KR101177645B1 - 유닛 좌표 인식 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유닛 좌표 인식 장치 및 방법에 관한 것으로서, 바코드 피치 단위로 구분된 영역을 포함한 바코드 맵이 하부면에 형성되고, 검사 대상인 기판을 상부에 배치하는 지그; 관통홀을 갖고 지그의 하부에 배치되는 테이블; 테이블의 하부에 배치되어, 관통홀을 통해 바코드 맵을 인식하여 바코드 좌표를 추출하고 이를 제어부로 전달하는 바코드 리더기; 바코드 리더기로부터 전송되는 바코드 좌표를 좌표 인식 기준에 적용하여 기판의 유닛 좌표를 파악하는 제어부;를 포함하여, 기판의 목시 확인 공정 시 바코드 인식 절차를 통해 작업자가 현재 검사하고 있는 기판 내 유닛의 정확한 위치를 자동으로 인식할 수 있다는 효과를 기대할 수 있으며, 이로 인해 작업 능률 및 작업 속도가 향상된다는 장점이 있다.

Description

유닛 좌표 인식 장치 및 방법{Apparatus and Method for Detecting Coordinate of Unit}
본 발명은 유닛 좌표 인식 장치 및 방법에 관한 것이다.
인쇄회로기판의 불량 유무를 검사를 수행할 때, 기계 검사 후 기계가 체크하지 못할 가능성이 높은 불량항목에 대해서는 목시 확인공정을 거쳐 기판 내의 불량 유무를 재확인한다.
상술한 목시 확인 공정에서, 간이 치공구 위에 제품을 올려놓고 현미경으로 검사하는 경우에는, 스트립(Strip) 내의 불량 유닛(Unit) 위치를 목시로 일일이 체킹하면서 전산으로 입력하기 때문에 시간이 많이 소요되고 부정확하여 불량 유닛이 체크되지 않는 경우가 종종 발생한다.
또한, 이전 공정에서 이미 확인된 불량에 대해 마킹 정보가 제대로 전달되지 않으므로, 기존 불량을 표시하는 기능이 없으면 목시 확인 공정에서 불량으로 재판정해야만 하는데, 이로 인해 불필요한 시간이 소요되어 생산성이 저하되는 문제점이 발생한다.
본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 일 측면은 기판의 목시 확인 공정 시 작업자가 현재 검사하고 있는 기판 내 유닛의 위치를 자동으로 인식할 수 있도록 하는 데 목적이 있다.
또한, 본 발명은 이전 공정에서 체크된 기판 내의 불량 유닛 위치 표시를 비롯한 기판의 목시 검사와 관련된 정보를 작업자가 확인할 수 있도록 자동으로 출력하는 데 목적이 있다.
본 발명에 의한 유닛 좌표 인식 장치는, 기판의 목시 검사 시, 기판 내 위치를 파악하기 위한 장치로서,
바코드 피치 단위로 구분된 영역을 포함한 바코드 맵이 하부면에 형성되고, 검사 대상인 기판을 상부에 배치하는 지그; 관통홀을 갖고 상기 지그의 하부에 배치되는 테이블; 상기 테이블의 하부에 배치되어, 상기 관통홀을 통해 상기 바코드 맵을 인식하여 바코드 좌표를 추출하고 이를 제어부로 전달하는 바코드 리더기; 상기 바코드 리더기로부터 전송되는 바코드 좌표를 좌표 인식 기준에 적용하여 기판의 유닛 좌표를 파악하는 제어부;를 포함한다.
여기에서, 상기 제어부는, 상기 바코드 맵 상에 기판의 유닛 경계에 대응되도록 경계가 구분된 제1 유닛 영역을 설정하고, 상기 제1 유닛 영역과 상기 바코드 피치를 기초로 제2 유닛 영역을 설정하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제2 유닛 영역은, 상기 제1 유닛 영역의 테두리로부터 한 개의 바코드 피치만큼 내측으로 이동한 경계를 갖도록 설정하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 기판이 지그의 정 위치에 배치되지 않아 오차가 발생한 경우,
상기 제어부는, 상기 제2 유닛 영역을 설정할 때, 상기 바코드 피치를 적용한 경계로부터 정렬 오차 값만큼 내측으로 더 이동한 경계를 갖도록 설정하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 바코드 좌표는 상기 바코드 리더기의 시계(Field Of View)가 포함된 영역의 좌표이며, 상기 제어부는, 상기 바코드 좌표가 포함되는 제2 유닛 영역에 매칭되는 제1 유닛 영역을 기초로 기판의 유닛 좌표를 파악하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제어부는, 상기 바코드 맵 상에 기판의 유닛 경계에 대응되도록 경계가 구분된 제1 유닛 영역을 설정하고, 상기 바코드 리더기의 시계가 포함된 제1 유닛 영역을 기초로 기판의 유닛 좌표를 파악하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 유닛 좌표 인식 장치상에서 발생하는 처리 관련 정보를 작업자가 확인할 수 있도록 출력하는 모니터;를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 작업자가 육안으로 상기 기판의 상태를 확인할 수 있도록 하는 현미경;을 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 