JPH06263913A - 金属ミクロ構造体からのプラスチックの除去法 - Google Patents

金属ミクロ構造体からのプラスチックの除去法

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JPH06263913A
JPH06263913A JP6016549A JP1654994A JPH06263913A JP H06263913 A JPH06263913 A JP H06263913A JP 6016549 A JP6016549 A JP 6016549A JP 1654994 A JP1654994 A JP 1654994A JP H06263913 A JPH06263913 A JP H06263913A
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Holger Reinecke
ライネッケ ホルガー
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 金属ミクロ構造体からプラスチックを除去す
る新規方法を提供する。 【構成】 該方法は、ミクロ構造体を、標準圧での沸点
が１３０℃より高い液体を用いて、１４０℃より高い温
度で処理することよりなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、特に高いアスペクト比
を有するミクロ構造からプラスチックを除去する方法に
関する。このような構造は、ミクロン範囲内の横寸法
で、数ミクロンからミリメータの範囲までの構造深さを
有する。
【０００２】本発明は、ミクロ構造からプラスチックを
より好ましくかつより経済的に除去することを目的とす
る。
【０００３】
【従来の技術】ミクロ構造は、種々の方法、例えばＬＩ
ＧＡ法を用いて、又はミクロ機械的な精密加工により製
造することができる。該ＬＩＧＡ法は、リソグラフィ
ー、電鋳及び型どりの処理工程を包含する；これにより
大量のミクロ構造チップを精密に製造することができ
る。
【０００４】リソグラフィー、有利にはＸ線−グラビア
リソグラフィーとしての製造工程では、感光性レジスト
として、例えば有利には架橋されるポリメチルメタクリ
レート（ＰＭＭＡ）が使用される。架橋していないＰＭ
ＭＡに比して、架橋されたＰＭＭＡはより良好に基板上
に付着し、より形状安定で、かつより好都合な機械的特
性並びに現像の際の高い選択性を有する。
【０００５】電鋳で、リソグラフィー及び現像により製
造された一次構造中に、金属又は合金を電気的に析出さ
せる。成形（forming）プラスチック、例えば架橋され
たＰＭＭＡを、引続き金属ミクロ構造から除去する。該
処理工程が除層である。
【０００６】難溶性の成形プラスチックでは、除層のた
めに侵食性化学溶剤を使用することが公知である。しか
しながら、その場合には、例えば銅、ニッケル、ニッケ
ル／コバルト合金又は金から成っていてよい金属ミクロ
構造の化学的変化を阻止しなければならない。難溶性の
成形プラスチックを、例えば沸騰トリフルオル酢酸を用
いてフルオル化し、引続きアセトンと塩酸からなる混合
物中に溶解させる際に、プラスチックが膨張する、この
ことにより金属ミクロ構造は損傷を受けるか又は分解さ
れる。
【０００７】更に、成形プラスチックを電鋳後に新たに
フラッドライト様に照射し、これによりその溶解性を高
めることが公知である。このためにはシンクロトロン放
射、Ｘ線照射又はレーザー照射が必要である。該方法は
費用がかかる。適度に大きい放射出力の場合、該処理工
程は時間がかかる。しかしながら、その際、金属ミクロ
構造は変化しないままである。大きい輻射力、例えば高
エネルギーシンクロトロン照射の場合には、確かに照射
時間は短いが、しかしながら、その際、金属ミクロ構造
の表面が変化する。これによって生じた品質の劣化に
は、場合により費用のかかるミクロ構造の後処理が必要
である。照射中に、金属ミクロ構造を、確かにマスク又
は不活性ガスによりカバーすることができるが、しかし
ながらこれは設費及び製造技術的に費用がかかる。
【０００８】更に、成形プラスチックを高温及び／又は
プラズマ中で除去することが公知がある。しかしなが
ら、該方法では、一般的にはミクロ構造体の金属又は合
金の特性、例えば硬さ、弾性モジュール等の変化を生じ
るか、又は部分的にミクロ構造体の完全な分解又はミク
ロ構造体の金属とポリマー又は周囲雰囲気との間に化学
的反応が生じる。
【０００９】金属ミクロ構造を用いて、例えば射出成
形、反応注入成形又は熱成形によりプラスチックからな
るミクロ構造体が大量に型どりされる。プラスチックか
らなるミクロ構造体を剥離する際に、支障のある場合に
はプラスチックが金属ミクロ構造中に（部分的に）残留
することがある。このような場合にも、金属ミクロ構造
を新たに使用することができるように、プラスチックを
金属ミクロ構造から溶出すべきである。熱可塑性プラス
チック、特に非晶質のプラスチックに適した溶剤は公知
である。部分結晶質のプラスチックは、しばしば高温で
初めて溶解性になる。この場合にも、ほとんど適した溶
剤が知られていないか又は公知の溶剤ではミクロ構造を
侵食するような熱硬化性プラスチックが問題である。
【００１０】除層の際の困難性に起因して、熱硬化性プ
ラスチック、例えば架橋ＰＭＭＡ、並びにエポキシ樹
脂、シリコーンゴム及びその他のプラスチックは、型ど
りにはほとんど使用されない。他方、このようなプラス
チックはしばしば使用技術的理由から需要が多い、それ
というもの該プラスチックは熱的及び化学的安定性に優
