JPH0625014Y2 - ウエ−ハカセツト - Google Patents
ウエ−ハカセツトInfo
- Publication number
- JPH0625014Y2 JPH0625014Y2 JP1987046049U JP4604987U JPH0625014Y2 JP H0625014 Y2 JPH0625014 Y2 JP H0625014Y2 JP 1987046049 U JP1987046049 U JP 1987046049U JP 4604987 U JP4604987 U JP 4604987U JP H0625014 Y2 JPH0625014 Y2 JP H0625014Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- wafer
- wafer cassette
- identification
- side plates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、ウェーハを収納するためのウェーハカセット
に係り、特に識別を行ない易いウェーハカセットに関す
る。
に係り、特に識別を行ない易いウェーハカセットに関す
る。
例えば、シリコンウェーハには外見では判別できない
が、製造条件によってそれぞれ異なった特性を有してい
る。このため、これらの特性の異なるシリコンウェーハ
を判別するために、ウェーハそのものに番号を刻印する
のが好ましいが、現時点では未だ規格化されておらず、
ユーザーによってまちまちであるという問題がある。
が、製造条件によってそれぞれ異なった特性を有してい
る。このため、これらの特性の異なるシリコンウェーハ
を判別するために、ウェーハそのものに番号を刻印する
のが好ましいが、現時点では未だ規格化されておらず、
ユーザーによってまちまちであるという問題がある。
従って、これに代わるものとして、シリコンウェーハを
収納するウェーハカセットに何らかの識別のための表示
を施して、これに基づいてウェーハのロット毎の管理を
行なっている。
収納するウェーハカセットに何らかの識別のための表示
を施して、これに基づいてウェーハのロット毎の管理を
行なっている。
上記ウェーハカセットの識別のための表示としては、従
来、ウェーハカセットの側面に番号を掘り込む方法、あ
るいは色の付いたプラスチックを付設する方法等が試み
られている。しかしながら、これらの方法にあっては、
識別するために目視に頼って行なわなければならず、識
別ミスや自動化の阻害要素となっていた。
来、ウェーハカセットの側面に番号を掘り込む方法、あ
るいは色の付いたプラスチックを付設する方法等が試み
られている。しかしながら、これらの方法にあっては、
識別するために目視に頼って行なわなければならず、識
別ミスや自動化の阻害要素となっていた。
また、バーコードを印刷したシールをウェーハカセット
に貼り付けて使用することも行なわれているが、ウエェ
ーハの洗浄工程のような場合には、印刷したバーコード
の色素が洗浄水に溶け出して汚染するために使用できな
いという問題がある。
に貼り付けて使用することも行なわれているが、ウエェ
ーハの洗浄工程のような場合には、印刷したバーコード
の色素が洗浄水に溶け出して汚染するために使用できな
いという問題がある。
本考案は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的
とするところは、ウェーハカセット番号を識別し易く、
かつ自動化を行なうことが用意である上に、洗浄水を汚
染する等の不具合が発生することなく、ウェーハ製造工
程で支障なく使用することができるウェーハカセットを
提供することにある。
とするところは、ウェーハカセット番号を識別し易く、
かつ自動化を行なうことが用意である上に、洗浄水を汚
染する等の不具合が発生することなく、ウェーハ製造工
程で支障なく使用することができるウェーハカセットを
提供することにある。
上記目的を達成するために、本考案は、ウェーハ収納用
の溝を有する一対の側板と、これらの側板に設けられた
前後の支持板とからなるウェーハカセットにおいて、上
記側板の基部に、下方に突出する複数の脚部を設け、一
方の側板の各脚部にカセット識別用穴を穿設したもので
ある。
の溝を有する一対の側板と、これらの側板に設けられた