관통홀은 상기 테이블 중 상기 현미경의 중심축에 대응되는 영역에 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 현미경의 중심축에 대응되는 영역에 배치되어 상기 제어부와 연결되며, 상기 제어부의 위치 인식 결과에 따라 작업자에게 상황별 알람을 출력하는 포인터;를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 유닛 좌표 인식 장치는, 이전 공정에서의 기판 내 불량 유닛 좌표 정보를 저장하며, 상기 포인터는, 상기 제어부의 제어에 따라, 상기 바코드 리더기의 시계가 이전 공정에서의 기판 내 불량 유닛 좌표에 매칭되는 경우, 이전 공정 불량 유닛 위치를 알리는 알람을 출력하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 지그는, 하부면에 형성된 상기 바코드 맵과 상기 바코드 맵이 형성된 영역을 제외한 영역에 상기 바코드 맵의 마모를 방지하기 위해 배치된 단차바를 포함하는 제1 지그층; 기판을 배치하기 위한 정렬바, 상기 정렬바에 형성된 나사용 홀, 상기 나사용 홀을 통해 상기 제1 지그층과 연결되도록 설치되는 위치 정렬용 나사 및 제품 집기용 홀을 포함하는 제2 지그층을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 위치 정렬용 나사는, 상기 제2 지그층 상에 배치되는 기판의 정렬이 상기 바코드 맵의 기준에 따라 정 위치에 배열되도록 상기 정렬바의 위치를 조정하는 것이 바람직하다.
다른 본 발명의 기판 유닛 좌표 인식 방법은, 목시 검사 수행을 위한 기판을 상부에 배치하는 지그, 지그에 형성된 바코드를 인식하는 바코드 리더기 및 기판의 위치를 파악하기 위한 제어부를 포함하는 장치에서의 유닛 좌표 인식 방법으로서,
상기 제어부가 상기 지그에 부착될 바코드 피치 단위로 구분된 바코드 맵을 설정하는 단계; 상기 제어부가 기판의 유닛 좌표를 인식하기 위한 좌표 기준인 기판별 마스터 정보를 설정하는 단계; 및 상기 바코드 리더기가 바코드 맵을 인식하여 바코드 리더기 시계(Field Of View)에 대응되는 바코드 좌표를 추출함에 따라, 상기 제어부가 상기 지그 상의 기판에 매칭되는 마스터 정보와 상기 바코드 리더기로부터 인식된 상기 바코드 좌표를 비교하여 현재 바코드 리더기가 인식하는 기판의 유닛 좌표를 파악하는 단계;를 포함한다.
또한, 상기 마스터 정보는, 상기 바코드 맵 상에 각각의 기판의 유닛 경계에 대응되도록 경계가 구분된 제1 유닛 영역 및 상기 제1 유닛 영역과 상기 바코드 피치를 기초로 설정된 제2 유닛 영역을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제2 유닛 영역은, 상기 제1 유닛 영역의 테두리로부터 한 개의 바코드 피치만큼 내측으로 이동한 경계를 갖도록 설정된 것이 바람직하다.
또한, 상기 기판의 유닛 좌표를 파악하는 단계는, 바코드 리더기가 바코드 맵으로부터 바코드 리더기 시계에 대응되는 바코드 좌표를 추출하여 제어부로 전달하는 단계; 제어부가 기 저장된 기판별 마스터 정보로부터 상기 지그상에 배치된 기판에 매칭되는 마스터 정보를 추출하는 단계; 제어부가 상기 마스터 정보로부터 상기 바코드 좌표가 포함된 제2 유닛 영역을 추출하는 단계; 및 제어부가 상기 제2 유닛 영역에 매칭되는 제1 유닛 영역을 파악하고, 파악된 제1 유닛 영역에 매칭된 기판 유닛 좌표를 추출하는 단계;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 마스터 정보는, 상기 바코드 맵 상에 각각의 기판의 유닛 경계에 대응되도록 경계가 구분된 제1 유닛 영역을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제어부는, 상기 바코드 리더기의 시계가 포함된 제1 유닛 영역에 매칭되는 기판의 유닛 좌표를 파악하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 장치는 포인터를 더 포함하고, 상기 포인터가 기판 목시 검사 중의 상태를 작업자가 확인할 수 있도록 상황별 알람을 출력하는 단계;를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 기판의 유닛 좌표를 파악하는 단계에서, 상기 제어부가 기판의 유닛 좌표를 인식하지 못한 경우, 상기 포인터가 유닛 좌표 인식 실패 알람을 출력하는 단계;를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 장치는, 이전 공정에서의 기판 내 불량 유닛 좌표 정보를 저장하며, 상기 포인터는, 상기 제어부의 제어에 따라, 상기 바코드 리더기의 시계가 이전 공정에서의 기판 내 불량 유닛 좌표에 매칭되는 경우, 이전 공정 불량 유닛 위치를 알리는 알람을 출력하는 것이 바람직하다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.
