KR19980023312A - 반도체 웨이퍼 - Google Patents

Abstract

반도체 웨이퍼에 관한 것이다.

본 발명에 따른 반도체 웨이퍼는, 반도체장치 제조를 위한 반도체 웨이퍼에 있어서, 그 측면에 웨이퍼 관리를 위한 ID 마아크가 표시되어 있는 것을 특징으로 한다.

따라서, 종래 웨이퍼의 인식과정에서 발생된 파티클로 인한 공정불량의 발생을 줄일 수 있으며 카세트에 적재된 상태로 신속한 웨이퍼 인식이 가능하므로 공정관리의 효율을 높일 수 있다는 이점이 있다.

Description

반도체 웨이퍼

본 발명은 반도체 웨이퍼에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 측면에 인식표지를 갖는 반도체 웨이퍼에 관한 것이다.

반도체장치의 전체 제조공정은 다수 다종의 복잡한 단위 공정들로 이루어져 있다. 따라서 웨이퍼는 이들 여러 가지 공정을 거쳐서 반도체장치로 되는 것이다. 이러한 복잡한 공정 가운데 하나의 순서상의 착오도 웨이퍼에 형성되는 다수 반도체장치의 불량과 폐기를 가져오게 되므로 어떤 웨이퍼가 어떤 공정을 거쳤고 현재 어떤 상태에 있는지를 파악할 필요가 있다.

또한 보다 나은 공정관리와 생산성 향상을 위해 공정에 대한 여러 가지 문제점, 기타 관리에 필요한 정보를 얻고 통계처리할 수 있는 방법이 필요하다.

이러한 필요성을 만족시키기 위해 반도체 제조공정에서는 공정의 요소들에서 개별 웨이퍼에 대한 정보를 축적하여 저장하고 있다. 이러한 정보처리에서 전제가 되는 것이 개별 웨이퍼에 대한 인식이다. 즉, 개별 웨이퍼가 간단한 방법으로 인식될 수 있어야 그 웨이퍼에 대한 정보를 정보시스템에서 점검요소마다 축적하고 저장하여 필요할 때에는 이용할 수 있는 것이다.

개별 웨이퍼의 인식방법으로 주로 사용되는 것이 각각의 웨이퍼에 고유의 번호를 부여하고 인식가능하도록 표시하는 것이다. 한편, 웨이퍼의 가공공정에서 웨이퍼는 로트(Lot)단위로 캐리어에 담겨 처리되는 것이 일반적이므로 웨이퍼에 대한 인식은 캐리어에 대한 정보와 그 캐리어 내에서의 웨이퍼의 구별에 대한 정보로 나누어져 이루어질 수도 있다.

웨이퍼의 인식을 위해 웨이퍼에 표시된 것이 웨이퍼 ID(Wafer Identification) 마아크이다. ID 마아크는 여러 가지의 형태로 이루어질 수 있으나 흔히 사용되는 것은 웨이퍼의 전면 혹은 후면에 하드 마킹 혹은 레이져 마킹된 것이다.

도1은 ID 마아크가 표시된 종래의 웨이퍼를 나타내는 도면이다. 웨이퍼 전면(11)의 플랫존 부분 바로 위쪽에 알파벳 문자와 숫자를 조합시킨 고유 ID 마아크(12)가 형성되어 있다.

그러나 ID 마아크를 웨이퍼 전면에 표시할 경우에는 우선 표시된 마아크에 포토레지스트나 기타 이물질이 끼어있는 상태에서 에칭이나 클리닝 공정 후에 이들 이물질이 빠져나와 웨이퍼 전면에 파티클을 발생시키는 확률이 높아진다는 문제점이 있었다.

그리고 웨이퍼의 ID 마아크를 자동인식기를 이용하여 읽을 때 일반적으로 웨이퍼 전면의 위쪽에서 자동인식기가 작동되어야 하므로 인식장치의 가동을 위한 공간을 필요로 한다. 따라서 캐리어에 적재된 상태로는 인식이 어렵기 때문에 개별로 이동되어 인식되기 위해 시간의 지체가 많았다. 또한 기기에서 웨이퍼로 파티클이 떨어지는 문제점도 있었다.

한편, ID 마아크를 웨이퍼 뒷면에 표시할 경우에는 파티클에 의한 웨이퍼 손상 및 폐기라는 문제는 없으나 역시 캐리어에 담긴 다수의 웨이퍼를 연속적으로 신속하게 인식하기에는 불편하다는 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은, 반도체장치 제조공정에서 웨이퍼 관리를 위한 개별 웨이퍼의 인식이 용이한 반도체 웨이퍼를 제공하는 데 있다.

도1은 ID 마아크가 표시된 종래의 웨이퍼를 나타내는 도면이다.

도2는 본 발명에 따라 측면에 ID 마아크를 표시한 반도체 웨이퍼를 나타내는 도면이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11: 웨이퍼 전면 12, 23: ID 마아크

25: 웨이퍼 측면

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼는, 반도체장치 제조를 위한 반도체 웨이퍼에 있어서, 그 측면에 웨이퍼 관리를 위한 ID 마아크가 표시되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에서 반도체 웨이퍼는 측면의 ID 마아크를 보다 쉽게 인식할 수 있도록 측면이 폴리싱(Polishing)처리되는 것이 바람직하다. 또한, ID 마아크는 일반적인 문자나 숫자뿐 아니라 바코드 형식으로 표시될 수도 있다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도2는 본 발명에 따라 측면에 ID 마아크를 표시한 반도체 웨이퍼를 나타내는 도면이다.

종래의 웨이퍼와 같이 ID 마아크(23)는 알파벳 문자와 수자의 조합으로 되어 있으며, 다만 플랫존 부분의 웨이퍼 측면(25)에 표시되어 있다.

본 예에서 반도체 웨이퍼는 측면의 좁은 공간에서 ID 마아크를 보다 쉽게 인식할 수 있도록 측면이 폴리싱처리되어 있다. 한편, 캐리어에 적재된 상태에서 자동인식기로 혹은 육안으로 웨이퍼 ID 마아크를 연속적으로 인식하기 위해서는 플랫존 정렬이나 노치 정렬된 상태가 되어야 한다.

이상과 같이 본 발명에서는 웨이퍼의 ID 마아크를 웨이퍼 측면에 표시하기 때문에 웨이퍼 인식을 위한 자동인식기에서 떨어지는 파티클에 웨이퍼가 오염될 염려가 없으며, 특히 본 발명의 웨이퍼는 웨이퍼를 클램프나 척으로 고정하는 공정에서 유용하다.

또한, 스캔 리더와 같은 장비를 이용하여 웨이퍼 카세트 외부로 드러난 웨이퍼의 ID 마아크를 일시에 자동적으로 인식할 수 있으므로 공정에 필요한 웨이퍼 인식속도가 매우 빨라진다.

따라서, 본 발명에 의하면 웨이퍼 가공공정에서의 파티클로 인한 공정불량의 발생을 줄일 수 있으며 카세트에 적재된 상태로 신속한 웨이퍼 인식이 가능하므로 공정관리의 효율을 높일 수 있다는 이점이 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (1)

1. 반도체장치 제조를 위한 반도체 웨이퍼에 있어서, 그 측면에 웨이퍼 관리를 위한 ID 마아크가 표시되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼.