KR19990065488A - 식별기호 측면표기형 웨이퍼 및 이의 식별기호를 검출하기위한 검출 툴 - Google Patents

Abstract

본 발명은 식별기호 측면표기형 웨이퍼 및 이의 식별기호를 검출하기 위한 검출 툴에 관한 것으로, 본 발명에서는 카세트의 후면으로 항상 노출되는 웨이퍼의 외주면에 식별기호를 표기하고, 이를 광센서를 통해 정확히 검출함으로써, 첫째, 작업자가 웨이퍼를 일일이 적출시키지 않고서도 양호한 웨이퍼 관리를 이루게 할 수 있고, 둘째, 웨이퍼에 발생될 수 있는 예측하지 못한 사고를 미연에 방지시킬 수 있으며, 셋째, 작업자의 업무부담을 현저히 저감시킬 수 있다.

Description

식별기호 측면표기형 웨이퍼 및 이의 식별기호를 검출하기 위한 검출 툴

본 발명은 식별기호 측면표기형 웨이퍼 및 이의 식별기호를 검출하기 위한 검출 툴에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 카세트의 후방으로 노출되는 몸체들의 외주면에 서로 식별이 가능한 식별기호를 표기하고 이러한 식별기호가 적정 검출 툴을 통해 신속히 검출될 수 있도록 함으로써, 카세트로부터 각 웨이퍼들을 일일이 적출시키지 않고서도 각 웨이퍼들의 식별기호를 양호하게 파악할 수 있도록 하는 식별기호 측면표기형 웨이퍼 및 이의 식별기호를 검출하기 위한 검출 툴에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조공정에 투입되는 웨이퍼는 개별 단위로 가공되지 않고 20개 ~ 25개 단위 묶음으로 분리·가공된다.

이러한 웨이퍼의 묶음을 로트(Lot)라 한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 로트 단위의 웨이퍼들(20)을 탑재한 카세트(10)가 해당 공정을 위한 설비(1)로 운송되면, 작업자는 카세트(10)의 상측부에 형성된 손잡이(11)를 잡고 카세트(10)를 설비(1)의 스테이션(2)에 올려놓은 후 설비(1)를 가동시킨다.

이후, 설비(1)의 가동이 시작되면, 카세트(10)의 슬롯에 탑재된 로트 단위의 웨이퍼들(20)은 로봇(미도시)에 의해 한 장씩 꺼내진 후 공정설비로 로딩되어 처리된다.

그런데, 통상의 반도체 제조라인에서는 로트 단위의 웨이퍼들(20)을 식별·관리하기 위하여 웨이퍼들(20)의 앞/뒤 표면에 문자나 바코드 등의 식별기호를 표기하고 이를 통해 각각의 웨이퍼들을 양호하게 관리하고 있다.

이때, 공정이 진행되는 과정 중에서 카세트(10)에 탑재되어 있던 웨이퍼들(20)의 순서가 뒤바뀌는 경우가 종종 발생되게 되는 데, 이러한 경우, 작업자는 트위저 등의 치구를 사용하여 웨이퍼(20)들을 하나 하나 끄집어 낸 후 그것의 앞/뒤 표면에 표기된 식별기호를 육안으로 확인하거나, 또는 쏘팅(Sorting) 설비에 각 웨이퍼들(20)을 로딩하여 소정의 전수검사를 실시함으로써, 이의 문제점이 양호하게 해결되도록 한다.

이후, 작업자는 상술한 확인 결과를 설비(1)에 입력시킴으로써, 설비(1)가 각각의 웨이퍼들(20)을 구별하여 양호한 공정을 진행시킬 수 있도록 한다.

그러나, 이러한 종래의 웨이퍼 식별기호 관리방법에 있어서, 작업자가 웨이퍼들의 식별기호를 관리하기 위해서는 상술한 바와 같이, 카세트에 탑재되어 있던 웨이퍼들을 일일이 수작업을 통해 적출해야 함으로써, 작업자의 업무부담이 현저히 증가하는 문제점을 초래한다.