れているからである。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の課題
は、難溶性のプラスチックであっても金属ミクロ構造の
質に悪影響を与えずに、金属ミクロ構造からプラスチッ
クを容易に除去することができる方法を見出すことであ
った。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題は、金属ミクロ
構造体を、沸点が（標準圧で）１３０℃より高い液体を
用いて、１４０℃より高い温度で処理する方法により解
決される。
【００１３】金属ミクロ構造体から溶融可能なプラスチ
ックを除去するためには、液体を用いて、プラスチック
の融点プラス２０℃から該融点１００℃未満の範囲内に
あり、かつ同時に液体の沸点マイナス５０℃から該沸点
まで範囲内にある温度で処理する。
【００１４】金属ミクロ構造体から溶融不能なプラスチ
ックを除去するためには、該構造体を液体を用いて１４
０℃より高い温度で処理する。
【００１５】ミクロ構造体は、液体を用いて処理する際
に液体の液相内又は蒸気相内のどちらかにあってよい。
該液体は高圧下にあってよい。
【００１６】金属ミクロ構造体を液体の液相内で処理す
る場合には、同時に、例えば撹拌、超音波又はメガヘル
ツ領域の超音波（Megaschall）による機械的エネルギー
を供給することが好ましい。液体としては、高沸点の液
体、有利にはエチレングリコール、並びにそのオリゴマ
ー、ポリマー又は誘導体、プロパンジオール、ブタンジ
オール、ジカルボン酸のエステル、シリコーン油又はポ
リビニルアルコールが適している。該液体に金属塩、例
えば臭化亜鉛、臭化コバルト、酢酸銀又はラジカル形成
体、例えばクロルニトロソベンゼン、ベンゾイルペルオ
キシド又はビスアゾイソブチロニトリルを加えてもよ
い。
【００１７】架橋ＰＭＭＡを金属ミクロ構造体から除去
するためには、これらを例えばポリエチレングリコール
４００を用いて、１８０℃より高い温度で、有利には２
２０℃〜２４０℃で処理する。金属ミクロ構造体からポ
リオキシメチレンを除去するためには、該構造体を、例
えばジエチレングリコール／モノブチルエーテルを用い
て、１９０℃で処理する。
【００１８】本発明による方法は、以下の利点を有す
る：金属ミクロ構造をリソグラフィーにより製造する際
に、（本発明による方法を使用しない限り）除層の際の
その挙動に起因して全く使用不能か又は条件付きで使用
可能であるにすぎなかったプラスチックを使用すること
ができる。
【００１９】金属ミクロ構造を用いて、プラスチックか
らなるミクロ構造体を型どりする際に、従来プラスチッ
ク残留物をミクロ構造から除去する際の問題に起因して
全く使用不能か又は条件付きで使用可能であったにすぎ
ないプラスチックを使用することができる。
【００２０】除層した金属ミクロ構造の質及びその使用
期間は、従来より明らかに向上する。
【００２１】金属ミクロ構造の除層は、常法を用いた場
合よりもはるかに簡単かつ経済的である。
【００２２】除去すべきプラスチックは、前記液体中で
実際に全く膨張しない、従って、このことによりミクロ
構造が破壊されるという危険が回避される。
【００２３】前記の液体は、健康面で懸念がなくかつ処
理面では経済的である。該液体は、大体任意の割合で水
と混和可能である。該液体は、金属ミクロ構造を侵食し
ない。
【００２４】液体中に含有されるプラスチックの残留物
は、液体を冷却する際にも析出しない。
【００２５】該液体で処理したミクロ構造は、引続き完
全に脱塩した水で洗浄するだけである。
【００２６】ミクロ構造体の材料特性を変化させる好ま
しくない温度は回避される。
【００２７】プラスチックを除去するために使用した液
体は、問題なく廃棄処理することができる。
【００２８】
【実施例】次に、本発明による方法を以下の実施例に付
き詳細に説明する。
【００２９】例１：架橋ＰＭＭＡにおけるポリエチレン
グリコールを用いたミクロ構造の除層 最小５μｍの幅を有する架橋ＰＭＭＡ（Plexit 60, Fa.
Roehm , Darmstadt）に封入された銅からなる高さ１３
５μｍの金属ミクロ構造を、ポリエチレングリコール４
００（ Fa. Merck , Darmstadt）中で２３０℃で密閉し
た容器中で処理した。６５分後、ミクロ構造は完全に除
層された。
【００３０】金属ミクロ構造は、構造の変化及び銅表面
の変化を全く示さなかった。
【００３１】例２：エポキシド樹脂における琥珀酸ジブ
チル及び酢酸銀を用いたミクロ構造の除層 エポキシド樹脂に封入されたニッケル／コバルト合金か
らなる６００μｍより高い高さを有するミクロピラミッ
ドからなる金属ミクロ構造を、琥珀酸ジブチル中で１リ
ットル当り酢酸銀１００ｍｇを添加して、２１０℃で密
閉した容器中で処理した。６０時間後、ミクロ構造は完
全に除層された。
【００３２】該金属ミクロ構造は、構造の変化及び金属
表面での変化を全く示さなかった。
【００３３】例３：ジエチレングリコール−モノブチル
エーテルを用いたミクロ構造の洗浄 横方向の寸法５０μｍ及び２つの壁の間隔が最小８μｍ
を有するニッケルからなる高さ２００μｍの金属ミクロ
構造を、ポリオキシメチレンから約３０個のミクロ構造
体を型どりするために使用したが、その際、プラスチッ
クの残留物で汚れた。
【００３４】該構造をジエチレングリコール−モノブチ
ルエーテルで、１９０℃で蓋をした容器中で洗浄した。
１５分後、該ミクロ構造は完全にプラスチック残留物不
含であった。
【００３５】金属ミクロ構造は、構造の変化及びニッケ
ル表面の変化を示さなかった。

