CN220086012U - 一种机械手臂的真空吸附结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种机械手臂的真空吸附结构，包括依次设置的取片叉、转接板、第一旋转臂和第二旋转臂，气管接路包括设置于取片叉和转接板内的气道一、与气道一连通且设置于第一旋转臂的气管一、与气管一连通且设置于第二旋转臂的气道二、与气道二连通且设置与第二旋转臂的气管二；所述气道一连通至取片叉叉取晶圆的一侧形成吸孔，所述气管二连接于外界供气设备。该机械臂的气管接路使得在外力作用下依旧能够不发生位移，进而也不容易造成晶圆底部的摩擦。

Description

一种机械手臂的真空吸附结构

技术领域

本实用新型属于机械臂技术领域，具体为一种机械手臂的真空吸附结构。

背景技术

申请公布号为CN113437009A的专利申请公开了一种晶圆真空搬运机械手，包括第一机械臂、第二机械臂、取片叉、位于第一机械臂下端的驱动机构，还包括设法兰盘、机壳，第一机械臂包括第一外壳、下端与驱动机构连接且上端与第一外壳固定的第一转轴、与驱动机构连接的第一齿轮、转动连接在第一外壳远离第一转轴一端处的第二齿轮、第一皮带、与第一外壳固定的第二转轴，第二机械臂包括与第二齿轮固定的第二外壳、与第二转轴固定的第三齿轮、与取片叉固定的第四齿轮、第二皮带，驱动机构包括基座、支架、驱动支架上下移动的第一驱动件、设置在支架内且用于驱动第一转轴转动的第二驱动件、设置在支架内且用于驱动第一齿轮转动的第三驱动件。

由于通过取片叉搬运晶圆过程中，晶圆直接放置在取片叉上稳定性低，虽然晶圆具有一定的重量足够在取片叉上不过度移动，但是如果在外力作用下依旧能够发生位移造成底部摩擦。

实用新型内容

本申请提供一种机械手臂的真空吸附结构，使得在外力作用下依旧能够不发生位移，进而也不容易造成晶圆底部的摩擦。

本申请中，一种机械手臂的真空吸附结构，包括依次设置的取片叉、转接板、第一旋转臂和第二旋转臂，其特征在于，气管接路包括设置于取片叉和转接板内的气道一、与气道一连通且设置于第一旋转臂的气管一、与气管一连通且设置于第二旋转臂的气道二、与气道二连通且设置与第二旋转臂的气管二；所述气道一连通至取片叉叉取晶圆的一侧形成吸孔，所述气管二连接于外界供气设备。

进一步地，所述气道一包括沿着取片叉主体设置的主气道和沿着取片叉的叉杆设置的副气道，所述副气道汇于所述主气道；还包括与主气道连通且设置于转接板内的转接气道。

进一步地，第一旋转臂的端部内设置有气管接头一，所述气管接头一的上端连通所述转接气道，所述第一旋转臂开设有供气管一伸出的通道一，所述气管接头一下端外接气管一伸出通道一的一端。

进一步地，所述第一旋转臂内设置有支撑气管一的卡块。

进一步地，所述第一旋转臂内设置有传动组件，所述传动组件上方至第一旋转臂的底部还设置有引导板一，所述引导板一上设置有卡块。

进一步地，所述第二旋转臂设置有气管接头二和气管接头三，所述气管接头二设置于传动组件内，且所述气管一连接于气管接头二，所述气管接头三安装于第二旋转臂的外侧，且气管接头三与气管二连接。

进一步地，所述第二旋转臂的底部设置有供气管二伸出的通道二，所述第二旋转臂的底部设置有卡块。

进一步地，所述第二旋转臂的底部设置有引导板二，所述气管二安装于引导板二。

综上所述，与现有技术相比，本实用新型具有如下优点，第一，采用气道和气管的设置方式实现了取片叉的吸附晶圆的目的，且气管基本设置在机械臂内部，所以气管也不容易被外接受压而形变，造成吸气时不顺畅；第二，采用气管接头的方式实现气管接入机械臂内时的气密性有保障，避免发生漏气而造成吸气时的吸力不足；第三，采用引导板和卡块能够实现气管稳定设置在机械臂内部，从而保障了机机械臂在旋转过程中，气管不容易发生位移从而也是能够避免发生形变；第四，采用开设的通道一和通道二实现了气管的部分设置在外面，一方面方便了气管的安装，另一方面实现了稳定性的时间。

附图说明

为了更好清楚地说明本申请实施例或背景技术中的技术方案，下面将对本申请实施例或背景技术中所需使用的附图进行说明。

图1为实施例中一种机械手臂的真空吸附结构的结构示意图；

图2为实施例中一种机械手臂的真空吸附结构的取片叉视图；

图3为实施例中一种机械手臂的真空吸附结构的第一旋转臂视图；

图4为实施例中一种机械手臂的真空吸附结构内部的结构示意图；

图5为实施例中一种机械手臂的真空吸附结构底部的结构示意图；

图6为实施例中一种机械手臂的真空吸附结构第二旋转臂的结构示意图。

图中，1、取片叉；2、转接板；3、第一旋转臂；4、第二旋转臂；5、气道一；6、传动组件；7、气道二；8、通道一；9、吸孔；10、转接气道；11、气管接头一；12、通道二；13、卡块；14、引导板二；15、引导板一；16、气管接头二；17、气管接头三。

