, 와유량계는 출력을 발생치 않는다.
그러나, 와압력검출기(8)이 제1 및 제2의 다이어프램(87a), (87b)의 가동방향으로 진동을 받게되면 제1 및 제2의 다이어프램(87a), (87b)는 같은 방향으로 휘게된다.
따라서, 제1의 브리지회로(101)에 출력 VB101가 발생하고 제2의 브리지회로(102)에 출력 VB102가 발생한다.
제1 및 제2의 차동증폭회로(103), (104)의 증폭율은 전술한 바와같으므로 가변차동증폭회로(105)의 출력은
VB105=(±VB104) - (±VB103)………………………………………(4)
로 되고, VB103=VB103이면 출력은 영이되고, 진동에 의한 출력은 전혀 발생치 않고 진동에 의한 노이즈도 발생치 않는다. 그러나 이것들을 생산할 경우, 칫수, 형상, 소자의 피에조저항정수등이 완전히 동일한 제1 및 제2의 다이어프램(87a), (87b)를 얻기란 거의 불가능하고, VB101 VB102이다.
단 VB101≒VB102는 성립할수 있다. 또, 제1 및 제2의 차동증폭회로(103), (104)의 증폭율을 동일하게 하는 것도 불가능하다.
그러나 가변차동증폭회로(105)의 게인을 조정함으로써 차동입력에 차가 있더라고 차동출력을 영으로 만들수 있다.
즉, 제1의 차동증폭회로(103)의 출력이 제2의 차동증폭회로(104)의 출력보다 클 경우에는 게인조정저항(112)에 의해, 또 제2의 차동증폭회로(104)의 출력이 제1의 차동증폭회로(103)의 출력보다 클 경우는 게인 조정저항(111)에 의해, 각각 작은 입력단측의 게인을 크게하여 차동 출력이 영이되도록 하면 된다.
이렇게 하기 위해서는, 실제로 사용하기 전에 와압력검출기(8)에 소정의 진동력으로 진동을 가하고, 이때의 가변차동증폭회로(105)의 출력이 영이되도록 게인조정저항(111), (112)를 미리 조정해 두면 좋다.
다음에는 본 고안의 와유량계의 다른 실시예에 관해, 제 1 도-제 4 도 및 제 8 도에 기초하여 설명한다.
여기서 제 1 도-제 4 도에 대해서는 이미 설명했으므로 생략한다. 제 8 도는 본 고안의 와유량계의 제어부의 전기회로도이다.
이 제 8 도에 있어서, 101, 102는 제 4 도의 제1, 제2의 다이어프램(87a), (87b)에 각각 부착된 4개의 피에조저항소자로된 제1, 제2의 브리지회로, 103, 104는 제1의 브리지회로(101)과 제2의 브리지회로(102)의 출력을 받아 작동하는 제1, 제2의 차동증폭회로, 108은 제1의 차동증폭회로(103)의 출력을 조정하는 제1의 가변증폭회로, 109는 제2의 차동증폭회로(104)의 출력을 조정하는 제2의 가변증폭회로, 113, 114는 각각 제1 및 제2의 가변증폭(108), (109)의 게인조정 저항이다.
110은 제1의 가변증폭회로(108)과 제2의 가변증폭회로(109)의 출력을 받아 작동하는 제3의 차동증폭회로, 106은 제3의 차동증폭회로(110)의 출력을 받아 작동하는 파형정형회로, 107은 제1의 브리지회로(101)과 제2의 브리지회로(102)의 전원회로이다.
다음에는 동작에 관해 설명한다.
지금, 도관(2)에 피측정유체(1)이 흐르면, 와발생체(3)의 하류에는 제 2 도에 표시된 바와같이, 우권(右 卷) 및 좌권(左卷)의 소용돌이가 교호로 발생한다. 이것을 일반적으로 카르만와열이 말한다. 이 카르만와(4)의 발생은 압력의 변화를 수반한다는 것은 주지의 사실이다. 따라서, 카르만와(4)의 통로에 따라서 있는 도관(2)의 벽면에 있어서도 압력의 변화가 생기기 때문에, 카르만와(4)의 통로에 면하고 도관(2)에 만들어진 압력취득구(5), (6)에는 좌우와(左右渦)의 발생에 의해 교호로 압력변화가 발생한다. 그리고 일반적으로 와압력은 부압(負壓)이다. 지금, 우권와가 발생하면, 압력취득구(5)의 부분에 부압이 생기고, 이 부압은 도압관부(85)를 통해서 제1의 압력실(81) 및 제4의 압력실(84)에 전달된다.