이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
본 발명의 유닛 좌표 인식 장치 및 방법은, 기판의 목시 확인 공정 시 바코드 인식 절차를 통해 작업자가 현재 검사하고 있는 기판 내 유닛의 정확한 위치를 자동으로 인식할 수 있다는 효과를 기대할 수 있으며, 이로 인해 작업 능률 및 작업 속도가 향상된다는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 이전 공정에서 체크된 기판 내의 불량 유닛 위치 표시를 비롯한 기판의 목시 검사와 관련된 정보를 작업자가 확인할 수 있도록 자동으로 출력할 수 있다는 효과를 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 유닛 좌표 인식 장치의 구성을 나타내는 도면,
도 2는 본 발명에 의한 바코드 맵의 일 예를 나타내는 도면,
도 3은 본 발명에 의한 지그의 세부 구성을 나타내는 도면,
도 4는 본 발명에 의한 테이블 구성의 일 예를 나타내는 도면,
도 5는 본 발명에 의한 기판의 유닛 좌표 인식 방법의 일 실시예를 설명하기 위한 도면,
도 6 및 도 7은 본 발명에 의한 기판의 유닛 좌표 인식 방법의 다른 실시예를 설명하기 위한 도면,
도 8은 본 발명에 의한 유닛 좌표 인식 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서에서, 제1, 제2 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태를 상세히 설명하기로 한다.
유닛 좌표 인식 장치
본 발명의 유닛 좌표 인식 장치는, 기판의 목시 검사 시, 기판 내 위치를 파악하기 위한 장치로서, 스트립 형태의 기판(130)을 상부에 배치하는 지그(120), 지그(120) 하부에 배치되는 테이블(110), 테이블(110) 하부에 배치될 바코드 리더기(200) 및 유닛 좌표 인식 장치 내의 동작을 제어하기 위한 제어부(310)를 포함할 수 있다.
도 1 및 도 2에서 도시하는 바와 같이, 지그(120)는 바코드 피치 단위로 구분된 영역을 포함한 바코드 맵(B)이 하부면에 형성되고, 검사 대상인 기판(130)을 상부에 배치한다.
보다 상세히 설명하면, 도 2 및 도 3에서 도시하는 바와 같이, 지그(120)는 하부면에 형성된 바코드 맵(B)과 바코드 맵이 형성된 영역을 제외한 영역에 바코드 맵의 마모를 방지하기 위해 배치된 단차바(121)를 포함하는 제1 지그층(122)과, 기판(130)을 배치하기 위한 정렬바(160), 정렬바(160)에 형성된 나사용 홀, 나사용 홀을 통해 제1 지그층(122)과 연결되도록 설치되는 위치 정렬용 나사(C1, C2, C3, C4, C5, C6) 및 제품 집기용 홀(B1, B2)을 포함하는 제2 지그층(123)을 포함한다. 상기 단차바(121)는 지그(120)에 형성(또는 인쇄)된 바코드 맵이 바닥에 닿지 않도록 하기 위한 것이다.
여기에서, 위치 정렬용 나사(C1, C2, C3, C4, C5, C6)는 제2 지그층(123) 상에 배치되는 기판(130)의 정렬이 지그의 기준점(P)에 따라 정 위치에 배열되도록 정렬바(160)의 위치를 조정한다.
지그의 기준점(P)은 지그 하부면의 바코드 맵의 형성 위치를 나타내는 기준으로, 기판(130)의 스트립 꼭지점들이 지그 하면의 바코드 코너들과 일치하여 기준에 맞게 배치되어야 이후 정확한 기판 유닛 좌표 인식을 수행할 수 있는 것이다.
만약, 기판(130)이 상기 지그의 기준점(P)에 일치하도록 배치된 경우에도 하부면의 바코드 맵과 매칭되지 않는 경우, 위치 정렬용 나사(C1, C2, C3, C4, C5, C6)를 이용하여 정렬바(160)를 이동시켜 기판(130)의 스트립 코너와 바코드 맵의 바코드 코너가 서로 매칭되도록 한다.
여기에서, 기판의 스트립 코너와 바코드 맵의 바코드 코너가 서로 매칭되도록 한다는 것은 제어부(310)에 의해서 바코드 맵에 기판별로 설정된 제1 유닛 영역의 경계와 기판의 유닛 경계가 일치하도록 정 위치에 배치되어야 함을 의미하는 것이다.
기판(130)이 정 위치에 배치되는 경우, 후술하는 현미경 중심, 지그의 기준점, 바코드 맵의 첫 번째 바코드가 오차없이 정렬 배치된다.
또한, 지그(120)는 특정 축에 고정되거나 구속되어 있는 형태가 아니고, x,y 회전 방향으로 전방향 이동이 가능하도록 형성된다.
한편, 지그(120)는 작업자가 별다른 힘을 가하지 않아도 테이블(110) 위에서 밀릴 수 있도록 가벼운 재질로 이루어지고, 외곽부와 체결부를 제외하고는 내부가 빈 형태로 가공된다.
