JPH06251367A - 円板状基板を保持して回転する基板保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 円板状基板を保持して回転する基板保持装置
であって、直径の小さな（小型の）基板を、基板に歪や
破損等を与えることのなく、確実に保持できる保持装置
を提供すること。 【構成】 円板状基板の外側端部の少なくとも３カ所を
保持する少なくとも３個の保持手段と、該少なくとも３
個の保持手段を基板押圧方向に付勢する付勢手段と、を
有し、上記３個の保持手段の夫々は、支点と、該支点を
中心にして回動可能の棒状部材と、該棒状部材に固定さ
れ、上記付勢手段の付勢力を上記支点を介して受けて上
記円板状基板を押圧して保持する基板保持部と、上記基
板保持部に固定され、装置の回転による遠心力を、上記
支点を介して上記基板保持部に与え、該基板保持部を基
板押圧方向に更に付勢する基板押圧補助部と、を有す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、円板状基板を保持して
回転する保持装置に関し、特に円板状基板の外側端部を
少なくとも３カ所で保持して高速回転する基板保持装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子機器の補助記憶装
置としてハードディスクを使用する傾向は近年特に強ま
り、ハードディスクを早く且つ安価に高精度のものを製
造する要求が益々強まっている。周知のように、ハード
ディスク基板状に磁性体を設ける前に、ハードディスク
基板（以下単に基板という場合がある）を研削後に又、
研磨後の各々の工程後に基板を洗浄・乾燥させる必要が
ある。

【０００３】洗浄したハードディスク基板の乾燥方法と
して、基板を高速で回転させて基板に付着している洗浄
液（以下、洗浄水とする）を遠心力で除去する方法があ
る。本発明は、このように基板を高速回転させて基板に
付着した洗浄水を除去する基板保持装置に関する。

【０００４】図５を参照して従来の基板保持の方法を簡
単に説明する。図５は、基板保持装置の基板保持部２
ａ、２ｂ、２ｃに保持された円板状基板４を示す。即
ち、基板保持部２ａ−２ｃの夫々に設けた溝（図示せ
ず）に、基板４の中心部に設けた円形の開口部（貫通
孔）６の縁部を係合させ、基板４を外側方向に押圧して
基板４を保持する。尚、図５では、基板保持装置の全体
の図示を省略している。

【０００５】基板４を基板保持部２ａ−２ｃで保持した
基板保持装置は、開口部６の中心点を通り基板面に垂直
な軸を中心にして、例えば矢印８の方向に約６０００ｒ
ｐｍで回転し、基板４の表面に付着した洗浄水を遠心力
により除去する。

【０００６】従来の方法によれば、保持部２ａ−２ｃ
は、高速回転により基板４の半径方向外向きに遠心力を
受けるので、保持部２ａ−２ｃは基板４の内側端部から
外れにくいという利点がある。

【０００７】しかしながら、基板の小型化に従い、基板
の中心部に設けられる円形状の開口部６が小さくなり、
保持部２ａ−２ｃを開口部６に配置するのが困難になっ
てきた。

【０００８】この問題を解決するため、基板の外側端部
を保持する保持装置が考えられる。しかし、基板保持装
置の高速回転により保持部に働く遠心力は基板の半径方
向外向きなので、基板の外側端部を押圧する方法は、保
持部が基板から外れ易いという問題がある。

【０００９】このため、基板の外側端部を保持する方法
では、遠心力に抗して基板を確実に保持するため、大き
な力で基板の外側端部を押圧する必要がある。しかし、
基板の端部を強く押さえると、基板に歪が生じたり或い
は端部が損傷するという大きな問題がある。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、基板に歪や
損傷を与えることなく、小型の（即ち直径の小さい）円
板状基板の外側端部を確実に保持できる基板保持装置を
提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】円板状基板の外側端部の
少なくとも３カ所を保持する少なくとも３個の保持手段
と、該少なくとも３個の保持手段を基板押圧方向に付勢
する付勢手段と、を有し、上記３個の保持手段の夫々
は、支点と、該支点を中心にして回動可能の第１手段
と、該第１手段に固定され、上記付勢手段の付勢力を上
記支点を介して受けて上記円板状基板を押圧して保持す
る第２手段と、上記第１手段に固定され、装置の回転に
よる遠心力を、上記支点を介して上記第２手段に与え、
該第２手段を基板押圧方向に更に付勢する第３手段と、
を有する。

【００１２】

【実施例】以下、図１−図４を参照して本発明の実施例
を説明する。図１は本発明に係る保持装置に保持された
基板４を示す概略正面図、図２は図１の１０ａ−１０ｂ
に沿った断面図（一部側面を表す）である。図３、図４
は基板の装着を説明する図である。

【００１３】まず、図１及び図２を参照して本発明を説
明する。図１に示すように、基板保持装置の保持部１２
ａ、１２ｂ、１２ｃは、基板４の外側端部を押圧して基
板４を保持する。実際には、保持部１２ａ−１２ｃの夫
々に設けた溝（後述する）に基板４の外側端部を係合さ
せ、保持部１２ａ−１２ｃを内側（基板４の中心方向）
に押圧して基板４を保持する。即ち、図２に示すよう
に、保持部１２ａの先端に設けた溝１４ａにより基板２
の端部を保持する。他の保持部１２ｂ及び１２ｃの夫々
にも、溝１４ａと同様の溝が設けられている。本実施例
では３個の保持部１２ａ−１２ｃ（図１）を設けている
が、場合によっては４個以上設けてもよい。

