JPH06254730A - ネジ吸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ネジをネジ供給部より１つずつピックアップ
し、移動してネジ締めを行なうネジ締め装置に関し、異
種頭部外径のネジに対して１つの吸着部で対応できる構
成とすることにより、ネジ締めの効率を向上させること
を目的とする。 【構成】 外部パイプ２内に吸引穴部１ａが形成された
内部パイプ１を摺動自在に配設し、外部パイプ２下端に
外部パイプ２に回動自在に軸支され巻きバネ１４，１５
により外部パイプ下面を閉蓋すべく付勢されネジ受け１
０，１１を設けてなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はネジ吸着装置に係り、特
に、ネジをネジ供給部よりピックアップし、移動してネ
ジ締めを行なうネジ締め装置に装着されるネジ吸着装置
に関する。

【０００２】近年、各種機器の組立において、部品構造
等の条件によりネジの統一化が図れず、各種ネジが用い
られている。一方、組立の自動化も盛んに行なわれてお
り、組立の自動化に伴ない各種ネジに対応できる自動ネ
ジ締め装置が要求されている。

【０００３】自動ネジ締め機ではドライバ先端に吸着パ
イプを装備していて、この吸着パイプにネジを吸着さ
せ、ネジの締め付けを行っていた。このとき、吸着パイ
プは各種ネジの頭部形状に合わせて交換する必要があっ
た。このため、各種ネジに対応するためには各種ネジに
対応できるネジ吸着パイプを開発する必要がある。

【０００４】

【従来の技術】図１１に従来の一例の概略構成図を示
す。同図中、４１はドライバ駆動部を示す。ドライバ駆
動部４１は移動駆動部４２に固定され、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ
軸に移動可能な構成とされている。

【０００５】移動駆動部４２は制御装置４３と接続さ
れ、制御装置４３からの制御信号により制御され、ドラ
イバ駆動部４１の移動を行なう。

【０００６】ドライバ駆動部４１にはネジ４５頭部と係
合するドライバビット４４が固定され、ドライバビット
４４の回転によりネジ４５を螺入する。また、ドライバ
駆動部４１の先端部にはネジ４５を吸着するための吸着
部４６が配設されている。

【０００７】図１２に吸着部４６の構成図を示す。吸着
部４６は接続部４７及び吸着パイプ４８よりなる。接続
部４７は円筒状をなし、その内部をドライバビット４４
が貫通する。接続部４７の一端にはネジ部４７ａが形成
され、移動駆動部４１に固定され、他端には吸着パイプ
４８との接続部４７ｂが形成されている。

【０００８】吸着パイプ４８はネジ４５の頭部４５ａの
外径と略等しい内径ａを有する円筒状をなし、一端には
接続部４７と係合する係合部４８ａが形成されている。

【０００９】吸着パイプ４８は図１２（Ｂ），（Ｃ）に
示すように吸着部４６に接続される。接続部４７の内部
は圧力制御装置４９と接続されていて、吸着パイプ４８
内部よりエアを吸引する構成とされている。

【００１０】圧力制御装置４９は制御装置４３と電気的
に接続され、制御装置４３からの圧力制御信号に応じて
制御され、ネジ４５の吸着を制御する。

【００１１】ネジ４５は所定の位置に配置されたネジ供
給部５０の所定の位置に挿入されている。例えば、ネジ
４５ａをネジ取付部５１の取付穴５１ａに取付ける時に
は、制御装置４３は移動駆動装置４２を制御して、吸着
パイプ４８をネジ供給部５０の取付を行なうべきネジ４
５ａ上に位置させた後、圧力制御装置４９を駆動させ、
吸着パイプ４８内を真空とし、ネジ４５ａを吸着パイプ
４８内に吸引させる。次に制御装置４３は再び移動駆動
装置４２を制御して吸着パイプ４８をネジ取付部５１の
所定の取付穴５１ａ上に位置させた後、ドライバ駆動部
４１を駆動してドライバビット４４を回転させると共に
ドライバビット４４を降下させ、ネジ４５ａを取付穴５
１ａに螺入する。

【００１２】また、ネジ頭部外径の異なるネジ４５ｂを
取付部５１の取付穴５１ｂに螺入取付けする場合には、
ネジ４５ａの頭部外径に適合した内径ａの吸着パイプ４
８ａをネジ４５ｂの頭部外径に適合した内径を有する吸
着パイプ４８ｂに交換する必要があった。