도 1 및 도 4에서 도시하는 바와 같이, 테이블(110)은 관통홀(D)을 갖고 지그(120)의 하부에 배치된다.
바코드 리더기(200)는 테이블(110)의 하부에 배치되어, 관통홀(D)을 통해 바코드 맵(B)을 인식하여 바코드 좌표를 추출하고 이를 제어부(310)로 전달한다.
여기에서, 바코드 좌표는 바코드 리더기(200)의 시계(Field Of View)가 포함된 영역의 좌표를 의미한다.
예를 들어, 도 5에서 도시하는 바와 같이, 바코드 좌표는 바코드 맵(B) 중 바코드 리더기(200)의 시계(420)에 포함된 영역의 좌표(도 5의 첫 번째 바코드)이다.
제어부(310)는 바코드 리더기(200)로부터 전송되는 바코드 좌표를 좌표 인식 기준에 적용하여 기판(130)의 유닛 좌표를 파악한다. 여기에서, 좌표 인식 기준은 바코드 리더기로부터 전달된 바코드 좌표를 기초로 기판의 유닛 좌표를 파악하기 위해 미리 설정된 기준이라고 정의하기로 한다.
보다 상세히 설명하면, 제어부(310)가 기판의 유닛 좌표를 파악하는 방법은 기판의 유닛 경계에 대응되는 제1 유닛 영역만을 기초로 기판 유닛 좌표를 파악하는 방법과 바코드 피치와 바코드 리더기의 시계를 고려한 제2 유닛 영역을 설정하여 기판 유닛 좌표를 파악하는 두 가지로 구분된다.
예를 들어, 제1 유닛 영역은 바코드 리더기의 시계 내에 스트립 설계 데이터에 기반해 캠(CAM) 데이터를 이용하여 산출되며, 이에 한정되지는 않는다.
먼저, 제어부(310)는 도 5에서 도시하는 바와 같이, 바코드 맵(B) 상에 기판(130)의 유닛 경계에 대응되도록 경계가 구분된 제1 유닛 영역(410)을 설정하고, 바코드 리더기의 시계(420)가 포함된 제1 유닛 영역(410)을 기초로 기판의 유닛 좌표를 파악한다. 이때, 기판의 유닛 좌표는 해당 바코드 리더기의 시계가 포함된 바코드의 중심위치가 속해 있는 유닛으로 확정한다.
스트립 형태의 기판(130)은 칩(chip) 크기의 유닛들을 바둑판 형태로 배열하여 구성하는 데, 예를 들어, 열(Column)이 4개, 행(Row)이 2개로 유닛 배치가 구성된 기판(130)에 대한 제1 유닛 영역을 바코드 맵(B)에 겹쳐 표시하면 도 5에서 도시하는 바와 같다. 즉, 실제 기판(130)의 유닛 영역과 제1 유닛 영역은 서로 동일하다는 것이다.
도 5는 바코드의 배치 해상도에 해당하는 바코드 맵의 바코드 피치(Pitch)가 기판의 유닛 피치의 1/2인 경우를 나타내고 있다.
두 번째로, 제어부(310)는 도 6에서 도시하는 바와 같이, 바코드 맵(B) 상에 기판의 유닛 경계에 대응되도록 경계가 구분된 제1 유닛 영역(410)을 설정하고, 제1 유닛 영역(410)과 바코드 피치(440)를 기초로 제2 유닛 영역(430)을 설정한다.
여기에서, 제2 유닛 영역(430)은 제1 유닛 영역(410)의 테두리로부터 한 개의 바코드 피치만큼 내측으로 이동한 경계를 갖도록 설정한다.
만약, 기판(130)이 지그(120)의 정 위치에 배치되지 않아 오차가 발생한 경우, 제어부(310)는 제2 유닛 영역을 설정할 때, 바코드 피치를 적용한 경계로부터 정렬 오차 값만큼 내측으로 더 이동한 경계를 갖도록 설정한다.
또한, 제어부(310)는 바코드 좌표가 포함되는 제2 유닛 영역(430)에 매칭되는 제1 유닛 영역(410)을 기초로 기판의 유닛 좌표를 파악한다.
예를 들어, 도 6에서 도시하는 바와 같이, 바코드 리더기의 시계(420)에 해당하는 바코드 좌표가 추출된 경우, 제어부(310)는 바코드 좌표가 포함된 제2 유닛 영역(430)을 파악하고, 파악된 제2 유닛 영역(430)이 포함된 제1 유닛 영역(410)과 매칭된 기판의 유닛 좌표를 현재 바코드 리더기를 통해 인식(또는 현미경을 통해 확인)되는 기판의 위치로 파악한다.
여기에서, 제1 유닛 영역은 기판별로 기판 유닛 경계에 따라 구분된 영역으로, 기판의 유닛 경계와 제1 유닛 영역의 경계는 서로 일치한다.
이하에서는, 상술한 기판의 유닛 좌표를 인식하는 방법 중 두 번째 방법을 보다 상세히 설명하기로 한다.