따라서, 제1의 다이어프램(87a) 및 제2의 다이어프램(87b)는 각각 제1의 압력실(81)쪽과 제4의 압력실(84)쪽으로 휜다.
다음에는, 좌권와가 발생하면, 이번에는 압력취득구(6)의 부분에 부압이 발생하기 때문에, 도압관(86)을 통해 제2의 압력실(82) 및 제3의 압력실(83)이 부압으로 된다.
따라서, 제1의 다이어프램(87a)는 각각의 압력실(82)쪽 및 제3의 압력실(83)쪽으로 휜다.
여기서 제1의 다이어프램(87a) 및 제2의 다이어프램(87b)가 각각 제1의 압력실(81)쪽으로 휠 경우, 제 8 도의 제어회로에 있어서, 브리지회로(101), (102)의 출력이 화살표(VB)의 방향이라하면, 우권와가 발생될 경우는 브리지회로(101)의 출력은 +VB101, 브리지회로(102)의 출력 -VB102이고, 좌권와부가 발생할 경우는 브리지회로(101)의 출력은 -VB101, 브리지회로(102)의 출력은 +VB102가 된다.
제1, 제2의 차동증폭회로(103), (104)의 증폭율을 α103, α104라 하고, 제1, 제2의 가변증폭회로(108), (109)의 증폭율을 β108, β109이라하면, 제3의 차동증폭회로(110)의 (+), (-)입력단자에 입력되는 값은 다음식과 같이 된다.
(+) 입력단자 측
VB108=α103 × β108 × VB101…………………………………(5)
(-) 입력단자 측
VB109=α104 × β109 × VB102…………………………………(6)
이 (5), (6)식에 나타난 (+) 입력단자 측의 입력단자 VB108', (-) 입력단자 측의 입력전압 VB109는 앞서 말한 바와 같이 서로 역극성이므로, 제3의 차동증폭회로(110)의 출력은
VB110=(±VB108) - (VB109)………………………………………(7)
로 되고, 와압력에 대해서는 제1, 제2의 2개의 다이어프램(87a), (87b)의 출력이 화동(和動)으로 작용하여, 보다 미소한 와압이라도 검출할 수 있다.
여기서, |VB108|과 |VB109|는 같게될 필요는 없다.
다음에는, 와압 이외의 외압이 제1, 제2의 다이어프램(87a), (87b)에 인가된 경우의 작용에 관해 설명한다.
먼저, 도관(2)내에는 피측정유체(1)의 흐름의 변화에 수반한 압력변동, 예컨대 맥동이 있다.
맥동은 와발생체(3)의 상, 하류에서 비교적 긴 거리를 전파해오기 때문에 도관(2)내에 있어서는 완전한 평면진행파로 되어있다.
따라서, 두개의 압력취득구(5), (6)은 동시에 동일 양의 압력변화가 발생하고, 이것이 도압관(85), (86)을 통해서 제1의 압력실(81)과 제4의 압력실(84)로, 그리고 제2의 압력실(82)와 제3의 압력실(83)에 전달된다.
한개의 다이어프램, 가령, 제1의 다이어프램(87a)를 보면 제1의 압력실(81)과 제2의 압력실(83)에 있어서 동시에 동일 양의 압력이 변하는 경우에는 제1의 다이어프램(87a)는 어느 쪽 방향으로도 휘지 않는다.
따라서, 제1의 브리지 회로(101)은 출력치 않는다.
때문에 와유량계의 제어회로는 출력치 않는다.
다음에는, 와압력검출기(8)이 진동을 받을 경우에 관해서 설명한다.
와압력검출기(8)이 제1, 제2의 다이어프램(87a), (87b)의 비가동방향으로 진동을 받을 경우에는, 당연히 제1, 제2의 다이어프램(87a), (87b)는 작동되지 않기 때문에, 와유량계의 제어회로의 출력은 없다. 그러나, 와압력검출기(8)이 제1, 제2의 다이어프램(87a), (87b)의 가동 방향으로 진동을 받으면, 제1의 다이어프램(87a)와 제2의 다이어프램(87b)는 같은 방향으로 휜다.
따라서, 제1의 브리지회로(101)에 출력 VB101이 발생하고, 제2의 브리지회로(102)에 출력 VB102가 발생한다.
제1, 제2의 차동증폭회로(103), (104) 및 제1, 제2의 가변증폭회로(108), (109)의 증폭율은 앞서 말한 바와 같기 때문에, 제3의 차동증폭회로(110)의 출력은
VB110=(±VB108) - (±VB109)………………………………………(8)
로 되고, 혹 VB108=VB109가 되면, 출력은 영, 즉 진동에 의한 출력은 전혀 발생치 않고, 진동에 의한 노이즈발생이 없다.