【００１３】吸着パイプ４８ａを吸着パイプ４８ｂに交
換する場合には移動駆動装置４２を停止させ、手動で吸
着パイプ４８ａと吸着パイプ４８ｂとを交換させる方法
と、吸着パイプ４８ａ〜４８ｃを予め決められた所定の
装着位置に保持する図１３に示すような吸着パイプ交換
機５２を設けておき、制御装置４３により移動駆動装置
４２を駆動し、吸着パイプ４８ａを吸着パイプ交換機５
２の保持部５２ａに装着させ、接続部４７より離脱させ
た後、必要とする吸着パイプ４８ｂが保持された保持部
５２ｂ上に接続部４７を移動させ吸着パイプ４８ｂと係
合させることにより自動で吸着パイプの交換を行なう方
法とがあった。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかるに、従来のネジ
吸着装置は単なるパイプ状であるため、異なる種類のネ
ジを吸着することができず、締め付けネジの種類が多数
になった場合、各ネジ頭部外径毎に吸着パイプを作製し
ておく必要があり、装置のコストが高価になる。また、
各ネジ頭部外径毎に吸着パイプの交換を行なう必要があ
り、交換を手作業で行なう場合などにはその都度ネジ締
め機を停止させなければならず、ネジ締め機を停止させ
る頻度が高くなり、稼動率が低下すると共に、交換を自
動交換機などで行った場合でも、交換時間がロスタイム
となり、実質的な稼動率は低下してしまう等の問題点が
あった。

【００１５】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、異種頭部外径のネジに対して１つの吸着部で対応で
きる構成とし、ネジ締めの作業効率を向上させ得るネジ
吸着装置を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明になるネジ吸着装
置は、空気が吸引されることによりネジを吸着する内部
パイプと、該内部パイプを上下に摺動自在に収納する外
部パイプと、該外部パイプに回動自在に取付けられ、該
内部パイプの上下摺動に応じて開閉し、閉蓋時にネジ部
を垂下させ、ネジ頭部係合することにより前記ネジを保
持し、開蓋時に前記ネジを解放するネジ受け部材とを有
してなる。

【００１７】

【作用】ネジは内部パイプに吸着され、内部パイプが外
部パイプ内を摺動しつつ移動して、外部パイプ内に引き
込まれ、このとき、内部パイプが移動することによりネ
ジ受け部材が閉蓋することによりネジ部は垂下し、ネジ
頭部によりネジ受け部材により保持される。このため、
ネジ頭部の大きさにかかわりなく、ネジを保持すること
ができる。また、ネジ受け部材閉蓋時にネジ部は垂下す
べく位置決めされる。

【００１８】

【実施例】図１は本発明の第１実施例の断面構成図を示
す。同図中、１は内部パイプを示す。内部パイプ１はそ
の断面形状が略正方形をなし、その中心部にはドライバ
ビット４が貫通すると共にエアが吸引される吸引穴部１
ａが矢印Ａ方向に延在して貫通している。内部パイプ１
の下部端面には凹部１ｂが形成され、吸引穴部１ａより
エアを吸引することにより凹部１ｂ内にネジ頭部が吸引
される。

【００１９】内部パイプ１は外部パイプ２の内周部２ａ
内に矢印Ａ方向に摺動自在に収納される。外部パイプ２
は上端に接続部３が固定され、下端は開放されている。
接続部３はその中央部にドライバビット４が貫通すると
共にエアが吸引される吸引穴部３ａが形成され、外周部
には自動ネジ締め機等への装着用の溝部３ｂが形成され
ている。

【００２０】外部パイプ２の側面には内周部２ａを外部
と連通させるガイド部２ｂが形成されており、内部パイ
プ１はガイド部２ｂを貫通して設けられた動力伝達金具
５に固定される。動力伝達金具５にはシリンダ６の出力
軸６ａが係合する。シリンダ６のシリンダ本体６ｂは外
部パイプ２の外側面に固定されたシリンダ固定金具７に
固定されている。