제2 유닛 영역(430)은 바코드 리더기의 시계(420)를 고려한 것으로, 도 6에서 도시하는 바와 같이, 바코드 맵(B)의 가로, 세로에서 각각 바코드 피치(Barcode_Pitch_X, Barcode_Pitch_Y)(440)만큼 제1 유닛 영역(410)의 경계로부터 내측으로 설정된 것이다.
결과적으로, 도 6의 좌측을 기준으로 첫 번째 제1 유닛 영역(410)에 대해서는 후술하는 수학식 1 및 수학식 2와 같이 표현되는 영역의 경계가 제2 유닛 영역(430)의 경계로 정의되는 것이다. 이때, 제2 유닛 영역의 사이즈는 제1 유닛 영역의 사이즈와 비교하여 가로, 세로로 바코드 피치의 2배만큼 작다.
Figure 112011008237578-pat00001
Figure 112011008237578-pat00002
여기에서, x는 제2 유닛 영역의 X축의 사이즈, StartXO, EndX0는 각각 제1 유닛 영역의 X좌표의 시작점과 종료지점, Barcode_Pitch_X는 X축의 바코드 피치, y는 제2 유닛 영역의 Y축의 사이즈, StartYO, EndY0는 각각 제1 유닛 영역의 Y좌표의 시작점과 종료지점, Barcode_Pitch_Y는 Y축의 바코드 피치를 의미한다.
도 6에서 도시하는 바와 같이, 바코드 리더기의 시계(420)가 연속적인 바코드 인식을 수행할 수 있도록 바코드 피치 단위의 바코드를 4개 포함하는 사이즈인 2*Barcode_Pitch_X, 2*Barcode_Pitch_Y를 바코드 리더기의 시계(420)로 설정한 것이다. 이러한 경우, 바코드 리더기의 시계(420)가 이동하더라도, 적어도 한 개 이상의 바코드는 리더기 시계 안에 존재하게 된다.
예를 들어, 바코드 리더기의 시계(420)가 한 개의 바코드를 인식하였는데, 바코드의 중심점이 제2 유닛 영역 내에 포함되면, 제어부(310)는 현재 기판의 유닛 좌표를 해당 제2 유닛 영역이 포함된 제1 유닛 영역에 매칭된 기판의 유닛 좌표로 인식하는 것이다.
만약, 기판(130)을 지그(120)상에 배치할 때, 현미경 중심, 지그의 기준점, 바코드 맵의 첫 번째 바코드가 정 위치에 정렬되지 않아 오차가 발생한 경우, 제어부(310)는 바코드 리더기의 시계(420)를 오차 값만큼 더 작게 설정해야 한다. 이는, 바코드 리더기의 시계(420)가 바코드 피치에 더하여 초기 기준점 설정 오차만큼 제1 유닛 영역의 경계로부터 이격되어야 유닛 중앙쪽으로 시야 중심을 이동하게 되어, 제어부(310)에서 기판 유닛 좌표를 인식하여 출력하게 되기 때문이다.
한편, 상술한 바와 같이, 제2 유닛 영역을 설정하는 것은, 기판(130)이 유닛 배열에 의해 스트립 형태의 제품으로 제작되며, 폐기 단위가 유닛 단위이기 때문이다. 예를 들어, 한 개의 유닛에 불량이 발생한다고 스트립 전체를 폐기하지 않고 정해진 일정 비율 이상 불량이 발생해야 스트립 단위로 폐기를 실시하기 때문이다. 이로 인해, 유닛 단위로 좌표가 출력되어야 목시 검사의 다음 공정인 마킹 공정에서 일괄 마킹을 수행하거나 전산좌표로 기록하여, 고객에게 불량 데이터만을 전달하거나, 향후 불량 유출 분석 및 추적시에도 유닛 단위로 활용할 수 있는 것이다.
본 발명은 불량이 발생한 기판의 유닛 단위 위치를 파악하는 것이 가능하기 때문에, 이후 공정과의 연계가 데이터적으로 가능하다는 효과 또한 기대할 수 있다.
다른 한편, 유닛 좌표 인식 장치는 유닛 좌표 인식 장치상에서 발생하는 처리 관련 정보를 작업자가 확인할 수 있도록 출력하는 모니터(330)를 더 포함한다.
또한, 유닛 좌표 인식 장치는 기판의 유닛 좌표 인식과 관련하여 정보를 입력할 수 있도록 하는 키패드(350)를 더 포함한다.
이에 더하여, 유닛 좌표 인식 장치는 작업자가 육안으로 기판의 상태를 확인할 수 있도록 하는 현미경(150)을 더 포함한다.
상술한 테이블(110)에 형성된 관통홀(D)은 테이블(110) 중 현미경의 중심축에 대응되는 영역에 형성된다.
유닛 좌표 인식 장치는 현미경(150)의 중심축에 대응되는 영역에 배치되어 제어부(310)와 연결되며, 제어부(310)의 위치 인식 결과에 따라 작업자에게 상황별 알람을 출력하는 포인터(140)를 더 포함한다.