그렇다고는 하나, 이들의 생산과정에 있어서 완전히 같은 칫수, 형상 그리고 피에조저항정수를 갖는 두개의 제1, 제2의 다이어프램(87a), (87b)를 얻는다는 것은 불가능하다. 따라서, VB101 VB102이나 VB101≒VB102는 성립한다. 또, 제1, 제2의 차동증폭회로(103), (104)의 증폭율도 같도록 하기는 불가능하다.
그러나, 여기서 VB108=VB109를 성립시키기 위해서는, 제1, 제2의 가변차동증폭회로(108), (109)의 증폭율 β108, β419를 조정함으로써 가능하다. 즉,가 성립되도록 제1, 제2의 가변차동증폭회로(108), (109)의 증폭율을 설정하면 된다.
이렇게하기 위해서는, 와압력검출기(8)을 소정의 가진력(加振力)으로 진동을 가하고, 이때의 제3의 차동증폭회로(110)의 (+), (-0입력단자의 입력치가 같이 되도록 제1, 제2의 가변증폭회로(108), (109)안의 게인조정저항(113), (114)를 트리밍할수가 있다.
이상과 같이 본 고안에 의하면, 제1과 제2의 압력실 사이의 격벽부에 제1의 다이어프램을 설치함과 동시에, 제3과 제4의 압력실 사이의 격벽부의 제2의 다이어프램을 설치하고 있어, 제1 및 제2의 다이어프램은 카르만와압력의 검출에는 화동적으로 작동하고, 진동 등의 외력에 대해서는 차동적으로 작동한다.
또, 각 다이어프램의 외력에 의한 휨에 응동하는 각 브리지회로의 출력을 동일하게 하기 위해서 조정할 수가 있다.
이와같이 하여, 미유량범위에서의 와압력의 검출 감도를 향상시킬수가 있음과 동시에, 외력인가 때에, 다이어프램이나 회로구성의 부정밀성에 의한, 노이즈를 제거할 수가 있다.

Claims (2)

  1. 피측정유체(1)이 흐르는 도관(2)내에 놓인 와발생체(3)과, 상기 도관(2)내의 와발생체(3)의 하류측에 만들어지고, 피측정유체(1)에 생기는 카르만와(4)의 와압을 취득하는 제1 및 제2의 압력취득구(5), (6)과, 이 제1의 압력 취득구(5)에 생기는 압력변화를 제1 및 제4의 압력실(81), (84)에 전달하는 제1의 도압관(85)와, 상기 제2의 압력취득구(6)에 생기는 압력변화를 제2 및 제3의 압력실(82), (83)에 전달하는 제2의 도압관(86)과, 상기 제1과 제2의 압력실(81), (82)의 격벽부에 설치되어 와압의 차압을 검출하는 제1의 다이어프램(87a)와, 상기 제3과 제4의 압력실(83), (84의 격벽부에 설치되고 와압의 차압을 검출하는 제2의 다이어프램(87b)과, 상기 제1 및 제2의 다이어프램(87a), (87b)에 응동하여 출력신호를 발생하는 제1 및 제2의 브리지회로(101), (102)와 상기 다이어프램에 와압 이외의 힘을 가해졌을때 상기 제1 및 제2의 브리지회로(101), (102)의 출력이 서로 같이 되도록 게인조정을 행하는 게인조정저항(111), (112)를 갖음과 같이 상기 제1 및 제2의 브리지회로(101), (102)의 출력을 차동 증폭하는 가변 차동증폭회로(105)를 갖추었음을 특징으로 하는 와유량계.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 가변차동증폭회로(105)는 상기 제1의 브리지회로(101)의 출력을 받아 작동하는 제1의 가변증폭회로(108)와, 상기 제2의 브리지회로(102)의 출력을 받아 작동하는 제2의 가변증폭회로(109)와, 서로 정, 부로 거의 동등한 상기 제1과 제2의 가변증폭회로의 출력을 차동증폭하여 맥동주기를 유량계 출력으로 하는 제3의 차동증폭회로(110)을 갖추고 상기 제1, 제2의 가변증폭회로(108), (109)의 증폭율을 각각 상기 제1, 제2의 다이어프램(87a), (87b)의 진동 등의 외력에 응동하여 출력하는 출력값이 서로 같게 되도록 조정하기 위하여 각각 제1, 제2의 가변증폭회로(108), (109)에 게인조정저항(113), (114)를 갖춘 와유량계.
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