前後の支持板とからなるウェーハカセットにおいて、上
記側板の基部に、下方に突出する複数の脚部を設け、一
方の側板の各脚部にカセット識別用穴を穿設したもので
ある。
本考案のウェーハカセットにあっては、一方の側板の各
脚部に、カセット番号に対応するカセット識別用穴を列
状に穿孔し、このカセット識別用穴の位置を識別するこ
とによりカセット番号を円滑に読みとる。
脚部に、カセット番号に対応するカセット識別用穴を列
状に穿孔し、このカセット識別用穴の位置を識別するこ
とによりカセット番号を円滑に読みとる。
以下、第１図ないし第５図に基づいて本考案の一実施例
を説明する。
を説明する。
図中符号１は本考案のウェーハカセットの一例を示すも
ので、このウェーハカセット１は、ウェーハ収納用の溝
１ａを有する一対の側板１ｂ，１ｂと、これらの側板１
ｂ，１ｂの前後部にそれぞれ一体的形成された前後支持
板１ｃ，１ｄとからなるものである。そして、これらの
前後支持板１ｃ，１ｄはそれぞれＵ字状及びＨ字状に形
成されたものである。
ので、このウェーハカセット１は、ウェーハ収納用の溝
１ａを有する一対の側板１ｂ，１ｂと、これらの側板１
ｂ，１ｂの前後部にそれぞれ一体的形成された前後支持
板１ｃ，１ｄとからなるものである。そして、これらの
前後支持板１ｃ，１ｄはそれぞれＵ字状及びＨ字状に形
成されたものである。
また、上記両側板１ｂ，１ｂの上部には、つば部１ｅ，
１ｅがそれぞれ外方に張り出した状態で形成されている
と共に、両側板１ｂ，１ｂの基部１ｆ，１ｆには、３個
ずつの脚部１ｑがそれぞれ形成されている。そして、一
方の側板１ｂの各脚部１ｑには、それぞれカセット識別
部１ｈが形成されている。これらのカセット識別部１ｈ
には、それぞれ４個のカセット識別用穴１ｉを穿設でき
るだけのスペースが設定されており、これらのカセット
識別用穴１ｉの穿設位置は、一方の支持板（第１図にお
いては右側の支持板１ｃ）の外面１ｊを基準として所定
の距離に一列状に並んで設定されている。
１ｅがそれぞれ外方に張り出した状態で形成されている
と共に、両側板１ｂ，１ｂの基部１ｆ，１ｆには、３個
ずつの脚部１ｑがそれぞれ形成されている。そして、一
方の側板１ｂの各脚部１ｑには、それぞれカセット識別
部１ｈが形成されている。これらのカセット識別部１ｈ
には、それぞれ４個のカセット識別用穴１ｉを穿設でき
るだけのスペースが設定されており、これらのカセット
識別用穴１ｉの穿設位置は、一方の支持板（第１図にお
いては右側の支持板１ｃ）の外面１ｊを基準として所定
の距離に一列状に並んで設定されている。
また、第４図と第５図は上記ウェーハカセット１とカセ
ット番号読み取り装置との関係を示す図である。これら
の図において、カセット番号読み取り装置２は、ウェー
ハカセット１を載置する定盤１ａと、この定盤２ａの一
端に設けられ、かつ上記ウェーハカセット１の支持板１
ｃの外面１ｊを押し当てて位置決めする位置決め部材２
ｂと、上記定盤２ａの一側に設けられ、かつ上記ウェハ
ーカセット１のカセット識別部１ｈを有する側の側板１
ｂを押し当てて位置決めするセンサー装着部材２ｂとか
らなると共に、センサー装着部材２ｃには、上記ウェハ
ーカセット１の各カセット識別用穴１ｉにそれぞれ対向
する位置に、装着孔２ｄがそれぞれ穿設されている。そ
して、上記各装着孔２ｄには、それぞれ光電反射センサ
ー３が装着されており、各光電反射センサー３によっ
て、各カセット識別部１ｈのカセット識別用穴１ｉの有
無を検出するようになっている。
ット番号読み取り装置との関係を示す図である。これら
の図において、カセット番号読み取り装置２は、ウェー
ハカセット１を載置する定盤１ａと、この定盤２ａの一
端に設けられ、かつ上記ウェーハカセット１の支持板１
ｃの外面１ｊを押し当てて位置決めする位置決め部材２
ｂと、上記定盤２ａの一側に設けられ、かつ上記ウェハ
ーカセット１のカセット識別部１ｈを有する側の側板１
ｂを押し当てて位置決めするセンサー装着部材２ｂとか
らなると共に、センサー装着部材２ｃには、上記ウェハ
ーカセット１の各カセット識別用穴１ｉにそれぞれ対向
する位置に、装着孔２ｄがそれぞれ穿設されている。そ
して、上記各装着孔２ｄには、それぞれ光電反射センサ
ー３が装着されており、各光電反射センサー３によっ
て、各カセット識別部１ｈのカセット識別用穴１ｉの有