实施方式

以下结合说明附图作出进一步说明。除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

参见图1至6，一种机械手臂的真空吸附结构，从左到右，包括依次设置的取片叉1、转接板2、第一旋转臂3和第二旋转臂4，转接板2一侧设置有用于方形凹槽，取片叉1设置有与凹槽相互对应的方板，方板通过螺栓固定安装在凹槽内部形成固定。第一旋转臂3设置有旋转体，转接板2通过沉头螺栓固定安装在旋转体，旋转体已经于在先申请专利公开，这里不做赘述。

本实施例的气管接路包括设置于取片叉1和转接板2内的气道一5、与气道一5连通且设置于第一旋转臂3的气管一、与气管一连通且设置于第二旋转臂4的气道二7、与气道二7连通且设置与第二旋转臂4的气管二。

具体的为，气道一5包括沿着取片叉1主体设置的主气道和沿着取片叉1的叉杆设置的两个副气道，两个副气道的一端汇于主气道，副气道的另一端连通至取片叉1叉取晶圆的上表面形成吸孔9。

主气道的另一端向下开设并连通至取片叉1的下表面，转接板2内设置有转接气道10，转接气道10包括与主气道的下端连通的竖向气道，以及与竖向气道连通的横向气道，这里通过密封圈保证取片叉1与转接板2之间在气道连通处的气密性。

第一旋转臂3的端部内设置有竖直放置的气管接头一11，气管接头的上端连通转接气道10，也即横向气道向下开设与气管接头一11的通道连通。

第一旋转臂3的底部开设有供气管一伸出的通道一8，气管接头一11下端口位于外界，外接有气管一，气管一的另一端伸入通道一8进入到第一旋转臂3内。在第一旋转臂3内设置有支撑气管一的凹型的卡块13，卡块13的凹口与成圆弧形，从而满足气管一接入到卡块13内部。此外，在第一旋转臂3的内侧设置有传动组件6，传动组件6内部安装有气管接头二16，气管接头与引入的气管一连通；传动组件6上方至第一旋转臂3的底部还设置有Z字形引导板一15，引导板一15上设置有卡块13，采用引导板一15和卡块13能够实现气管一稳定设置在机械臂内部，从而保障了机机械臂在旋转过程中，气管一不容易发生位移从而也是能够避免发生形变。

传动组件6的下方位于第二旋转臂4内，传动组件6下方还设置有气管接头三17，该气管接头三17安装于第二旋转臂4的下部，该气管接头三17与前述设置在传动组件6内的气管接头二16相互连通。在第二旋转臂4的底部设置有供气管二伸出的通道二12，气管接头三17与气管二连接，第二旋转臂4的底部设置有卡块13且第二旋转臂4的底部设置有引导板二14，气管二安装于引导板二14，并卡接在卡块13上。气管二的另外一端连接于外界供气设备。本实施例采用气道和气管的设置方式实现了取片叉1的吸附晶圆的目的，且气管基本设置在机械臂内部，所以气管也不容易被外接受压而形变，造成吸气时不顺畅；而采用气管接头的方式实现气管接入机械臂内时的气密性有保障，避免发生漏气而造成吸气时的吸力不足。

Claims (8)

1.一种机械手臂的真空吸附结构，包括依次设置的取片叉(1)、转接板(2)、第一旋转臂(3)和第二旋转臂(4)，其特征在于，气管接路包括设置于取片叉(1)和转接板(2)内的气道一(5)、与气道一(5)连通且设置于第一旋转臂(3)的气管一、与气管一连通且设置于第二旋转臂(4)的气道二(7)、与气道二(7)连通且设置与第二旋转臂(4)的气管二；所述气道一(5)连通至取片叉(1)叉取晶圆的一侧形成吸孔(9)，所述气管二连接于外界供气设备。

2.根据权利要求1所述的一种机械手臂的真空吸附结构，其特征在于，所述气道一(5)包括沿着取片叉(1)主体设置的主气道和沿着取片叉(1)的叉杆设置的副气道，所述副气道汇于所述主气道；还包括与主气道连通且设置于转接板(2)内的转接气道(10)。

3.根据权利要求2所述的一种机械手臂的真空吸附结构，其特征在于，第一旋转臂(3)的端部内设置有气管接头一(11)，所述气管接头一(11)的上端连通所述转接气道(10)，所述第一旋转臂(3)开设有供气管一伸出的通道一(8)，所述气管接头一(11)的下端外接气管一伸出通道一(8)的一端。

4.根据权利要求3所述的一种机械手臂的真空吸附结构，其特征在于，所述第一旋转臂(3)内设置有支撑气管一的卡块(13)。

5.根据权利要求4所述的一种机械手臂的真空吸附结构，其特征在于，所述第一旋转臂(3)内设置有传动组件(6)，所述传动组件(6)上方至第一旋转臂(3)的底部还设置有引导板一(15)，所述引导板一(15)上设置有卡块(13)。

6.根据权利要求5所述的一种机械手臂的真空吸附结构，其特征在于，所述第二旋转臂(4)设置有气管接头二(16)和气管接头三(17)，所述气管接头二(16)设置于传动组件(6)内，且所述气管一连接于气管接头二(16)，所述气管接头三(17)安装于第二旋转臂(4)的外侧，且气管接头三(17)与气管二连接。

7.根据权利要求6所述的一种机械手臂的真空吸附结构，其特征在于，所述第二旋转臂(4)的底部设置有供气管二伸出的通道二(12)，所述第二旋转臂(4)的底部设置有卡块(13)。

8.根据权利要求7所述的一种机械手臂的真空吸附结构，其特征在于，所述第二旋转臂(4)的底部设置有引导板二(14)，所述气管二安装于引导板二(14)。