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 金属ミクロ構造体からプラスチックを除
    去する方法において、金属ミクロ構造体を、標準圧での
    沸点が１３０℃より高い液体を用いて、１４０℃より高
    い温度で処理することを特徴とする、金属ミクロ構造体
    からのプラスチックの除去法。
  2. 【請求項２】 金属ミクロ構造体から溶融可能なプラス
    チックを除去するために、金属ミクロ構造体を液体を用
    いて、プラスチックの融点プラス２０℃から該融点プラ
    ス１００℃未満の範囲内にあり、かつ同時に液体の沸点
    マイナス５０℃から該沸点までの範囲内にある温度で処
    理する、請求項１記載の方法。
  3. 【請求項３】 金属ミクロ構造体から溶融不能なプラス
    チックを除去するために、金属ミクロ構造体を液体を用
    いて１４０℃より高い温度で処理する、請求項１記載の
    方法。
  4. 【請求項４】 金属ミクロ構造体を、液体の液相又は蒸
    気相で、場合により高圧で処理する、請求項１から３ま
    でのいずれか１項記載の方法。
  5. 【請求項５】 金属ミクロ構造体を、液相で同時に機械
    的エネルギーを供給しながら処理する、請求項１から４
    までのいずれか１項記載の方法。
  6. 【請求項６】 金属ミクロ構造体を、高沸点物質、並び
    にそのオリゴマー、ポリマー又は誘導体、プロパンジオ
    ール、ブタンジオール、ジカルボン酸のエステル、ポリ
    ビニルアルコール又はシリコーン油を用いて処理する請
    求項１から５までのいずれか１項記載の方法。
  7. 【請求項７】 金属ミクロ構造体を液体を用いて、金属
    塩、例えば臭化亜鉛、臭化コバルト、酢酸銀、又はラジ
    カル形成体、例えばクロルニトロソベンゼン、ベンゾイ
    ルペルオキシド、ビスアゾイソブチルニトリルを添加し
    ながら処理する、請求項１から６までのいずれか１項記
    載の方法。
  8. 【請求項８】 金属ミクロ構造体から架橋したポリメチ
    ルメタクリレートを除去するために、金属ミクロ構造体
    をポリエチレングリコールを用いて１６０℃より高い温
    度で処理する、請求項１及び３から７までのいずれか１
    項記載の方法。
  9. 【請求項９】 金属ミクロ構造体からポリオキシメチレ
    ンを除去するために、金属ミクロ構造体を、ジエチレン
    グリコール／モノブチルエーテルを用いて１９０℃で処
    理する、請求項１又は２及び４から７までのいずれか１
    項記載の方法。
JP6016549A 1993-02-10 1994-02-10 金属ミクロ構造体からのプラスチックの除去法 Pending JPH06263913A (ja)

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DE4303923.5 1993-02-10
DE4303923A DE4303923A1 (de) 1993-02-10 1993-02-10 Verfahren zum Beseitigen von Kunststoffen aus Mikrostrukturen

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EP (1) EP0613053B1 (ja)
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KR (1) KR100322640B1 (ja)
CA (1) CA2115192A1 (ja)
DE (2) DE4303923A1 (ja)

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