또한, 이러한 웨이퍼 적출작업은 매우 정교한 기술을 요함으로써, 만약, 작업자가 웨이퍼 적출작업 도중 웨이퍼를 떨어뜨리는 등의 실수를 범할 경우, 웨이퍼의 품질에 커다란 악영향이 초래된다.

더욱이, 각 웨이퍼들의 식별기호를 상술한 쏘팅 설비를 사용하여 관리하는 데에는 많은 시간이 소요됨으로써, 전체적인 공정시간이 지연되는 결과가 초래된다.

따라서, 본 발명의 목적은 카세트의 후면으로 항상 노출되는 웨이퍼의 외주면에 식별기호를 표기하고, 이를 광센서를 통해 정확히 검출함으로써, 웨이퍼가 카세트 슬릿에 임의로 탑재되어 있는 경우에도, 작업자가 웨이퍼를 일일이 적출시키지 않고 양호한 웨이퍼 관리를 이룰 수 있도록 하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 이와 같이 작업자에 의한 웨이퍼 적출작업을 방지함으로써, 웨이퍼에 발생될 수 있는 예측하지 못한 사고를 미연에 방지시킴과 아울러 작업자의 업무부담을 현저히 저감시키는 데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 상술한 과정을 통해 종래의 쏘팅 설비를 사용하지 않고서도 웨이퍼의 식별기호 관리가 이루어지도록 함으로써, 전체적인 공정시간을 저감시키는 데 있다.

도 1은 종래의 웨이퍼가 카세트에 탑재되어 설비에 로딩된 형상을 개략적으로 도시한 예시도.

도 2는 본 발명에 따른 식별기호 측면표기형 웨이퍼가 카세트에 탑재된 형상을 개략적으로 도시한 예시도.

도 3은 본 발명에 따른 식별기호 측면표기형 웨이퍼의 식별기호를 검출하기 위한 검출 툴의 형상을 개략적으로 도시한 예시도.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 카세트에 탑재되는 몸체와; 상기 카세트의 후면으로 노출되는 상기 몸체의 외주면에 표기된 식별기호피트를 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 식별기호피트는 레이저에 의해 형성되는 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 식별기호피트는 마그네틱 코딩에 의해 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 설비내에 설치된 구동모터와; 상기 설비의 스테이션상에 설치되어 상기 구동모터와 연결되며, 상기 구동모터의 작동에 따라 승강하는 한쌍의 승강축들과; 상기 승강축들 사이에 고정되며, 상기 승각축들의 승강에 따라 승강하면서 카세트에 탑재된 웨이퍼들의 외주면에 표기된 식별기호피트를 검출하는 검출헤드를 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 검출헤드에는 각각 쌍을 이루며 연속하여 배열되는 발광소자들 및 수광소자들이 구비되는 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 본 발명에서는 카세트로부터 웨이퍼들을 일일이 적출시키지 않고서도 웨이퍼들을 양호하게 식별·관리할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 식별기호 측면표기형 웨이퍼 및 이의 식별기호를 검출하기 위한 검출 툴을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 식별기호 측면표기형 웨이퍼(30)는 카세트(10)에 탑재되는 몸체(32)와, 카세트(10)의 후면으로 노출되는 몸체(32)의 외주면에 표기된 식별기호피트(31)로 구성된다. 이에 따라, 작업자는 카세트(10)에 탑재된 웨이퍼들(30)을 일일이 카세트로부터 적출시키지 않고서도 후술하는 검출 툴을 통해 그것들의 식별기호를 양호하게 파악할 수 있다.

통상, 카세트(10)에 탑재된 웨이퍼들(30)은 기본적으로 자신의 격자 방향을 나타내기 위해서 그것의 외주면에 특정한 패턴(21)을 형성하고 있으며, 공정이 진행될 때, 각 웨이퍼들(30)은 자신의 격자 방향을 표시하기 위하여 이러한 특정 패턴(21)을 카세트(10)의 후면으로 노출시킨 상태에서 동일 방향을 이루어 정렬되는 것이 일반적이다.