여기에서, 상황별 알람은 빛 발생, 진동, 소리 등과 같이 작업자에게 현재의 검사 상태를 알릴 수 있도록 사전에 상황별로 매칭된 통보 형태를 모두 포함하는 것으로 정의하기로 한다.
예를 들어, 포인터(140)는 기판 목시 검사 중에, 이전 공정에서 불량이 발생된 기판의 유닛 확인 중, 바코드 인식 실패, 현재의 목시 공정 상에 발견된 불량 유닛 발견 등과 같은 다양한 상황에 대해 작업자가 인식할 수 있도록 빛을 발생시켜 십자형태나 스팟(Spot) 형태로 표시할 수 있다.
본 발명에서는 포인터(140)로 한정하여 설명하였지만, 운용자의 필요에 따라 별도의 구성을 통해 조명의 색상변화, 진동, 소리 등을 통해 목시 공정 관련 정보를 작업자에게 알리는 것도 가능하다.
한편, 유닛 좌표 인식 장치는 이전 공정에서의 기판 내 불량 유닛 좌표 정보를 저장(저장하는 구성에 대해서는 도시하지 않음)하며, 포인터(140)는 제어부(310)의 제어에 따라, 바코드 리더기(200)의 시계가 이전 공정에서의 기판 내 불량 유닛 좌표에 매칭되는 경우, 이전 공정 불량 유닛 위치를 알리는 알람을 출력한다.
유닛 좌표 인식 장치에서 개시하는 현미경의 중심축, 바코드 리더기 시계의 중심 및 포인터의 중심은 서로 일치하도록 형성되는 것이 바람직하다.
유닛 좌표 인식 방법
이하에서는, 목시 검사 수행을 위한 기판을 상부에 배치하는 지그(120), 지그(120)에 형성된 바코드를 인식하는 바코드 리더기(200) 및 기판(130)의 위치를 파악하기 위한 제어부(310)를 포함하는 장치에서의 유닛 좌표 인식 방법을 설명하기로 한다.
먼저, 제어부(310)는 지그(120)에 부착될 바코드 피치(440) 단위로 구분된 바코드 맵(도 2의 B)을 설정한다.
또한, 제어부(310)는 기판(130)의 유닛 좌표를 인식하기 위한 좌표 기준인 기판별 마스터 정보를 설정한다(S101).
또한, 바코드 리더기(200)가 바코드 맵(B)을 인식하여 바코드 리더기 시계(Field Of View)(420)에 대응되는 바코드 좌표를 추출함에 따라(S103), 제어부(310)는 지그(120) 상의 기판(130)에 매칭되는 마스터 정보와 바코드 리더기(200)로부터 인식된 바코드 좌표를 비교하여 현재 바코드 리더기(200)가 인식하는 기판(130)의 유닛 좌표를 파악한다(S105, S107).
상술한 단계 S101의 마스터 정보를 설정하는 단계에서, 마스터 정보는 도 5에서 도시하는 바와 같이, 바코드 맵(B) 상에 각각의 기판의 유닛 경계에 대응되도록 경계가 구분된 제1 유닛 영역(410)을 포함한다.
제어부(310)는 바코드 리더기의 시계(420)가 포함된 제1 유닛 영역(410)에 매칭되는 기판(130)의 유닛 좌표를 파악한다. 여기에서, 검사 대상인 기판(130)의 유닛 경계와 제1 유닛 영역의 경계는 서로 일치하기 때문에, 제1 유닛 영역(410)이 포함된 기판의 유닛 좌표가 기판(130)의 최종 위치가 되는 것이다.
한편, 단계 S101의 마스터 정보를 설정하는 단계에서, 마스터 정보는 도 6에서 도시하는 바와 같이, 바코드 맵(B) 상에 각각의 기판의 유닛 경계에 대응되도록 경계가 구분된 제1 유닛 영역(410) 및 제1 유닛 영역(410)과 바코드 피치(440)를 기초로 설정된 제2 유닛 영역(430)을 포함할 수 있다.
여기에서, 제2 유닛 영역(430)은 제1 유닛 영역(410)의 테두리로부터 한 개의 바코드 피치(440)만큼 내측으로 이동한 경계를 갖도록 설정된 것이다.
마스터 정보가 제1 유닛 영역 및 제2 유닛 영역을 포함하는 경우, 단계 S105 및 S107의 기판의 유닛 좌표를 파악하는 단계를 보다 구체적으로 설명하면 후술하는 바와 같다.
먼저, 바코드 리더기(200)는 바코드 맵(B)으로부터 바코드 리더기 시계(420)에 대응되는 바코드 좌표를 추출하여 제어부(310)로 전달한다.
또한, 제어부(310)는 기 저장된 기판별 마스터 정보로부터 지그(120)상에 배치된 기판(130)에 매칭되는 마스터 정보를 추출한다.
또한, 제어부(310)는 마스터 정보로부터 바코드 좌표가 포함된 제2 유닛 영역(430)을 추출한다.