【００１４】図２において、柱状部材１６ａ（第１手
段）の上部両端には、上述の基板保持部１２ａ（第２手
段）と基板押圧補助部１８ａ（第３手段）が設けられて
いる。説明の便宜上、部材１６ａ、１２ａ及び１８ａか
ら成る部分をＴ型部分２０と称する。柱状部材１６ａの
中心部は、軸（支点）２２に回動自在に設けられてい
る。一方、筒状部２４の突部２６に固定された軸２８
は、柱状部材１６ａの下端部に設けた凹部と回動自在に
係合している。

【００１５】筒状部２４の内部には、バネ３０が設けら
れ、このバネ３０の右端（図面上）は筒状部２４の閉塞
端の内壁に当接しており、左端は部材（蓋）３２の内壁
に当接している。蓋３２は、回転本体３４に固定される
ので、筒状部２４はバネ３０によって右側に押され、Ｔ
型部分２０を矢印３６の方向に付勢する。従って、基板
保持部１２ａは、他の基板保持部１２ｂ及び１２ｃと共
に、基板４を保持する。

【００１６】回転本体３４の上部３６には、上述した軸
２２が固定され、柱状部材１６ａが軸２２に回転自在に
設けられている。図示の如く、回転本体３４は、ネジ等
の適当な固定手段３８により、棒状の基板脱着部材４０
を内部に有する筒状の回転付与部材４２に固定されてい
る。この回転付与部材４２は、回転駆動源（図示せず）
により例えば矢印４４の方向に回転する。従って、回転
本体３４が同方向に回転し、基板保持部材１２ａ（及び
１２ｂ、１２ｃ）により固定された基板４が同方向に回
転する。

【００１７】次に、図３及び図４を参照し、基板４の装
置への取り付けを説明する。図３に示すように、基板４
が装着されていない場合には、バネ３０による右方向の
押圧力により、筒状部２４は右側に押される。従って、
筒状部２４の右端は、基板脱着部材４０の左端に当接し
て停止する。この場合、筒状部２４に固定された軸２８
により、Ｔ型部分２０は、軸２２（支点）を中心にして
回動し、図３に示す位置となる。

【００１８】次いで、図４に示すように、基板脱着部材
４０をバネ３０の押圧力に抗して左側に押すと、Ｔ型部
分２０は、軸２２（支点）を中心として矢印４５の方向
に回動し、図４に示す位置になる。この状態で、基板４
を所定位置に設置し、基板脱着部材４０の左側方向への
押圧を解除すると、基板４は、図１及び図２に示すよう
に、基板保持部１２ａ−１２ｃ（図２では１２ａのみを
示す）により装置に装着される。

【００１９】図２を参照して、本発明を更に詳細に説明
する。装置が、図２の状態で且つ回転していない場合、
Ｔ型部分２０は、バネ３０の付勢力により矢印３６の方
向に付勢され、基板４は、基板保持部１２ａ（及び図示
していない１２ｂ、１２ｃ）により保持される。装置が
回転すると、基板保持部１２ａ及び基板押圧補助部１８
ａには、夫々矢印４６、４８の方向に遠心力が加わる。

【００２０】基板保持部１２ａに加わる遠心力は、従来
例と同様に、基板の押圧力を弱める方向に働く。即ち、
Ｔ型部分２０を矢印４５の方向に回動させるように作用
する。しかしながら、基板押圧補助部１８ａに働く遠心
力は、支点（軸）２２を介してＴ型部分２０（即ち、基
板保持部１２ａ）を矢印３６の方向に回動させるように
作用するので、基板保持部１２ａを基板４の中心部に押
圧することになる。

【００２１】

【発明の効果】従来例では、装置の回転による遠心力を
考慮して基板を強く押圧するため、上述したように、装
置の回転していない状態では、基板の端部が損傷したり
基板に歪を与えるという問題があった。しかし、本発明
は、基板の回転中の脱落を防止するのに、基板保持部１
２ａの押圧力を強めるのではなく、基板押圧補助部１８
ａに働く遠心力を、回転中の基板の押圧に利用している
ので、上述の従来例の問題を解決することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る装置（一部のみを示す）に保持さ
れた基板の正面図。

【図２】本発明に係る装置を説明するための断面図（一
部側面図）。

【図３】本発明に係る装置の動作を説明するための断面
図（一部側面図）。

【図４】本発明に係る装置の動作を説明するための断面
図（一部側面図）。

【図５】従来例に係る装置（一部のみを示す）に保持さ
れた基板の正面図。

【符号の説明】

４ 円板状基板 １２ａ 基板保持部（第２手段） １６ａ 棒状部材（第１手段） １８ａ 基板押圧補助部（第３手段） ３０ バネ（付勢手段）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】円板状基板の外側端部の少なくとも３カ所
   を保持する少なくとも３個の保持手段と、 該少なくとも３個の保持手段を基板押圧方向に付勢する
   付勢手段と、を有し、 上記３個の保持手段の夫々は、 支点と、 該支点を中心にして回動可能の第１手段と、 該第１手段に固定され、上記付勢手段の付勢力を上記支
   点を介して受けて上記円板状基板を押圧して保持する第
   ２手段と、 上記第１手段に固定され、装置の回転による遠心力を、
   上記支点を介して上記第２手段に与え、該第２手段を基
   板押圧方向に更に付勢する第３手段と、 を有することを特徴とする円板状基板を保持して回転す
   る基板保持装置。