【００２１】シリンダ６は管路８により後述する圧力制
御部９に接続されていて、圧力制御部９からの空気圧力
により出力軸６ａを矢印Ａ方向に駆動させる。出力軸６
ａが駆動されると動力伝達金具５が矢印Ａ方向に駆動さ
れ、内部パイプ１が外部パイプ２の内周部２ａ内で矢印
Ａ方向に摺動する。

【００２２】内部パイプ１の吸引穴部１ａはドライバビ
ット４の外径より若干大きい径に形成され、ドライバビ
ット４が上部から下部に貫通する構成とされている。

【００２３】外部パイプ２の下部端面にはネジ受け１
０，１１が設けられている。

【００２４】ネジ受け１０，１１は外部パイプ２の互い
に対向する側面の下端に軸１２，１３を中心として回動
自在に取付け、巻きバネ１４，１５により矢印Ｂ₁ ，Ｃ
₁ 方向に付勢してなる。

【００２５】このため、ネジ受け１０，１１は通常、外
部パイプ２の開口面２ｃを閉蓋している。図２にネジ受
け１０，１１の構成図を示す。ネジ受け１０，１１には
図２に示すように閉蓋時に外部パイプ２の開口面２ｃの
略中央部に取付けるべきネジ１６のネジ径ａより若干大
きい穴部１７が形成されるように切欠１０ａ，１１ａが
形成されている。

【００２６】ネジ受け１０，１１を閉蓋した際に切欠１
０ａ，１１ａにより得られるネジ保持穴１７はネジ１６
のネジ径部１６ａの外径ａより若干大きく、ネジ１６の
ネジ頭部１６ｂの外径ｂより十分小さく、ネジ１６をネ
ジ頭部１６ｂで保持できる構成とされている。

【００２７】図２に本発明の第１実施例のネジ吸着装置
を用いたネジ締め機の概略構成図を示す。同図中、１８
はドライバ駆動部を示す。ドライバ駆動部１８は制御装
置８と接続され、制御装置８からの制御信号に応じてネ
ジ１６を螺入すべくその先端に固定されたドライバビッ
ト４を回転させる。

【００２８】ドライバビット４はその先端形状がネジ１
６の頭部と係合すべく＋又は−等に形成されている。

【００２９】ドライバ駆動部１８はネジ締め時の降下用
ピストン１９を介して移動駆動装置２０に固定されてい
る。移動駆動装置２０はＸ軸移動部２０ａ、Ｙ軸移動部
２０ｂ、Ｚ軸移動部２０ｃよりなり、制御装置２１から
の制御信号により駆動され、ドライバ駆動部１８をＸ
軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に移動させる。

【００３０】降下用ピストン１９は圧力制御部９と管路
で接続され、圧力制御部９の制御圧力に投じて駆動さ
れ、ネジの締め込み時にネジの螺入に伴ってドライバ駆
動部１８を降下させる。圧力制御部９はコンプレッサ、
真空ポンプ、電磁弁等よりなり、降下用ピストン１９と
管路２２で接続される他、前述した吸着装置１０と管路
で接続され、吸着装置のネジ８，２３吸着動作及びネジ
保持動作を制御する。

【００３１】吸着装置は接続部３によりＺ軸移動部２０
ｃに固定される。

【００３２】接続部３の吸引穴部３ａは管体２３により
圧力制御部９に接続され、内部パイプ１の吸引穴部１ａ
内を真空状態とする。内部パイプ１の吸引穴部１ａが真
空状態とされネジ１６の吸着が行なわれる。

【００３３】圧力制御装置９は制御装置２１と電気的に
接続され、制御装置２１からの圧力制御信号に応じて制
御され、ネジ１６の吸着、ドライバ駆動部１の上下動、
内部パイプ１の上下動を夫々制御する。

【００３４】ネジ１６は所定の位置に配置されたネジ供
給部２４の所定の位置に挿入されている。例えば、ネジ
１６をネジ取付部２５の取付穴３０に取付ける時には、
制御装置２１は移動駆動装置２０を制御して、吸着パイ
プ４８をネジ供給部２４の取付を行なうべきネジ１６上
に位置させた後、後述する動作により保持する。次に制
御装置４３は再び移動駆動装置４２を制御して内部パイ
プ１をネジ取付部２５の所定の取付穴２５ａ上に位置さ
せた後、ドライバ駆動部１８を駆動してドライバビット
４を回転させると共にドライバビット４を降下させ、ネ
ジ１６を取付穴２５ａに螺入する。