또한, 제어부(310)는 제2 유닛 영역(430)에 매칭되는 제1 유닛 영역(410)을 파악하고, 파악된 제1 유닛 영역(410)에 매칭된 기판 유닛 좌표를 추출한다.
한편, 기판 유닛 인식 장치는 포인터(140)를 더 포함하고, 포인터(140)는 기판 목시 검사 중의 상태를 작업자가 확인할 수 있도록 알람을 출력한다.
만약, 기판의 유닛 좌표를 파악하는 단계에서, 제어부(310)가 기판의 유닛 좌표를 인식하지 못한 경우, 포인터(140)는 유닛 좌표 인식 실패 알람을 출력한다.
예를 들어, 도 7에서 도시하는 바와 같이, 바코드 리더기의 시계(420)가 제2 유닛 영역(430)에 포함되지 않아 제어부(310)에 의해서 유닛 좌표가 인식되지 않은 경우, 포인터(140)는 제어부(310)의 제어에 따라 유닛 좌표 인식 실패 알람을 출력한다.
다른 한편, 기판 유닛 인식 장치는 이전 공정에서의 기판 내 불량 유닛 좌표 정보를 저장하며, 포인터(140)는 제어부(310)의 제어에 따라, 바코드 리더기의 시계(420)가 이전 공정에서의 기판 내 불량 유닛 좌표에 매칭되는 경우, 이전 공정 불량 유닛 위치를 알리는 알람을 출력한다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 유닛 좌표 인식 장치 및 방법은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
110 : 테이블 120 : 지그
121 : 단차바 122 : 제1 지그층
123 : 제2 지그층 130 : 기판
140 : 포인터 150 : 현미경
160 : 정렬바 200 : 바코드 리더기
310 : 제어부 330 : 모니터
350 : 키패드 410 : 제1 유닛 영역
420 : 바코드 리더기의 시계 430 : 제2 유닛 영역
440 : 바코드 피치

Claims (22)

  1. 기판의 목시 검사 시, 기판 내 위치를 파악하기 위한 장치로서,
    바코드 피치 단위로 구분된 영역을 포함한 바코드 맵이 하부면에 형성되고, 검사 대상인 기판을 상부에 배치하는 지그;
    관통홀을 갖고 상기 지그의 하부에 배치되는 테이블;
    상기 테이블의 하부에 배치되어, 상기 관통홀을 통해 상기 바코드 맵을 인식하여 바코드 좌표를 추출하고 이를 제어부로 전달하는 바코드 리더기; 및
    상기 바코드 리더기로부터 전송되는 바코드 좌표를 좌표 인식 기준에 적용하여 기판의 유닛 좌표를 파악하는 제어부;
    를 포함하는 유닛 좌표 인식 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 바코드 맵 상에 기판의 유닛 경계에 대응되도록 경계가 구분된 제1 유닛 영역을 설정하고, 상기 제1 유닛 영역과 상기 바코드 피치를 기초로 제2 유닛 영역을 설정하는 유닛 좌표 인식 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2 유닛 영역은,
    상기 제1 유닛 영역의 테두리로부터 한 개의 바코드 피치만큼 내측으로 이동한 경계를 갖도록 설정하는 유닛 좌표 인식 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 기판이 지그의 정 위치에 배치되지 않아 오차가 발생한 경우,
    상기 제어부는, 상기 제2 유닛 영역을 설정할 때, 상기 바코드 피치를 적용한 경계로부터 정렬 오차 값만큼 내측으로 더 이동한 경계를 갖도록 설정하는 유닛 좌표 인식 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 바코드 좌표는 상기 바코드 리더기의 시계(Field Of View)가 포함된 영역의 좌표이며,
    상기 제어부는,
    상기 바코드 좌표가 포함되는 제2 유닛 영역에 매칭되는 제1 유닛 영역을 기초로 기판의 유닛 좌표를 파악하는 유닛 좌표 인식 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 바코드 맵 상에 기판의 유닛 경계에 대응되도록 경계가 구분된 제1 유닛 영역을 설정하고, 상기 바코드 리더기의 시계가 포함된 제1 유닛 영역을 기초로 기판의 유닛 좌표를 파악하는 유닛 좌표 인식 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 유닛 좌표 인식 장치상에서 발생하는 처리 관련 정보를 작업자가 확인할 수 있도록 출력하는 모니터;
    를 더 포함하는 유닛 좌표 인식 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    작업자가 육안으로 상기 기판의 상태를 확인할 수 있도록 하는 현미경;
    을 더 포함하는 유닛 좌표 인식 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 관통홀은 상기 테이블 중 상기 현미경의 중심축에 대응되는 영역에 형성되는 유닛 좌표 인식 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 현미경의 중심축에 대응되는 영역에 배치되어 상기 제어부와 연결되며, 상기 제어부의 위치 인식 결과에 따라 작업자에게 상황별 알람을 출력하는 포인터;
    를 더 포함하는 유닛 좌표 인식 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 유닛 좌표 인식 장치는, 이전 공정에서의 기판 내 불량 유닛 좌표 정보를 저장하며,
    상기 포인터는, 상기 제어부의 제어에 따라, 상기 바코드 리더기의 시계가 이전 공정에서의 기판 내 불량 유닛 좌표에 매칭되는 경우, 이전 공정 불량 유닛 위치를 알리는 알람을 출력하는 유닛 좌표 인식 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 지그는,
    하부면에 형성된 상기 바코드 맵과 상기 바코드 맵이 형성된 영역을 제외한 영역에 상기 바코드 맵의 마모를 방지하기 위해 배치된 단차바를 포함하는 제1 지그층;
    기판을 배치하기 위한 정렬바, 상기 정렬바에 형성된 나사용 홀, 상기 나사용 홀을 통해 상기 제1 지그층과 연결되도록 설치되는 위치 정렬용 나사 및 제품 집기용 홀을 포함하는 제2 지그층을 포함하는 유닛 좌표 인식 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 위치 정렬용 나사는, 상기 제2 지그층 상에 배치되는 기판의 정렬이 상기 바코드 맵의 기준에 따라 정 위치에 배열되도록 상기 정렬바의 위치를 조정하는 유닛 좌표 인식 장치.
