JPS61196512A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法Info
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- JPS61196512A JPS61196512A JP60036883A JP3688385A JPS61196512A JP S61196512 A JPS61196512 A JP S61196512A JP 60036883 A JP60036883 A JP 60036883A JP 3688385 A JP3688385 A JP 3688385A JP S61196512 A JPS61196512 A JP S61196512A
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- JP
- Japan
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- semiconductor substrate
- semiconductor
- notch
- discrimination
- light
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- Pending
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67796—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations with angular orientation of workpieces
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- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/544—Marks applied to semiconductor devices or parts, e.g. registration marks, alignment structures, wafer maps
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- H01L2223/00—Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
- H01L2223/544—Marks applied to semiconductor devices or parts
- H01L2223/54493—Peripheral marks on wafers, e.g. orientation flats, notches, lot number
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置の製造に関し1%に半導体基板の識
別方法に関するものである。
別方法に関するものである。
従来半導体基板の識別は半導体基板の一部に書かれたO
CR文字あるいはバーコード等によるのが一般的であっ
た。
CR文字あるいはバーコード等によるのが一般的であっ
た。
上述した従来のOCR文字読み取りあるいはバーコード
絖み取りは複雑な光学系と高級なCPUを採用し非常に
萬価であり、その上各種の処理を径だ後でri、読み取
りに時間がかIJ)ったり、読み取り不可能になる事も
多かった。
絖み取りは複雑な光学系と高級なCPUを採用し非常に
萬価であり、その上各種の処理を径だ後でri、読み取
りに時間がかIJ)ったり、読み取り不可能になる事も
多かった。
また従来の半導体製造で一般に庇われている半導体基板
と膜厚や特性を測定するための基板等の識別に安価な方
法がなく、人間の目視判定が簡単なためこれを採用する
場合が多くこの場合はミスによる混入がさけられなかっ
た。
と膜厚や特性を測定するための基板等の識別に安価な方
法がなく、人間の目視判定が簡単なためこれを採用する
場合が多くこの場合はミスによる混入がさけられなかっ
た。
近年半導体基板が大口径化するにつれ人間が基板を直接
取扱う事が不可能に近くなっておジ、安価な方法で半導
体基板を識別する方法が必要とされた。
取扱う事が不可能に近くなっておジ、安価な方法で半導
体基板を識別する方法が必要とされた。
本発明の方法は半導体基板外周部に識別用の切欠きを複
数ケ所設けこれを光電式あるいは機械的に読み取ること
により半導体基板の識別を行うものであり、文字あるい
はバーコード等の読み取りと異なり、非常に安価なシス
テムでかつ半導体装置製造上問題となるゴミ、傷、汚れ
等の発生も少なくかつこれらによ#)fft、み取り不
可能になる事もないという%aを有している。
数ケ所設けこれを光電式あるいは機械的に読み取ること
により半導体基板の識別を行うものであり、文字あるい
はバーコード等の読み取りと異なり、非常に安価なシス
テムでかつ半導体装置製造上問題となるゴミ、傷、汚れ
等の発生も少なくかつこれらによ#)fft、み取り不
可能になる事もないという%aを有している。
矢に本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例を示す半導体基板1の図であ
り切欠き2は半導体基板1t−板状に加工する前に加工
しである。
り切欠き2は半導体基板1t−板状に加工する前に加工
しである。
第2図は第1図の実施例の半導体基板の識別を行なう装
置の断面図であシ、図において半導体基板1が回転する
ことにより発光部3よりの光かつ受光部4に切欠きに応
じたパルス信号5が検出され半導体基板の識別が行なわ
れる。
置の断面図であシ、図において半導体基板1が回転する
ことにより発光部3よりの光かつ受光部4に切欠きに応
じたパルス信号5が検出され半導体基板の識別が行なわ
れる。
第3図は第1図9実施例の半導体基板の識別を行なう装
置の他の例であり、図において半導体基板1の外周に押
し当てられたキー6のON、OFFにより、切欠きに応
じた信号を検出し半導体基板の識別を行なうものである
。
置の他の例であり、図において半導体基板1の外周に押
し当てられたキー6のON、OFFにより、切欠きに応
じた信号を検出し半導体基板の識別を行なうものである
。
半導体基板に設ける切欠きは本実施例では半導体基板を
板状に加工する前に加工したが半導体基板になってから
ダイサー等により切欠き加工することも容易である。
板状に加工する前に加工したが半導体基板になってから
ダイサー等により切欠き加工することも容易である。
以上説明したように本発明は半導体基板外周に切欠@を
設けることにより、従来の欠点でめった高価な認識シス
テムを用いずに極めて安価に半導体基板の識別を行なう
事ができるばかりでなくどこの工程に使用しても識別の