無を検出するようになっている。
なお、符号４はウェーハカセット１のカセット識別用穴
１ｉの高さをカセツト番号読み取り装置２のセンサー装
着部材２ｃの装着孔２ｄの高さに合わせるためのライナ
ーであり、両者の高さが一致している場合には使用する
必要はない。
１ｉの高さをカセツト番号読み取り装置２のセンサー装
着部材２ｃの装着孔２ｄの高さに合わせるためのライナ
ーであり、両者の高さが一致している場合には使用する
必要はない。
上記のように構成されたウェーハカセット１において
は、内部の溝１ａに収納して使用するのに先立って、各
ウェーハカセット１にそれぞれ個別に番号付けを行な
う。そして、この番号に対応して、各カセット識別１ｈ
の所定位置にカセット識別用穴１ｉを穿設する。これに
より、各カセット識別部１ｈのカセット識別用穴１ｉの
有無によって、各ウェーハカセット１には、２進法によ
る番号付けがなされる。
は、内部の溝１ａに収納して使用するのに先立って、各
ウェーハカセット１にそれぞれ個別に番号付けを行な
う。そして、この番号に対応して、各カセット識別１ｈ
の所定位置にカセット識別用穴１ｉを穿設する。これに
より、各カセット識別部１ｈのカセット識別用穴１ｉの
有無によって、各ウェーハカセット１には、２進法によ
る番号付けがなされる。
このようにして番号付けがなされた各ウェーハカセット
１は、ウエーハを収納してウェーハ製造、処理工程にお
いて従来通り使用される。この番号、各ウェーハカセッ
ト１の番号を識別する必要が生じると、上記カセット番
号読み取り装置２によってカセット番号の識別を行な
う。すなわち、カセット番号読み取り装置２の定盤２ａ
上にカセットウェーハ１を載置すると共に、位置決め部
材２ｂに支持板１ｃを、かつセンサー装着部材２ｂにカ
セット識別部１ｈを有する側の側板１ｂをそれぞれ押し
当てて位置決めを行なった後に、センサー装着部材２ｃ
の各光電反射センサー３によって、カセット識別部１ｈ
の各カセツト識別用穴１ｉの有無を検出する。そして、
これらの検出信号に基づいて、２進法のカセット番号が
円滑に識別される。従って、ウェーハカセット１の内部
に収納されているウェーハのロット管理及びウェーハカ
セット１の管理が確実に行なえる。
１は、ウエーハを収納してウェーハ製造、処理工程にお
いて従来通り使用される。この番号、各ウェーハカセッ
ト１の番号を識別する必要が生じると、上記カセット番
号読み取り装置２によってカセット番号の識別を行な
う。すなわち、カセット番号読み取り装置２の定盤２ａ
上にカセットウェーハ１を載置すると共に、位置決め部
材２ｂに支持板１ｃを、かつセンサー装着部材２ｂにカ
セット識別部１ｈを有する側の側板１ｂをそれぞれ押し
当てて位置決めを行なった後に、センサー装着部材２ｃ
の各光電反射センサー３によって、カセット識別部１ｈ
の各カセツト識別用穴１ｉの有無を検出する。そして、
これらの検出信号に基づいて、２進法のカセット番号が
円滑に識別される。従って、ウェーハカセット１の内部
に収納されているウェーハのロット管理及びウェーハカ
セット１の管理が確実に行なえる。
以上説明したように、本考案は、ウェーハ収納用の溝を
有する一対の側板と、これらの側板に設けられた前後の
支持板とからなるウェーハカセットにおいて、上記側板
の基部に、下方に突出する複数の脚部を設け、一方の側
板の各脚部にカセット識別用穴を穿設したものであるか
ら、一方の側板の各脚部を、カセット番号に対応するカ
セット識別用穴を列状に穿孔し、このカセット識別用穴
の位置をセンサー等を用いて識別することによりカセッ
ト番号を確実にかつ円滑に読みとることができ、自動化
を行うことが容易な上に、洗浄水を汚染する等の不具合
が発生することなく、ウェーハ製造工程で支障なく使用
することができる。
有する一対の側板と、これらの側板に設けられた前後の
支持板とからなるウェーハカセットにおいて、上記側板
の基部に、下方に突出する複数の脚部を設け、一方の側
板の各脚部にカセット識別用穴を穿設したものであるか
ら、一方の側板の各脚部を、カセット番号に対応するカ
セット識別用穴を列状に穿孔し、このカセット識別用穴
の位置をセンサー等を用いて識別することによりカセッ
ト番号を確実にかつ円滑に読みとることができ、自動化
を行うことが容易な上に、洗浄水を汚染する等の不具合