이때, 본 발명에서는 이러한 웨이퍼들(30)의 카세트 탑재 원리를 이용하여, 상술한 특정 패턴(21)을 기준으로 웨이퍼의 번호에 따라 서로 다른 외주면 위치에 식별기호피트(31)를 형성시켜 줌으로써, 각 웨이퍼들(30)이 카세트(10) 내부에 탑재된 경우에도 카세트(10)의 후면을 통해 그것들의 식별기호가 용이하게 파악·구별되도록 하였다.

이때, 바람직하게, 식별기호피트(31)는 레이저에 의한 물리적인 결함에 의해 형성된다. 이러한 경우, 후술하는 검출 툴의 발광소자로부터 출력된 광선은 각 식별기호피트(31)별로 특정 방향의 반사광을 형성시킴으로써, 각 웨이퍼들(30)의 용이한 구별을 유도한다.

또한, 바람직하게, 식별기호피트(31)는 마그네틱 재질이 코팅되는 마그네틱 코팅방식에 의해 형성될 수도 있다. 이러한 경우, 후술하는 검출 툴의 발광소자로부터 출력된 광선은 각 식별기호피트(31)의 마그네틱 특성별로 특정 방향의 반사광을 형성시킴으로써, 각 웨이퍼들(30)의 용이한 구별을 유도한다.

종래의 경우, 작업자가 웨이퍼들의 식별기호를 관리하기 위해서는 카세트에 탑재되어 있던 웨이퍼들을 일일이 수작업을 통해 적출해야 함으로써, 작업자의 업무부담이 현저히 증가하는 결과가 초래되었다.

그러나, 본 발명의 경우, 상술한 바와 같이, 카세트(10)에 탑재되어 있는 각 웨이퍼들(30)은 카세트(10)의 후면으로 노출된 몸체(32)의 외주면에 자신을 구별시킬 수 있는 식별기호피트(31)를 형성시키고 있음으로써, 작업자는 후술하는 검출 툴을 이용하여 간단하게 웨이퍼들(30)의 식별기호를 구별할 수 있다. 이에 따라, 작업자의 업무부담은 현저히 저감된다.

특히, 종래의 경우, 웨이퍼들의 식별기호 구별을 위한 웨이퍼 적출작업은 매우 정교한 기술을 요함으로써, 만약, 작업자가 웨이퍼 적출작업 도중 웨이퍼를 떨어뜨리는 등의 실수를 범할 경우, 웨이퍼는 그 품질에 커다란 손상을 입었다.

그러나, 본 발명의 경우, 상술한 바와 같이 작업자는 수작업을 통한 웨이퍼(30) 적출작업을 진행시킬 필요가 없음으로써, 웨이퍼(30)의 품질은 양호하게 확보된다.

한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 검출 툴(40)은 설비(1)내에 설치된 구동모터(46)와, 구동모터(46)와 연결되어 하나의 쌍을 이루는 승강축들(41)과, 이러한 승강축들(41)에 고정된 검출헤드(42)로 구성된다.

이때, 승강축들(41)은 구동모터(46)의 작동에 따라 상하로 승강하며, 이에 고정된 검출헤드(42) 또한 승강축들(41)의 승강에 대응되어 원할하게 승강된다.

여기서, 바람직하게, 검출헤드(42)의 전면에는 각각 쌍을 이루며 연속하여 배열되는 발광소자들(44) 및 수광소자들(45)이 구비된다. 이에 따라, 검출헤드(42)는 자신의 전면에 배치된 카세트(10)에 탑재되어 있는 웨이퍼들(30)의 외주면에 표기된 식별기호피트(31)를 양호하게 검출할 수 있다.

이하, 이러한 본 발명에 따른 검출 툴(40)의 작용을 상세히 설명한다.