確率はほぼ一定であり、かつゴミ、キズ、汚れ等の影響
が最少にでさる効果がある。
設けることにより、従来の欠点でめった高価な認識シス
テムを用いずに極めて安価に半導体基板の識別を行なう
事ができるばかりでなくどこの工程に使用しても識別の
確率はほぼ一定であり、かつゴミ、キズ、汚れ等の影響
が最少にでさる効果がある。
第1図は本発明の一実施例を示す半導体基板の平面図、
第2図は本発明の一実施例の半導体基板の識別を行なう
装置の断面図および波形図、第3図は本発明の一実施例
の半導体基板の識別を行なう装置の他の例を示す図であ
る。 図において、1は半導体基板、2は識別用切欠き、3は
発光部54は受光部、5は出力のパルス信号、6は識別
キーである。
第2図は本発明の一実施例の半導体基板の識別を行なう
装置の断面図および波形図、第3図は本発明の一実施例
の半導体基板の識別を行なう装置の他の例を示す図であ
る。 図において、1は半導体基板、2は識別用切欠き、3は
発光部54は受光部、5は出力のパルス信号、6は識別
キーである。
Claims (1)
- 半導体基板の外周部に複数ケ所の切欠きを設け、これを
検出することにより半導体基板の識別を行なう事を特徴
とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60036883A JPS61196512A (ja) | 1985-02-26 | 1985-02-26 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60036883A JPS61196512A (ja) | 1985-02-26 | 1985-02-26 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61196512A true JPS61196512A (ja) | 1986-08-30 |
Family
ID=12482170
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60036883A Pending JPS61196512A (ja) | 1985-02-26 | 1985-02-26 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61196512A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01266735A (ja) * | 1988-04-18 | 1989-10-24 | Matsushita Electron Corp | 半導体基板 |
US5230747A (en) * | 1982-07-30 | 1993-07-27 | Hitachi, Ltd. | Wafer having chamfered bend portions in the joint regions between the contour of the wafer and the cut-away portion of the wafer |
EP0604061A1 (en) * | 1992-12-24 | 1994-06-29 | AT&T Corp. | Semiconductor fabrication |
GB2307787A (en) * | 1995-11-30 | 1997-06-04 | Samsung Electronics Co Ltd | Labelling semiconductor wafers |
US5894172A (en) * | 1996-05-27 | 1999-04-13 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor device with identification function |
-
1985
- 1985-02-26 JP JP60036883A patent/JPS61196512A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5230747A (en) * | 1982-07-30 | 1993-07-27 | Hitachi, Ltd. | Wafer having chamfered bend portions in the joint regions between the contour of the wafer and the cut-away portion of the wafer |
USRE40139E1 (en) * | 1982-07-30 | 2008-03-04 | Renesas Technology Corp. | Wafer having chamfered bend portions in the joint regions between the contour of the cut-away portion of the wafer |
JPH01266735A (ja) * | 1988-04-18 | 1989-10-24 | Matsushita Electron Corp | 半導体基板 |
EP0604061A1 (en) * | 1992-12-24 | 1994-06-29 | AT&T Corp. | Semiconductor fabrication |
JPH06232016A (ja) * | 1992-12-24 | 1994-08-19 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 半導体集積回路の形成方法と前記方法により形成されたウェーハ |
GB2307787A (en) * | 1995-11-30 | 1997-06-04 | Samsung Electronics Co Ltd | Labelling semiconductor wafers |
US5800906A (en) * | 1995-11-30 | 1998-09-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Label for semiconductor wafer |
GB2307787B (en) * | 1995-11-30 | 2000-10-11 | Samsung Electronics Co Ltd | A set of labels for a semiconductor wafer |
US5894172A (en) * | 1996-05-27 | 1999-04-13 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor device with identification function |
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