が発生することなく、ウェーハ製造工程で支障なく使用
することができる。
第１図ないし第５図の本考案の一実施例を示すもので、
第１図は基部の正面図、第２図は同側面図、第３図はウ
ェーハカセットの斜視図、第４図と第５図はカセット番
号読み取り装置の一例を示すもので、第４図は断面図、
第５図は平面図である。 １……ウェーハカセット、１ａ……溝、１ｂ……側板、
１ｃ……前支持板、１ｄ……後支持板、１ｆ……基部、
１ｇ……脚部、１ｈ……カセット識別部、１ｉ……カセ
ット識別用穴。
第１図は基部の正面図、第２図は同側面図、第３図はウ
ェーハカセットの斜視図、第４図と第５図はカセット番
号読み取り装置の一例を示すもので、第４図は断面図、
第５図は平面図である。 １……ウェーハカセット、１ａ……溝、１ｂ……側板、
１ｃ……前支持板、１ｄ……後支持板、１ｆ……基部、
１ｇ……脚部、１ｈ……カセット識別部、１ｉ……カセ
ット識別用穴。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−71949（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−58357（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−49447（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−163949（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】ウェーハ収納用の溝を有する一対の側板
と、これらの側板に設けられた前後の支持板とからなる
ウェーハカセットにおいて、上記側板の基部に、下方に
突出する複数の脚部を設け、一方の側板の各脚部にカセ
ット識別用穴を穿設したことを特徴とするウェーハカセ
ット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987046049U JPH0625014Y2 (ja) | 1987-03-28 | 1987-03-28 | ウエ−ハカセツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987046049U JPH0625014Y2 (ja) | 1987-03-28 | 1987-03-28 | ウエ−ハカセツト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63153517U JPS63153517U (ja) | 1988-10-07 |
| JPH0625014Y2 true JPH0625014Y2 (ja) | 1994-06-29 |
Family
ID=30865350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987046049U Expired - Lifetime JPH0625014Y2 (ja) | 1987-03-28 | 1987-03-28 | ウエ−ハカセツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0625014Y2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5671949A (en) * | 1979-11-15 | 1981-06-15 | Nissin Electric Co Ltd | Specimen carrier for charge particle injector |
| JPS6149447U (ja) * | 1984-09-03 | 1986-04-03 | ||
| JPS62163949U (ja) * | 1986-04-09 | 1987-10-17 |
-
1987
- 1987-03-28 JP JP1987046049U patent/JPH0625014Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63153517U (ja) | 1988-10-07 |
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