【００３５】次に図４乃至図７と共にネジの供給、締込
み動作を説明する。まず、吸着部をネジ供給部２４上に
移動させる。このとき、図４（Ａ）に示すようにネジ受
け１０，１１は巻きバネ１４，１５により矢印Ｂ₁ ，Ｃ
₁ 方向に付勢されているため、外部パイプ２１を閉蓋し
た状態にある。

【００３６】次に制御装置は圧力制御装置９を駆動し
て、シリンダ６にコアを供給することにより内部パイプ
１を矢印Ａ₂ 方向に下降させる。内部パイプ１が矢印Ａ
₂ 方向に下降すると図４（Ｂ）に示すように内部パイプ
１によりネジ受け１０，１１が巻きバネ１４，１５の付
勢力に抗して開蓋する。ネジ受け１０，１１が開蓋した
後、制御装置２１は移動駆動部２０を制御して図４
（Ｃ）に示すように内部パイプ１をネジ供給部２４に密
着させる。

【００３７】制御装置２１は内部パイプ１がネジ供給部
２４に密着したところで圧力制御部９を制御して、内部
パイプ１の穴部１ａのエアを排気し、図４（Ｄ）に示す
ようにネジ１６を内部パイプ１の凹部１ｂ内に吸着させ
る。

【００３８】次に制御装置２１は圧力制御部９を制御し
て、シリンダ６内のエアを排気することにより図５
（Ａ）に示すように内部パイプ１を矢印Ａ₁ 方向に上昇
させる。内部パイプ１が矢印Ａ₁ 方向に上昇することに
より内部パイプ１に吸引されたネジ１６も上昇し、外部
パイプ２内に収納される。内部パイプ１の上昇に伴って
図５（Ｂ）に示すようにネジ受け１０，１１が巻きバネ
１４，１５の付勢力により外部パイプ２の開放面２ｃを
閉蓋する。内部パイプ１の凹部１ｂはネジ１６のネジ頭
部１６ｂだけが収納するように構成されているため、ネ
ジ部１６ａは内部パイプ１の下溝より下方に突出する。
ネジ２７のネジ部１６ｂはネジ受け１０，１１に形成さ
れた切欠１０ａ，１１ａにより形成される保持穴部１７
により垂下し、位置決めされる。

【００３９】次に制御装置２１は圧力制御装置９を制御
して、内部パイプ１内の真空を破壊してネジ１６の吸引
を解除する。ネジ１６は吸引が解除され、矢印Ａ₂ 方向
に落下する。

【００４０】このとき、ネジ１６のネジ頭部１６ａはネ
ジ受け１０，１１の切欠１０ａ，１１ａにより形成され
る保持穴部１７がネジ１６のネジ部１６ｂの径より若干
大きく、ネジ頭部１６ａの外径より十分小さく形成され
ているため、図５（Ｃ）に示すようにネジ受け１０，１
１により保持され、吸着部より落下することはない。以
上によりネジ１６の供給動作は終了し、次に制御装置２
１は移動駆動部２０を制御して、図６（Ａ）に示す状態
でネジ１６が保持された吸着部をネジ締め部２５に移動
させる。

【００４１】吸着部がネジ締め部２５に移動すると、次
に制御装置２１は圧力制御部９を制御して、ドライバ駆
動部１８を下降させ、図６（Ｂ）に示すようにドライバ
ビット４を内部パイプ１内を貫通させネジ１６のネジ頭
部１６ｂ付近で停止させる。制御装置２１は続いてドラ
イバ駆動部１８を制御して、ドライバビット４を予備回
転させる。ドライバビット４の予備回転によりネジ１６
とドライバビット４との結合性を高めている。

【００４２】制御装置２１はドライバビット４を予備回
転させた後、ドライバビット４を回転させたまま、再び
圧力制御部９を制御してドライバ駆動部１８を下降させ
ることにより、ドライバビット４を矢印Ａ₂ 方向に下降
させる。