먼저, 구동모터(46)의 구동작용에 따라, 승강축들(41)이 상하로 승강하게 되면, 이에 고정된 검출헤드(42) 또한 상하로 승강하게 된다.

이때, 검출헤드(42) 전면홈(43)의 상부판(43a)에 부착된 발광소자들(44)은 검출헤드(42)의 승강작용과 동시에 카세트(10)의 후면으로 노출된 웨이퍼들(30)의 식별기호피트들(31)로 광선을 조사하게 되고, 식별기호피트들(31)은 이에 대응되도록 적정 반사광을 출력시키게 된다.

이어서, 상술한 검출헤드(42) 전면홈(43)의 하부판(43b)에 부착된 수광소자들(45)은 식별기호피트들(31)로부터 출력되는 반사광을 입사받은 후, 이를 설비 콘트롤러(미도시)로 전달한다. 이에 따라, 설비 콘트롤러는 카세트(10)에 탑재되어 있는 각 웨이퍼들(30)의 식별기호를 신속하게 파악할 수 있다.

이후, 설비 콘트롤러는 파악된 각 웨이퍼들(30)의 식별기호에 맞도록 특정 웨이퍼를 지정하여 다양한 공정을 진행시킬 수 있고, 또한 공정 완료 후에 산출된 공정결과 데이터를 각 웨이퍼들(30)별로 양호하게 저장할 수 있다.

이와 같이 본 발명에서는 카세트의 후방으로 노출되는 몸체의 외주면에 서로 식별이 가능한 식별기호를 표기하고 이러한 식별기호가 적정 검출 툴을 통해 신속히 검출될 수 있도록 함으로써, 카세트로부터 각 웨이퍼들을 일일이 적출시키지 않고서도 각 웨이퍼들의 식별기호를 양호하게 파악할 수 있다.

이러한 본 발명은 생산라인에서 사용되는 전 품종의 반도체 웨이퍼에서 전반적으로 유용한 효과를 나타낸다.

그리고, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.

이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 식별기호 측면표기형 웨이퍼 및 이의 식별기호를 검출하기 위한 검출 툴에서는 카세트의 후면으로 항상 노출되는 웨이퍼의 외주면에 식별기호를 표기하고, 이를 광센서를 통해 정확히 검출함으로써, 첫째, 작업자가 웨이퍼를 일일이 적출시키지 않고서도 양호한 웨이퍼 관리를 이루게 할 수 있고, 둘째, 웨이퍼에 발생될 수 있는 예측하지 못한 사고를 미연에 방지시킬 수 있으며, 셋째, 작업자의 업무부담을 현저히 저감시킬 수 있다.

Claims (5)

1. 카세트에 탑재되는 몸체와;

   상기 카세트의 후면으로 노출되는 상기 몸체의 외주면에 표기된 식별기호피트를 포함하는 것을 특징으로 하는 식별기호 측면표기형 웨이퍼.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 식별기호피트는 레이저에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 식별기호 측면표기형 웨이퍼.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 식별기호피트는 마그네틱 코딩에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 식별기호 측면표기형 웨이퍼.
4. 설비내에 설치된 구동모터와;

   상기 설비의 스테이션상에 설치되어 상기 구동모터와 연결되며, 상기 구동모터의 작동에 따라 승강하는 한쌍의 승강축들과;

   상기 승강축들 사이에 고정되며, 상기 승각축들의 승강에 따라 승강하면서 카세트에 탑재된 웨이퍼들의 외주면에 표기된 식별기호피트를 검출하는 검출헤드를 포함하는 것을 특징으로 하는 식별기호 측면표기형 웨이퍼의 식별기호를 검출하기 위한 검출 툴.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 검출헤드에는 각각 쌍을 이루며 연속하여 배열되는 발광소자들 및 수광소자들이 구비되는 것을 특징으로 하는 식별기호 측면표기형 웨이퍼의 식별기호를 검출하기 위한 검출 툴.