  14. 목시 검사 수행을 위한 기판을 상부에 배치하는 지그, 지그에 형성된 바코드를 인식하는 바코드 리더기 및 기판의 위치를 파악하기 위한 제어부를 포함하는 장치에서의 유닛 좌표 인식 방법으로서,
    상기 제어부가 상기 지그에 부착될 바코드 피치 단위로 구분된 바코드 맵을 설정하는 단계;
    상기 제어부가 기판의 유닛 좌표를 인식하기 위한 좌표 기준인 기판별 마스터 정보를 설정하는 단계; 및
    상기 바코드 리더기가 바코드 맵을 인식하여 바코드 리더기 시계(Field Of View)에 대응되는 바코드 좌표를 추출함에 따라, 상기 제어부가 상기 지그 상의 기판에 매칭되는 마스터 정보와 상기 바코드 리더기로부터 인식된 상기 바코드 좌표를 비교하여 현재 바코드 리더기가 인식하는 기판의 유닛 좌표를 파악하는 단계;
    를 포함하는 유닛 좌표 인식 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 마스터 정보는,
    상기 바코드 맵 상에 각각의 기판의 유닛 경계에 대응되도록 경계가 구분된 제1 유닛 영역 및 상기 제1 유닛 영역과 상기 바코드 피치를 기초로 설정된 제2 유닛 영역을 포함하는 유닛 좌표 인식 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제2 유닛 영역은,
    상기 제1 유닛 영역의 테두리로부터 한 개의 바코드 피치만큼 내측으로 이동한 경계를 갖도록 설정된 유닛 좌표 인식 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 기판의 유닛 좌표를 파악하는 단계는,
    바코드 리더기가 바코드 맵으로부터 바코드 리더기 시계에 대응되는 바코드 좌표를 추출하여 제어부로 전달하는 단계;
    제어부가 기 저장된 기판별 마스터 정보로부터 상기 지그상에 배치된 기판에 매칭되는 마스터 정보를 추출하는 단계;
    제어부가 상기 마스터 정보로부터 상기 바코드 좌표가 포함된 제2 유닛 영역을 추출하는 단계; 및
    제어부가 상기 제2 유닛 영역에 매칭되는 제1 유닛 영역을 파악하고, 파악된 제1 유닛 영역에 매칭된 기판 유닛 좌표를 추출하는 단계;
    를 포함하는 유닛 좌표 인식 방법.
  18. 제14항에 있어서,
    상기 마스터 정보는,
    상기 바코드 맵 상에 각각의 기판의 유닛 경계에 대응되도록 경계가 구분된 제1 유닛 영역을 포함하는 유닛 좌표 인식 방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 바코드 리더기의 시계가 포함된 제1 유닛 영역에 매칭되는 기판의 유닛 좌표를 파악하는 유닛 좌표 인식 방법.
  20. 제14항에 있어서,
    상기 장치는 포인터를 더 포함하고,
    상기 포인터가 기판 목시 검사 중의 상태를 작업자가 확인할 수 있도록 상황별 알람을 출력하는 단계;
    를 더 포함하는 유닛 좌표 인식 방법.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 기판의 유닛 좌표를 파악하는 단계에서,
    상기 제어부가 기판의 유닛 좌표를 인식하지 못한 경우, 상기 포인터가 유닛 좌표 인식 실패 알람을 출력하는 단계;
    를 더 포함하는 유닛 좌표 인식 방법.
  22. 제20항에 있어서,
    상기 장치는, 이전 공정에서의 기판 내 불량 유닛 좌표 정보를 저장하며,
    상기 포인터는, 상기 제어부의 제어에 따라, 상기 바코드 리더기의 시계가 이전 공정에서의 기판 내 불량 유닛 좌표에 매칭되는 경우, 이전 공정 불량 유닛 위치를 알리는 알람을 출력하는 유닛 좌표 인식 방법.
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