【００４３】ドライバビット４の下降によりドライバビ
ット４に結合したネジ１６も下降する。ネジ１６が下降
すると、ネジ１６のネジ頭部１６ｂを保持するネジ受け
１０，１１が巻きバネ１４，１５の付勢力に抗して矢印
Ｂ₂ ，Ｃ₂ 方向に回動し、図６（Ｃ）に示すように外部
パイプ２の開口面２ｃを開蓋する。

【００４４】さらに、ドライバビット４を降下させると
図７（Ａ）に示すようにネジ締め部２５のネジ穴２５ａ
にネジ１６のネジ部１６ａがドライバビット４の回転に
より螺合する。

【００４５】ネジ１６がネジ締め部２５ａのネジ穴２５
ａに完全に螺入されるとネジ１６のネジ頭部１６ｂと板
材１０との係合が自動的に解除され、ネジ受け１０，１
１は図７（Ｃ）に示すように巻きバネ１４，１５の付勢
力により矢印Ｂ₁ ，Ｃ₁ 方向に復元し、外部パイプ２を
閉蓋する。

【００４６】次に制御装置２１は圧力制御部９を制御し
てドライバ駆動部１８を上昇させることによりドライバ
ビット４を上昇させ、さらに移動駆動部２０を制御し
て、吸着部を上昇させることによりネジ締め動作は完了
する。以後、上記動作をくり返し、次々とねじ締めを行
なう。

【００４７】このとき、吸着部により保持できるネジ１
６はネジ径が同一である必要はあるが、ネジ頭部１６ａ
の外径は内部パイプの凹部１ｂ内に収納され得る径であ
ればよく、したがって、通常のネジ頭部形状のネジのワ
ッシャ等が装着されネジ頭部径が大きくなったネジ等、
各種のネジ頭部形状のネジ締めに対応できる。

【００４８】このため、従来のようにネジ頭部の外径毎
に吸着パイプを用意し、各ネジ毎に交換する必要がなく
なり、ネジ径の異なるもの毎に吸着部を交換すればよい
ため、吸着部の数及び交換回数を減少させることがで
き、設備の稼動効率を向上させることができる。

【００４９】図８に本発明の第２実施例の吸着部の断面
図を示す。本実施例は第１実施例とは吸着部の構成が異
なるだけであり、吸着部以外は第１実施例と同一である
ため、吸着部以外の説明は省略する。また、図８中、図
１と同一構成部分には同一符号を付し、その説明は省略
する。

【００５０】本実施例では第１実施例で平板状に形成さ
れたネジ受け１０，１１に代え、断面形状がＬ字状のネ
ジ受け３０，３１を採用し、ネジ受けへの付勢力を第１
実施例の巻きバネ１４，１５に代え、板バネ３２，３３
により印加する構成としてなる。

【００５１】ネジ受け３０，３１をその断面形状がＬ字
状としたことから外部パイプ３４はその互いに対向する
側面を第１実施例の外部パイプ２より短くし、側面下部
にネジ受け３０，３１が回動自在に取付けられる。ま
た、板バネ３２，３３は外部パイプ３４側面にネジ受け
３０，３１を覆うように取付固定される。

【００５２】また、内部パイプ３５はネジ受け３０，３
１を押し広げるため、その下部外周にテーパ３５ａが形
成され、ネジ受け３０，３１をスムーズに開閉できるよ
う構成されている。

【００５３】ネジ受け３０，３１には第１実施例同様に
閉蓋時にネジ径に応じた保持穴３６が形成されるべく切
欠３０ａ，３１ａが形成されている。本実施例の動作は
第１実施例の動作と同様で、その効果も同様な効果とな
る。図９に本発明の第３実施例の概略構成図を示す。同
図中、図２と同一構成部分には同一符号を付し、その説
明は省略する。

【００５４】本実施例はエアの圧力により直接内部パイ
プの上下動を制御しようとするもので、圧力制御装置９
と吸着部３９とは管路４２，４３により直接接続されて
いる。

【００５５】図１０に本発明の第３実施例の断面構成図
を示す。同図中、図８と同一構成部分には同一符号を付
し、その説明は省略する。

【００５６】外部パイプ４０はその内周部４０ａにシリ
ンダ部４１が一体に形成されていてシリンダ部４１は外
部と連通する給気口４２及び排気口４３が形成されてい
る。給気口４２及び排気口４３は管路４４，４５により
圧力制御部９に接続される。外部パイプ４０の内周部４
０ａには内部パイプ４６が摺動自在に収納される。内部
パイプ４６には外部パイプ４０のシリンダ部４１に対応
して隔壁部４７が形成れている。隔壁部４７は外部パイ
プ４０のシリンダ部４１内を上室４１ａ及び下室４１ｂ
に隔離する。

【００５７】外部パイプ４０の給気口４２及び排気口４
３は共に上室４１ａに連通している。また下室４１ｂは
外部パイプ４０と内部パイプ４６とのわずかな間隙を介
して外部と連通していて、隔壁部４７の上下動に合わせ
てエアの吸入、排気が行なわれる。

【００５８】ネジ受け３０，３１を開蓋する場合には圧
力制御部９は管路４４を介して給気口４２にエアを供給
し、また排気口４３が接続された管路４５側は閉鎖す
る。

【００５９】このため、シリンダ部４１の上室４１ａの
圧力が上昇し、内部パイプ４６の隔壁部４７が押し下げ
られ、内部パイプが下降し、ネジ受け３０，３１を開蓋
させる。

【００６０】また、ネジ受け３０，３１を閉蓋する場合
には圧力制御部９は給気口４２に接続された管路４４側
を閉鎖し、排気口４３に接続された管路４５よりエアを
吸引する。このため、シリンダ部４１上室４１ａの圧力
が低下し、内部パイプ４６の隔壁部４７が押し上げら
れ、内部パイプ４６が上昇し、ねじ受け３０，３１を閉
蓋させる。

【００６１】ネジの供給、保持、締め付け等他の動作は
第１実施例と同様となる。

【００６２】以上のように外部パイプのシリンダ部内へ
のエアの供給排気により内部パイプを直接駆動できるた
め、第１実施例と同様な効果に加え、吸着部周辺にシリ
ンダ等の付属的な部品が不要となる。

【００６３】

【発明の効果】上述の如く、本発明によれば、異種頭部
外径のネジに対して、一つの吸着部で対応することがで
きるため、吸着部の種類を削減でき、したがって、吸着
部の交換等の時間を低減でき、設備の稼動率を向上させ
ることができる等の特長を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の断面図である。

【図２】本発明の第１実施例の吸着装置が搭載されたネ
ジ締め機の概略構成図である。

【図３】本発明の第１実施例のネジ受け部の構成図であ
る。

【図４】本発明の第１実施例の動作説明図である。

【図５】本発明の第１実施例の動作説明図である。

【図６】本発明の第１実施例の動作説明図である。

【図７】本発明の第１実施例の動作説明図である。

【図８】本発明の第２実施例の吸着部の断面図である。

【図９】本発明の第３実施例の概略構成図である。

【図１０】本発明の第３実施例の吸着部の構成図であ
る。

【図１１】従来の一例の概略構成図である。

【図１２】従来の一例の要部の構成図である。

【図１３】従来の一例の吸着パイプ交換機の構成図であ
る。

【符号の説明】

１ 内部パイプ ２ 外部パイプ １０ ネジ受け １１ ネジ受け １２ 回動軸 １３ 回動軸 １４ 巻きバネ １５ 巻きバネ １６ ネジ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 空気が吸引されることによりネジ（１
   ６）を吸着する内部パイプ（１；４６）と、 該内部パイプ（１；４６）を上下に摺動自在に収納する
   外部パイプ（２；４０）と、 該外部パイプ（２；４０）に回動自在に取付けられ、該
   内部パイプ（１；４６）の上下摺動に応じて開閉し、閉
   蓋時にネジ部（１６ａ）を垂下させ、ネジ頭部（１６
   ｂ）と係合することにより前記ネジ（１６）を保持し、
   開蓋時に前記ネジ（１６）を解放するネジ受け部材（１
   ０，１１；３０，３１）とを有することを特徴とするネ
   ジ吸着装置。
2. 【請求項２】 前記ネジ受け部材（１０，１１；３０，
   ３１）はバネ（１４，１５；３２，３３）により閉蓋方
   向に付勢されていることを特徴とする請求項１記載のネ
   ジ吸着装置。
3. 【請求項３】 前記内部パイプ（４６）は前記外部パイ
   プ（４０）内へのエアの供給又は排気により駆動される
   ことを特徴とする請求項１又は２記載のネジ吸着装置。